JPH02137338A - 位置検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、半導体装置製造におけるダイボンディング装
置の、ウェーハ上のペア（ｂａｒｅ）チップの位置を検
出する位置検出装置に関する。

（従来の技術） 一般に、ダイボンディング装置のペアチップ位置の検１
ｉｌｌよ、ペアチップただ１個の検出を目的としており
、したがって、ダイボンディング装置のＸ−Ｙテーブル
のペアチップの認識対象範囲には、ペアチップがただ１
個が独立して、つまり欠けずに完全な姿（以下、完全姿
と略す）で存在していなければならない、しかし、ダイ
ボンディング装置のｘ−Ｙテーブルでウェーハを交換す
ると、交換したウェーへの位置が前の位置からずれ、し
たがってウェーハ上のペアチップはボンディング対象範
囲からずれることになる。

第３図はその位置ずれを、正常なペアチップ位置ととも
に例示したもので、図（ａ）はペアチップが正常位置に
ある場合で、認識対象範囲（以下、認識視野という）２
１内にはただ１個の完全姿のペアチップ２２が認識され
る０図（ｂ）はウェーハが左（右）にずれた場合、図（
ｃ）は同じく上（下）にずれた場合１図（ｄ）は斜にず
れた場合で、これら（ｂ）ないしくｄ）の例は何れも完
全姿のペアチップは認められない。

上述のようにウェーハ交換によりペアチップは正しくダ
イボンディング装置のＸ−Ｙテーブルの認識視野内に位
置せず、したがってｘ−ＹテーブルをＸまたはＹ方向に
移動させてペアチップの完全姿を認識視野に収めて、ダ
イボンディングすることになる。

第４図はＸ−Ｙテーブルが上述のようにずれたペアチッ
プを、認識視野内に捉えるための移動を説明するもので
、丸囲みの数字は認識視野の中心位置であり、上記ベア
チップの完全姿を捉えるために始めに中心位置が■にあ
った認識視野２１を、その中心位置を■から■の順序で
視野の半分ずつ矢印２３の方向に移動していた。

（発明が解決しようとする課題） そのため、上述の従来の方法ではペアチップが認識視野
に接する外周領域に存在しない時でも、ペアチップをＸ
−Ｙテーブルが探すことになり、また、第５図に示すよ
うに、ペアチップの一部だけがウェーハに載っている場
合、つまり不完全な姿（以下、不完全姿と略す）でペア
チップが視野にある場合でも、上記の同様な無駄なペア
チップの探し方をし、したがって、Ｘ−Ｙテーブルがペ
アチップの完全姿を視野に収めるまでに時間を要しダイ
ボンディングが遅くなる欠点がある。

本発明は上述した欠点を排除し、ウェーハの交換時等で
認識視野内に完全姿のペアチップが存在しない場合、速
みやかに完全姿のペアチップを認識視野内に収める位置
検出装置の提供を目的とする。

（課題を解決するための手段） 本発明は」〕記の目的を、認識対象範囲に接する白また
は黒の領域の輪郭線を追跡する手段と、その追跡された
輪郭線の周囲長が最も長い領域に外接する矩形を求める
手段と、その外接矩形の認識対象範囲に接していないコ
ーナ情報から、認識対象範囲の中心に位置する位置検出
対象体の中心を検出する手段とを備えて達成する。

（作　用） 以上のように構成する本発明は、完全姿のペアチップを
認識視野に捉えない時は、そのとき認識視野が捉えてい
る不完全姿のペアチップの部分的な形状の情報から、完
全姿のペアチップが存在する位置を推測して、ペアチッ
プ位置の検出動作を行うからペアチップの位置検出が高
速で行われ。

したがってダイボンディング処理が速やかに可能になる
。

（実施例） 以下、本発明の実施例を図面により説明する。

第１図は本発明の一実施例を示すブロック図で１はペア
チップである。テレビカメラ２に入力したペアチップ１
の画像信号は、光電変換部３によって濃淡画像信号に変
換され、画像記憶部４に記憶される。この画像信号は制
御部５からの指令に基づき読み出され、パターン認識処
理部６に入り、画像の形状等の特徴による認識アルゴリ
ズムによって、認識視野内に完全姿のペアチップ１を検
出することができる。

いま、Ｘ−Ｙテーブル７上のウェーハ８が交換されると
、制御部５は、まず上述の手順により認識視野内の完全
姿のペアチップの有無を検出する。

完全姿のペアチップが存しない前出の第２図のような場
合、制御部５の指令に基づき画像記憶部４から、現在の
認識視野内の画像情報が読み出され、それは２値化回路
９により２値化される。この２値化された画像情報によ
り輪郭線追跡部１０は認識視野に接する白（あるいは黒
）の領域の輪郭線を追跡し、その輪郭線の位置情報を最
大外接矩形検出部１１に送出する。この最大外接矩形検
出部１１は輪郭線の位置情報から、周ｖＲ長の最も長い
領域の外接矩形を求め、そのコーナ位置情報を中心位置
情報部１２に送出する。ここでは認識視野の外枠に接し
ていない上記外接矩形のコーナ位置情報から、ペアチッ
プ１の中心位置を算出し推？１＋１１し、制御部５に送
る。その中心位置情報によって制御部５はＸ−Ｙテーブ
ル７を駆動し、第２図のようにペアチップ２２（第１図
で１）が認識視野の中心に来るようにする。

本発明は以」−のように、認識視野に接する白（あるい
は黒）の領域の輪郭線を追跡し、その輪郭線から周囲長
の最も長い領域の外接矩形を求め。

そのコーナ位置情報から認識視野の中心位置を推定し、
次ぎの認識視野位置を検出するものである。

なお１本発明は認識視野に接する領域の輪郭線の周囲長
に等しいものが複数あった場合は、任意に選択する領域
の次ぎの認識視野が検出可能になる。

（発明の効果） 以」−１説明して明らかなように本発明は、認識対象範
囲に接する内または黒の領域の輪郭線を追跡する手段と
、その追跡された輪郭線の周囲長が最も長い領域に外接
する矩形を求める手段と、その外接矩形の認識対象範囲
に接していないコーナ情報から、認識対象範囲の中心に
位置する位置検出対象体の中心を検出する手段とを備え
てペアチップの中心位置を求めるもので、従来の認識視
野を機械的に定距離、定方向に移動して位置を検出する
場合に比べ、最短移動距離で高速に完全姿のペアチップ
を認識視野内に捉えることができ、また外接矩形を用い
たからペアチップの不良マークが認識視野外の外枠に接
して輪郭線が認識視野から離間する場合も、認識視野に
接しないコーナ情報を安定して求めて、ペアチップの位
置検出ができ、さらに認識視野に接するペアチップの位
置も求められるから、認識視野内およびその視野周辺領
域にペアチップが存しない場合も、広いペアチップ検出
範囲を利用してペアチップの位置を高速に検出すること
が可能で、ダイボンディング装置に実施して大きな効果
がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の掃成のブロック図、第２図
は位置検出の一例を示す認識視野の図、第３図はペアチ
ップの位置を説明する図、第４図は従来装置による認識
視野の移動方向を示す図、第５図は認識視野の位置検出
を説明する図である。 １　・・・ペアチップ、　２　・・・テレビカメラ、３
・・・光電変換部、　４・・・画像記憶部、５　・・・
制御部、　６　・・・パターン認識処理部、　７・・・
Ｘ−Ｙテーブル、　８・・・ウェーハ、　９・・・２値
化回路、ｌｏ・・・輪郭線追跡部、１１・・・最大外接
矩形検出部、１２・・・中心位置情報部。 特許出願人　松下電器産業株式会社 第　２Ｂ！！ 第 図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 認識対象範囲に接する白または黒の領域の輪郭線を追跡
   する手段と、その追跡された輪郭線の周囲長が最も長い
   領域に外接する矩形を求める手段と、その外接矩形の認
   識対象範囲に接していないコーナ情報から、認識対象範
   囲の中心に位置する位置検出対象体の中心を検出する手
   段とを備えていることを特徴とする位置検出装置。