JP2717911B2 - 印刷回路用銅箔及びその製造方法 - Google Patents
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- Y10T428/12993—Surface feature [e.g., rough, mirror]
Description
の製造方法に関するものであり、特には銅箔と樹脂基板
との接着強度を高めるために銅箔の被接着面にクロム又
はタングステンの1種或いは2種を含有する多数の突起
状(粒状又は節こぶ状、以下単に突起状と記載する)銅
電着物からなる粗化処理層を形成した印刷回路用銅箔及
びその製造方法に関する。
材に高温高圧下で積層接着され、その後目的とする回路
を形成するべくレジストを用いて所定の回路パターンを
スクリーン印刷した後、不要部を除去するために塩化第
二銅溶液等のエッチング液を使用してエッチング処理が
施される。最終的に、所要の素子が半田付けされて、エ
レクトロニクスデバイス用の種々の印刷回路板を形成す
る。印刷配線板用銅箔に対する品質要求は、樹脂基材と
接着される被接着面(粗化面)と光沢面とで異なる。
ては、主として、 基材との引きはがし強さが高温加熱、湿式処理、半田
付け、薬品処理等の後でも充分なこと(剥離強度)、 保存時における酸化変色のないこと(防錆性)、 基材との積層、エッチング後に生じる所謂積層汚点の
ないこと(耐塩酸性) エッチングに際して粉落ちのないこと(粉落ち防止) 等が挙げられる。中でも、充分に高い引きはがし強度を
有することは被接着面の最も重要な基本的事項である。
に、銅箔の被接着面には、多数の突起状銅電着物からな
る粗化処理層が形成されている。電解銅箔に粗化処理が
施される場合には、生箔自体がすでに凸部を有してお
り、その凸部の頂上部付近に突起状銅電着物が多数電着
して凸部を更に増強することになる。
053号、特公昭53−39327号等に砒素、アンチ
モン、ビスマス、セレンまたはテルルを含む酸性銅電解
浴中で限界電流密度前後で電解することが記載されてい
る。実用的には、砒酸が電解浴に添加されることが多
い。これにより生箔の凸部に多数の突起状銅電着物が形
成され、それにより接着強度が高まり、粗化処理方法と
して有効である。
関与する場合、電解時に銅電着物中に砒素が数100p
pm取り込まれるため、銅箔の再生その他の処理時にま
たエッチング時に砒素が溶出したエッチング液の処分時
に存在する砒素が環境上また健康上重大な問題となる。
こうした毒性元素を含まない粗化処理法としてベンゾキ
ノリン類を微量添加した浴を使用する方法(特公昭56
−41196号)、モリブデン、バナジウム或いは両者
を添加した浴での処理(特公昭62−56677号、特
公昭62−56678号)、或いはパルスめっきでの粗
化処理(特開昭63−17597号、特開昭58−16
4797号)等が提唱されているが、剥離強度、粉落ち
その他の面でいまだ必ずしも充分ではない。
面について、環境問題を呈さず、しかも樹脂基板との間
で充分な接着強度を発現しそしてエッチングに際して粉
落ちを生じない粗化処理技術を確立することである。
向けての検討の結果、クロム又はタングステンイオンの
1種或いは2種を含有する銅電解浴を用いて銅箔の被接
着面に多数の突起状銅電着物からなる粗化処理層を形成
すると、デンドライト(樹枝状の結晶)の発生を抑制し
そして丸みを帯びた突起が良好に電着し、銅箔と樹脂基
板との接着強度を向上しそして粉落ちを回避するのに有
用であることを見出すに至った。この知見に基づいて、
本発明は、(1)銅箔の被接着面にクロム又はタングス
テンの1種或いは2種を含有する多数の突起状銅電着物
からなる粗化処理層を有することを特徴とする印刷回路
用銅箔を提供するものである。
処理層を形成することができ、この観点から、本発明は
(2)銅箔の被接着面にクロム又はタングステンの1種
或いは2種を含有する多数の突起状銅電着物からなる粗
化処理層と、該突起状銅電着物の脱落を防止するため該
粗化処理層を被覆する銅めっき層と、該銅めっき層を被
覆しそして銅、クロム、ニッケル、鉄、コバルト及び亜
鉛からなる群から選択される1種乃至2種以上の金属ま
たは合金からなるトリート層とを有することを特徴とす
る印刷回路用銅箔及び(3)銅箔の被接着面にクロム又
はタングステンの1種或いは2種を含有する多数の突起
状銅電着物からなる粗化処理層と、該突起状銅電着物の
脱落を防止するため該粗化処理層を被覆する銅めっき層
と、該銅めっき層を被覆しそして銅、クロム、ニッケ
ル、鉄、コバルト及び亜鉛からなる群から選択される1
種乃至2種以上の金属または合金からなるトリート層
と、該トリート層を被覆する防錆層とを有することを特
徴とする印刷回路用銅箔を提供する。
て(4)酸性銅電解浴において銅箔を陰極として限界電
流密度付近で電解して銅箔の被接着面に多数の突起状銅
電着物からなる粗化処理層を形成する印刷回路用銅箔の
製造方法において、電解浴中にクロム又はタングステン
イオンの1種或いは2種を0.001〜5g/l存在せ
しめることを特徴とする印刷回路用銅箔の製造方法及び
(5)形成された粗化処理層上に、銅めっき層を形成し
た後、銅、クロム、ニッケル、鉄、コバルト及び亜鉛か
らなる群から選択される1種乃至2種以上の金属または
合金からなるトリート層を電解により形成し、必要に応
じ更に防錆処理することを特徴とする上記の印刷回路用
銅箔の製造方法を提供する。
(又は)タングステンイオンを0.001〜5g/l存
在せしめて粗化処理層を構成することにより、突起状銅
電着物が微量のクロム及び(又は)タングステンを含有
し、また銅電着時の核発生を抑制してデンドライトの形
成を抑制しまた電着突起状粒子を丸めて、接着強度の向
上に有用となり、またエッチング時の粉落ちを防止す
る。クロム又はタングステンイオンが電解浴に存在しな
いと、限界電流付近で電解すると、銅電着物は樹枝状と
なり、接着強度を改善するよりむしろ損なうことにな
る。粉落ちが生じると、エッチング処理後銅の微粉が残
るため電気的特性を損なう危険がある。
対象としうるが、特には電解銅箔が対象とされる。電解
銅箔に固有に存在する多数の凸部を個々に更に増強する
のに有用である。従来のように砒素に代表される有毒元
素を含む銅電解浴を使用しての限界電流前後の電解によ
りこうした粗化処理層が効果的に形成されるが、砒素が
数100ppm粗化処理層にとり込まれるために環境及
び健康問題を呈したのである。
例を概略的に示す。生箔1の被接着面には電解銅箔であ
るために、その表面全体にわたって凸部2が分布してい
る。この生箔上に粗化処理が行なわれる。本発明に従う
粗化処理により、凸部2の頂上部付近を主体としてクロ
ム又はタングステンの1種或いは2種を含有する多数の
突起状銅電着物から構成される粗化処理層3が形成さ
れ、凸部を増強する。圧延銅箔のような平滑な銅箔に粗
化処理が施された場合には電着物自体が突起部を構成す
る。この後、多数の処理態様があるが、例えば突起状銅
電着物の脱落を防止するために薄い銅めっき層4が形成
され、そして後耐熱性その他の特性を付与するために
銅、クロム、ニッケル、鉄、コバルト及び亜鉛等の金属
乃至合金、例えば黄銅等のトリートめっき層5が形成さ
れ、最後にクロメート処理等に代表される防錆層6が形
成される。こうして処理された銅箔被接着面が樹脂基板
等に接着される。以下、各工程について詳述する。
条件は次の通りである: Cuイオン:5〜50g/l H2SO4:10〜100g/l クロム又はタングステンイオン:0.001〜5g/l 温度:室温〜50℃ Dk:5〜80A/dm2 時間:1〜30秒 銅電解浴中に存在させるクロム又はタングステンイオン
或いはその組合せの濃度は0.001〜5g/lが適当
であり、好ましくは0.01〜1g/lである。添加量
が0.001g/l未満では接着強度を増すのに充分な
効果はなく、他方5g/lを超えてもその効果に顕著な
向上はなくまた経済的負担が増大する。クロム又はタン
グステンの供給源として、ナトリウム塩、カリウム塩、
酸化物等の使用が可能である。例えば、無水クロム酸
(VI)やタングステン酸ナトリウム(2水塩)等が使
用される。
っき層を形成した後、銅、クロム、ニッケル、鉄、コバ
ルト及び亜鉛からなる群から選択される1種乃至2種以
上の金属層または合金層を形成するトリート処理を行う
ことが好ましい。例えば、特公昭62−56677号等
に記載されている公知の方法で粗化処理層の突起状銅電
着物の脱落を防止するために電着物を覆って薄い銅めっ
き層が被覆され、その上に銅、クロム、ニッケル、鉄、
コバルト或いは亜鉛の金属層、或いは銅−ニッケル、銅
−コバルト、銅−ニッケル−コバルト、銅−亜鉛等に代
表され得る合金層が形成されうる(例えば、特公昭56
−9028号、特開昭54−13971号、特開平2−
292894号、特開平2−292895号、特公昭5
1−35711号、特公昭54−6701号参照)。こ
うしたトリート処理層は銅箔の最終性状を決定するもの
としてまた障壁層としての役割を果たす。
めっきおよび無電解めっきいずれでも行いうるが、粗化
面片面にのみ被膜を形成するためには亜鉛電解操作によ
る方が便宜である。また、厚さの精確な制御、厚さの一
様性、付着層の緻密化等の観点からも電解操作が好まし
い。亜鉛電解操作は、硫酸亜鉛めっき浴や塩化亜鉛めっ
き浴に代表される酸性亜鉛めっき浴、シアン化亜鉛めっ
き浴のようなアルカリ性亜鉛めっき浴、あるいはピロリ
ン酸亜鉛めっき浴が使用しうるが、もっとも一般的に使
用される硫酸亜鉛浴で充分である。硫酸亜鉛浴を使用し
た場合の好ましい亜鉛電解条件は下記の通りである。 ZnSO4・7H2O:50〜350g/l pH(硫酸):2.5〜4.5 浴温度:40〜60℃ 陰 極:銅箔 陽 極:亜鉛または不溶性陽極 陰極電流密度:0.05〜0.4A/dm2 時 間:10〜30秒 亜鉛被覆量は、15〜1500μg/dm2とすること
が好ましく、特に好ましくは15〜400μg/dm2
である。亜鉛被覆量は、積層時の樹脂基板の種類によっ
て異なる。例えばフェノール樹脂基板用は、15〜60
μg/dm2とし、ガラスエポキシ樹脂基板用は60〜
1500μg/dm2、特に好ましくは60〜400μ
g/dm2とする。
理の電解液組成及び条件例を挙げておく: NaCN :10〜30g/l NaOH :40〜100g/l CuCN :60〜120g/l Zn(CN)2:1〜10g/l pH :10〜13 温度 :60〜80℃ Dk :1〜10A/dm2
面上に防錆層が形成される。公知の防錆処理の任意のも
のが適用可能である。クロメート処理液は現在使用され
ている様々の処理液いずれも使用しうるが、好ましいク
ロメート処理条件例を以下に示す: K2Cr2O7(或いはNa2Cr2O7、Cr
O3):0.2〜20g/l酸:りん酸あるいは硫酸、
有機酸 pH:1.0〜3.5 浴温度:20〜40℃ 電流密度:0.1〜0.5A/dm2 時間:10〜60秒 陽極:鉛板、Pt−Ti板、ステンレス鋼板 クロム酸化物付着量はクロム量として50μg/dm2
以下で充分であり、好ましくは15〜30μg/dm2
とされる。クロム量が30μg/dm2を超えると防錆
力は向上するがエッチング性が低下する。
解亜鉛・クロム処理による亜鉛及び/又は酸化亜鉛とク
ロム酸化物との混合皮膜処理を提唱し(特公昭58−7
077号)、多くの成果を挙げてきた。更に、特開平2
−294490号は、長期間高温多湿条件下での黒点発
生を防止することを目的として、浸漬クロメート処理に
よりクロム酸化物皮膜を形成し、続いて電解亜鉛・クロ
ム処理により亜鉛及び/又は酸化亜鉛とクロム酸化物と
の混合皮膜を形成することを開示する。
接着力の改善を主目的として、防錆層上にシランカップ
リング剤を塗布するシラン処理が施される。塗布方法
は、シランカップリング剤溶液のスプレーによる吹付
け、コーターでの塗布、浸漬、流しかけ等いずれでもよ
い。例えば、特公昭60−15654号は、銅箔の粗面
側にクロメート処理を施した後シランカップリング剤処
理を行なうことによって銅箔と樹脂基板との接着力を改
善することを記載している。詳細はこれを参照された
い。
光沢面を必要に応じ処理した後、粗化面に必要に応じて
接着剤を塗布して樹脂基板に加熱圧着することにより印
刷回路用銅張り積層板とされ、所定の加工操作を経た
後、印刷回路板として使用に供される。光沢面の処理方
法としては、クロメート処理を含む各種化成処理、銅と
のキレート化反応を利用した有機剤処理、銅より卑な金
属ないし合金の被覆処理等その面において要求される特
定水準に応じて適当なものが選ばれる。
する目的で焼鈍処理を施すこともある。
ン或いはその組合せを含有する銅電解浴で粗化した銅箔
は、その処理は均一であり、ムラもなく優秀な基板特性
を示した。即ち、銅箔とガラス布基材エポキシ樹脂で積
層板を作製した場合、良好な接着性及び耐熱性を示し、
デンドライトの発達を抑えた丸みのある銅電着物が形成
されるので、接着強度は高くまたエッチング後の基板の
電気的特性や粉落ちの問題がなく良好な性状を示した。
筆水クロム酸(VI)1g/lを含む水溶液を30℃で
電解浴として使用し、厚さ70μmの電解銅箔の被接着
面に電流密度20A/dm2で10秒間めっきした。こ
のようにして得られた銅箔を分析したところ、箔全体に
対するクロムの含有量は約1ppm(突起状銅電着物中
のCrの含有量は、約0.01wt%)であった。得ら
れた銅箔の粗化面の突起状銅電着物の電着状況を示す電
子顕微鏡写真を図2に示す。また、ガラス布基材エポキ
シ樹脂で加熱・加圧して銅張り積層板を作製し、引きは
がし強さ及び粉落ち特性を測定した。結果を表1に示
す。
タングステン酸ナトリウム(2水塩)0.02g/lを
含む水溶液を30℃で電解浴として使用し、厚さ70μ
mの電解銅箔の被接着面に電流密度10A/dm2で2
0秒間めっきした。このようにして得られた銅箔を分折
したところ、箔全体に対するタングステンの含有量は約
1ppm(突起状銅電着物中のWの含有量は、約0.0
1wt%)であった。得られた銅箔の粗化面の突起状銅
電着物の電着状況を示す電子顕微鏡写真を図3に示す。
また、ガラス布基材エポキシ樹脂で加熱・加圧して銅張
り積層板を作製し、引きはがし強さ及び粉落ち特性を測
定した。結果を表1に示す。
びに無水クロム酸(VI)0.1g/l及びタングステ
ン酸ナトリウム(2水塩)0.01g/lを含む水溶液
を30℃で電解浴として使用し、厚さ70μmの電解銅
箔の被接着面に電流密度20A/dm2で10秒間めっ
きした。このようにして得られた銅箔を分析したとこ
ろ、箔全体に対するクロム及びタングステンの含有量は
それぞれ約0.1ppm(突起状銅電着物中のCr及び
Wの含有量は、それぞれ約0.001及び0.002w
t%)であった。得られた銅箔の粗化面の突起状銅電着
物の電着状況を示す電子顕微鏡写真を図4に示す。ま
た、ガラス布基材エポキシ樹脂で加熱・加圧して銅張り
積層板を作製し、引きはがし強さ及び粉落ち特性を測定
した。結果を表1に示す。
/l及び硫酸100g/lを含む水溶液を30℃で電解
浴として使用し、厚さ70μmの電解銅箔の被接着面に
電流密度20A/dm2で10秒間めっきした。得られ
た銅箔の粗化面の突起状銅電着物の電着状況を示す電子
顕微鏡写真を図5に示す。また、ガラス布基材エポキシ
樹脂で加熱・加圧して銅張り積層板を作製し、引きはが
し強さ及び粉落ち特性を測定した。結果を表1に示す。
図5には、樹枝状電着物が観察される。
0g/l、硫酸100g/l及び砒酸3g/lを含む水
溶液を30℃で電解浴として使用し、厚さ70μmの電
解銅箔の被接着面に電流密度20A/dm2で10秒間
めっきした。このようにして得られた銅箔を分析したと
ころ、箔全体に対する砒素の含有量は約200ppm
(突起状銅電着物中のAsの含有量は、約1.2wt
%)であった。得られた銅箔の粗化面の突起状銅電着物
の電着状況を示す電子顕微鏡写真を図6に示す。また、
ガラス布基材エポキシ樹脂で加熱・加圧して銅張り積層
板を作製し、引きはがし強さ及び粉落ち特性を測定し
た。結果を表1に示す。
いはその組合せを含有する銅電解浴で粗化した銅箔は、
その処理は均一であり、ムラもなく優秀な基板特性を示
す。銅箔とガラス布基材基材エポキシ樹脂で積層板を作
製した場合、良好な接着性及び耐熱性を示し、デンドラ
イトの発達を抑えた丸みのある電着物が形成されるの
で、接着強度は向上しまたエッチング後の基板の電気的
特性や粉落ちの問題がない。
示す断面図である。
構造を示す電子顕微鏡写真である(倍率:3000
倍)。
構造を示す電子顕微鏡写真である(倍率:3000
倍)。
構造を示す電子顕微鏡写真である(倍率:3000
倍)。
構造を示す電子顕微鏡写真である(倍率:3000
倍)。
構造を示す電子顕微鏡写真である(倍率:3000
倍)。
Claims (5)
- 【請求項1】 銅箔の被接着面にクロム又はタングステ
ンの1種或いは2種を含有する多数の突起状銅電着物か
らなる粗化処理層を有することを特徴とする印刷回路用
銅箔。 - 【請求項2】 銅箔の被接着面にクロム又はタングステ
ンの1種或いは2種を含有する多数の突起状銅電着物か
らなる粗化処理層と、該突起状銅電着物の脱落を防止す
るため該粗化処理層を被覆する銅めっき層と、該銅めっ
き層を被覆しそして銅、クロム、ニッケル、鉄、コバル
ト及び亜鉛からなる群から選択される1種乃至2種以上
の金属または合金からなるトリート層とを有することを
特徴とする印刷回路用銅箔。 - 【請求項3】 銅箔の被接着面にクロム又はタングステ
ンの1種或いは2種を含有する多数の突起状銅電着物か
らなる粗化処理層と、該突起状銅電着物の脱落を防止す
るため該粗化処理層を被覆する銅めっき層と、該銅めっ
き層を被覆しそして銅、クロム、ニッケル、鉄、コバル
ト及び亜鉛からなる群から選択される1種乃至2種以上
の金属または合金からなるトリート層と、該トリート層
を被覆する防錆層とを有することを特徴とする印刷回路
用銅箔。 - 【請求項4】 酸性銅電解浴において銅箔を陰極として
限界電流密度付近で電解して銅箔の被接着面に多数の突
起状銅電着物からなる粗化処理層を形成する印刷回路用
銅箔の製造方法において、電解浴中にクロム又はタング
ステンイオンの1種或いは2種を0.001〜5g/l
存在せしめることを特徴とする印刷回路用銅箔の製造方
法。 - 【請求項5】 形成された粗化処理層上に、銅めっき層
を形成した後、銅、クロム、ニッケル、鉄、コバルト及
び亜鉛からなる群から選択される1種乃至2種以上の金
属または合金からなるトリート層を電解により形成し、
必要に応じ更に防錆処理することを特徴とする請求項4
の印刷回路用銅箔の製造方法。
Priority Applications (2)
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---|---|---|---|
JP4332220A JP2717911B2 (ja) | 1992-11-19 | 1992-11-19 | 印刷回路用銅箔及びその製造方法 |
US08/153,327 US5366814A (en) | 1992-11-19 | 1993-11-16 | Copper foil for printed circuits and process for producing the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4332220A JP2717911B2 (ja) | 1992-11-19 | 1992-11-19 | 印刷回路用銅箔及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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---|---|
US (1) | US5366814A (ja) |
JP (1) | JP2717911B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012039285A1 (ja) | 2010-09-24 | 2012-03-29 | Jx日鉱日石金属株式会社 | プリント配線板用銅箔の製造方法及びプリント配線板用銅箔 |
KR20160119875A (ko) | 2011-09-30 | 2016-10-14 | 제이엑스금속주식회사 | 수지와의 밀착성이 우수한 동박 및 그 제조 방법 그리고 그 전해 동박을 사용한 프린트 배선판 또는 전지용 부극재 |
Families Citing this family (74)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5482784A (en) * | 1993-12-24 | 1996-01-09 | Mitsui Mining And Smelting Co., Ltd. | Printed circuit inner-layer copper foil and process for producing the same |
JPH07314603A (ja) * | 1993-12-28 | 1995-12-05 | Nippon Denkai Kk | 銅張積層体、多層プリント回路板及びそれらの処理方法 |
TW289900B (ja) | 1994-04-22 | 1996-11-01 | Gould Electronics Inc | |
JPH11504073A (ja) * | 1995-04-17 | 1999-04-06 | ザ ボード オブ トラスティーズ オブ ザ ユニバーシティ オブ アーカンソー | 支持体を電気メッキする方法およびそれにより製造された製品 |
JP3155920B2 (ja) * | 1996-01-16 | 2001-04-16 | 三井金属鉱業株式会社 | プリント配線板用電解銅箔及びその製造方法 |
AU3426697A (en) | 1996-02-09 | 1997-08-28 | Board Of Supervisors Of Louisiana State University And Agricultural And Mechanical College, The | High aspect ratio, microstructure-covered, macroscopic surfaces |
US5681661A (en) * | 1996-02-09 | 1997-10-28 | Board Of Supervisors Of Louisiana State University And Agricultural And Mechanical College | High aspect ratio, microstructure-covered, macroscopic surfaces |
US5981084A (en) * | 1996-03-20 | 1999-11-09 | Metal Technology, Inc. | Electrolytic process for cleaning electrically conducting surfaces and product thereof |
US5958604A (en) * | 1996-03-20 | 1999-09-28 | Metal Technology, Inc. | Electrolytic process for cleaning and coating electrically conducting surfaces and product thereof |
US6117300A (en) * | 1996-05-01 | 2000-09-12 | Honeywell International Inc. | Method for forming conductive traces and printed circuits made thereby |
US6162503A (en) * | 1997-06-12 | 2000-12-19 | Macdermid, Incorporated | Process for improving the adhesion of polymeric materials to metal surfaces |
US6146701A (en) * | 1997-06-12 | 2000-11-14 | Macdermid, Incorporated | Process for improving the adhension of polymeric materials to metal surfaces |
US5908544A (en) * | 1997-09-04 | 1999-06-01 | Gould Electronics, Inc. | Zinc-chromium stabilizer containing a hydrogen inhibiting additive |
US5919379A (en) * | 1997-12-22 | 1999-07-06 | Foil Technology Development Corporation | Copper-foil having a protective layer and copper-clad laminates using same |
US6060666A (en) * | 1997-12-22 | 2000-05-09 | Foil Technology Development Corporation | Electrolytic layer applied to metallic foil to promote adhesion to a polymeric substrate |
JP3784528B2 (ja) * | 1998-03-05 | 2006-06-14 | 三菱伸銅株式会社 | 表面処理金属材料およびその製造方法 |
EP0943404A3 (en) * | 1998-03-17 | 2002-01-02 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Lubricating system for rotary die cutters |
US6224991B1 (en) * | 1999-09-13 | 2001-05-01 | Yates Foil Usa, Inc. | Process for electrodeposition of barrier layer over copper foil bonding treatment, products thereof and electrolyte useful in such process |
US6333120B1 (en) * | 1999-10-27 | 2001-12-25 | International Business Machines Corporation | Method for controlling the texture and microstructure of plated copper and plated structure |
US6803528B1 (en) * | 1999-11-05 | 2004-10-12 | 3M Innovative Properties Company | Multi-layer double-sided wiring board and method of fabricating the same |
US6497806B1 (en) * | 2000-04-25 | 2002-12-24 | Nippon Denkai, Ltd. | Method of producing a roughening-treated copper foil |
JP3670186B2 (ja) * | 2000-01-28 | 2005-07-13 | 三井金属鉱業株式会社 | プリント配線板用表面処理銅箔の製造方法 |
JP3670185B2 (ja) * | 2000-01-28 | 2005-07-13 | 三井金属鉱業株式会社 | プリント配線板用表面処理銅箔の製造方法 |
JP3661763B2 (ja) * | 2000-01-28 | 2005-06-22 | 三井金属鉱業株式会社 | プリント配線板用表面処理銅箔の製造方法 |
EP1261990A1 (de) * | 2000-02-07 | 2002-12-04 | CIS Solartechnik Gmbh | Flexibles metallisches substrat für cis-solarzellen und verfahren zu seiner herstellung |
US6489035B1 (en) * | 2000-02-08 | 2002-12-03 | Gould Electronics Inc. | Applying resistive layer onto copper |
US6489034B1 (en) * | 2000-02-08 | 2002-12-03 | Gould Electronics Inc. | Method of forming chromium coated copper for printed circuit boards |
WO2001077420A1 (fr) * | 2000-04-05 | 2001-10-18 | Nikko Materials Company, Limited | Forage de trou par laser dans une tôle de cuivre |
GB2361713B (en) * | 2000-04-14 | 2003-09-24 | Fukuda Metal Foil Powder | Method for surface treatment of copper foil |
JP3743702B2 (ja) * | 2000-04-28 | 2006-02-08 | 三井金属鉱業株式会社 | プリント配線板のセミアディティブ製造法 |
US6383272B1 (en) | 2000-06-08 | 2002-05-07 | Donald Ferrier | Process for improving the adhesion of polymeric materials to metal surfaces |
US6419784B1 (en) | 2000-06-21 | 2002-07-16 | Donald Ferrier | Process for improving the adhesion of polymeric materials to metal surfaces |
US6554948B1 (en) | 2000-08-22 | 2003-04-29 | Donald Ferrier | Process for improving the adhesion of polymeric materials to metal surfaces |
US6447929B1 (en) * | 2000-08-29 | 2002-09-10 | Gould Electronics Inc. | Thin copper on usable carrier and method of forming same |
US7026059B2 (en) * | 2000-09-22 | 2006-04-11 | Circuit Foil Japan Co., Ltd. | Copper foil for high-density ultrafine printed wiring boad |
US6622374B1 (en) | 2000-09-22 | 2003-09-23 | Gould Electronics Inc. | Resistor component with multiple layers of resistive material |
JP3709142B2 (ja) * | 2001-01-19 | 2005-10-19 | 福田金属箔粉工業株式会社 | プリント配線板用銅箔及びその製造方法 |
LU90804B1 (fr) * | 2001-07-18 | 2003-01-20 | Circuit Foil Luxembourg Trading Sarl | Process for manufacturing a composite foil suitable for manufacturing multi-layer printed circuit boards |
KR100442564B1 (ko) * | 2001-10-23 | 2004-07-30 | 엘지전선 주식회사 | 아연-코발트-비소 합금의 배리어층이 형성된 피씨비용전해동박 및 그 표면 처리방법 |
US6770976B2 (en) | 2002-02-13 | 2004-08-03 | Nikko Materials Usa, Inc. | Process for manufacturing copper foil on a metal carrier substrate |
CN1316066C (zh) * | 2002-06-04 | 2007-05-16 | 三井金属矿业株式会社 | 用于低介电基片的表面处理铜箔和包铜层压板和使用这些材料的印刷电路板 |
US7749611B2 (en) * | 2002-12-05 | 2010-07-06 | Gbc Metals, L.L.C. | Peel strength enhancement of copper laminates |
US20040175582A1 (en) * | 2002-12-05 | 2004-09-09 | Olin Corporation, A Corporation Of The Commonwealth Of Virginia | Laser ablation resistant copper foil |
JP4115293B2 (ja) * | 2003-02-17 | 2008-07-09 | 古河サーキットフォイル株式会社 | チップオンフィルム用銅箔 |
KR101065758B1 (ko) * | 2003-02-27 | 2011-09-19 | 후루카와 덴키 고교 가부시키가이샤 | 전자파 실드용 동박, 그 제조방법 및 전자파 실드체 |
JP3977790B2 (ja) * | 2003-09-01 | 2007-09-19 | 古河サーキットフォイル株式会社 | キャリア付き極薄銅箔の製造方法、及び該製造方法で製造された極薄銅箔、該極薄銅箔を使用したプリント配線板、多層プリント配線板、チップオンフィルム用配線基板 |
TWI263461B (en) * | 2003-12-26 | 2006-10-01 | Ind Tech Res Inst | Enhanced flexible copper foil structure and fabrication method thereof |
TWI282259B (en) * | 2004-01-30 | 2007-06-01 | Hitachi Chemical Co Ltd | Adhesion assisting agent-bearing metal foil, printed wiring board, and production method of printed wiring board |
JP2005317836A (ja) * | 2004-04-30 | 2005-11-10 | Nitto Denko Corp | 配線回路基板およびその製造方法 |
JP4298597B2 (ja) * | 2004-07-01 | 2009-07-22 | 日東電工株式会社 | 配線回路基板および配線回路基板の製造方法 |
MY143242A (en) * | 2004-11-10 | 2011-04-15 | Hitachi Chemical Co Ltd | Metal foil provided with adhesion auxiliary material and printed wiring board using same |
US7976956B2 (en) * | 2005-08-01 | 2011-07-12 | Furukawa Circuit Foil., Ltd. | Laminated circuit board |
US20070048507A1 (en) * | 2006-08-01 | 2007-03-01 | Furukawa Circuit Foil Co., Ltd. | Laminated circuit board |
US7700883B2 (en) * | 2007-04-20 | 2010-04-20 | (Kobe Steel, Ltd.) | Terminal for engaging type connector |
JP5255349B2 (ja) * | 2008-07-11 | 2013-08-07 | 三井金属鉱業株式会社 | 表面処理銅箔 |
CN102265711B (zh) * | 2008-12-26 | 2014-11-05 | 吉坤日矿日石金属株式会社 | 电子电路用的压延铜箔或电解铜箔及使用它们形成电子电路的方法 |
KR101412795B1 (ko) * | 2009-01-29 | 2014-06-27 | 제이엑스 닛코 닛세키 킨조쿠 가부시키가이샤 | 전자 회로용 압연 동박 또는 전해 동박 및 이들을 사용한 전자 회로의 형성 방법 |
JP5406278B2 (ja) * | 2009-03-27 | 2014-02-05 | Jx日鉱日石金属株式会社 | プリント配線板用銅箔及びその製造方法 |
JP5448616B2 (ja) * | 2009-07-14 | 2014-03-19 | 古河電気工業株式会社 | 抵抗層付銅箔、該銅箔の製造方法および積層基板 |
JP4927963B2 (ja) * | 2010-01-22 | 2012-05-09 | 古河電気工業株式会社 | 表面処理銅箔、その製造方法及び銅張積層基板 |
MY161040A (en) | 2010-05-07 | 2017-04-14 | Jx Nippon Mining & Metals Corp | Copper foil for printed circuit |
CN103125149B (zh) * | 2010-09-27 | 2016-09-14 | 吉坤日矿日石金属株式会社 | 印刷电路板用铜箔、其制造方法、印刷电路板用树脂基板以及印刷电路板 |
MY162358A (en) * | 2010-11-22 | 2017-06-15 | Mitsui Mining & Smelting Co | Surface-treated copper foil |
JP5746866B2 (ja) * | 2011-01-05 | 2015-07-08 | Jx日鉱日石金属株式会社 | 銅張積層板及びその製造方法 |
JP5654416B2 (ja) | 2011-06-07 | 2015-01-14 | Jx日鉱日石金属株式会社 | 液晶ポリマー銅張積層板及び当該積層板に用いる銅箔 |
US9115441B2 (en) * | 2011-10-18 | 2015-08-25 | Nan Ya Plastics Corporation | Process to manufacture surface fine grain copper foil with high peeling strength and environmental protection for printed circuit boards |
CN102807658B (zh) * | 2012-08-09 | 2014-06-11 | 广东生益科技股份有限公司 | 聚苯醚树脂组合物及使用其制作的半固化片与覆铜箔层压板 |
WO2014119583A1 (ja) * | 2013-01-29 | 2014-08-07 | 古河電気工業株式会社 | 電解銅箔、該電解銅箔を用いた電池用集電体、該集電体を用いた二次電池用電極、該電極を用いた二次電池 |
TWI462662B (zh) * | 2013-02-06 | 2014-11-21 | Nanya Plastics Corp | 複合式雙面黑色銅箔及其製造方法 |
KR20180003700A (ko) * | 2016-06-30 | 2018-01-10 | 일진머티리얼즈 주식회사 | 시인성이 향상된 표면처리동박 및 그의 제조방법 |
KR20180003706A (ko) * | 2016-06-30 | 2018-01-10 | 일진머티리얼즈 주식회사 | 후처리 후 에칭성이 우수한 표면처리동박 및 그 제조방법 |
US10820414B2 (en) * | 2016-12-05 | 2020-10-27 | Jx Nippon Mining & Metals Corporation | Surface treated copper foil, copper foil with carrier, laminate, method for manufacturing printed wiring board, and method for manufacturing electronic device |
WO2022153580A1 (ja) * | 2021-01-15 | 2022-07-21 | Jx金属株式会社 | 表面処理銅箔、銅張積層板及びプリント配線板 |
WO2023281759A1 (ja) * | 2021-07-09 | 2023-01-12 | Jx金属株式会社 | 表面処理銅箔、銅張積層板及びプリント配線板 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3322656A (en) | 1962-03-06 | 1967-05-30 | Pittsburgh Plate Glass Co | Metal surface of improved bonding quality |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US332656A (en) * | 1885-12-15 | Apparatus for pressing fluid metal | ||
BE788334A (fr) * | 1971-09-03 | 1973-03-05 | Westinghouse Electric Corp | Porte de transfert |
USRE30180E (en) * | 1971-10-08 | 1979-12-25 | Yates Industries, Inc. | Plural copper-layer treatment of copper foil and article made thereby |
JPS5438053A (en) * | 1977-08-29 | 1979-03-22 | Mitsubishi Electric Corp | Safety device for elevator cage |
JPS57184295A (en) * | 1981-05-08 | 1982-11-12 | Furukawa Circuit Foil | Copper foil for printed circuit and method of producing same |
JPS57193095A (en) * | 1981-05-25 | 1982-11-27 | Furukawa Circuit Foil | Copper foil for printed circuit and method of producing same |
JPS6113688A (ja) * | 1984-06-28 | 1986-01-21 | 福田金属箔粉工業株式会社 | 印刷回路用銅箔およびその製造方法 |
US4572768A (en) * | 1985-06-28 | 1986-02-25 | Square D Company | Treatment for copper foil |
-
1992
- 1992-11-19 JP JP4332220A patent/JP2717911B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1993
- 1993-11-16 US US08/153,327 patent/US5366814A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3322656A (en) | 1962-03-06 | 1967-05-30 | Pittsburgh Plate Glass Co | Metal surface of improved bonding quality |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
日本プリント回路工業会編 「プリント技術便覧」 (昭62−2−28) 日刊工業新聞社 P.253−266 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012039285A1 (ja) | 2010-09-24 | 2012-03-29 | Jx日鉱日石金属株式会社 | プリント配線板用銅箔の製造方法及びプリント配線板用銅箔 |
KR20160119875A (ko) | 2011-09-30 | 2016-10-14 | 제이엑스금속주식회사 | 수지와의 밀착성이 우수한 동박 및 그 제조 방법 그리고 그 전해 동박을 사용한 프린트 배선판 또는 전지용 부극재 |
KR20180026584A (ko) | 2011-09-30 | 2018-03-12 | 제이엑스금속주식회사 | 수지와의 밀착성이 우수한 동박 및 그 제조 방법 그리고 그 전해 동박을 사용한 프린트 배선판 또는 전지용 부극재 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH06169169A (ja) | 1994-06-14 |
US5366814A (en) | 1994-11-22 |
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