JP2023086799A - 光検出素子 - Google Patents
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Abstract
Description
1.実施の形態(撮像素子)…図1~図16
縦型TGと、Cu-Cu接合を用いた例
2.変形例(撮像素子)
変形例A:平面型TGを用いた例…図17
変形例B:TSVを用いた例…図18、図19
変形例C:パネル外縁でCu-Cu接合を用いた例…図20
変形例D:パネル外縁でTSVを用いた例…図21、図22
変形例E:センサ画素と読み出し回路との間にオフセットを
設けた例…図23~図27
変形例F:読み出し回路の設けられたシリコン基板が
島状となっている例:図28
変形例G:読み出し回路の設けられたシリコン基板が
島状となっている例:図29
変形例H:TGを下基板内の配線に接続した例…図30、図31
変形例I:FDを下基板内の配線に接続した例…図32~図39
変形例J:読み出し回路の形成後に中基板を下基板に
貼り合わせた例:図40A~図40F
変形例K:FDを4つのセンサ画素で共有した例:図41~図43
変形例L:下基板と中基板とを貼り合わせた箇所における絶縁層
において一部の比誘電率を他の箇所の比誘電率とは
異ならせた例:図44、図45
変形例M:読み出し回路を共有するセンサ画素の共有数を
2つにした例:図46、図47
変形例N:読み出し回路が1つのセンサ画素だけに
接続されている例:図48、図49
変形例O:第1基板と第2基板とでトランジスタの設計条件を
異ならせた例:図50
変形例P:第1基板と第2基板とをつなぐ配線の
バリエーション:図51~図63
変形例Q:カラム信号処理回路を一般的なカラムADC回路で
構成した例:図64
変形例R:撮像素子を、3つの基板を積層して構成した例:図65
変形例S:ロジック回路を第1基板、第2基板に設けた例:図66
変形例T:ロジック回路を第3基板に設けた例:図67
3.適用例
上記実施の形態およびその変形例に係る撮像素子を
撮像装置に適用した例…図68、図69
4.応用例
応用例1…上記実施の形態およびその変形例に係る撮像素子を
移動体に応用した例…図70、図71
応用例2…上記実施の形態およびその変形例に係る撮像素子を
手術システムに応用した例…図72、図73
[構成]
図1は、本開示の一実施の形態に係る撮像素子1の概略構成の一例を表したものである。撮像素子1は、3つの基板(第1基板10、第2基板20、第3基板30)を備えている。撮像素子1は、3つの基板(第1基板10、第2基板20、第3基板30)を貼り合わせて構成された3次元構造となっている。第1基板10、第2基板20および第3基板30は、この順に積層されている。
次に、撮像素子1の製造方法について説明する。図16A~図16Fは、撮像素子1の製造過程の一例を表したものである。
従来、2次元構造の撮像素子の1画素あたりの面積の微細化は、微細プロセスの導入と実装密度の向上によって実現されてきた。近年、撮像素子の更なる小型化および1画素あたりの面積の微細化を実現するため、3次元構造の撮像素子が開発されている。3次元構造の撮像素子では、例えば、複数のセンサ画素を有する半導体基板と、各センサ画素で得られた信号を処理する信号処理回路を有する半導体基板とが互いに積層されている。これにより、今までと同等のチップサイズで、センサ画素の集積度をより高くしたり、信号処理回路のサイズをより大きくしたりすることができる。
以下に、上記実施の形態に係る撮像素子1の変形例について説明する。なお、以下の変形例において、上記実施の形態と共通の構成に対しては、同一の符号が付与されている。
図17は、上記実施の形態に係る撮像素子1の垂直方向の断面構成の一変形例を表したものである。図17には、図7に記載の断面構成の一変形例が示されている。本変形例では、転送トランジスタTRが、平面型の転送ゲートTGを有している。そのため、転送ゲートTGは、ウェル層42を貫通しておらず、半導体基板11の表面だけに形成されている。転送トランジスタTRに平面型の転送ゲートTGが用いられる場合であっても、撮像素子1は、上記実施の形態と同様の効果を有する。
図18、図19は、上記実施の形態およびその変形例に係る撮像素子1の垂直方向の断面構成の一変形例を表したものである。図18には、図7に記載の断面構成の一変形例が示されている。図19には、図17に記載の断面構成の一変形例が示されている。本変形例では、第2基板20と第3基板30とを電気的に接続する構造として、パッド電極58,64同士の接合の代わりに、半導体基板31を貫通する貫通配線65が用いられている。つまり、第3基板30は、第2基板20と第3基板30との電気的接続に用いられる貫通配線65を有しており、第2基板20および第3基板30は、貫通配線65によって、互いに電気的に接続されている。つまり、転送トランジスタTRのゲート(転送ゲートTG)は、貫通配線48と、パッド電極58と、貫通配線65とを介して、ロジック回路32に電気的に接続されている。ここで、貫通配線65の総数は、第1基板10に含まれるセンサ画素12の総数よりも少ない。貫通配線65は、本開示の「第2貫通配線」の一具体例に相当する。
図20は、上記実施の形態に係る撮像素子1の垂直方向の断面構成の一変形例を表すものである。本変形例では、第2基板20と第3基板30との電気的な接続が、第1基板10における周辺領域14と対向する領域でなされている。周辺領域14は、第1基板10の額縁領域に相当しており、画素領域13の周縁に設けられている。本変形例では、第2基板20は、周辺領域14と対向する領域に、複数のパッド電極58を有しており、第3基板30は、周辺領域14と対向する領域に、複数のパッド電極64を有している。第2基板20および第3基板30は、周辺領域14と対向する領域に設けられたパッド電極58,64同士の接合によって、互いに電気的に接続されている。
図21、図22は、上記変形例Cに係る撮像素子1の垂直方向の断面構成の一変形例を表すものである。本変形例では、第2基板20と第3基板30との電気的な接続が、周辺領域14と対向する領域でなされている。
図23、図24は、上記実施の形態に係る撮像素子1の水平方向の断面構成の一変形例を表すものである。図23、図24の上側の図は、図7の断面Sec1での断面構成の一変形例であり、図23の下側の図は、図7の断面Sec2での断面構成の一変形例である。なお、図23、図24の上側の断面図では、図7の断面Sec1での断面構成の一変形例を表す図に、図7の半導体基板11の表面構成の一変形例を表す図が重ね合わされるとともに、絶縁層46が省略されている。また、図23、図24の下側の断面図では、図7の断面Sec2での断面構成の一変形例を表す図に、半導体基板21の表面構成の一変形例を表す図が重ね合わされている。
図28は、上記実施の形態に係る撮像素子1の水平方向の断面構成の一変形例を表すものである。図28には、図10の断面構成の一変形例が示されている。
図29は、上記実施の形態に係る撮像素子1の水平方向の断面構成の一変形例を表すものである。図29には、図28の断面構成の一変形例が示されている。
図30は、上記実施の形態およびその変形例に係る撮像素子1の垂直方向の断面構成の一変形例を表すものである。図30には、図7、図17~図24、図28、図29における第1基板10および第2基板20の接続箇所の断面構成の一変形例が拡大して示されている。
図32は、上記変形例Hに係る撮像素子1の垂直方向の断面構成の一変形例を表すものである。図32には、図30の断面構成の一変形例が示されている。
図40A~図40Fは、上記実施の形態およびその変形例に係る撮像素子1の製造過程の一変形例を表すものである。
図41は、上記実施の形態およびその変形例に係る撮像素子1の水平方向の断面構成の一例を表したものである。図41には、図10の断面構成の一変形例が示されている。
図44は、上記実施の形態およびその変形例に係る撮像素子1の垂直方向の断面構成の一例を表したものである。図44には、上記実施の形態およびその変形例に係る撮像素子1における第1基板10および第2基板20の接続箇所の拡大図が示されている。
図46、図47は、上記実施の形態およびその変形例に係る撮像素子1におけるセンサ画素12および読み出し回路22の一変形例を表したものである。図46には、図2に記載のセンサ画素12および読み出し回路22の一変形例が示されている。図47には、図3に記載のセンサ画素12および読み出し回路22の一変形例が示されている。本変形例では、第2基板20は、2つのセンサ画素12ごとに読み出し回路22を有している。このような構成にした場合であっても、撮像素子1は、上記実施の形態およびその変形例に記載の効果を有する。
図48、図49は、上記実施の形態およびその変形例に係る撮像素子1におけるセンサ画素12および読み出し回路22の一変形例を表したものである。図48には、図2に記載のセンサ画素12および読み出し回路22の一変形例が示されている。図49には、図3に記載のセンサ画素12および読み出し回路22の一変形例が示されている。本変形例では、第2基板20は、1つのセンサ画素12ごとに読み出し回路22を有している。このような構成にした場合であっても、撮像素子1は、上記実施の形態およびその変形例に記載の効果を有する。
図50は、上記実施の形態およびその変形例に係る撮像素子1の一部の断面構成例を表したものである。本変形例では、第1基板10内のトランジスタ(例えば、転送トランジスタTR)と、第2基板20内のトランジスタ(例えば、増幅トランジスタAMP)とが、互いに異なる設計条件で形成されている。具体的には、第1基板10内のトランジスタのゲート絶縁膜81の膜厚と、第2基板20内のトランジスタのゲート絶縁膜83の膜厚とが互いに異なっている。また、第1基板10内のトランジスタのサイドウォール幅と、第2基板20内のトランジスタのサイドウォール幅とが互いに異なっている。また、第1基板10内のトランジスタのソース/ドレイン濃度(例えば、フローティングディフュージョンFD濃度)と、第2基板20内のトランジスタのソース/ドレイン濃度とが互いに異なっている。また、第1基板10内のトランジスタを被覆する層82の膜厚と、第2基板20内のトランジスタを被覆する層84の膜厚とが互いに異なっている。
図51、図52は、上記変形例Iに係る撮像素子1の水平方向の断面構成の一変形例を表したものである。図51には、図33の断面構成の一変形例が示されている。図52には、図34の断面構成の一変形例が示されている。
図64は、上記実施の形態およびその変形例に係る撮像素子1の回路構成の一例を表したものである。本変形例に係る撮像素子1は、列並列ADC搭載のCMOSイメージセンサである。
図65は、図64の撮像素子1を3つの基板(第1基板10,第2基板20,第3基板30)を積層して構成した例を表す。本変形例では、第1基板10において、中央部分に、複数のセンサ画素12を含む画素領域13が形成されており、画素領域13の周囲に垂直駆動回路33が形成されている。また、第2基板20において、中央部分に、複数の読み出し回路22を含む読み出し回路領域15が形成されており、読み出し回路領域15の周囲に垂直駆動回路33が形成されている。第3基板30において、カラム信号処理回路34、水平駆動回路35、システム制御回路36、水平出力線37および参照電圧供給部38が形成されている。これにより、上記実施の形態およびその変形例と同様、基板同士を電気的に接続する構造に起因して、チップサイズが大きくなったり、1画素あたりの面積の微細化を阻害したりしてしまうことがない。その結果、今までと同等のチップサイズで、1画素あたりの面積の微細化を阻害することのない3層構造の撮像素子1を提供することができる。なお、垂直駆動回路33は、第1基板10のみに形成されても、第2基板20のみに形成されてもよい。
図66は、上記実施の形態およびその変形例に係る撮像素子1の断面構成の一変形例を表す。上記実施の形態およびその変形例では、撮像素子1は、3つの基板(第1基板10,第2基板20,第3基板30)を積層して構成されていた。しかし、上記実施の形態およびその変形例において、撮像素子1が、2つの基板(第1基板10,第2基板20)を積層して構成されていてもよい。このとき、ロジック回路32は、例えば、図66に示したように、第1基板10と、第2基板20とに分けて形成されている。ここで、ロジック回路32のうち、第1基板10側に設けられた回路32Aでは、高温プロセスに耐え得る材料(例えば、high-k)からなる高誘電率膜とメタルゲート電極とが積層されたゲート構造を有するトランジスタが設けられている。一方、第2基板20側に設けられた回路32Bでは、ソース電極およびドレイン電極と接する不純物拡散領域の表面に、CoSi2やNiSiなどのサリサイド (Self Aligned Silicide)プロセスを用いて形成されたシリサイドからなる低抵抗領域26が形成されている。シリサイドからなる低抵抗領域は、半導体基板の材料と金属との化合物で形成されている。これにより、センサ画素12を形成する際に、熱酸化などの高温プロセスを用いることができる。また、ロジック回路32のうち、第2基板20側に設けられた回路32Bにおいて、ソース電極およびドレイン電極と接する不純物拡散領域の表面に、シリサイドからなる低抵抗領域26を設けた場合には、接触抵抗を低減することができる。その結果、ロジック回路32での演算速度を高速化することができる。
上記実施の形態およびその変形例において、導電型が逆になっていてもよい。例えば、上記実施の形態およびその変形例の記載において、p型をn型に読み替えるとともに、n型をp型に読み替えてもよい。このようにした場合であっても、上記実施の形態およびその変形例と同様の効果を得ることができる。
図68は、上記実施の形態およびその変形例に係る撮像素子1(以下、単に「撮像素子1」と称する。)を備えた撮像装置2の概略構成の一例を表したものである。
[応用例1]
本開示に係る技術(本技術)は、様々な製品へ応用することができる。例えば、本開示に係る技術は、自動車、電気自動車、ハイブリッド電気自動車、自動二輪車、自転車、パーソナルモビリティ、飛行機、ドローン、船舶、ロボット等のいずれかの種類の移動体に搭載される装置として実現されてもよい。
図72は、本開示に係る技術(本技術)が適用され得る内視鏡手術システムの概略的な構成の一例を示す図である。
(1)
第1半導体基板に、光電変換を行うセンサ画素を有する第1基板と、
第2半導体基板に、前記センサ画素から出力された電荷に基づく画素信号を出力する読み出し回路を有する第2基板と、
第3半導体基板に、前記画素信号を処理するロジック回路を有する第3基板と
を備え、
前記第1基板、前記第2基板および前記第3基板は、この順に積層され、
前記第1基板および前記第2基板からなる積層体は、層間絶縁膜と、前記層間絶縁膜内に設けられた第1貫通配線とを有し、
前記第1基板および前記第2基板は、前記第1貫通配線によって互いに電気的に接続されており、
前記第2基板および前記第3基板は、前記第2基板および前記第3基板がそれぞれ、パッド電極を有する場合には前記パッド電極同士の接合によって、前記第3基板が前記第3半導体基板を貫通する第2貫通配線を有する場合には前記第2貫通配線によって、互いに電気的に接続されている
撮像素子。
(2)
前記センサ画素は、光電変換素子と、前記光電変換素子と電気的に接続された転送トランジスタと、前記転送トランジスタを介して前記光電変換素子から出力された電荷を一時的に保持するフローティングディフュージョンとを有し、
前記読み出し回路は、前記フローティングディフュージョンの電位を所定の電位にリセットするリセットトランジスタと、前記画素信号として、前記フローティングディフュージョンに保持された電荷のレベルに応じた電圧の信号を生成する増幅トランジスタと、前記増幅トランジスタからの前記画素信号の出力タイミングを制御する選択トランジスタとを有する
(1)に記載の撮像素子。
(3)
前記第1基板は、前記第1半導体基板の表面側の部分に、前記光電変換素子、前記転送トランジスタおよび前記フローティングディフュージョンが設けられた構成となっており、
前記第2基板は、前記第2半導体基板の表面側の部分に前記読み出し回路が設けられた構成となっており、かつ、前記第1半導体基板の表面側に前記第2半導体基板の裏面を向けて前記第1基板に貼り合わされており、
前記第3基板は、前記第3半導体基板の表面側の部分に前記ロジック回路が設けられた構成となっており、かつ、前記第2半導体基板の表面側に前記第3半導体基板の表面側を向けて前記第2基板に貼り合わされている
(1)または(2)に記載の撮像素子。
(4)
前記第2基板および前記第3基板がそれぞれ、前記パッド電極を有し、
前記第1貫通配線の断面積は、前記パッド電極同士の接続箇所の断面積よりも小さくなっている
(1)ないし(3)のいずれか1つに記載の撮像素子。
(5)
前記第3基板が前記第1貫通配線を有し、
前記第1貫通配線の断面積は、前記第2貫通配線の断面積よりも小さくなっている
(1)ないし(3)のいずれか1つに記載の撮像素子。
(6)
前記ロジック回路は、ソース電極またはドレイン電極と接する不純物拡散領域の表面に、シリサイドを含んで構成されている
(1)ないし(5)のいずれか1つに記載の撮像素子。
(7)
前記第1基板は、前記光電変換素子、前記転送トランジスタおよび前記フローティングディフュージョンを前記センサ画素ごとに有し、さらに、各前記センサ画素を分離する素子分離部を有し、
前記第2基板は、前記センサ画素ごとに前記読み出し回路を有する
(2)ないし(6)のいずれか1つに記載の撮像素子。
(8)
前記第1基板は、前記光電変換素子、前記転送トランジスタおよび前記フローティングディフュージョンを前記センサ画素ごとに有し、さらに、各前記センサ画素を分離する素子分離部を有し、
前記第2基板は、複数の前記センサ画素ごとに前記読み出し回路を有する
(2)ないし(6)のいずれか1つに記載の撮像素子。
(9)
前記第1基板は、前記光電変換素子および前記転送トランジスタを前記センサ画素ごとに有し、前記フローティングディフュージョンを複数の前記センサ画素ごとに共有し、さらに、前記光電変換素子および前記転送トランジスタを前記センサ画素ごとに分離する素子分離部を有し、
前記第2基板は、前記フローティングディフュージョンを共有する複数の前記センサ画素ごとに前記読み出し回路を有する
(2)ないし(6)のいずれか1つに記載の撮像素子。
(10)
前記素子分離部は、前記第1半導体基板を貫通している
(7)ないし(9)のいずれか1つに記載の撮像素子。
(11)
前記積層体は、前記センサ画素ごとに、少なくとも2つの前記第1貫通配線を有し、
1つ目の前記第1貫通配線は、前記転送トランジスタのゲートに電気的に接続され、
2つ目の前記第1貫通配線は、前記フローティングディフュージョンに電気的に接続されている
(8)または(9)に記載の撮像素子。
(12)
前記第2基板は、前記読み出し回路を共有する各前記フローティングディフュージョンに電気的に接続された各前記第1貫通配線を互いに電気的に接続する接続配線を更に有する
(11)に記載の撮像素子。
(13)
前記第1貫通配線の数は、前記第1基板に含まれる前記センサ画素の数よりも多く、
前記パッド電極同士の接合の数、もしくは、前記第2貫通配線の数は、前記第1基板に含まれる前記センサ画素の数よりも少ない
(12)に記載の撮像素子。
(14)
前記転送トランジスタのゲートは、前記第1貫通配線と、前記パッド電極もしくは前記第2貫通配線とを介して、前記ロジック回路に電気的に接続されている
(11)ないし(13)のいずれか1つに記載の撮像素子。
(15)
前記第1基板は、前記層間絶縁膜内に、前記第1基板と平行な方向に延在するゲート配線を更に有し、
前記転送トランジスタのゲートは、前記ゲート配線を介して、前記ロジック回路に電気的に接続されている
(8)または(9)に記載の撮像素子。
(16)
前記層間絶縁膜は、
前記第1半導体基板と前記第2半導体基板との間隙に設けられた第1絶縁層と、
前記第1貫通配線の側面を覆うように設けられた第2絶縁層と、
前記第2半導体基板と前記第3半導体基板との間隙に設けられた第3絶縁層と
を含み、
前記第2絶縁層が、前記第1絶縁層および前記第3絶縁層の比誘電率よりも小さな比誘電率の材料によって構成されている
(1)ないし(15)のいずれか1つに記載の撮像素子。
(17)
前記第1絶縁層は、少なくとも2つ絶縁層の積層体で構成され、
前記積層体の最上層である前記絶縁層が、前記層間絶縁膜の他の箇所の誘電率よりも大きな比誘電率の材料によって構成されている
(16)に記載の撮像素子。
(18)
前記第2基板は、4つの前記センサ画素ごとに前記読み出し回路を有し、
複数の前記第1貫通配線は、前記第1基板の面内において第1方向に帯状に並んで配置されている
(11)ないし(13)のいずれか1つに記載の撮像素子。
(19)
前記読み出し回路は、当該読み出し回路を共有する4つの前記センサ画素に対して、正対して配置されておらず、前記第1方向と直交する第2方向にずれて配置されている
(18)に記載の撮像素子。
(20)
各前記センサ画素は、前記第1方向と、前記第1方向と直交する第2方向とに、マトリクス状に配置され、
前記第2基板は、
前記第2方向に並んで配置された各前記センサ画素の転送トランジスタのゲートに電気的に接続された第1制御線と、
前記第2方向に並んで配置された各前記リセットトランジスタのゲートに電気的に接続された第2制御線と、
前記第2方向に並んで配置された各前記選択トランジスタのゲートに電気的に接続された第3制御線と、
前記第1方向に並んで配置された各前記読み出し回路の出力端に電気的に接続された出力線と
を更に有する
(18)または(19)に記載の撮像素子。
本開示の一実施の形態に係る第2の光検出素子は、少なくとも1つのセンサ画素を有する第1半導体基板を含む第1基板と、少なくとも1つのセンサ画素の画素信号を出力する第1回路を有する第2半導体基板を含む第2基板と、少なくとも1つのセンサ画素の画素信号を処理する第2回路を有する第3半導体基板を含む第3基板とを備えている。層間絶縁膜には、第1基板および第2基板を電気的に接続する複数の貫通配線が設けられている。第2基板には、第1電極が設けられ、第3基板には、第2電極が設けられている。第1電極および第2電極は互いに接合されており、これにより、第2基板および第3基板が互いに電気的に接続されている。断面視において、各貫通配線の幅は、第1電極および第2電極の少なくとも一方の幅よりも狭くなっている。貫通配線の総数は、第1基板に含まれるセンサ画素の総数よりも多くなっている。
本開示の一実施の形態に係る第3の光検出素子は、少なくとも1つのセンサ画素を有する第1半導体基板を含む第1基板と、少なくとも1つのセンサ画素の画素信号を出力する第1回路を有する第2半導体基板を含む第2基板と、少なくとも1つのセンサ画素の画素信号を処理する第2回路を有する第3半導体基板を含む第3基板とを備えている。第1基板および第2基板からなる積層体は、層間絶縁膜を有している。層間絶縁膜には、第1基板および第2基板を電気的に接続する少なくとも1つの貫通配線が設けられている。第2基板には、少なくとも1つの第1電極が設けられ、第3基板には、少なくとも1つの第2電極が設けられている。少なくとも1つの第1電極および少なくとも1つの第2電極は互いに接合されており、これにより、第2基板および第3基板が互いに電気的に接続されている。断面視において、少なくとも1つの貫通配線の幅は、少なくとも1つの第1電極および少なくとも1つの第2電極の少なくとも1つの幅よりも狭くなっている。少なくとも1つの第1電極および少なくとも1つの第2電極の接続総数は、第1基板に含まれるセンサ画素の総数よりも少なくなっている。
Claims (20)
- 第1半導体基板に、光電変換を行うセンサ画素を有する第1基板と、
第2半導体基板に、前記センサ画素から出力された電荷に基づく画素信号を出力する読み出し回路を有する第2基板と、
第3半導体基板に、前記画素信号を処理するロジック回路を有する第3基板と
を備え、
前記第1基板、前記第2基板および前記第3基板は、この順に積層され、
前記第1基板および前記第2基板からなる積層体は、層間絶縁膜と、前記層間絶縁膜内に設けられた第1貫通配線とを有し、
前記第1基板および前記第2基板は、前記第1貫通配線によって互いに電気的に接続されており、
前記第2基板および前記第3基板は、前記第2基板および前記第3基板がそれぞれ、パッド電極を有する場合には前記パッド電極同士の接合によって、前記第3基板が前記第3半導体基板を貫通する第2貫通配線を有する場合には前記第2貫通配線によって、互いに電気的に接続されている
撮像素子。 - 前記センサ画素は、光電変換素子と、前記光電変換素子と電気的に接続された転送トランジスタと、前記転送トランジスタを介して前記光電変換素子から出力された電荷を一時的に保持するフローティングディフュージョンとを有し、
前記読み出し回路は、前記フローティングディフュージョンの電位を所定の電位にリセットするリセットトランジスタと、前記画素信号として、前記フローティングディフュージョンに保持された電荷のレベルに応じた電圧の信号を生成する増幅トランジスタと、前記増幅トランジスタからの前記画素信号の出力タイミングを制御する選択トランジスタとを有する
請求項1に記載の撮像素子。 - 前記第1基板は、前記第1半導体基板の表面側の部分に、前記光電変換素子、前記転送トランジスタおよび前記フローティングディフュージョンが設けられた構成となっており、
前記第2基板は、前記第2半導体基板の表面側の部分に前記読み出し回路が設けられた構成となっており、かつ、前記第1半導体基板の表面側に前記第2半導体基板の裏面を向けて前記第1基板に貼り合わされており、
前記第3基板は、前記第3半導体基板の表面側の部分に前記ロジック回路が設けられた構成となっており、かつ、前記第2半導体基板の表面側に前記第3半導体基板の表面側を向けて前記第2基板に貼り合わされている
請求項2に記載の撮像素子。 - 前記第2基板および前記第3基板がそれぞれ、前記パッド電極を有し、
前記第1貫通配線の断面積は、前記パッド電極同士の接続箇所の断面積よりも小さくなっている
請求項3に記載の撮像素子。 - 前記第3基板が前記第1貫通配線を有し、
前記第1貫通配線の断面積は、前記第2貫通配線の断面積よりも小さくなっている
請求項3に記載の撮像素子。 - 前記ロジック回路は、ソース電極またはドレイン電極と接する不純物拡散領域の表面に、シリサイドを含んで構成されている
請求項1に記載の撮像素子。 - 前記第1基板は、前記光電変換素子、前記転送トランジスタおよび前記フローティングディフュージョンを前記センサ画素ごとに有し、さらに、各前記センサ画素を分離する素子分離部を有し、
前記第2基板は、前記センサ画素ごとに前記読み出し回路を有する
請求項2に記載の撮像素子。 - 前記第1基板は、前記光電変換素子、前記転送トランジスタおよび前記フローティングディフュージョンを前記センサ画素ごとに有し、さらに、各前記センサ画素を分離する素子分離部を有し、
前記第2基板は、複数の前記センサ画素ごとに前記読み出し回路を有する
請求項2に記載の撮像素子。 - 前記第1基板は、前記光電変換素子および前記転送トランジスタを前記センサ画素ごとに有し、前記フローティングディフュージョンを複数の前記センサ画素ごとに共有し、さらに、前記光電変換素子および前記転送トランジスタを前記センサ画素ごとに分離する素子分離部を有し、
前記第2基板は、前記フローティングディフュージョンを共有する複数の前記センサ画素ごとに前記読み出し回路を有する
請求項2に記載の撮像素子。 - 前記素子分離部は、前記第1半導体基板を貫通している
請求項8に記載の撮像素子。 - 前記積層体は、前記センサ画素ごとに、少なくとも2つの前記第1貫通配線を有し、
1つ目の前記第1貫通配線は、前記転送トランジスタのゲートに電気的に接続され、
2つ目の前記第1貫通配線は、前記フローティングディフュージョンに電気的に接続されている
請求項8に記載の撮像素子。 - 前記第2基板は、前記読み出し回路を共有する各前記フローティングディフュージョンに電気的に接続された各前記第1貫通配線を互いに電気的に接続する接続配線を更に有する
請求項11に記載の撮像素子。 - 前記第1貫通配線の数は、前記第1基板に含まれる前記センサ画素の数よりも多く、
前記パッド電極同士の接合の数、もしくは、前記第2貫通配線の数は、前記第1基板に含まれる前記センサ画素の数よりも少ない
請求項12に記載の撮像素子。 - 前記転送トランジスタのゲートは、前記第1貫通配線と、前記パッド電極もしくは前記第2貫通配線とを介して、前記ロジック回路に電気的に接続されている
請求項11に記載の撮像素子。 - 前記第1基板は、前記層間絶縁膜内に、前記第1基板と平行な方向に延在するゲート配線を更に有し、
前記転送トランジスタのゲートは、前記ゲート配線を介して、前記ロジック回路に電気的に接続されている
請求項8に記載の撮像素子。 - 前記層間絶縁膜は、
前記第1半導体基板と前記第2半導体基板との間隙に設けられた第1絶縁層と、
前記第1貫通配線の側面を覆うように設けられた第2絶縁層と、
前記第2半導体基板と前記第3半導体基板との間隙に設けられた第3絶縁層と
を含み、
前記第2絶縁層が、前記第1絶縁層および前記第3絶縁層の比誘電率よりも小さな比誘電率の材料によって構成されている
請求項1に記載の撮像素子。 - 前記第1絶縁層は、少なくとも2つ絶縁層の積層体で構成され、
前記積層体の最上層である前記絶縁層が、前記層間絶縁膜の他の箇所の誘電率よりも大きな比誘電率の材料によって構成されている
請求項16に記載の撮像素子。 - 前記第2基板は、4つの前記センサ画素ごとに前記読み出し回路を有し、
複数の前記第1貫通配線は、前記第1基板の面内において第1方向に帯状に並んで配置されている
請求項11に記載の撮像素子。 - 前記読み出し回路は、当該読み出し回路を共有する4つの前記センサ画素に対して、正対して配置されておらず、前記第1方向と直交する第2方向にずれて配置されている
請求項18に記載の撮像素子。 - 各前記センサ画素は、前記第1方向と、前記第1方向と直交する第2方向とに、マトリクス状に配置され、
前記第2基板は、
前記第2方向に並んで配置された各前記センサ画素の転送トランジスタのゲートに電気的に接続された第1制御線と、
前記第2方向に並んで配置された各前記リセットトランジスタのゲートに電気的に接続された第2制御線と、
前記第2方向に並んで配置された各前記選択トランジスタのゲートに電気的に接続された第3制御線と、
前記第1方向に並んで配置された各前記読み出し回路の出力端に電気的に接続された出力線と
を更に有する
請求項18に記載の撮像素子。
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