JP2022058271A - 貯蔵環境検出手段を備えた基板貯蔵装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】極端紫外線（ＥＵＶ）リソグラフィーにおいて、貯蔵環境検出手段を備えるとともにクリーニングガスまたは乾燥ガスによって引き起こされる損傷の恐れを効果的に減少させることができる基板貯蔵装置を提供する。【解決手段】本発明は、外側ポッド（2）に取り外し可能に結合する検出器具（4）を備えた基板貯蔵装置を開示する。検出器具は、検知部材（41）を有し、検知部材は、検知端子、空所およびセンサ（412）を有する。検知端子は、この検知端子が外側ポッドの内側の収容空間内に露出するよう外側ポッドに取り外し可能に結合する。センサを受け入れる空所は、外側ポッドおよび収容空間の外側まで延びている。空所は、検知端子を通って収容空間と連通し、センサは、収容空間に関する情報を読み取ることができる。【選択図】図６Ｂ

Description

本発明は、基板貯蔵装置に関し、特に内部貯蔵環境検出手段を備えた基板貯蔵装置および貯蔵環境検出手段を基板貯蔵装置に連結する方法に関する。
現行の極端紫外線（ＥＵＶ）リソグラフィーでは、関与するシールドには専用ＥＵＶシールドパッケージによる保護が必要である。図１は、かかるＥＵＶフィールドを貯蔵するためのシールドパッケージを示している。シールドパッケージは、外側ポッド（１００）および内側ポッド（１１０）によって画定された内側層および外側層収容空間を有する。外側ポッド（１００）は、カバー（１０１）および基部（１０２）を有し、これら２つは、内側ポッド（１１０）を収容するための収容空間を画定するよう互いに接合されている。内側ポッド（１１０）は、シールド（１２０）を収容するよう封止効果を提供する収容空間を画定するために特別の手段によって互いに接合されたカバー（１１１）と基部（１０２）を有する。
既知のクリーニングプロセスでは、内側ポッド（１１０）を収容している外側ポッド（１００）を処理のためにクリーニング装置に送り込み、クリーニング液体または気体を外側ポッド（１００）内の収容空間中に導入して外側ポッド（１００）の内側および内側ポッド（１１０）の外側をクリーニングし、乾燥ガスを外側ポッド（１００）中に導入して残留液および水分が残っていればこれを乾燥させる。内側ポッド（１００）に付着している残留水分があれば、これは、シールドの清浄レベルに悪影響を与える場合がある。かくして、クリーニングプロセスのモニタリングは、重要な作業になっている。外側ポッド（１００）は、貯蔵状態にあるとき、すなわち、カバー（１０１）と基部（１０２）が相互に接合されている場合、電子装置を介する測定によっては内部貯蔵環境の環境情報、例えば湿度を得ることができない。たとえセンサが外側ポッド（１００）の内側に設けられている場合であっても、クリーニング液または乾燥ガスは、電気センサの損傷の恐れを増大させる。極端に高い清浄度を必要とするウェーハ貯蔵装置もまた、同じ問題に出くわす場合がある。
クリーニングプロセス中における基板貯蔵装置のモニタリングの限界を考慮して、貯蔵環境検出手段を備えるとともにクリーニングガスまたは乾燥ガスによって引き起こされる損傷の恐れを効果的に減少させることができる基板貯蔵装置の開発が要望されている。
本発明の目的は、内側ポッドを収容する外側ポッドおよび外側ポッドに取り外し可能に連結された検出器具を有する基板貯蔵装置を提供することにある。内側ポッドは、基板を収容するために用いられる。検出器具は、検知端子、空所およびセンサを備えた検知部材を有する。検知部材は、検知端子が外側ポッドの内側に設けられた収容空間内に露出されるよう外側ポッドに取り外し可能に連結され、空所は、外側ポッドの外側と収容空間との間に延びるとともにセンサを収容し、空所は、検知端子を介して外側ポッドの収容空間と流れ連通しており、それにより、センサは、収容空間に関連した情報を読み取ることができる。
特定の実施形態では、検知部材の検知端子は、通風部品を有し、通風部品を通って検知部材の空所と外側ポッドの収容空間が流れ連通関係をなすことができる。
特定の実施形態では、検知部材は、接続端子をさらに有する。接続端子は、外側ポッドの外側上に露出され、接続端子は、センサに電気的に結合されるとともに検知信号を送信するよう用いられる第１のコネクタを備えている。
特定の実施形態では、第１のコネクタは、検知部材の接続端子から外側まで延びている。
特定の実施形態では、検知部材は、外側シェルおよび内側シェルを有する。外側シェルおよび内側シェルは、空所に相互に取り外し可能に連結されるとともに空所を画定する。外側シェルは、外側ポッドの外部上に露出された接続端子を備え、内側シェルは、外側ポッドの収容空間内に露出された検知端子を備えている。
特定の実施形態では、外側シェルの内面が内側シェルの外面に連結され、内側シェルは、前記外側ポッドの前記外側と前記収容空間との間に延びている。
特定の実施形態では、外側シェルの外面が内側シェルの内面に連結され、外側シェルは、外側ポッドの外側と収容空間との間に延びている。
特定の実施形態では、外側シェルと内側シェルは、相互に回転可能にかつ取り外し可能に連結されている。
特定の実施形態では、外側シェルおよび内側シェルは、外側ポッドの壁に固定され、壁は、外側シェルと内側シェルとの間にサンドイッチされている。
特定の実施形態では、検出器具は、嵌合端子およびハウジングを備えた嵌合部材をさらに有する。嵌合端子は、ハウジングから延びかつ検知部材の外側シェルに取り外し可能に連結されている。ハウジングは、回路部品を収容し、回路部品は、嵌合端子を介して第１のコネクタに電気的に結合されている。
特定の実施形態では、嵌合端子は、第２のコネクタを備える。第２のコネクタは、検知信号を受信するよう第１のコネクタに構造的に合致しかつ第１のコネクタに電気的に接続されている。
特定の実施形態では、第１のコネクタは、検知部材の接続端子から外側まで取り付け方向に延び、第２のコネクタは、取り付け方向において第１のコネクタに取り外し可能に連結され、その結果、嵌合部材の嵌合端子は、検知部材の外側シェルに取り外し可能に連結されるようになっている。
特定の実施形態では、嵌合端子は、弓形部材を有する。弓形部材は、センサの外側シェルに取り外し可能に係合し、その結果、嵌合部材は、検知部材に連結されるようになっている。
特定の実施形態では、嵌合部材は、連結アームをさらに有する。嵌合部材が検知部材に連結されると、連結アームの自由端子が外側ポッドに固定的に連結され、それにより、嵌合部材と検知部材の連結が安定化される。
特定の実施形態では、回路部品は、処理ユニット、ディスプレイモジュールおよびワイヤレス通信モジュールを含む。ワイヤレス通信モジュールは、検知信号を送信する。
本発明のもう一つの目的は、検出器具を基板貯蔵装置に取り付ける方法を提供することにある。本方法は、検知部材を用意するステップを含み、検知部材は、検知端子、空所、センサおよび接続端子を有し、空所は、センサを収容し、接続端子は、第１のコネクタを備え、本方法は、検知部材を外側ポッドに取り外し可能に連結して検知端子が外側ポッドの収容空間内に露出されるようにするステップをさらに含み、空所は、外側ポッドの外側と収容空間との間に延び、空所は、検知端子を介して外側ポッドの収容空間と流れ連通状態にあり、本方法は、さらに、第１のコネクタを取り付け方向において外側ポッドの外側まで伸長させるステップを含む。
特定の実施形態では、本方法は、嵌合部材を用意するステップをさらに含み、嵌合部材は、嵌合端子およびハウジングを有し、嵌合端子は、ハウジングから延び、嵌合端子は、第２のコネクタを備え、ハウジングは、回路部品を収容し、本方法は、嵌合部材を取り付け方向において検知部材に接合して嵌合部材の嵌合端子が検知部材の接続端子に接続されるとともに第１のコネクタが第２のコネクタに電気的に接続されるようにするステップをさらに含む。
特定の実施形態では、嵌合部材を取り付け方向において検知部材に接合するステップは、連結アーム付きの嵌合部材を用意するステップおよび連結アームの自由端子を外側ポッドに固定的に連結し、それにより嵌合部材と検知部材の接続を安定化するステップをさらに含む。
特定の実施形態では、検知部材を外側ポッドに取り外し可能に連結するステップは、検知部材の内側シェルを外側ポッドの壁に固定的に連結するステップおよび検知部材の外側シェルを内側シェルに固定するステップをさらに含み、内側シェルは、検知端子を備え、外側シェルは、接続端子を備えている。
特定の実施形態では、検知部材を外側ポッドに取り外し可能に連結するステップは、外側ポッドの壁を検知部材の外側シェルと内側シェルとの間にサンドイッチするステップをさらに含み、内側シェルは、検知端子を備え、外側シェルは、接続端子を備えている。
本発明の別の目的は、収容空間の情報を読み取るための基板貯蔵装置用検出器具を提供することにある。検出器具は、検知端子、接続端子および検知端子と接続端子との間に延びる空所を備えた検知部材を有し、空所は、センサを収容し、空所は、接続端子を介して検知部材の外側と流れ連通状態にあり、検出器具は、嵌合端子および回路部品を備えた嵌合部材をさらに有し、嵌合端子は、検知部材に取り外し可能に連結されるとともにセンサに電気的に接続され、回路部品は、嵌合端子を通ってセンサに電気的に接続されている。
特定の実施形態では、検知部材の接続端子は、第１のコネクタを備え、嵌合部材の嵌合端子は、第２のコネクタを備え、検知部材と嵌合部材は、第１のコネクタと第２のコネクタが取り外し可能に電気的に接続されるよう取り付け方向において取り外し可能に連結されている。
特定の実施形態では、嵌合部材の嵌合端子は、弓形部材を有する。弓形部材は、検知部材に取り外し可能に係合している。
特定の実施形態では、検知部材は、基板貯蔵装置の取り付け穴に取り外し可能に合致するとともに取り付け穴に連結されるよう構成され、嵌合部材は、少なくとも１本の連結アームを有し、連結アームは、基板貯蔵装置のリブに係合するよう構成されている。
特定の実施形態では、回路部品は、処理ユニット、ディスプレイモジュールおよびワイヤレス通信モジュールを含む。
本発明を良好に理解するため、以下において図面および本文説明を参照する。非限定的かつ非網羅的な実施形態について以下、図面を参照して説明する。注目されるべきこととして、図中の部品は、必ずしもこれらの実際のサイズに合わせて描かれているわけではなく、構造および原理の説明に焦点を当てるよう記載されている。
既知の基板貯蔵装置（シールドパッケージ）を示す分解組立図である。 本発明の基板貯蔵装置を示す立体図である。 図２の平面図である。 本発明の検出器具が離脱されまたは取り外された状態を示す図である。 本発明の基板貯蔵装置の概略ブロック図である。 本発明の第１の実施形態に係る断面図であり、組み付け状態の検出器具を示す図である。 本発明の第１の実施形態に係る断面図であり、検出器具の分解組み立て状態を示す図である。 本発明の第１の実施形態に係る検出器具の側面図である。 本発明の第１の実施形態に係る検出器具の平面図である。 本発明の第１の実施形態に係る検出器具の底面図である。 本発明の第１の実施形態に係る検出器具の分解組立図である。 本発明の第２の実施形態に係る断面図であり、組み付け状態の組み立て器具を示す図である。 本発明の第２の実施形態に係る断面図であり、検出器具の分解組み立て状態を示す図である。 本発明の第２の実施形態に係る検出器具の側面図である。 本発明の第２の実施形態に係る検出器具の平面図である。 本発明の第２の実施形態に係る検出器具の底面図である。 本発明の第２の実施形態に係る検出器具の分解組立図である。 本発明の第２の実施形態に係る検出器具の取り付け方向を示す図である。
本発明をより良く説明するため、以下の添付の図面を参照して特定の実施例および実施形態を説明する。しかしながら、本願の要旨は、種々の互いに異なる形態で具体的に実施でき、本願の要旨の及ぶ構成またはかかる要旨によって提供される構成は、本願の説明と明細書に開示される任意の例示の特定の実施形態には限定されず、例示の特定の実施形態は、説明上のものに過ぎないことが理解されるべきである。同様に、本発明は、適用されまたは有効範囲とされる要旨の妥当なかつ広い範囲を提供することを目的とする。
本願明細書で用いられる「一実施形態では」という表現は、必ずしも同一の特定の実施形態を指してはおらず、本願の明細書で用いられる「他の（幾つかの／ある特定）の実施形態では」という表現は、必ずしも、異なる特定の実施形態を指しているわけではない。上記目的は、例えば、開示された要旨による例示の特定の実施形態の全てまたは一部の組み合わせを含むものである。
図２は、本発明の基板貯蔵装置を示す立体図であり、この基板貯蔵装置は、外側ポッド（２）および検出器具（４）を有する。基本的に図１の外側ポッド（１００）とほぼ同じ外側ポッド（２）は、カバーおよび基部を有し、この外側カバーは、内側ポッド（図示せず）または別の基板キャリヤを貯蔵する収容空間を備えている。検出器具（４）は、図面に示されているように、外側ポッド（２）、例えば外側ポッドのカバーの側壁に取り外し可能に連結されているが、本発明は、これには限定されない。検出器具（４）は、ディスプレイモジュール（例えば、ディスプレイパネル）を備えるのが良く、この検出器具は、外側ポッド（２）の内部の環境情報、例えば湿度および温度を表示するために用いられる。
図３は、基板貯蔵装置の平面図およびその部分拡大図である。図４は、検出器具（４）の一部分が外側ポッド（２）とは別体であることを示している。凹部（２１）が外側ポッド（２）の側壁に設けられ、この凹部は、外側の近くに位置する側壁および内側の近くに位置する側壁によって画定されている。凹部（２１）は、取り付けスペースを提供し、それにより検出器具（４）および外側ポッド（２）に向上した適合性が与えられる。検出器具（４）は、検知部材（４１）および嵌合部材（４２）を有する。図４に示されているように、検知部材（４１）は、外側ポッド（２）の壁（２２）に取り外し可能に装着されている。嵌合部材（４２）の内部は、検知部材（４１）に取り外し可能に連結されている。嵌合部材（４２）は、少なくとも１本の連結アーム（４３）を有し、この連結アームの自由端子は、外側ポッド（２）に設けられた対応のリブ（２３）に取り外し可能に連結されている。連結アーム（４３）の自由端子は、固定構造体を備え、リブ（２３）は、外側ポッド（２）の側壁と一平面との間に延びている。連結アーム（４３）の自由端子の固定構造体およびリブ（２３）は、互いに嵌合形態にあり、その結果、連結アーム（４３）は、リブ（２３）に安定的に係合することができるようにされており、しかも嵌合部材（４２）が外側ポッド（２）に対して揺れ動くのを阻止するようになっている。図３の部分拡大図に示されているように、連結アーム（４３）の固定部分は、フックとほぼ同じような構造になっているのが良い。図面に示されているように、この実施形態では、２つのリブ（２３）は、それぞれ、凹部（２１）の２つの側部に設けられ、嵌合部材（４２）は、これら２つの側部に対称的に配置された２本の連結アーム（４３）を有する。かくして、嵌合部材（４２）が外側ポッド（２）に連結された場合、連結アーム（４３）は、それぞれそれに対応してリブ（２３）に結合する。しかしながら、本発明は、上記実施例には限定されない。
図４は、本発明の基板貯蔵装置の略図である。外側ポッド（２）に組み付けられた検知部材（４１）の一部分は、外側ポッド（２）の内部環境内に露出され、他の部分は、外側ポッド（２）の外側上に露出された状態で嵌合部材（４２）に連結されている。図示されていないが、外側ポッド（２）の底部は、ポッド内の環境をクリーニングして乾燥させるためのガス（５）を導入する吸気手段（例えば、吸気弁）を備えるのが良い。
検知部材（４１）は、通風部品（４１１）、センサ（４１２）およびコネクタ（４１３）を有し、これらは、順次、外側ポッド（２）の内側から外側に配置されている。通風部品（４１１）は、導入されたガスがセンサ（４１２）を損傷させるのを効果的に阻止するが、ポッド内の収容空間と検知部材（４１）内の収容空間の連通を依然として可能にする。センサ（４１２）は、ポッド内の収容空間の環境情報、例示として、例えば湿度、温度および濃度の数値（これらには限定されない）を読み取るために用いられる。コネクタ（４１３）は、センサ（４１２）の信号を嵌合部材（４２）の処理ユニット（４２１）に送信する役割を果たす。コネクタ（４１３）は、検知部材（４１）および嵌合部材（４２）の接合手段に合わせて設計されるのが良い。コネクタ（４１３）は、検知部材（４１）内に設けられるようには限定されず、コネクタ（４１３）は、検知部材（４１）と嵌合部材（４２）との連結インターフェース上に配置されても良い。
嵌合部材（４２）は、回路部品を有し、この回路部品は、主としてセンサ（４１２）の読みを処理するとともにディスプレイモジュールまたはワイヤレス通信モジュール（４２２）によって読みを提供するために用いられる処理ユニット（４２１）を含むのが良いが、本発明は、上記実施例には限定されない。嵌合部材（４２）中のディスプレイモジュールまたはワイヤレス通信モジュールを用いて、オペレータは、外側ポッド（２）を開く必要なく、ポッド内の環境と関連したデータおよび情報を知ることができる。考えられる実施形態では、互いに電気的に接続されていることを除いては、検知部材（４１）と嵌合部材（４２）は、必ずしも、相互に接合されているわけではない。検知部材（４１）および嵌合部材（４２）はまた、これら相互間におけるワイヤレスツールによりメッセージを交換することができる。
図６Ａおよび図６Ｂは、本発明の第１の実施形態による断面図であり、それぞれ、組み付け状態の検出器具（４）および検出器具（４）の分解組み立て状態を示している。図７Ａ～図７Ｃは、それぞれ、本発明の第１の実施形態に係る検出器具（４）の側面図、平面図および底面図である。図８は、本発明の第１の実施形態に係る検出器具（４）の立体分解組立図である。
取り付け穴（２４）が外側ポッド（２）の壁（２２）に形成されている。検出器具（４）が取り付け穴（２４）を通って組み立てられて壁（２２）に装着されると、検知部材（４１）の１つの端子は、外側ポッド（２）内の収容空間内に露出されてこの中に収容されている内側ポッド（６）に向く。検知部材（４１）は、検知端子および接続端子を有する。検知端子は、外側ポッド（２）の内側の収容空間内に露出され、接続端子は、外側ポッド（２）の外側上に露出されている。検知端子は、主として、内側シェル（４１０）、通風部品（４１１）およびセンサ（４１２）を有する。内側シェル（４１０）は、基本的に、樽の形をしており、内側シェル（４１０）の外面は、ねじ山およびフランジを備えている。内側シェル（４１０）が取り付け穴（２４）内に収容されると、内側シェル（４１１）のフランジは、壁（２２）の内面に圧接し、ねじ山を備えた外面は、取り付け穴（２４）を通って外側ポッド（２）の外側上に露出される。センサ（４１２）は、内側シェル（４１０）によって画定された空所内に収容され、空所は、外側ポッド（２）の外側および内側まで延びるのが良い。通風部品（４１１）は、通気穴を有するカバーであり、この通風部品は、内側シェル（４１０）の内端部に接合されるのが良い。通気性のある物質（符号では示されていない）が内側シェル（４１０）と通風部品（４１１）との間に配置されている。
接続端子は、外側シェル（４１４）を有し、外側シェル（４１４）は、ねじ山が形成されている内面を有し、その結果、外側シェル（４１４）の内面と内側シェル（４１０）の外面は、互いに取り外し可能に接合可能であり、外側シェル（４１４）は、外側ポッド（２）の外側上に露出されるようになっている。図６Ａに示された組み付け状態の検知部材（４１）のように、壁（２２）は、相互に接合された内側シェル（４１０）と外側シェル（４１４）との間にサンドイッチされ、その結果、検知部材（４１）は、外側と内側との間で動くことがないようになっている。第１のコネクタ（４１３）の一端部は、センサ（４１２）に電気的に接続され、他端部は、開口部（符号では示されていない）を通って外側シェル（４１４）の外側まで延びている。第１のコネクタ（４１３）は、Ｌ字形端子であり、かくして、第１のコネクタ（４１３）の他端部は、実質的に、外側シェル（４１４）の外側上で上方に延びている。それゆえ、組み付け状態の検知部材（４１）の第１のコネクタ（４１３）は、図４に示されているように、嵌合部材（４２）の回路部品に電気的に接続するよう外側まで露出されている。したがって、検知部材（４１）の組み付けシーケンスは、以下のステップを含むのが良い。検知端子の内側シェル（４１０）のねじ山を有する外面を外側ポッド（２）の内側から取り付け穴（２４）経由で外側ポッド（２）の外側まで伸長させる。第１のコネクタ（４１３）とセンサ（４１２）を固定している外側シェル（４１４）を内側シェル（４１０）と整列させ、外側シェル（４１４）の内面のねじ山を内側シェル（４１０）の外面のねじ山と噛み合わせ状態で接合する。内側シェル（４１０）と外側シェル（４１４）を相対的に回し、ついには、検知部材（４１）が壁（２２）にしっかりと装着されるようにする。分解プロセスは、上記ステップの逆の順序である。
嵌合部材（４２）は、嵌合端子（４２０）およびハウジング（４２３）を有し、これら２つは、互いに一体的に形成されるのが良い。嵌合端子（４２０）は、ハウジング（４２３）の内側から延びかつ図７Ａ～７Ｃに示されているように、検知部材（４１）の接続端子のところで外側シェル（４１４）に取り外し可能に連結されている。嵌合端子（４２０）と外側シェル（４１４）との間の連結手段は、電気接続機構体を含み、すなわち、嵌合端子（４２０）が外側シェル（４１４）に接合されると、電気接続がこれら両方について同時に確立される。図７Ａおよび図８を参照すると、嵌合端子（４２０）は、シールド（４２００）および弓形部材（符号では示されていない）を有する。弓形部材は、湾曲していて嵌合端子（４２０）のシールド（４２００）から下方に延び、弓形部材は、外側シェル（４１４）の外面に容易に接合されるよう弾性であるのが良い。この実施形態では、外側シェル（４１４）は、樽の形をしており、この外側シェルは、弓形部材と合致関係をなして接合されている。接合のため、外側シェル（４１４）は、弓形部材の真ん中に設けられたチャネル（４２０１）を通って弓形部材に入り、その結果、弓形部材は、引き伸ばされて、そしてその軸方向運動は、嵌合端子（４２０）の滑り落ちを阻止するよう外側シェル（４１４）の制限ブロック（４１４１）によって制限される。分解のため、嵌合端子（４２０）は、弓形部材の弾性力に打ち勝つよう持ち上げられ、その結果、外側シェル（４１４）は、チャネル（４２０１）から離脱するようになっている。封止リング（４１４２）がガスの漏れ出しを阻止するよう外側シェル（４１４）の外面上に配置されるのが良い。
嵌合端子（４２０）は、シールド（４２００）とハウジング（４２３）との間に第２のコネクタ（４２０２）をさらに備え、受け具（４２０３）が第２のコネクタ（４２０２）を受け入れる。第２のコネクタ（４２０２）は、小形のデータバスであり、この第２のコネクタは、受け具（４２０３）内に取り外し可能に受け入れられ、その結果、第２のコネクタ（４２０２）の一端部が第１のコネクタ（４１３）に取り外し可能に連結されるよう下方に向くとともに他端部がハウジング（４２３）内に固定された回路部品に電気的に結合され、それにより検知信号を送信するようになっている。しかしながら、本発明は上述の実施例には限定されない。第２のコネクタ（４２０２）は、嵌合端子（４２０）の他の位置に配置されても良く、あるいは、第２のコネクタ（４２０２）と嵌合端子は、互いに一体に形成されても良い。
ハウジング（４２３）は、基本的には、長方形の本体であるが、本発明は、これには限定されない。ハウジング（４２３）の外側は、回路部品を貯蔵するために用いられ、回路板上に実装されるのが良い回路部品としては、処理ユニット（４２０）およびディスプレイモジュールまたはワイヤレス通信モジュール（４２２）が挙げられる。ハウジング（４２３）は、長さ、幅および厚さを有し、この長さおよび厚さは、内面を定め、嵌合端子（４２０）は、この内面上に配置される。ハウジング（４２３）の内面およびシールド（４２００）は、図７Ａに示されているように傾斜関係をなしており、これは、組み付け状態の検知部材（４１）の方向に適合するためである。幅および厚さは、ハウジング（４２３）の２つの側部を定め、連結アーム（４３）は、これら２つの側部の各々上に配置される。この実施形態では、各連結アーム（４３）は、水平延長部材（４３１）、垂直延長部材（４３２）および係合部材（４３３）を有する。水平延長部材（４３１）は、ハウジング（４２３）の２つの側部から水平に延び、垂直延長部材（４３２）は、水平延長部材（４３１）の端部から下方に延び、係合部材（４３３）は、垂直延長部材（４３２）の底端部上に配置される。かくして、垂直延長部材（４３２）と係合部材（４３４）は、図３および図４に示されているように、リブ（２３）を入れることができるようにする係合空間を画定している。かくして、嵌合部材（４２０）を外側シェル（４１４）に接合する際、それと同時に連結アーム（４３）をリブ（２３）に連結する。他の実施形態では、連結アーム（４３）の数は、これよりも多くてもあるいは少なくても良く、連結アームは、他の位置に配置されても良い。例えば、連結アーム（４３）およびリブ（２３）の位置は、交換されても良く、すなわち、連結アーム（４３）は、外側ポッド（２）上に配置され、リブ（２３）は、嵌合部材（４２）上に配置される。
封止カバー（４２４）が回路部品を包囲するようハウジング（４２３）の外側に取り外し可能に連結される。封止カバー（４２４）は、光の部分透過を可能にするのが良く、その結果、ディスプレイモジュールによって提供される情報が目に見えるようになっている。考えられる実施形態では、封止カバー（４２４）は、オペレータが制御信号を入力するための動作インターフェース（図示せず）を備えるのが良い。
検知部材（４１）を外側ポッド（２）にいったん組み付けると、次に、嵌合部材（４２）を外側に露出されている検知部材（４１）の接続部材の外側シェル（４１４）に嵌める。外側シェル（４１４）の一部分を嵌合端子（４２０）のチャネル（４２０１）に通して嵌合端子（４２０）内に貯蔵する。弓形部材の２本のアームは、弾性力を加えて外側シェル（４１４）を固定する。外側シェル（４１４）が嵌合端子（４２０）に入っている際、外側シェル（４１４）に露出される第１のコネクタ（４１３）と嵌合部材（４２）の第２のコネクタ（４２０３）を相互に接合して電気接合部を形成する。連結アーム（４３）もまた、嵌合端子（４２０）および外側シェル（４１４）の連結プロセス中、リブ（２３）に連結する。上述の組み立ておよび連結プロセスがいったん完了すると、外側ポッド（２）をクリーニング装置中に送り進めるのが良く、クリーニング装置は、クリーニングガスおよび乾燥ガスを外側ポッド（２）内の収容空間中に導入し、検知部材（４１）内のセンサ（４１３）および嵌合部材（４２）内の回路部品は、収容空間内の環境情報を読み取って記録することができる。ワイヤレス通信モジュール（４２２）は、読みをリアルタイムで遠隔のモニタリング装置に送るのが良い。クリーニングされて取り出された外側ポッド（２）に関し、オペレータは、測定のために外側ポッド（２）をあける必要なく、嵌合部材（４２）により提供される情報に基づいて外側ポッド（２）内の環境条件を知ることができる。
図９Ａおよび図９Ｂは、本発明の第２の実施形態による断面図であり、それぞれ、組み付け状態の検出器具（４′）および検出器具（４′）の分解組み立て状態を示している。図１０Ａ～図１０Ｃは、それぞれ、本発明の第２の実施形態に係る検出器具（４′）の側面図、平面図および底面図である。図１１は、本発明の第２の実施形態に係る検出器具（４′）の立体分解組立図である。
取り付け穴（２４）が外側ポッド（２）の壁（２２）に形成されている。検出器具（４）が取り付け穴（２４）を通って組み立てられて壁（２２）に装着されると、検知部材（４１′）の一端部は、外側ポッド（２）内の収容空間内に露出されてこの中に収容されている内側ポッド（６）に向く。同様に、検知部材（４１′）は、検知端子および接続端子を有する。検知端子は、外側ポッド（２）の内側の収容空間内に露出され、接続端子は、外側ポッド（２）の外側上に露出されている。検知端子は、主として、内側シェル（４１０′）およびセンサ（４１２′）を有する。内側シェル（４１０′）は、基本的に、樽の形をしており、内側シェル（４１０′）の内面は、ねじ山を備えている。内側シェル（４１０′）の内側端部は、図１１に示されているように中空部を有する。センサ（４１２′）は、内側シェル（４１０′）によって画定された空所内に収容され、空所は、外側ポッド（２）の内側まで延びるのが良い。図９Ｂおよび図１１に示されているように、内側シェル（４１０′）の中空部とセンサ（４１２′）との間に通気性のある物質（符号では示されていない）が配置されるのが良い。内側シェル（４１０′）の直径は、内側シェル（４１０′）が外側ポッド（２）の外側まで延びることができないよう取り付け穴（２４）の直径よりも大きい。
接続端子は、ねじ山が傾斜されている外面を備えた外側シェル（４１４′）および大きな直径を備えた樽形部材を有する。樽形部材の直径は、取り付け穴（２４）の直径よりも大きく、ねじ山を備えたシェル外面の直径は、取り付け穴（２４）および内側シェル（４１０′）の直径よりも小さく、その結果、大きな直径を有する樽形部材は、取り付け穴（２４）を通過することができないようになっており、外側シェル（４１４′）のねじ山を備えた外面と内側シェル（４１０′）の内面は、取り外し可能に接合され、外側シェル（４１４′）の２つの端部は、それぞれ、外側ポッド（２）の外側および内側まで延びている。図９Ａに示された組み付け状態の検知部材（４１′）のように、壁（２２）は、相互に接合された内側シェル（４１０′）と外側シェル（４１４′）との間にサンドイッチされ、その結果、検知部材（４１′）は、外側と内側の両方の間で動かないようになっている。同様に、第１のコネクタ（４１３′）の一端部は、センサ（４１２′）に電気的に接続され、他端部は、開口部（符号では示されていない）を通って外側シェル（４１４′）の外側まで延びている。第１のコネクタ（４１３′）は、Ｌ字形の端子であり、かくして、第１のコネクタ（４１３′）の端部は、外側シェル（４１４′）の外側上で実質的に上方に延びている。それゆえ、組み付け状態の検知部材（４１′）の第１のコネクタ（４１３′）は、図４に示されているように嵌合部材（４２′）の回路部品に電気的に接続するよう外側に露出されている。したがって、検知部材（４１′）の組み付けシーケンスは、以下のステップを含むのが良い。接続端子の外側シェル（４１４′）のねじ山を備えた外面を外側ポッド（２）の外側から取り付け穴（２４）に通して外側ポッド（２）の内側まで伸長させる。内側シェル（４１０′）を外側シェル（４１４′）に整列させ、内側シェル（４１０′）の内面のねじ山を外側シェル（４１４′）の外面のねじ山に噛み合い関係をなして接合する。内側シェル（４１０′）と外側シェル（４１４′）を相対的に回し、ついには、検知部材（４１′）が壁（２２）にしっかりと装着されるようにする。分解プロセスは、上記ステップの逆の順序である。
同様に、嵌合部材（４２′）は、嵌合端子（４２０′）およびハウジング（４２３′）を有し、これら２つは、互いに一体的に形成されるのが良い。嵌合端子（４２０′）は、ハウジング（４２３′）の内側から延びかつ図１０Ａ～１０Ｃに示されているように、検知部材（４１′）の接続端子のところで外側シェル（４１４′）に取り外し可能に連結されている。嵌合端子（４２０′）と外側シェル（４１４′）との間の連結手段は、電気接続機構体を含み、すなわち、嵌合端子（４２０′）が外側シェル（４１４′）に接合されると、電気接続がこれら両方について同時に確立される。図１０Ａおよび図１１を参照すると、嵌合端子（４２０′）は、シールド（４２００′）および弓形部材（符号では示されていない）を有する。弓形部材は、湾曲していて嵌合端子（４２０′）のシールド（４２００′）から下方に延び、弓形部材は、上述した機能と同様な機能を有する。接合のため、外側シェル（４１４′）は、弓形部材の真ん中に設けられたチャネル（４２０１′）を通って弓形部材に入り、制限ブロック（４１４１′）が嵌合端子（４２０）の滑り落ちを阻止するよう弓形部材の軸方向運動を制限する。分解プロセスの原理は、同一である。好ましい実施形態では、弓形部材は、ずば抜けた可撓性または多数の直径を持つ構造を有するのが良く、その結果、嵌合端子は、既知の直径を備えた外側シェルに適合することができるようになっている。
同様に、嵌合端子（４２０′）は、シールド（４２００′）とハウジング（４２３′）との間に第２のコネクタ（４２０２′）をさらに備え、受け具（４２０３′）が第２のコネクタ（４２０２′）を受け入れる。第２のコネクタ（４２０２′）は、小形のデータバスであり、この第２のコネクタは、受け具（４２０３′）内に取り外し可能に受け入れられ、その結果、第２のコネクタ（４２０２′）の一端部が第１のコネクタ（４１３′）に取り外し可能に連結されるよう下方に向くとともに他端部がハウジング（４２３′）内に固定された回路部品に電気的に結合され、それにより検知信号を送信するようになっている。上述の受け具（４２０３）およびここに記載されている受け具（４２０３′）は、開口部の位置が異なっている。回路部品、ハウジング（２３）および封止カバー（４２４）の細部は、上述の実施形態のものの細部と同一であり、したがって、ここでは説明の繰り返しを省く。
検知部材（４１′）を外側ポッド（２）にいったん組み付けると、次に、嵌合部材（４２′）を外側に露出されている検知部材（４１′）の連結部材の外側シェル（４１４′）に嵌める。外側シェル（４１４′）が嵌合端子（４２０′）に入っている際、外側シェル（４１４′）に露出される第１のコネクタ（４１３′）と嵌合部材（４２′）の第２のコネクタ（４２０３′）を相互に接合して電気接合部を形成する。上述の組み立ておよび連結プロセスがいったん完了すると、外側ポッド（２）をクリーニング装置中に送り進めあるいは貯蔵倉庫に輸送するのが良く、オペレータは、外側ポッドをあける必要なく、嵌合部材（４２）により提供される情報に基づいて外側ポッド内の環境条件を知ることができる。
図１２は、本発明の第２の実施形態に係る嵌合部材（４２′）の取り付け方向を示しており、これは、第１の実施形態に同様に適用できる。外側ポッド（２）の壁（２２）が図面から省かれているが、理解されるべきこととして、組み付け状態の検知部材（４１′）は、僅かに傾けられた状態に見え、露出状態の第１のコネクタ（４１３′）の自由端部もまた、傾斜方向に延び、それゆえ、検知部材（４１′）および嵌合部材（４２′）の取り付け方向（Ｄ）を定められている。結合のため、嵌合部材（４２′）の受け具（４２０３′）の下方に向いた開口部を第１のコネクタ（４１３′）の自由端部のところに整列させそして取り付け方向（Ｄ）においてこれに接近させ、ついには、第１のコネクタ（４１３′）と第２のコネクタ（４２０２′）が接合され、嵌合端子（４２０′）が外側シェル（４１４′）に接合される。しかしながら、本発明は上述の実施例には限定されない。例えば、磁気連結手段が嵌合部材（４２′）と検知部材（４１′）との間に構成されても良く、したがって、これらの２つの部品を同時に引き付け、かくして連結することができるようになっている。他の考えられる実施形態では、検知部材と嵌合部材は、一体に形成されるのが良く、これらは分離できない。変形例として、嵌合部材と検知部材は、必ずしも、互いに構造的に連結されず、その代わりに、第１のコネクタと第２のコネクタをこれら相互間のワイヤードまたはワイヤレス通信によって互いに接続しても良い。検知部材は、必ずしも、外側ポッド（２）の側壁に装着されず、この検知部材を外側ポッド（２）の頂部または底部に装着しても良い。
上記説明を元にして、本発明は、検出器具の取り外し可能な手段および検出器具と外側ポッド構造体との間の取り外し可能な手段を用いることによって電子部品をポッド内の化学環境内に固定的に貯蔵する基板貯蔵装置を提供するとともに先行技術とは異なるモニタリング方式を創出している。
２ 外側ポッド
４ 検出器具
２１ 凹部
２２ 壁
２３ リブ
２４ 取り付け穴
４１ 検出部材
４２ 嵌合部材
４３ 連結アーム
１００ 外側ポッド
１０１，１１１ カバー
１０２，１１２ 基部
１１０ 内側ポッド
４１０ 内側シェル
４１１ 通風部品
４１２ センサ
４１３ 第１のコネクタ
４１４ 外側シェル
４２０ 嵌合端子
４２２ ワイヤレス通信モジュール
４２３ ハウジング
４２４ 封止カバー
４２００ シールド
４２０２ 第２のコネクタ
４２０３ 受け具

Claims (25)

  1. 内側ポッドを収容する外側ポッドおよび前記外側ポッドに取り外し可能に連結された検出器具を有する基板貯蔵装置であって、前記内側ポッドは、基板を収容するために用いられ、前記検出器具は、
    検知端子、空所およびセンサを備えた検知部材を有し、前記検知部材は、前記検知端子が前記外側ポッドの内側に設けられた収容空間内に露出されるよう前記外側ポッドに取り外し可能に連結され、前記空所は、前記外側ポッドの外側と前記収容空間との間に延びるとともに前記センサを収容し、前記空所は、前記検知端子を介して前記外側ポッドの前記収容空間と流れ連通しており、それにより、前記センサは、前記収容空間に関連した情報を読み取ることができる、基板貯蔵装置。
  2. 前記検知部材の前記検知端子は、通風部品を有し、前記通風部品を通って前記検知部材の前記空所と前記外側ポッドの前記収容空間が流れ連通関係をなすことができる、請求項１記載の基板貯蔵装置。
  3. 前記検知部材は、接続端子をさらに有し、前記接続端子は、前記外側ポッドの前記外側上に露出され、前記接続端子は、前記センサに電気的に結合されるとともに検知信号を送信するよう用いられる第１のコネクタを備えている、請求項１記載の基板貯蔵装置。
  4. 前記第１のコネクタは、前記検知部材の前記接続端子から前記外側まで延びている、請求項３記載の基板貯蔵装置。
  5. 前記検知部材は、外側シェルおよび内側シェルを有し、前記外側シェルおよび前記内側シェルは、前記空所に相互に取り外し可能に連結されるとともに前記空所を画定し、前記外側シェルは、前記外側ポッドの前記外部上に露出された前記接続端子を備え、前記内側シェルは、前記外側ポッドの前記収容空間内に露出された前記検知端子を備えている、請求項３記載の基板貯蔵装置。
  6. 前記外側シェルの内面が前記内側シェルの外面に連結され、前記内側シェルは、前記外側ポッドの前記外側と前記収容空間との間に延びている、請求項５記載の基板貯蔵装置。
  7. 前記外側シェルの外面が前記内側シェルの内面に連結され、前記外側シェルは、前記外側ポッドの前記外側と前記収容空間との間に延びている、請求項５記載の基板貯蔵装置。
  8. 前記外側シェルと前記内側シェルは、相互に回転可能にかつ取り外し可能に連結されている、請求項５記載の基板貯蔵装置。
  9. 前記外側シェルおよび前記内側シェルは、前記外側ポッドの壁に固定され、前記壁は、前記外側シェルと前記内側シェルとの間にサンドイッチされている、請求項５記載の基板貯蔵装置。
  10. 前記検出器具は、
    嵌合端子およびハウジングを備えた嵌合部材をさらに有し、前記嵌合端子は、前記ハウジングから延びかつ前記検知部材の前記外側シェルに取り外し可能に連結され、前記ハウジングは、回路部品を収容し、前記回路部品は、前記嵌合端子を介して前記第１のコネクタに電気的に結合されている、請求項５記載の基板貯蔵装置。
  11. 前記嵌合端子は、第２のコネクタを備え、前記第２のコネクタは、前記検知信号を受信するよう前記第１のコネクタに構造的に合致しかつ該第１のコネクタに電気的に接続されている、請求項１０記載の基板貯蔵装置。
  12. 前記第１のコネクタは、前記検知部材の前記接続端子から前記外側まで取り付け方向に延び、前記第２のコネクタは、前記取り付け方向において前記第１のコネクタに取り外し可能に連結され、その結果、前記嵌合部材の前記嵌合端子は、前記検知部材の前記外側シェルに取り外し可能に連結されるようになっている、請求項１１記載の基板貯蔵装置。
  13. 前記嵌合端子は、弓形部材を有し、前記弓形部材は、前記センサの前記外側シェルに取り外し可能に係合し、その結果、前記嵌合部材は、前記検知部材に連結されるようになっている、請求項１２記載の基板貯蔵装置。
  14. 前記嵌合部材は、連結アームをさらに有し、前記嵌合部材が前記検知部材に連結されると、前記連結アームの自由端子が前記外側ポッドに固定的に連結され、それにより、前記嵌合部材と前記検知部材の前記連結が安定化される、請求項１０記載の基板貯蔵装置。
  15. 前記回路部品は、処理ユニット、ディスプレイモジュールおよびワイヤレス通信モジュールを含み、前記ワイヤレス通信モジュールは、前記検知信号を送信する、請求項１０記載の基板貯蔵装置。
  16. 検出器具を基板貯蔵装置に取り付ける方法であって、
    検知部材を用意するステップを含み、前記検知部材は、検知端子、空所、センサおよび接続端子を有し、前記空所は、前記センサを収容し、前記接続端子は、第１のコネクタを備え、
    前記検知部材を外側ポッドに取り外し可能に連結して前記検知端子が前記外側ポッドの収容空間内に露出されるようにするステップを含み、前記空所は、前記外側ポッドの外側と前記収容空間との間に延び、前記空所は、前記検知端子を介して前記外側ポッドの前記収容空間と流れ連通状態にあり、
    前記第１のコネクタを取り付け方向において前記外側ポッドの前記外側まで伸長させるステップを含む、方法。
  17. 嵌合部材を用意するステップをさらに含み、前記嵌合部材は、嵌合端子およびハウジングを有し、前記嵌合端子は、前記ハウジングから延び、前記嵌合端子は、第２のコネクタを備え、前記ハウジングは、回路部品を収容し、
    前記嵌合部材を前記取り付け方向において前記検知部材に接合して前記嵌合部材の前記嵌合端子が前記検知部材の前記接続端子に接続されるとともに前記第１のコネクタが前記第２のコネクタに電気的に接続されるようにするステップをさらに含む、請求項１６記載の方法。
  18. 前記嵌合部材を前記取り付け方向において前記検知部材に接合する前記ステップは、
    連結アーム付きの前記嵌合部材を用意するステップおよび前記連結アームの自由端子を前記外側ポッドに固定的に連結し、それにより前記嵌合部材と前記検知部材の前記接続を安定化するステップをさらに含む、請求項１７記載の方法。
  19. 前記検知部材を前記外側ポッドに取り外し可能に連結する前記ステップは、
    前記検知部材の内側シェルを前記外側ポッドの壁に固定的に連結するステップおよび前記検知部材の外側シェルを前記内側シェルに固定するステップをさらに含み、前記内側シェルは、前記検知端子を備え、前記外側シェルは、前記接続端子を備えている、請求項１６記載の方法。
  20. 前記検知部材を前記外側ポッドに取り外し可能に連結する前記ステップは、
    前記外側ポッドの壁を前記検知部材の外側シェルと内側シェルとの間にサンドイッチするステップをさらに含み、前記内側シェルは、前記検知端子を備え、前記外側シェルは、前記接続端子を備えている、請求項１６記載の方法。
  21. 収容空間の情報を読み取るための基板貯蔵装置用検出器具であって、
    検知端子、接続端子および前記検知端子と前記接続端子との間に延びる空所を備えた検知部材を有し、前記空所は、センサを収容し、前記空所は、前記接続端子を介して前記検知部材の外側と流れ連通状態にあり、
    嵌合端子および回路部品を備えた嵌合部材を有し、前記嵌合端子は、前記検知部材に取り外し可能に連結されるとともに前記センサに電気的に接続され、前記回路部品は、前記嵌合端子を介して前記センサに電気的に接続されている、検出器具。
  22. 前記検知部材の前記接続端子は、第１のコネクタを備え、前記嵌合部材の前記嵌合端子は、第２のコネクタを備え、前記検知部材と前記嵌合部材は、前記第１のコネクタと前記第２のコネクタが取り外し可能に電気的に接続されるよう取り付け方向において取り外し可能に連結されている、請求項２１記載の検出器具。
  23. 前記嵌合部材の前記嵌合端子は、弓形部材を有し、前記弓形部材は、前記検知部材に取り外し可能に係合している、請求項２１記載の検出器具。
  24. 前記検知部材は、前記基板貯蔵装置の取り付け穴に取り外し可能に合致するとともに該取り付け穴に連結されるよう構成され、前記嵌合部材は、少なくとも１本の連結アームを有し、前記連結アームは、前記基板貯蔵装置のリブに係合するよう構成されている、請求項２１記載の検出器具。
  25. 前記回路部品は、処理ユニット、ディスプレイモジュールおよびワイヤレス通信モジュールを含む、請求項２１記載の検出器具。
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