JP2008002938A - ガスセンサ処理方法及びガスセンサ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数のガスセンサ11に対してセンサ処理を同時に行うガスセンサ処理方法であって、ガス配管104を介して連結される複数のガスチャンバ101の個々に2つ以上のガスセンサ11を、ガスセンサ挿通孔112を臨ませるようにして取り付け、ガス配管104を通じて複数のガスチャンバ101の個々に対してセンサ処理用ガスを充填させて、センサ処理を行う構成を有し、ガスチャンバ101に取り付けられる2つ以上のガスセンサ11のガスセンサ挿通孔112がガスチャンバ101に対して同じ高さに配置されるようにガスセンサ11をガスチャンバ101に取り付ける。
【選択図】 図5
Description
このようなガスセンサは、出荷前の製造工程において、自身の特性の安定化や出力特性検査などを目的として、特定ガスを含むセンサ処理用ガスを感ガス体に供給して特定のセンサ処理(エージング処理やセンサ特性検査処理)が実行される。なお、エージング処理とは、ガスセンサの出荷前にガスセンサが所定の性能を示すように(換言すれば、出荷後に品質が低下しないように)、一定濃度の特定ガスを含むセンサ処理用ガスを用いてガスセンサをならしで駆動させ、ガスセンサの特性を安定化させる処理をいう。
実施例として、ガスセンサ11のセンサ特性検査を行うガスセンサ検査装置1について説明する。図1は、20個のガスセンサ11がガスセンサ検査装置1に取り付けられた概略構成を表している。なお、本実施例では、1個のガスチャンバ101に対して2個のガスセンサ11が取り付けられている。
例えば、同時に装着可能なガスセンサの個数は10個に限ることはなく、より多数のガスセンサを装着可能となるように、ガスセンサ処理装置を構成しても良い。つまり、用途に応じてガスセンサの装着個数を設定し、ガスセンサの装着個数に応じたガスチャンバを備えるようにすればよい。
11、500・・・ガスセンサ
101・・・・・・ガスチャンバ
102、502・・載置台
103、503・・センサ挟持部
104・・・・・・ガス配管
Claims (12)
- 測定対象ガス中の特定ガスの濃度変化に応じて電気抵抗値が変化する感ガス体を含むセンサ素子と、測定対象ガスを該センサ素子まで導入するガス導入部と、を備えるガスセンサに対し、前記特定ガスを含むセンサ処理用ガスを前記ガス導入部に供給して所定のセンサ処理を行うにあたり、複数のガスセンサに対して前記センサ処理を同時に行うガスセンサ処理方法であって、
ガス配管を介して連結される複数のガスチャンバの個々に2つ以上の前記ガスセンサを前記ガス導入部を臨ませるようにして取り付け、
前記ガス配管を通じて複数の前記ガスチャンバの個々に対して前記センサ処理用ガスを充填させて、前記センサ処理を行う構成を有し、
前記ガスチャンバに取り付けられる2つ以上の前記ガスセンサの前記ガス導入部が前記ガスチャンバに対して同じ高さに配置されるようにして、前記ガスセンサを前記ガスチャンバに取り付けることを特徴とするガスセンサ処理方法。 - 前記センサ処理用ガスとして一定濃度の前記特定ガスを含むエージング用ガスを用いることにより、前記ガスセンサの特性を安定化させるエージング処理を行うことを特徴とする請求項1に記載のセンサ処理方法。
- 前記センサ処理用ガスとして前記特定ガスを含む検査用ガスを用い、該検査用ガスに含まれる前記特定ガスの濃度を変化させて、その濃度変化に対する前記ガスセンサの出力の状態を検査するセンサ特性検査処理を行うことを特徴とする請求項1に記載のセンサ処理方法。
- 複数の前記ガスチャンバは、前記ガス配管を介して直列に並置されており、
任意の前記ガス配管を通じて複数の前記ガスチャンバの個々に対して順に前記センサ処理用ガスを充填させることを特徴とする請求項1乃至3記載のいずれか一項に記載のセンサ処理方法。 - 前記ガスセンサは、前記センサ素子が実装される配線基板と、該配線基板を収納する箱状のケースと、前記配線基板に電気的に接続される金属端子の径方向周囲を包囲するともに、該ケースの一面の外側面から突出した筒状のコネクタ外装部とを有し、前記ガス導入部は前記ケースの前記一面と交差する交差面に形成されており、
前記ガスチャンバに前記ガス導入部を臨ませるようにして複数の前記ガスセンサを取付けるときに、複数の前記ガスセンサの前記コネクタ外装部が同じ方向に向かって配置させることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載のガスセンサ処理方法。 - 前記ガスセンサは、前記センサ素子が実装される配線基板と、該配線基板を収納する箱状のケースと、前記配線基板に電気的に接続される金属端子の径方向周囲を包囲するともに、該ケースの一面の外側面から突出した筒状のコネクタ外装部とを有し、前記ガス導入部は前記ケースの前記一面に形成されており、
前記ガスチャンバに前記ガス導入部を臨ませるようにして複数の前記ガスセンサを取付けるときに、複数の前記ガスセンサの前記コネクタ外装部が鉛直方向に異なる位置に配置させることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載のガスセンサ処理方法。 - 特定ガスの濃度変化に応じて電気抵抗値が変化する感ガス体と、前記感ガス体に電気的に接続された金属端子と、測定対象ガスを該感ガス体まで導入するガス導入部と、を備えるガスセンサに対し、前記特定ガスを含むセンサ処理用ガスを前記ガス導入部に供給して所定のセンサ処理を行うにあたり、複数のガスセンサに対して前記センサ処理を同時に行うガスセンサ処理装置であって、
ガスセンサを保持するセンサ保持部と、
前記ガスセンサの前記金属端子に電気的に接続されるコネクタ部と、
自身の個々に対して複数の前記ガスセンサの前記ガス導入部を自身の水平方向から臨ませることができ、ガス配管を介して個々が連結された複数のガスチャンバと、
を備えたことを特徴とするガスセンサ処理装置。 - 前記センサ処理用ガスは、一定濃度の前記特定ガスを含むエージング用ガスであり、
前記センサ処理は、前記ガスセンサの特性を安定化させるエージング処理であることを特徴とする請求項7に記載のセンサ処理装置。 - 前記センサ処理用ガスは、前記特定ガスを含む検査用ガスであり、
前記センサ処理は、前記検査用ガスに含まれる前記特定ガスの濃度変化に対する前記ガスセンサの出力の状態を検査するセンサ特性検査処理であることを特徴とする請求項7に記載のセンサ処理装置。 - 複数の前記ガスチャンバは、前記ガス配管を介して直列に並置されており、センサ処理用ガス開口部から前記ガス配管を通じて複数の前記ガスチャンバの個々に対して順に前記センサ処理用ガスが充填される構成であることを特徴とする請求項7乃至9記載のいずれか一項に記載のセンサ処理装置。
- 前記センサ保持部として、複数の前記ガスセンサを同時に保持する保持用治具を備え、
前記ガスセンサは、前記感ガス体が実装される配線基板と、該配線基板を収納する箱状のケースと、前記配線基板に電気的に接続される金属端子の径方向周囲を包囲するともに、該ケースの一面の外側面から突出した筒状のコネクタ外装部とを有し、前記ガス導入部は前記ケースの前記一面と交差する交差面に形成されており、
前記保持用治具は、前記ガスチャンバに前記ガス導入部を臨ませるようにして複数の前記ガスセンサを取付けるときに、複数の前記ガスセンサの前記コネクタ外装部が同じ方向に向かって配置させるように前記ガスセンサを保持することを特徴とする請求項7乃至10のいずれか一項に記載のガスセンサ処理装置。 - 前記センサ保持部として、複数の前記ガスセンサを同時に保持する保持用治具を備え、
前記ガスセンサは、前記感ガス体が実装される配線基板と、該配線基板を収納する箱状のケースと、前記配線基板に電気的に接続される金属端子の径方向周囲を包囲するともに、該ケースの一面の外側面から突出した筒状のコネクタ外装部とを有し、前記ガス導入部は前記ケースの前記一面に形成されており、
前記保持用治具は、前記ガスチャンバに前記ガス導入部を臨ませるようにして複数の前記ガスセンサを取付けるときに、複数の前記ガスセンサの前記コネクタ外装部が鉛直方向に異なる位置に配置させるように前記ガスセンサを保持することを特徴とする請求項7乃至10のいずれか一項に記載のガスセンサ処理装置。
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