JP2004191328A - 積層型ガスセンサ素子の検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】センサセルを有し,かつ被測定ガス側電極を多孔質の拡散抵抗層で被覆積層し,拡散抵抗層141を緻密保護層142で被覆積層した積層型ガスセンサ素子1を検査するに当たり,積層型ガスセンサ素子1を導電性検査液に浸し,かつ基準電極131は導電性検査液2と非接触として,導電性検査液2と基準電極131との間に電圧を印加して導電性検査液2と基準電極131との間に流れる電流値を測定し,導電性検査液2と基準電極131との間で絶縁が確保されているか否かを判定する。
【選択図】 図1
Description
【技術分野】
本発明は,内燃機関の排気系に設置して燃焼制御に利用する積層型ガスセンサ素子の検査方法に関する。
【0002】
【従来技術】
自動車エンジンの排気系に設置して,排気ガス中の各種のガス濃度を測定してエンジンの燃焼制御等に利用する積層型ガスセンサ素子として以下に示す積層型の素子が知られている。
この積層型ガスセンサ素子19は,後述する図11に示すごとく,被測定ガスにさらされる被測定ガス側電極121と基準ガス室150に面して基準ガスにさらされる基準電極131を有する固体電解質板11と基準ガス室150を形成するスペーサ15とヒータ基板191とよりなる。
上記積層型ガスセンサ素子19において,上記被測定ガス側電極121は多孔質の拡散抵抗層141で覆われ,積層型ガスセンサ素子1の全周を覆うようにガスを略遮蔽可能な緻密保護層144が設けてある。
【0003】
ところで積層型ガスセンサ素子は,固体電解質板やスペーサ等を構成するグリーンシートを適宜積層して形成した積層体を焼成して作製する。従って,各グリーンシート間の密着が不十分な場合に不良品が発生することがある。また,各グリーンシートや電極等に亀裂が入った不良品が発生することもある。
この不良品を見つけるために,従来は染色検査を利用していた。
【0004】
【特許文献1】
特開平07−120429号公報
【0005】
【解決しようとする課題】
しかしながら染色検査では,上記密着不十分な部分や亀裂の生じた部分に十分に染色液が染み込まなければ,不具合を発見することが困難となる。
上述した構成の積層型ガスセンサ素子は全周が緻密保護層で覆われているため,密着不十分な部分や亀裂の発生部分が染色液浸透不十分となって不良品の発見が非常に困難であった。
また,後述する図11以外の例えば図3,図4にかかるような構成やその他の構成で積層型ガスセンサ素子の表面に緻密保護層を持つ場合は,上記と同様に染色液浸透不十分となって不良品の発見が非常に困難であった。
【0006】
本発明は,かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので,隙間や亀裂等の欠陥から生じる不良品を確実かつ容易に発見可能な積層型ガスセンサ素子の検査方法を提供しようとするものである。
【0007】
【課題の解決手段】
本発明は,固体電解質板と該固体電解質板の表面に設けて被測定ガスにさらされる被測定ガス側電極及び基準ガスにさらされる基準電極とよりなるセンサセルを有し,
かつ上記被測定ガス側電極を多孔質の拡散抵抗層で被覆積層し,更に上記拡散抵抗層を緻密保護層で被覆積層した積層型ガスセンサ素子を検査するに当たり,上記積層型ガスセンサ素子を導電性検査液に浸し,かつ上記基準電極は上記導電性検査液と非接触として,
上記導電性検査液と上記基準電極との間に電圧を印加して上記導電性検査液と上記基準電極との間に流れる電流値を測定し,上記導電性検査液と上記基準電極との間で絶縁が確保されているか否かを判定することを特徴とする積層型ガスセンサ素子の検査方法にある(請求項1)。
【0008】
本発明の作用効果につき説明する。
本発明にかかる検査方法は,積層型ガスセンサ素子を導電性検査液に浸し,導電性検査液と基準電極との間に電圧を印加して両者の間で絶縁されているか否かによって積層型ガスセンサ素子の良/不良を発見する。
ところで積層型ガスセンサ素子は,センサセルにおける被測定ガス側電極と基準ガス側電極との間に電圧を印加して,被測定ガス中の酸素をイオン化し,この酸素イオンより生じる酸素イオン電流から酸素濃度を測定できるよう構成する。あるいは,被測定ガスと基準ガスとの間の特定ガスの濃度差から被測定ガス側電極と基準電極との間における電位差を測定し,該電位差から特定ガス濃度を測定できるよう構成する。
あるいは,センサセルにおける被測定ガス側電極と基準ガス側電極との間に電圧を印加して,被測定ガス中の特定ガスを分解して酸素イオンを生じせしめ,これによる酸素イオン電流から特定ガス濃度を測定できるよう構成する。
従って,基準ガスにさらされる基準電極は被測定ガスから遮断された状態にあらねばならず,そのように積層型ガスセンサ素子は構成する必要がある。
【0009】
本発明にかかる検査方法において上記基準電極と積層型ガスセンサ素子の外部を取り巻く導電性検査液との間に電流が流れる場合は,積層型ガスセンサ素子のどこかに隙間や亀裂等が存在し,そこから積層型ガスセンサ素子内部に導電性検査液が流れ込んでしまい,従って導電性検査液と基準電極とが電気的に導通すると考えられる。
導電性検査液と基準電極との間が略絶縁状態である場合は,積層型ガスセンサ素子内部に導電性検査液が殆ど流れ込んでいないと考えられ,従って隙間や亀裂等の欠陥が積層型ガスセンサ素子に殆ど存在しないと考えられる。
【0010】
そして,本発明にかかる検査方法は,従来の染色液を浸透させ,その結果を目視で観察し欠陥を見つける方法とは異なり,染色液が浸透し難い部分にある欠陥で生じる不良品を発見することができる。
また,導電性検査液と基準電極との間に流れる電流値に基づいて不良品を判別するため,欠陥の状態を数値化しやすく,また判別も高価な画像認識システムを必要とせず,また作業員による目視確認に頼ることなく,自動かつ安価に実現することができる。
【0011】
以上,本発明によれば,隙間や亀裂等の欠陥から生じる不良品を確実かつ容易に発見可能な積層型ガスセンサ素子の検査方法という効果を得ることができる。
【0012】
【発明の実施の形態】
本発明(請求項1)にかかる検査方法は,積層型ガスセンサ素子一般に適用可能であるが,特に緻密で染色液を通し難い緻密保護層を備えた積層型ガスセンサ素子に対する検査に最適である。
また,積層型の積層型ガスセンサ素子としては,酸素濃度を検出する1セル型の酸素センサ素子(限界電流式,酸素濃淡起電力式),自動車エンジン等の内燃機関の排気系において酸素濃度を測定することで空燃比を検出する空燃比センサ素子や理論空燃比(λ点)を検出するλセンサ素子,また2セル式のNOxセンサ素子,COセンサ素子,HCセンサ素子等がある。
【0013】
また,本発明において,上記導電性検査液と上記基準電極との間に電圧を印加する際は,
上記基準電極と電気的に導通し,積層型ガスセンサ素子の外部に露出形成され,上記導電性検査液と接触していない基準側外部端子と上記導電性検査液との間に電圧を印加して行うことが好ましい(請求項2)。
この場合には,電圧印加のために積層型ガスセンサ素子内部の基準電極に延設する器具やしくみが不要となって,容易に電圧を印加することができる。
【0014】
また,上記導電性検査液と上記基準電極との間に印加する電圧は250〜1000Vであることが好ましい(請求項3)。
これにより積層型ガスセンサ素子を損傷することなく効率的かつ安価に不良品の選別を行うことができる。
1000Vより電圧が大きい場合,積層型ガスセンサ素子が損傷するおそれもあり,高電圧を印加することによる安全性の確保が困難となるし,また電力消費も大きくなりコスト高となる。
250Vより小さい場合は,流れる電流が小さくなりすぎて,不良品の発見が困難となるおそれがある。
また,検査に使用する電源機器にかかる負荷,不良品の発見効率を考慮すると,印加する電圧は490V〜510Vとすることがより好ましい。
【0015】
また,上記導電性検査液と上記基準電極との間に電圧を印加して上記導電性検査液と上記基準電極との間に流れる電流値が5μA以下である積層型ガスセンサ素子を良品と判定することが好ましい(請求項4)。
これにより,本検査方法の信頼性が向上し,検査時間の短縮化を図ることができる。5μAより大きい場合,良品と不良品の判定において,精度(検出能力)が低下するおそれがある。
【0016】
また,上記導電性検査液はエタノールであることが好ましい(請求項5)。
本発明において使用可能な導電性検査液は,ある程度の導電性を備え,亀裂等の欠陥に対する浸透性が高く,積層型ガスセンサ素子を変質させたり汚染したりしない物質よりなることが好ましく,これらの要件を満たす物質であるエタノールを用いることが好ましい。
また,純水,エタノールと純水の混合液を利用することもできるし,アルコール類でエタノールと同様の物性を備えるものであれば,問題なく使用することができる。
【0017】
【実施例】
以下に,図面を用いて本発明の実施例について説明する。
(実施例1)
本例は,図3,図4に示すごとく,固体電解質板11と該固体電解質板11の表面に設けて被測定ガスにさらされる被測定ガス側電極121及び基準ガスにさらされる基準電極131とよりなるセンサセル110を有し,かつ上記被測定ガス側電極121を多孔質の拡散抵抗層141で被覆積層し,更に上記拡散抵抗層141を緻密保護層142で被覆積層した積層型ガスセンサ素子1を検査する方法について説明する。
【0018】
すなわち,図1,図2に示すごとく,上記積層型ガスセンサ素子1を導電性検査液2に浸し,かつ上記基準電極131は上記導電性検査液2と非接触として,上記導電性検査液2と上記基準電極131との間に電圧を印加して上記導電性検査液2と上記基準電極131との間に流れる電流値を測定し,上記導電性検査液2と上記基準電極131との間で絶縁が確保されているか否かを判定する。
【0019】
本例で検査する積層型ガスセンサ素子1の構造について説明する。
本例の積層型ガスセンサ素子1は,被測定ガス中の酸素を濃度を測る限界電流式の素子である。
図3,図4に示すごとく,固体電解質板11と基準ガス室形成用のスペーサ15とヒータ19とを積層して構成した積層型ガスセンサ素子1であって,固体電解質板11の一方の面には被測定ガス側電極121と,該電極121と導通するリード部122及び外部端子123を有する。
被測定ガス側電極121は多孔質で通気性を備えた拡散抵抗層141で覆われ,該拡散抵抗層141は通気性が殆どない緻密保護層142で覆われる。なお,拡散抵抗層141の側面143は緻密保護層142で覆われておらず,ここから被測定ガスが電極121付近に浸透する。
【0020】
固体電解質板11の他方の面は基準電極131と該電極131と導通したリード部132及び内部端子133を有する。内部端子133はスルーホール134を通じて外部端子123と隣接する基準側外部端子136と導通する。
基準電極131はスペーサー15にて形成された基準ガス室150と対面し,基準ガスにさらされる。
上記スペーサー15は溝部を備えた柱形状で,この溝部が固体電解質板11と合わさることで基準ガス室150を形成する。基準ガス室150は被測定ガスの雰囲気と隔絶され,開口部151から大気を導入するよう構成される。
【0021】
上記ヒータ19は,ヒータ基板と該ヒータ基板に設けた通電により発熱する発熱体181,該発熱体181と導通するよう構成したヒータリード部182,またヒータ基板191に設けたスルーホール190を介して発熱体181を設けた側と反対の面であり積層型ガスセンサ素子1の外部に露出する面に設けたヒータ端子183とよりなる。
なお,ヒータ基板191とスペーサ15,スペーサ15と固体電解質板11,固体電解質板11と拡散抵抗層141,拡散抵抗層141と緻密保護層142との間を別層で接合する構成もある(図示略)。
【0022】
本例の積層型ガスセンサ素子1に対する検査方法の詳細について説明する。
図1,図2に示すごとく,緻密保護層142と拡散抵抗層141とが隠れる程度の深さの導電性検査液2に積層型ガスセンサ素子1を浸す。このとき外部端子123,基準側外部端子136は共に導電性検査液2の外部雰囲気にさらされ,基準ガス室150の開口部151も外部雰囲気にさらされて,開口部151から大気が基準ガス室150に自由に出入り可能となる。なお,符合21は導電性検査液2を満たす検査槽である。
また,本例では,積層型ガスセンサ素子1の先端部101から液面20までの深さをDとすると,D=18〜30mmとした。
【0023】
ここに上記積層型ガスセンサ素子1に生じる可能性のある欠陥としては,
(1)被測定ガス側電極121や基準電極131に入る亀裂,及び電極121,131が形成された固体電解質板11の亀裂
(2)各リード部122,132,内部端子133,外部端子123,基準側外部端子136に入る亀裂,
(3)緻密保護層142と拡散抵抗層141との間の密着不良等による隙間,
(4)拡散抵抗層141と固体電解質板11との間の密着不良等による隙間,
(5)固体電解質板11とスペーサ15との間の密着不良等による隙間,
が挙げられる。
(1)から(5)の中でも,(1)「被測定ガス側電極121や基準電極131に入る亀裂,及び電極121,131が形成された固体電解質板11の亀裂」は染色液が緻密保護層142によって侵透し難く,染色箇所も目視で確認し難いことから従来にかかる染色法で確認し難い欠陥である。
【0024】
本例は,図2に示すように,導電性検査液2に浸した接地電極251と積層型ガスセンサ素子1の基準側外部端子136に接した電極252との間に超絶縁計25を備えた検査回路250を接続し,500Vの電圧を印加して両者の絶縁状態について測定し,5μA以下の電流が流れた素子を良品,それ以外を不良品として選別した。
【0025】
次に,本例にかかる検査方法と従来の染色法との比較を行った。
本例にかかる検査方法で図3,図4に記載した積層型ガスセンサ素子1を10本検査した。結果,良品が5本,不良品が5本であった。良品,不良品共に実際に自動車エンジン実機の排気系にガスセンサに内蔵した状態で取り付けて排気ガス中の酸素濃度の測定を行った。その結果,本例にかかる検査方法で良品とされた5本の積層型ガスセンサ素子は正常に酸素濃度を測定することができたが,不良品とされた5本の積層型ガスセンサ素子は酸素濃度の測定ができなかった。よって,本例にかかる検査方法が良品,不良品を確実に識別していることが分かった。
【0026】
また,染色液浸漬法(1分放置)による検査を,図3,図4に記載した積層型ガスセンサ素子1の10本に対して行った。検査結果は良品が9本,不良品が1本であった。その後,上記と同様に,良品,不良品共に自動車エンジン実機で排気ガス中の酸素濃度測定を行ったところ,良品とされた積層型ガスセンサ素子の中に異常出力を発するものが4本発見された。異常出力を発した素子について分解断面観察で内部を調べてみると,いずれも上述した(1)〜(5)にかかる欠陥を備えていた。
このように,本例にかかる検査方法は,染色法より確実に欠陥のある積層型ガスセンサ素子を発見できることが分かった。
【0027】
本例の作用効果について説明する。
基準電極131と積層型ガスセンサ素子1の外部を取り巻く導電性検査液2との間に電流が流れる場合,積層型ガスセンサ素子1のどこかに隙間や亀裂等が存在し,そこから積層型ガスセンサ素子1の内部に導電性検査液2が流れ込んでしまい,従って導電性検査液2と基準電極131とが電気的に導通していると考えられる。
導電性検査液2と基準電極131との間が略絶縁状態である場合は,積層型ガスセンサ素子1の内部に導電性検査液2が殆ど流れ込んでいないと考えられ,従って隙間や亀裂等の欠陥が積層型ガスセンサ素子1に殆ど存在しないと考えられる。
【0028】
そして,本例にかかる検査方法は,従来の染色液を浸透させ,その結果を目視で観察し欠陥を見つける方法とは異なり,染色液が浸透し難い部分にある欠陥で生じる不良品を発見することができる。
また,導電性検査液2と基準電極131との間に流れる電流値に基づいて不良品を判別するため,欠陥の状態を数値化しやすく,また判別も高価な画像認識システムを必要とせず,また作業員による目視確認に頼ることなく,自動かつ安価に実現することができる。
【0029】
以上,本例によれば,隙間や亀裂等の欠陥から生じる不良品を確実かつ容易に発見可能な積層型ガスセンサ素子の検査方法という効果を得ることができる。
【0030】
(実施例2)
本例は,実施例1に示した検査方法を実現する検査装置について説明する。
図5に示すごとく,検査装置3は筐体30の上下に仕切った下部302にポンプユニット321,R/Bコントローラー322を備え,上部301に2つの検査槽362,ドライエアによるブロー装置312,該ブロー装置312より送風されるドライエアの排出口313,不良品置き場315,検査用ヘッド341を備えたロボットアーム34,検査用ヘッド乾燥用の乾燥装置314を有する。筐体30の外部には,パレット台303,304や超絶縁計332,抵抗測定計333,記録装置334及び操作盤331を有する。
【0031】
検査槽362に対し積層型ガスセンサ素子1を図7に示すごとくセットしたパレット37を配置するが,図6に示すごとく,検査槽362には液位を一定に保持するための液位センサ365及び該検査槽362の液位を一定に保持するに際して排出された余分の導電性検査液を受け止める外側槽361がある。また,ポンプ321は余分の導電性検査液を回収し,再循環させるために設けてある。また,図6において積層型ガスセンサ素子1は3本のみ記載した。
【0032】
図8に示すごとく,上記液位センサ365は,側面に吸入穴366を備えた有底円筒型の本体部369と該本体部369の内部に設けた一対の電極367と該電極367にそれぞれ接続したリード線368とよりなる。
図8(a)に示すごとく,液位センサ365が液面20より上方にある場合は,本体部369内の電極367は導通していないため,リード線368より電圧を印加しても,電流は流れない。
図8(b)に示すごとく,液位センサ365を浸すことで,吸入穴366より導電性検査液が本体部369内に浸入し,電極367間が電気的に導通するため,リード線368より電圧を印加することで電流が流れる。よって,液面20が所定の位置以上に上昇したことがわかる。
【0033】
検査用ヘッド341を備えたロボットアーム34はR/Bコントローラー322によって制御される水平多関節式のアームである。また,検査用ヘッド341は,図7に示すごとく,2種類の測定端子352,353,354とパレット7から積層型ガスセンサ素子1をつまんで移送可能に構成した排出用チャック351を備える。
【0034】
2種類の測定端子のうち,1種類は積層型ガスセンサ素子1におけるヒータの電気抵抗を測定し規格を満たすか否かを判別するための抵抗測定計333に接続された2本の電気抵抗測定端子352,353である。他の1種類は実施例1にかかる検査を行う超絶縁計332に接続された1本の絶縁測定端子354である。また,超絶縁計332は別の接地端子を備え,該接地端子は検査の際には検査槽362において導電性検査液に浸っている。接地端子は,図6においての図示は省略したが,検査槽362の内側面に固定した。なお,接地端子は液中にあってもかまわない。
【0035】
上記パレット37は,図6,図9(a)に示すごとく,積層型ガスセンサ素子1を保持する保持穴370を多数設けた上板371,ガスセンサ素子1の先端部を突き当てる下板373,両板の間で所定の間隔を保持する支柱372よりなる。また,上板371には検査前,検査後の識別が容易となるように検査ピン374をセットする。
図10に示すごとく,検査ピン374が存在する場合は,別のパレット375をパレット37に積載することができず,容易に区別できる。検査ピン372を抜き取った状態が図9(b)である。更に,検査ピン374がないパレットは装置の自動起動がかからず検査されない。検査が終了したパレットからはロボットアームが自動で検査ピン374を抜き取る。これにより,本検査における未検査品の流出(工程飛び)を防ぐことが可能となる。
【0036】
次に本例にかかる検査装置3を用いた検査の手順について説明する。
まず,パレット37に検査すべき積層型ガスセンサ素子1を作業員の手でセットする。1つのパレット37に100本の積層型ガスセンサ素子1をセット可能である。検査前後のパレット37を識別できるように,検査前のパレット37に対しては検査ピン374をセットする。また,積層型ガスセンサ素子1のセットはパレット台303,304において行った。
【0037】
次に,パレット37を検査槽362にセットする。
続いて,操作盤331から検査装置3を起動すると,検査槽362脇にあるパレット自動昇降装置311がパレット37を検査槽362内に降ろし,積層型ガスセンサ素子1の所定の箇所まで導電性検査液に浸される。実施例1にかかる積層型ガスセンサ素子1では,液位は積層型ガスセンサ素子1の先端部より18〜30mmの位置となるように調整する。この調整の際に余分の導電性検査液は外側槽361に排出される。
【0038】
なお,本例の検査装置3において検査槽362は2つある。これは片方の検査槽362にパレット37をセットしている間,他方の検査槽362では検査を行うことができるため,検査時間を短縮することができる。
また,本例のように複数の検査槽362を備えたタイプの検査装置では効率的に検査槽362を個別に稼動できるので,検査液使用の無駄を省くことができる。さらに,設備設計(検査槽配置等)の自由度を高くすることができる。
【0039】
ついで,検査用ヘッド341を,図6に示すごとく検査すべき積層型ガスセンサ素子1の真上に移動させ,最初に電気抵抗測定端子352,353を積層型ガスセンサ素子1におけるヒータ端子183に接触させる。これによりヒータの電気抵抗を測定し,ヒータにかかる不良を見出すことができる。そして,規格を満足しない積層型ガスセンサ素子1を排出チャック351にて不良品置き場315に運び出す。
なお,電気抵抗測定端子352,353の接触不良,積層型ガスセンサ素子1の基準側外部端子136を設けた面に電気抵抗測定端子352,353が接触した場合は,抵抗値が無限大となって測定不能となる。この場合は排出チャック351にて同じく不良品置き場315に運び出す。
【0040】
続いて,超絶縁測定端子354を積層型ガスセンサ素子1の基準電極と電気的に導通した基準側外部端子136に,接地端子(図示略)を導電性検査液に浸し,500±10Vで電圧を印加して超絶縁測定を行う。この測定で流れる電流が5μAより大きい積層型ガスセンサ素子1を不良品と見なして,排出チャック351にて不良品置き場315に運び出す。
こうしてパレット37にセットした積層型ガスセンサ素子1を1本1本チェックして,最終的にパレット37内から不良品を全て取り除く。
パレット37内が良品だけとなったら,検査装置3を操作盤331から操作して停止させ,検査済みのパレット37を作業員が検査槽362から取り除き,未検査のパレット37を新たに設置する。
【0041】
上記検査の際はドライエアのブロー装置312を用いて,パレット37の上を経由して排出口313めがけて湿度30%以下,温度が室温以下のドライエアを送風する。また,検査ヘッド341は積層型ガスセンサ素子1を1本検査するごとに乾燥装置314から乾燥したエアを送風して乾燥させ,ぬれにより生じる誤判定を防止する。また検査装置3の外部に備え付けたコンピュータからなる記録装置334に,抵抗測定計333や超絶縁測定計332による測定結果を送出して記録する。
以上本例にかかる装置を用いることで,実施例1に記した検査方法で多量の積層型ガスセンサ素子の検査を行うことができる。
【0042】
(実施例3)
本例にかかる積層型ガスセンサ素子1は,図11に示すごとく,緻密保護層144が積層型ガスセンサ素子1の全周を覆うように設けてある
すなわち,本例の積層型ガスセンサ素子19は,被測定ガスにさらされる被測定ガス側電極121と基準ガス室150に面して基準ガスにさらされる基準電極131を有する固体電解質板11と基準ガス室150を形成するスペーサ15と発熱体181を備えたヒータ基板191とよりなる。
【0043】
そして,被測定ガス側電極121は多孔質の拡散抵抗層141で覆われ,積層型ガスセンサ素子1の全周を覆うようにガスを略遮蔽可能な緻密保護層144が設けてある。
その他詳細な構成は実施例1に示した素子と同様であり,本例にかかる積層型ガスセンサ素子について実施例1にかかる検査を行うことで,同様の作用効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例1における,積層型ガスセンサ素子の検査時の説明図。
【図2】実施例1における,積層型ガスセンサ素子の検査方法を示す説明図。
【図3】実施例1における,積層型ガスセンサ素子の展開説明図。
【図4】実施例1における,積層型ガスセンサ素子の要部断面説明図。
【図5】実施例2における,積層型ガスセンサ素子の検査に用いる検査装置の説明図。
【図6】実施例2における,検査槽と該検査槽にセットしたパレットの説明図。
【図7】実施例2における,測定端子と排出チャック,積層型ガスセンサ素子の位置関係を示す説明図。
【図8】実施例2における,液位センサの構造を示す説明図。
【図9】実施例2における,検査の際に積層型ガスセンサ素子をセットするパレットの説明図。
【図10】実施例2における,検査ピンがささったままのパレットに別のパレットを積層しようとした状態を示す説明図。
【図11】実施例3にかかる,全周を覆うようにガスを略遮蔽可能な緻密保護層を設けた積層型ガスセンサ素子の説明図。
【符号の説明】
1...積層型ガスセンサ素子,
11...固体電解質板,
121...被測定ガス側電極,
131...基準電極,
136...基準側外部端子,
141...拡散抵抗層,
142...緻密保護層,
2...導電性検査液,
3...検査装置,
Claims (5)
- 固体電解質板と該固体電解質板の表面に設けて被測定ガスにさらされる被測定ガス側電極及び基準ガスにさらされる基準電極とよりなるセンサセルを有し,
かつ上記被測定ガス側電極を多孔質の拡散抵抗層で被覆積層し,更に上記拡散抵抗層を緻密保護層で被覆積層した積層型ガスセンサ素子を検査するに当たり,
上記積層型ガスセンサ素子を導電性検査液に浸し,かつ上記基準電極は上記導電性検査液と非接触として,
上記導電性検査液と上記基準電極との間に電圧を印加して上記導電性検査液と上記基準電極との間に流れる電流値を測定し,上記導電性検査液と上記基準電極との間で絶縁が確保されているか否かを判定することを特徴とする積層型ガスセンサ素子の検査方法。 - 請求項1において,上記導電性検査液と上記基準電極との間に電圧を印加する際は,
上記基準電極と電気的に導通し,積層型ガスセンサ素子の外部に露出形成され,上記導電性検査液と接触していない基準側外部端子と上記導電性検査液との間に電圧を印加して行うことを特徴とする積層型ガスセンサ素子の検査方法。 - 請求項1または2において,上記導電性検査液と上記基準電極との間に印加する電圧は250〜1000Vであることを特徴とする積層型ガスセンサ素子の検査方法。
- 請求項1〜3のいずれか1項において,上記導電性検査液と上記基準電極との間に電圧を印加して上記導電性検査液と上記基準電極との間に流れる電流値が5μA以下である積層型ガスセンサ素子を良品と判定することを特徴とする積層型ガスセンサ素子の検査方法。
- 請求項1〜4のいずれか1項において,上記導電性検査液はエタノールであることを特徴とする積層型ガスセンサ素子の検査方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002362796A JP3867666B2 (ja) | 2002-12-13 | 2002-12-13 | 積層型ガスセンサ素子の検査方法 |
US10/730,884 US7013701B2 (en) | 2002-12-13 | 2003-12-10 | Inspection method of multilayer gas sensing device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002362796A JP3867666B2 (ja) | 2002-12-13 | 2002-12-13 | 積層型ガスセンサ素子の検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004191328A true JP2004191328A (ja) | 2004-07-08 |
JP3867666B2 JP3867666B2 (ja) | 2007-01-10 |
Family
ID=32652593
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002362796A Expired - Lifetime JP3867666B2 (ja) | 2002-12-13 | 2002-12-13 | 積層型ガスセンサ素子の検査方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7013701B2 (ja) |
JP (1) | JP3867666B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102014207227A1 (de) | 2013-04-15 | 2014-10-16 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Gas Sensor |
JP2017173221A (ja) * | 2016-03-25 | 2017-09-28 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサの製造方法およびガスセンサの製造装置 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20080017510A1 (en) * | 2004-05-26 | 2008-01-24 | Nair Balakrishnan G | NOx Gas Sensor Method and Device |
DE102004048979B4 (de) * | 2004-10-01 | 2007-12-20 | Aceos Gmbh | Sensor mit wenigstens einem beheizten Sensorelement |
US7611612B2 (en) * | 2005-07-14 | 2009-11-03 | Ceramatec, Inc. | Multilayer ceramic NOx gas sensor device |
JP2010519514A (ja) * | 2007-02-16 | 2010-06-03 | セラマテック・インク | 選択性および検出感度の改善されたNOxセンサー |
JP4863960B2 (ja) * | 2007-10-12 | 2012-01-25 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 酸素センサの検査方法 |
JP4974936B2 (ja) * | 2008-03-05 | 2012-07-11 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ素子の検査方法 |
US9164080B2 (en) | 2012-06-11 | 2015-10-20 | Ohio State Innovation Foundation | System and method for sensing NO |
US10031495B2 (en) * | 2015-05-29 | 2018-07-24 | Rockwell Automation Technologies, Inc. | Data collection for assistance in an industrial automation environment |
US11988630B2 (en) | 2021-10-25 | 2024-05-21 | Robert Bosch Gmbh | Method to use artificial intelligence to enhance visual inspection of oxygen sensors |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3355796B2 (ja) | 1993-08-31 | 2002-12-09 | 株式会社デンソー | 空燃比検出装置及びその製造方法 |
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-
2002
- 2002-12-13 JP JP2002362796A patent/JP3867666B2/ja not_active Expired - Lifetime
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2003
- 2003-12-10 US US10/730,884 patent/US7013701B2/en not_active Expired - Lifetime
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US9506899B2 (en) | 2013-04-15 | 2016-11-29 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Gas sensor |
JP2017173221A (ja) * | 2016-03-25 | 2017-09-28 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサの製造方法およびガスセンサの製造装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7013701B2 (en) | 2006-03-21 |
US20040123642A1 (en) | 2004-07-01 |
JP3867666B2 (ja) | 2007-01-10 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20061002 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 3867666 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101020 Year of fee payment: 4 |
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101020 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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