JP3873011B2 - ガスセンサ処理方法およびガスセンサ処理装置 - Google Patents
ガスセンサ処理方法およびガスセンサ処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3873011B2 JP3873011B2 JP2002212488A JP2002212488A JP3873011B2 JP 3873011 B2 JP3873011 B2 JP 3873011B2 JP 2002212488 A JP2002212488 A JP 2002212488A JP 2002212488 A JP2002212488 A JP 2002212488A JP 3873011 B2 JP3873011 B2 JP 3873011B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- sensor
- sensor processing
- specific
- processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、特定ガスの濃度変化に応じて電気抵抗値が変化する感ガス体と、測定対象ガスを前記感ガス体まで導入するガス導入部とを備えるガスセンサに対し、特定ガスを含むセンサ処理用ガスをガス導入部に供給して所定のセンサ処理を行うにあたり、複数のガスセンサに対してセンサ処理を同時に行うガスセンサ処理装置およびセンサ処理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、特定ガス（ＣＯ、ＮＯ2 など）の濃度変化に応じて電気抵抗値が変化する感ガス体を備えて構成されるガスセンサが知られている。
このようなガスセンサは、出荷前の製造工程において、自身の特性の安定化や出力特性検査などを目的として、特定ガスを含むセンサ処理用ガスを感ガス体に供給して特定のセンサ処理（エージング処理やセンサ特性検査処理など）が実行される。なお、エージング処理とは、ガスセンサの出荷前に、ガスセンサが所定の性能を示すように（換言すれば、出荷後に品質が低下しないように）、一定濃度の特定ガスを含むセンサ処理用ガスを用いてガスセンサをならしで駆動させ、ガスセンサの特性を安定化させる処理をいう。
【０００３】
このセンサ処理は、例えば、図９に示すような従来型センサ処理装置１０１を用いて実行される。
従来型センサ処理装置１０１は、複数個（例えば、３５個）のガスセンサ１０７を保持する保持用治具１０３と、保持用治具１０３を収容可能な大型ガス室（例えば、容積１００［Ｌ］）を有するチャンバ１０５とを備えて構成されている。
【０００４】
従来型センサ処理装置１０１は、ガスセンサ１０７が取り付けられた保持用治具１０３がチャンバ１０５の大型ガス室の内部に配置された後、大型ガス室にセンサ処理用ガスを充填することで、各ガスセンサ１０７に対してセンサ処理用ガスを供給して、センサ処理を実行する。
【０００５】
このように複数個のガスセンサを大型ガス室に配置して同時にセンサ処理を行うことで、ガスセンサを１個ずつセンサ処理を行う場合に比べて、ガスセンサ１個あたりに要するセンサ処理の作業所要時間を短縮することができ、作業効率の向上を図ることができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述のような従来型センサ処理装置においては、大型ガス室の容積が大きいために、大型ガス室の内部をセンサ処理用ガスに置き換えるためのガス置換時間が長くなり、また、ガス使用量が多くなるという問題がある。
【０００７】
センサ処理の作業所要時間には、ガス置換時間が必ず含まれるため、ガス置換時間が長くなると、センサ処理における所要時間を一定時間以下に短縮することが難しくなり、作業効率を十分に向上することができない。
また、ガス使用量が多量となると、センサ処理に要するコストが増大するという問題が生じる。
【０００８】
さらに、大型ガス室の内部にセンサ処理用ガスを導入して、室内を一定濃度雰囲気に置換する場合、上述したようにガス置換時間が長くなる傾向にあり、センサ処理用ガスを導入した時点から一定濃度に達するまでの濃度勾配が緩慢な傾きを示すことになる。そのために、大型ガス室を有するチャンバを用いて複数のガスセンサに対しセンサ特性検査処理を行った場合、ガスセンサがガス濃度の急峻な変化を検出したか否かを適正に評価（検査）したものとは言い難く、センサ特性検査処理の信頼性が確実なものとは言い難い。
【０００９】
そこで、本発明は、こうした問題に鑑みなされたものであり、複数のガスセンサに対してセンサ処理を同時に行うにあたり、作業所要時間を短縮すると共にコストの低減を図ることができ、さらに精度良くセンサ処理を実行できるガスセンサ処理方法およびガスセンサ処理装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
かかる目的を達成するためになされた請求項１に記載の発明方法は、特定ガスの濃度変化に応じて電気抵抗値が変化する感ガス体と、測定対象ガスを感ガス体まで導入するガス導入部と、を備えるガスセンサに対し、特定ガスを含むセンサ処理用ガスをガス導入部に供給して所定のセンサ処理を行うにあたり、複数の前記ガスセンサに対してセンサ処理を同時に行うセンサ処理方法であって、複数のガスセンサのガス導入部をそれぞれ個別に設けられた個別ガス室で覆い、複数の個別ガス室にそれぞれセンサ処理用ガスを充填して、センサ処理を行うことを特徴とする。
【００１１】
このガスセンサ処理方法では、複数のガスセンサを全て収容する大型ガス室ではなく、各ガスセンサのガス導入部をそれぞれ個別に覆う複数の個別ガス室を用いて、センサ処理を実行する。
個別ガス室は、ガスセンサのガス導入部をそれぞれ個別に覆うことから、ガスセンサ全体を覆う構造のガス室に比べて、ガス導入部に供給するセンサ処理用ガスの収容容積は小さくなる。また、ガスセンサの個数に応じて設けられる複数の個別ガス室の合計容積は、複数のガスセンサを収容する大型ガス室の容積に比べて小さくなる。
【００１２】
このようにガス室の容積を縮小することで、センサ処理用ガスの使用量を減少でき、また、ガス室に対してセンサ処理用ガスを充填する際のガス置換時間を短縮できる。
さらに、ガスセンサのガス導入部に一対一で対応させて個別ガス室を配置し、複数のガスセンサに対し一括してセンサ処理を実行することから、個別ガス室に充填されるセンサ処理用ガスの濃度勾配が従来（即ち、大型ガス室を有するチャンバを用いてのセンサ処理）に比べて敏感になり、精度の良い所定のセンサ処理を一括して実行することができる。
【００１３】
よって、本発明（請求項１）のガスセンサ処理方法によれば、複数のガスセンサに対してセンサ処理を同時に行うにあたり、ガス置換時間の短縮により作業所要時間を短縮することができ、また、センサ処理用ガスの使用量の減少によりコストの低減を図ることができる。
【００１４】
なお、センサ処理としては、例えば、請求項２に記載のように、センサ処理用ガスとして一定濃度の特定ガスを含むエージング用ガスを用いることにより、ガスセンサの特性を安定化させるエージング処理を行うことができる。この発明方法（請求項２）によれば、ガスセンサに対してエージング処理を行うにあたり、作業所要時間を短縮でき、また、エージング用ガスの使用量低減によるコストの低減を図ることができる。さらに、複数のガスセンサの個々に対して、精度の良いエージング処理を一括して実行することができる。
【００１５】
また、センサ処理の他の例としては、請求項３に記載のように、センサ処理用ガスとして特定ガスを含む検査用ガスを用い、検査用ガスに含まれる特定ガスの濃度を変化させて、その濃度変化に対するガスセンサの出力の状態を検査するセンサ特性検査処理を行うことができる。
【００１６】
センサ特性検査処理を行うにあたり、本発明方法を用いることで、ガス置換時間を短縮できるため、特定ガス濃度の変更に要する濃度変更所要時間を短縮することができ、速やかにセンサ特性検査処理を行うことができる。
よって、本発明方法（請求項３）によれば、ガスセンサに対してセンサ特性検査処理を行うにあたり、作業所要時間を短縮でき、また、検査用ガスの使用量低減によるコストの低減を図ることができる。さらに、複数のガスセンサの個々に対して、精度の良いセンサ特性検査処理を一括して実行することができる。
【００１７】
次に、請求項４に記載の発明方法は、上述（請求項１から請求項３のいずれか）のガスセンサ処理方法であって、複数のガスセンサを保持し、センサ処理を行うためのセンサ処理位置に配置される保持用治具を用いるセンサ処理方法であり、保持用治具として、複数のセンサ処理位置に配置可能な構造の共用保持用治具を用いて、複数のガスセンサに対して複数のセンサ処理を行うことを特徴とする。
【００１８】
複数のガスセンサを１つの保持用治具で保持することで、センサ処理位置に対して複数のガスセンサを一度に配置でき、また、センサ処理位置から複数のガスセンサを一度に取り外すことができる。このため、センサ処理が完了した処理済みの複数のガスセンサをセンサ処理位置から取り除き、続いて未処理の複数のガスセンサをセンサ処理位置に配置するまでのガスセンサ取り替え時間を短縮することができ、一連のセンサ処理作業に要する作業時間を短縮することができる。
【００１９】
また、保持用治具として、複数のセンサ処理位置に配置可能な構造の共用保持用治具を用いることで、ガスセンサを他のセンサ処理位置に移動する際の各ガスセンサの着脱作業を省略することができる。つまり、複数のガスセンサに対して複数のセンサ処理を実行するにあたり、異なるセンサ処理位置間のガスセンサの移動時間を短縮することができ、一連のセンサ処理作業における作業時間を短縮することができる。
【００２０】
よって、本発明（請求項４）のガスセンサ処理方法によれば、保持用治具を用いることで、一連のセンサ処理作業における作業時間を短縮することができ、複数のガスセンサに対するセンサ処理の作業効率を向上することができる。また、共用保持用治具を用いることで、ガスセンサに対して複数種類のセンサ処理を行うにあたり、センサ処理毎に保持用治具に着脱を行う必要がなくなるので、作業時間を短縮でき、センサ処理の作業効率を向上できる。
【００２１】
なお、上記発明方法（請求項４）においては、例えば、請求項５に記載のように、複数のセンサ処理として、少なくともエージング処理とセンサ特性検査処理とを行うとよい。
エージング処理およびセンサ特性検査処理は、ガスセンサの出荷前に行われるセンサ処理であり、本発明方法（請求項５）を用いることで、ガスセンサの出荷前に実施する一連のセンサ処理の作業所要時間を短縮することができ、作業効率を向上できる。
【００２２】
次に、上述（請求項４または請求項５）のガスセンサ処理方法は、請求項６に記載のように、複数のセンサ処理のうち、特定のセンサ処理が完了したことを示す特定センサ処理完了表示を行うとよい。
このガスセンサ処理方法は、特定センサ処理完了表示に基づいて特定のセンサ処理（特定センサ処理）が完了しているか否かを判断できるため、特定センサ処理が未処理の状態でガスセンサが出荷されるのを防止できる。また、特定センサ処理が実行済みであるか否かを判断できるため、同一のガスセンサに対して、誤って必要以上の回数にわたり特定センサ処理を実行するのを防止でき、センサ処理の無駄が生じるのを防止できる。
【００２３】
さらに、複数のセンサ処理の実行順序が定められている場合には、センサ処理完了表示に基づいて特定センサ処理が完了しているか否かを判断できるため、誤った順序で複数のセンサ処理が実行されるのを防止できる。
よって、本発明（請求項６）のガスセンサ処理方法によれば、ガスセンサに対して特定センサ処理を確実に実行できるため、ガスセンサが不完全な状態で出荷されるのを防止でき、また、特定センサ処理の重複実行による作業の無駄を防止できるため、センサ処理の作業効率を向上できる。さらに、誤った順序で複数のセンサ処理が実行されるのを防止することで、ガスセンサに対する一連のセンサ処理を適切な順序で実行することができる。
【００２４】
なお、上述（請求項６）のガスセンサ処理方法において、少なくともエージング処理とセンサ特性検査処理を行う場合には、センサ処理完了表示として、エージング処理が完了したことを示すエージング完了表示を行うとよい。
これにより、エージング処理が完了したか否かを判断できるため、エージング処理の完了を確認した後にセンサ特性検査処理を実行することで、出荷前のガスセンサに対するセンサ処理を、適正な処理順序に従い実行することができる。また、エージング処理が完了したか否かを判断できることから、エージング処理を重複して実行するのを防止でき、作業に無駄が生じるのを防止できる。
【００２５】
ところで、各ガスセンサに対して供給されるセンサ処理用ガスの濃度（詳細には、特定ガスの濃度）がそれぞれ異なる場合、ガスセンサ毎にセンサ処理の効果にバラツキが生じることになる。そして、センサ処理用ガスのガスタンクから各個別ガス室に対してそれぞれ並列にガス配管を接続してセンサ処理用ガスを充填する場合、ガス配管の長さ寸法や曲げ角度の違いに起因して、各ガス配管のガス流通抵抗がそれぞれ異なる値となる場合がある。このようにガス流通抵抗が異なると、個別ガス室毎にセンサ処理用ガスの濃度が一定濃度となるまでの濃度勾配に差が生じる虞がある。
【００２６】
そこで、上述（請求項１から請求項６のいずれか）のガスセンサ処理方法においては、請求項７に記載のように、複数の個別ガス室はガス配管を介して直列に並置されており、ガス配管を通じて複数の個別ガス室の個々に対して順にセンサ処理用ガスを充填させるとよい。
【００２７】
つまり、個別ガス室をガス配管を介して直列に接続することで、個別ガス室およびガス配管からなるガス流通経路を複数ではなく単数（１本）に限定するのである。このようにガス流通経路を１本に限定することで、複数のガス流通経路を備える場合のようにガス流通抵抗の差異によって個別ガス室ごとの濃度勾配に差が生じ難くなり、所定のセンサ処理に対する信頼性をより向上させることができる。
【００２８】
よって、本発明（請求項７）のガスセンサ処理方法によれば、複数のガスセンサに対してセンサ処理を行うにあたり、個別ガス室に充填されるセンサ処理用ガスの濃度勾配を略均一にすることができ、その結果、各個別ガス室内のセンサ処理用ガスによる置換を安定してかつ敏感に行うことができ、ガスセンサ毎にセンサ処理の効果にバラツキが生じるのを防止できる。
【００２９】
次に、上述の目的を達成するためになされた請求項８に記載の発明は、特定ガスの濃度変化に応じて電気抵抗値が変化する感ガス体と、感ガス体に電気的に接続されたセンサ電極と、測定対象ガスを感ガス体まで導入するガス導入部と、を備えるガスセンサに対し、特定ガスを含むセンサ処理用ガスをガス導入部に供給して所定のセンサ処理を行うにあたり、複数のガスセンサに対してセンサ処理を同時に行うセンサ処理装置であって、複数のガスセンサを保持するセンサ保持部と、ガスセンサのセンサ電極に電気的に接続されるセンサ信号配線部と、複数のガスセンサのガス導入部をそれぞれ個別に覆うと共に、センサ処理用ガスを蓄積可能に構成された複数の個別ガス室と、を備えたことを特徴とする。
【００３０】
このガスセンサ処理装置は、請求項１の発明方法と同様に、複数のガスセンサを全て収容する大型ガス室ではなく、各ガスセンサのガス導入部をそれぞれ個別に覆う複数の個別ガス室が備えられている。このため、ガスセンサの個数に応じて設けられる複数の個別ガス室の合計容積は、複数のガスセンサを収容する大型ガス室の容積に比べて縮小される。このようにガス室の容積を縮小することで、センサ処理用ガスの使用量を減少でき、また、センサ処理用ガスのガス置換時間を短縮できる。
【００３１】
さらに、ガスセンサのガス導入部に一対一で対応させて個別ガス室を配置し、複数のガスセンサに対し一括してセンサ処理を実行することから、個別ガス室に充填されるセンサ処理用ガスの濃度勾配が従来（即ち、大型ガス室を有するチャンバを用いてのセンサ処理）に比べて敏感になり、精度の良いセンサ処理を一括して実行することができる。
【００３２】
よって、本発明（請求項８）のガスセンサ処理装置によれば、複数のガスセンサに対してセンサ処理を同時に行うにあたり、ガス置換時間の短縮により作業所要時間を短縮することができ、また、センサ処理用ガスの使用量の減少によりコストの低減を図ることができる。さらに、複数のガスセンサの個々に対して、精度の良いセンサ処理を一括して実行することができる。
【００３３】
なお、センサ処理としては、例えば、エージング処理があり、上述（請求項８）のセンサ処理装置は、請求項９に記載のように、センサ処理用ガスが一定濃度の特定ガスを含むエージング用ガスであり、センサ処理がガスセンサの特性を安定化させるエージング処理となるセンサ処理装置であるとよい。
【００３４】
このセンサ処理装置によれば、ガスセンサに対してエージング処理を行うにあたり、作業所要時間を短縮でき、また、エージング用ガスの使用量低減によるコストの低減を図ることができる。なお、エージング処理を行うにあたり、ガスセンサに対する通電が必要な場合には、センサ信号配線部を介して通電を行うことができる。
【００３５】
また、センサ処理の他の例としては、センサ特性検査処理があり、上述（請求項８）のセンサ処理装置は、請求項１０に記載のように、センサ処理用ガスが特定ガスを含む検査用ガスであり、センサ処理が、検査用ガスに含まれる特定ガスの濃度変化に対するガスセンサの出力の状態を検査するセンサ特性検査処理となるガスセンサ処理装置であるとよい。
【００３６】
このガスセンサ処理装置によれば、センサ特性検査処理を行うにあたり、ガス置換時間を短縮できるため、特定ガス濃度の変更に要する濃度変更所要時間を短縮することができ、速やかにセンサ特性検査処理を行うことができる。また、センサ特性検査処理を行うにあたり、ガスセンサからの出力は、センサ信号配線部を介して検出することができる。
【００３７】
よって、本発明（請求項１０）によれば、ガスセンサに対してセンサ特性検査処理を行うにあたり、作業所要時間を短縮でき、また、検査用ガスの使用量低減によるコストの低減を図ることができる。
ところで、各ガスセンサに対して供給されるセンサ処理用ガスの濃度（詳細には、特定ガスの濃度）がそれぞれ異なる場合、ガスセンサ毎にセンサ処理の効果にバラツキが生じることになる。そして、センサ処理用ガスのガスタンクから各個別ガス室に対してそれぞれ並列にガス配管を接続してセンサ処理用ガスを充填する場合、ガス配管の長さ寸法や曲げ角度の違いに起因して、各ガス配管のガス流通抵抗がそれぞれ異なる値となる場合がある。このようにガス流通抵抗が異なると、個別ガス室毎にセンサ処理用ガスの濃度が一定濃度となるまでの濃度勾配に差が生じる虞がある。
【００３８】
そこで、上述（請求項８から請求項１０のいずれか）のガスセンサ処理装置は、請求項１１に記載のように、複数の個別ガス室が、ガス配管を介して直列に配置され、ガス配管を通じてセンサ処理用ガスが充填される構成であるとよい。
つまり、個別ガス室をガス配管を介して直列に接続することで、個別ガス室およびガス配管からなるガス流通経路を複数ではなく単数（１本）に限定するのである。このようにガス流通経路を１本に限定することで、複数のガス流通経路を備える場合のようにガス流通抵抗の差異によって個別ガス室ごとの濃度勾配に差が生じ難くなり、所定のセンサ処理に対する信頼性をより向上させることができる。
【００３９】
よって、本発明（請求項１１）のガスセンサ処理装置によれば、複数のガスセンサに対してセンサ処理を行うにあたり、個別ガス室に充填されるセンサ処理用ガスの濃度勾配を略均一にすることができ、その結果、各個別ガス室内のセンサ処理用ガスによる置換を安定してかつ敏感に行うことができ、ガスセンサ毎にセンサ処理の効果にバラツキが生じるのを防止できる。
【００４０】
次に、上述（請求項８から請求項１１のいずれか）のガスセンサ処理装置は、請求項１２に記載のように、ガスセンサとの当接面に個別ガス室を備え、複数のガスセンサに対応して設けられる複数のガス室形成部と、ガスセンサに当接した複数のガス室形成部をそれぞれガスセンサに向けて押圧する押圧手段とを備えるとよい。
【００４１】
単一のガス室形成部に対して複数の個別ガス室を一体に備えるのではなく、複数の個別ガス室を、それぞれ異なるガス室形成部に備えることで、個別ガス室（ガス室形成部）とガスセンサとの距離を、個別ガス室毎にそれぞれ独立して調整することができる。また、押圧手段がガス室形成部をガスセンサに向けて押圧するため、個別ガス室（ガス室形成部）を確実にガスセンサに当接させることができる。
【００４２】
つまり、ガスセンサとガス室形成部との相対距離が、寸法較差等に起因してガスセンサ毎に異なる場合でも、ガス室形成部を各ガスセンサに確実に当接させることができるため、ガスセンサのガス導入孔を確実に個別ガス室で覆うことができる。
【００４３】
よって、本発明（請求項１２）のガスセンサ処理装置によれば、複数のガスセンサに対してセンサ処理を行うにあたり、ガスセンサやガスセンサ処理装置に寸法較差がある場合でも、ガスセンサのガス導入孔を個別ガス室で覆うことができ、ガスの漏洩を防ぎつつセンサ処理を実行することができる。
【００４４】
また、上述（請求項１２）のガスセンサ処理装置は、請求項１３に記載のように、ガス室形成部の当接面とガスセンサとの間に配置され、当接面とガスセンサとの間の隙間を閉塞して個別ガス室の気密を維持する気密維持用シール部材を備えるとよい。
【００４５】
気密維持用シール部材を備えることで、ガス室形成部の当接面とガスセンサとの間に生じる僅かな隙間についても閉塞することができ、個別ガス室の気密性をより向上させることができる。
よって、本発明（請求項１３）のガスセンサ処理装置によれば、複数のガスセンサに対してセンサ処理を行うにあたり、個別ガス室の気密性をより向上させることができるため、センサ処理用ガスの漏洩をより一層防止でき、センサ処理用ガスの濃度低下によるセンサ処理の効率低下を防止できる。
【００４６】
次に、上述（請求項８から請求項１３のいずれか）のガスセンサ処理装置は、請求項１４に記載のように、センサ保持部として、複数のガスセンサを保持し、センサ処理を行うためのセンサ処理位置に配置される保持用治具を備え、保持用治具が、複数種類のガスセンサ処理装置のセンサ処理位置に配置可能な構造の共用保持用治具であるとよい。
【００４７】
このガスセンサ処理装置は、複数のガスセンサを１つの保持用治具で保持することから、請求項４の発明方法と同様に、ガスセンサ取り替え時間を短縮することができ、一連のセンサ処理作業に要する作業時間を短縮することができる。
また、このガスセンサ処理装置は、共用保持用治具を用いることから、請求項４の発明方法と同様に、ガスセンサを他のセンサ処理位置に移動する際の各ガスセンサの着脱作業を省略でき、一連のセンサ処理作業における作業時間を短縮することができる。
【００４８】
よって、本発明（請求項１４）のガスセンサ処理装置によれば、請求項４の発明方法と同様に、複数のガスセンサに対して複数種類のセンサ処理を行う場合の作業効率を向上することができる。
なお、上記発明（請求項１４）においては、例えば、請求項１５に記載のように、共用保持用治具が、少なくともエージング処理を行うためのガスセンサ処理装置と、センサ特性検査処理を行うためのガスセンサ処理装置とに装着可能に構成されているとよい。
【００４９】
エージング処理およびセンサ特性検査処理は、ガスセンサの出荷前に行われるセンサ処理であり、本発明（請求項１５）を用いることで、ガスセンサの出荷前に実施するセンサ処理の作業効率を向上できる。
次に、上述（請求項１４または請求項１５）のガスセンサ処理装置は、請求項１６に記載のように、保持用治具が、複数のセンサ処理のうち、特定のセンサ処理が完了したことを示す特定センサ処理完了表示部を備えるとよい。
【００５０】
このガスセンサ処理装置は、請求項６の発明方法と同様に、特定センサ処理完了表示部に基づいて特定のセンサ処理（特定センサ処理）が完了しているか否かを判断できるため、特定センサ処理が未処理の状態でガスセンサが出荷されるのを防止できる。また、同一のガスセンサに対して、誤って必要以上の回数にわたり特定センサ処理を実行するのを防止でき、センサ処理の無駄が生じるのを防止できる。さらに、複数のセンサ処理の実行順序が定められている場合には、誤った順序で複数のセンサ処理が実行されるのを防止できる。
【００５１】
よって、本発明（請求項１６）のガスセンサ処理装置によれば、ガスセンサが不完全な状態で出荷されるのを防止でき、また、センサ処理の作業効率を向上できる。さらに、誤った順序で複数のセンサ処理が実行されるのを防止することで、ガスセンサに対する一連のセンサ処理を適切な順序で実行することができる。
【００５２】
なお、上述（請求項１６）のガスセンサ処理装置において、少なくともエージング処理とセンサ特性検査処理を行う場合には、保持用治具が、特定センサ処理完了表示部として、エージング処理が完了したことを示すエージング完了表示部を備えるとよい。
【００５３】
このガスセンサ処理装置は、エージング完了表示部に基づいて、請求項７の発明方法と同様に、エージング処理が完了したか否かを判断できるため、エージング処理の完了を確認した後にセンサ特性検査処理を実行することで、出荷前のガスセンサに対するセンサ処理を、適正な処理順序に従い実行することができる。また、エージング処理が完了したか否かを判断できることから、エージング処理を重複して実行するのを防止でき、作業に無駄が生じるのを防止できる。
【００５４】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施例を図面と共に説明する。
実施例として、ガスセンサ１１のセンサ特性検査を行うガスセンサ検査装置１について説明する。ガスセンサ検査装置１の主要部分の概略構成を表す構成図を図１に示す。なお、図１では、ガスセンサ検査装置１の内部構成を示すために一部を断面図として表している。
【００５５】
ガスセンサ検査装置１は、１０個のガスセンサ１１に対して、特定ガスを含む検査用ガスを供給し、特定ガスの濃度変化に対するガスセンサ１１の出力の状態を検査するセンサ特性検査処理を行うためのセンサ処理装置である。
なお、ガスセンサ１１は、特定ガスの濃度変化に応じて電気抵抗値が変化する感ガス体を有する検知素子を内部に備えており、具体的には、ＣＯ等の還元性ガスの濃度変化に応じて電気抵抗値が変化する第１感ガス体と、ＮＯ2 等の酸化性ガスの濃度変化に応じて電気抵抗値が変化する第２感ガス体とを有する検知素子を内部に備えている。ガスセンサ１１の分解斜視図を図２（ａ）に示し、ガスセンサ１１の平面図（上面図）を図３に示す。
【００５６】
図２及び図３に示すように、ガスセンサ１１は、被検知ガス取入口８１ｂが形成されたサブケース８１の内部に、図示しない検知素子と、その検知素子の検知能を活性化させるためのヒータとを組み込んだものである。そして、この検知素子およびヒータが、マイクロコンピュータ８３と、コンデンサや抵抗器といった電子部品８５とともに、基板８７に一体的に組み付けられている。基板８７は、プラスチック製のケース９１，９３内に封入され、ケース９１には雄コネクタ部１７と、検知素子およびヒータを内部に有するサブケース８１を内側に収容すると共に複数のガス導入孔１３が設けられたセンサ収容部１５が形成されている。
【００５７】
雄コネクタ部１７の内部には、ガスセンサを自動車あるいはガスセンサ検査装置１（または後述する第２実施例のエージング処理装置２）に電気的に接続するためのヒータ電源端子１９ａ、センサ出力端子１９ｂおよび接地端子１９ｃを有する端子部１９が設けられている。端子部１９は、基板８７に設けられた端子孔８９に各々挿通され、この端子孔８９の周囲に形成された金属パッドを介して、基板８７の上に形成された配線パターンに半田付け接続されている。
【００５８】
上述した通り、ガスセンサ１１の検知素子は、図２（ｂ）に示すように、還元性ガスを検知する第１感ガス体５ａと、酸化性ガスを検知する第２感ガス体５ｂとを有する。前者は、還元性ガスの濃度が増加すると電気抵抗値が減少する酸化物薄膜（例えばＳｎＯ2 ）、後者は酸化性ガスの濃度が増加すると電気抵抗値が増加する酸化物薄膜（例えばＷＯ3 ）により形成される。第１感ガス体５ａと第２感ガス体５ｂとは、ヒータ５ｃとともにセラミック基体５ｄの上に一体的に組み付けられている。なお、本実施形態では、第１感ガス体５ａおよび第２感ガス体５ｂの各出力端子５ｔ1 、５ｔ2 と、両感ガス体５ａ，５ｂの間で共用される接地端子５ｔｇが設けられている。また、ヒータ５ｃの入力端子としてヒータ用入力端子５ｔ3 が備えられ、ヒータ５ｃの接地側の端子は両感ガス体５ａ，５ｂの接地端子５ｔｇと共用化されている。
【００５９】
このガスセンサ１１は、両感ガス体５ａ，５ｂより別個に得られるセンサ出力をマイコン８３に記憶された所定の検知プログラムに従って処理し、その処理結果をセンサ出力端子１９ｂから出力する。具体的には、感ガス体の電気抵抗値の変化が大きくガス検知と判断される場合には、ハイレベルのガス検知信号を、逆に感ガス体の電気抵抗値の変化が小さくガスを検知していないと判断される場合には、ローレベルのガス検知信号を、センサ出力端子１９ｂから出力する。なお、２つの感ガス体５ａ，５ｂからのガス検知信号は、例えば、上記検知プログラムによる時分割出力処理により、１つのセンサ出力端子１９ｂを用いて出力できる。
【００６０】
ガスセンサ検査装置１は、図１に示すように、１０個のガスセンサ１１を保持可能な共用保持用治具２１と、センサ処理位置４４および１０個のガス室形成部２３を有する基台部２５と、共用保持用治具２１に装着されたガスセンサ１１に当接し、ガス室形成部２３との間でガスセンサ１１を挟持するセンサ挟持機構部２７と、を備えて構成されている。
【００６１】
なお、基台部２５においては、センサ処理位置４４は、共用保持用治具２１を配置可能に構成されており、ガス室形成部２３は、後述する個別ガス室５３を備えて構成されている。
このうち、共用保持用治具２１について、平面図を図４に示し、側面図を図５に示す。なお、図５は、図４に示す共用保持用治具２１を、矢印３９の方向に見たときの側面図である。
【００６２】
共用保持用治具２１は、図４および図５から判るように、略長方形の略板形状に形成されており、表面から裏面にかけて貫通する５個の開口部３１と、開口部３１に隣接して設けられた１０個の雌コネクタ部３３と、検査機器に対して電気的に接続される外部接続コネクタ部３５と、を備えて構成されている。なお、検査機器は、ガスセンサ１１から出力されるガス検知信号の状態を測定（検査）するための機能を備えている。
【００６３】
図６に、図４における共用保持用治具２１のＢ−Ｂ視断面のうち、２個のガスセンサ１１が配置される部分の断面図を示す。
雌コネクタ部３３は、図６に示すように、ガスセンサ１１の雄コネクタ部１７が嵌合接続可能な形状に構成されており、外部接続コネクタ部３５（詳細には、後述する外部用電極３７）と電気的に接続された雌コネクタ端子（図示省略）を備えている。雌コネクタ端子は、雌コネクタ部３３と雄コネクタ部１７との嵌合接続時に、雄コネクタ部１７の各端子１９ａ〜１９ｃに接触する位置に配置されており、各端子１９ａ〜１９ｃと電気的に接続可能に構成されている。なお、雌コネクタ部３３は、１つの開口部３１に対して２個ずつ備えられている。
【００６４】
外部接続コネクタ部３５は、図５に示すように、共用保持用治具２１の側面に設けられており、検査機器に繋がる検査機器側コネクタ（図示省略）と嵌合接続可能な形状に形成されている。
また、外部接続コネクタ部３５は、雌コネクタ部３３の雌コネクタ端子と電気的に接続された３０個の外部用電極３７を備えて構成されている。外部用電極３７は、外部接続コネクタ部３５と検査機器側コネクタとの嵌合接続時に、検査機器側コネクタに備えられる検査機器側電極に接触する位置に配置されており、検査機器側電極と電気的に接続可能に構成されている。
【００６５】
次に、共用保持用治具２１へのガスセンサ１１の装着手順について、共用保持用治具２１の一部断面を表す図６の断面図を用いて説明する。
装着に際しては、まず、ガスセンサ１１を、図６の左側に示すように、センサ収容部１５および雄コネクタ部１７が共用保持用治具２１に対向するように配置する。そのあと、矢印に示す方向にガスセンサ１１を移動することで、センサ収容部１５を開口部３１に配置すると共に、雄コネクタ部１７を雌コネクタ部３３に挿入する。このようにして、雄コネクタ部１７が雌コネクタ部３３に嵌合接続されることで、ガスセンサ１１は、共用保持用治具２１に装着される。
【００６６】
このようにガスセンサ１１が共用保持用治具２１に装着されると、各端子１９ａ〜１９ｃ（図示省略）と雌コネクタ端子（図示省略）とが互いに接触して電気的に接続されて、各端子１９ａ〜１９ｃは、雌コネクタ端子および外部接続コネクタ部３５の外部用電極３７を介して、検査機器と電気的に接続される。
【００６７】
また、ガスセンサ１１は、雄コネクタ部１７が雌コネクタ部３３に嵌合接続されることで、共用保持用治具２１に保持される構造であるため、雄コネクタ部１７とは別の装着用固定部を備えることなく共用保持用治具２１に装着可能となる。
【００６８】
次に、基台部２５は、図１に示すように、ガス室形成部２３を支持する可動基台部４１と、共用保持用治具２１が配置されるセンサ処理位置４４を有する固定基台部４３と、を備えて構成されている。なお、図１では、可動基台部４１および固定基台部４３は、断面図として表されている。
【００６９】
可動基台部４１は、固定基台部４３に摺動可能な状態で支持されると共に、図示しないアクチュエータに連結されており、アクチュエータの動作に応じて、図１における上下方向に移動可能に構成されている。つまり、可動基台部４１は、上下方向に移動することで、固定基台部４３のセンサ処理位置４４に配置された共用保持用治具２１とガス室形成部２３との相対距離を変更するよう構成されている。
【００７０】
ガス室形成部２３は、図７に示すように、可動基台部４１に固定される固定部４５と、ガス室を備える可動部４７とを備えて構成されている。なお、図７は、共用保持用治具２１に装着されたガスセンサ１１に対し、ガス室形成部２３を当接させる前段階の状態を示す説明図である。図７では、可動基台部４１，ガス室形成部２３および共用保持用治具２１を断面図として表しており、特にガス室形成部２３については内部構造を示している。
【００７１】
可動部４７は、図７に示すように、固定部４５の内部を摺動可能に構成されると共に、弾性スプリング５１の弾性力により共用保持用治具２１に近づくよう押圧される状態で備えられている。
図７に示す２つのガス室形成部２３のうち、右側に示すガス室形成部２３は、外力の印加により可動部４７が固定部４５の内部を図中下方向に移動した状態を表している。このように可動部４７が移動した右側のガス室形成部２３では、内部に備えられる弾性スプリング５１が、高さ方向寸法が短くなるよう弾性変形する。この結果、弾性スプリング５１は、元の形状に戻ろうとする弾性力を発生するため、可動部４７を共用保持用治具２１（ガスセンサ１１）に向けて押圧する。
【００７２】
つまり、ガス室形成部２３は、図７に示す矢印方向に向けて可動基台部４１と共に移動してガスセンサ１１に当接すると、弾性スプリング５１の押圧力によりガスセンサ１１に密着するように構成されている。
また、ガス室形成部２３は、図８に示すように、可動部４７の表面のうち、ガスセンサ１１との当接面５０に設けられるシールパッキン４９と、ガスセンサ１１との当接面５０の内部に設けられる個別ガス室５３（内容積８［ｃｃ］）と、外部から個別ガス室５３に通じる２つのガス注入口５５と、を備えて構成されている。
【００７３】
なお、図８は、ガスセンサ１１とガス室形成部２３とが当接した状態を表す説明図であり、共用保持用治具２１については図示を省略している。また、図８では、図１のうち、Ａ−Ａ視断面におけるガス室形成部２３およびガスセンサ１１に相当する部分の断面図を表しており、ガス室形成部２３における個別ガス室５３の位置を示すために、内部構造を省略した模擬的な断面状態を表している。
【００７４】
シールパッキン４９は、弾性材料（例えば、ゴムなど）で形成されており、ガス室形成部２３（詳細には可動部４７の当接面５０）とガスセンサ１１との間に生じる隙間を閉塞し、個別ガス室５３の気密性を維持するために備えられる。
個別ガス室５３は、ガスセンサ１１のセンサ収容部１５を収容可能な大きさに形成されると共に、ガス注入口５５を通じて検査用ガスを内部に充填可能に構成されている。ガス注入口５５は、可撓性材料からなるガス配管５９の端部に備えられるガス配管用コネクタ５７が着脱可能な形状に構成されており、他のガス室形成部２３のガス注入口５５とガス配管５９を介して連結される。
【００７５】
そして、ガスセンサ検査装置１に備えられる１０個の個別ガス室５３は、ガス配管５９を介して直列に接続されており、図示しない検査用ガス供給部からガス配管５９を通じて検査用ガスが充填される。
次に、センサ挟持機構部２７は、図１に示すように、ガスセンサ１１に当接するセンサ当接面６５を有する可動当接部６１と、基台部２５の固定基台部４３との相対位置が固定されている挟持機構固定部６３と、を備えて構成されている。
【００７６】
可動当接部６１は、挟持機構固定部６３に摺動可能な状態で支持されると共に、図示しないアクチュエータに連結されており、アクチュエータの動作に応じて、図１における上下方向に移動可能に構成されている。つまり、可動当接部６１は、上下方向に移動することで、固定基台部４３のセンサ処理位置４４に配置された共用保持用治具２１とセンサ当接面６５との相対距離を変更するよう構成されている。
【００７７】
このように構成されたセンサ挟持機構部２７は、可動当接部６１のセンサ当接面６５でガスセンサ１１に当接することで、基台部２５の可動基台部４１に固定されたガス室形成部２３との間で、ガスセンサ１１を挟持する。
次に、ガスセンサ検査装置１を用いてガスセンサ１１のセンサ特性検査処理を行う際の、作業手順について説明する。
【００７８】
まず、１０個のガスセンサ１１を共用保持用治具２１に装着し、その共用保持用治具２１を固定基台部４３のセンサ処理位置４４に配置したあと、共用保持用治具２１の外部接続コネクタ部３５に対して検査機器側コネクタを接続する。
続いて、ガスセンサ検査装置１に対して作業員から検査処理開始指令が入力されると、制御部（図示省略）で実行される制御処理が開始されて、制御処理の処理内容に従い、制御部から各部に駆動指令が出力される。なお、制御部は、マイクロコンピュータ（以下、マイコンともいう）を主体に構成されており、作業員からの指令やガスセンサ検査装置１の各部の状態に応じて、各種制御処理を実行可能に構成されている。
【００７９】
可動基台部４１および可動当接部６１は、制御部からの駆動指令に基づき対応するアクチュエータが駆動することにより、それぞれ共用保持用治具２１に近づく方向に移動して、ガス室形成部２３とセンサ当接面６５との間でガスセンサ１１を挟持する。これにより、各ガスセンサ１１のセンサ収容部１５は、それぞれ異なる個別ガス室５３に覆われる。
【００８０】
次に、図示しない検査用ガス供給部が、制御部からの駆動指令に基づき、ガス配管５９を介して直列接続された１０個の個別ガス室５３に対して、検査用ガスを供給する。なお、検査用ガス供給部は、ガス配管５９および個別ガス室５３からなるガス流通経路のうち、一端（ガス入力端）から目標濃度の特定ガスを含む検査用ガスを注入し、他端（ガス出力端）での特定ガス濃度を検出するよう構成されている。そして、検査用ガス供給部は、ガス出力端での特定ガス濃度が目標濃度に達すると、全ての個別ガス室５３が目標濃度に達したと判断するよう構成されている。
【００８１】
検査用ガス供給部は、制御部からの駆動指令に基づき、個別ガス室５３での特定ガス濃度を一定濃度に設定した後、特定ガス濃度が異なる検査用ガスを注入して個別ガス室５３における特定ガス濃度を変化させる。本実施例のガスセンサ検査装置１に備えられる検査用ガス供給部は、特定ガスとしてＣＯおよびＮＯ2 をそれぞれ供給するよう構成されており、ＣＯの濃度を変化させた後、ＮＯ2 濃度を変化させるという順番で検査用ガスを供給する。
【００８２】
このとき、外部接続コネクタ部３５に接続される検査機器は、ガスセンサ１１それぞれのガス濃度信号の状態を検出し、ＣＯの濃度を変化させた場合にガス濃度信号がローレベルからハイレベルに変化したか否か、およびＮＯ2 の濃度を変化させた場合にガス濃度信号がローレベルからハイレベルに変化したか否かに基づき、各ガスセンサ１１が正常であるか異常であるかを判定する。なお、検査機器は、特定ガスの濃度変化に応じてガス濃度信号がローレベルからハイレベルに変化するガスセンサ１１を正常と判定し、特定ガスの濃度変化が生じてもローレベルの出力を維持するガスセンサ１１を異常と判定する。また、この特定ガスの濃度変化に対するガスセンサ１１の出力の状態を検査する工程においては、各ガスセンサ１１の感ガス体５ａ，５ｂが活性化状態になるように、各ガスセンサ１１のヒータ５ｃは外部接続コネクタ部３５、雌コネクタ部、雄コネクタ部１７を介して通電状態とされ、両感ガス体５ａ，５ｂを加熱している。
【００８３】
特定ガスの濃度変化に対するガスセンサ１１の出力の状態を検査する工程が終了すると、制御部からの駆動指令に基づき、対応するアクチュエータが駆動することにより、可動基台部４１および可動当接部６１がそれぞれ共用保持用治具２１から離れる方向に移動して、ガス室形成部２３およびセンサ当接面６５による挟持からガスセンサ１１を開放する。
【００８４】
このあと、共用保持用治具２１の外部接続コネクタ部３５から検査機器側コネクタを取り外し、共用保持用治具２１をセンサ処理位置４４から取り除くことにより、一連のセンサ特性検査処理が終了する。
以上説明したように、ガスセンサ検査装置１は、１０個のガスセンサ１１を全て収容する大型ガス室ではなく、各ガスセンサ１１のセンサ収容部１５（ガス導入孔１３）をそれぞれ個別に覆う１０個の個別ガス室５３が備えられている。このように構成されるガスセンサ検査装置１においては、ガス配管５９および個別ガス室５３からなるガス流通経路における１個のガスセンサ１１あたりのガス容積が、前述した大型ガス室の容積（１００［Ｌ］）における１個のガスセンサあたりのガス容積に比べて小さくなる。このようにガス室の容積を縮小することで、センサ１個あたりの検査用ガスの使用量を減少できる。
【００８５】
また、ガス室の容積を縮小することで、検査用ガスのガス置換時間も短縮できるため、ガスセンサ検査装置１は、センサ特性検査処理を行うにあたり、特定ガス濃度の変更に要する濃度変更所要時間を短縮することができ、速やかにセンサ特性検査処理を行うことができる。
【００８６】
さらに、ガスセンサ１１のセンサ収容部１５（ガス導入孔１３）に一対一で対応させて個別ガス室５３を配置し、複数のガスセンサ１１に対し一括してセンサ特性検査処理を実行することから、個別ガス室５３に充填される検査用ガスの濃度勾配が従来（即ち、大型ガス室を有するチャンバを用いてのセンサ特性検査処理）に比べて敏感になり、精度の良いセンサ特性検査処理を一括して実行することができる。
【００８７】
よって、本実施例のガスセンサ検査装置１によれば、複数のガスセンサ１１に対してセンサ特性検査処理を同時に行うにあたり、ガス置換時間の短縮により作業所要時間を短縮することができ、また、検査用ガスの使用量の減少によりコストの低減を図ることができる。
【００８８】
また、ガスセンサ検査装置１は、１０個の個別ガス室５３が、ガス配管５９を介して直列に配置され、ガス配管５９を通じて検査用ガスが充填されるよう構成されている。このように個別ガス室５３およびガス配管５９からなるガス流通経路を１本に限定することで、複数のガス流通経路を並行して備える場合のようにガス流通抵抗の差異によって個別ガス室５３ごとに、検査用ガスの濃度が一定濃度となるまでの濃度勾配にバラツキ差が生じるのを防ぐことができる。
【００８９】
したがって、ガスセンサ検査装置１によれば、１０個のガスセンサ１１に対して同時にセンサ処理を行うにあたり、各個別ガス室５３に充填される検査用ガスの濃度を略均一に設定することができる。これにより、個別ガス室５３の内部の検査ガスによる置換を安定して、かつ敏感に行うことができ、センサ特性検査の条件が、ガスセンサ１１ごとにばらつくのを防止することができる。
【００９０】
さらに、ガスセンサ検査装置１は、各ガスセンサ１１に対応して設けられる１０個のガス室形成部２３を備えることから、個別ガス室５３（ガス室形成部２３）とガスセンサ１１との距離を、個別ガス室５３ごとにそれぞれ独立して調整することができる。
【００９１】
また、ガスセンサ検査装置１は、ガスセンサ１１に当接したガス室形成部２３（詳細には、可動部４７）をそれぞれガスセンサ１１に向けて押圧する弾性スプリング５１を備えることから、個別ガス室５３（ガス室形成部２３）を確実にガスセンサ１１に当接させることができる。
【００９２】
つまり、ガスセンサ１１とガス室形成部２３との相対距離が、寸法較差等に起因してガスセンサ１１ごとに異なる場合でも、ガス室形成部２３を各ガスセンサ１１に確実に当接できるため、ガスセンサ１１のガス導入孔１３が形成されたセンサ収容部１５を確実に個別ガス室５３で覆うことができる。
【００９３】
よって、ガスセンサ検査装置１によれば、複数のガスセンサ１１に対してセンサ特性検査処理を行うにあたり、ガスセンサや装置自体に寸法較差等がある場合でも、検査用ガスの漏洩を防ぎつつセンサ特性検査処理を実行することができる。
【００９４】
また、ガスセンサ検査装置１は、シールパッキン４９を備えており、ガス室形成部２３の当接面５０とガスセンサ１１との間に生じる僅かな隙間についても閉塞することができ、個別ガス室の気密性をより向上させることができる。よって、検査用ガスの漏洩をより一層防止でき、検査用ガスの濃度低下によるセンサ特性検査処理の効率低下を防止できる。
【００９５】
なお、ガスセンサ検査装置１においては、ガス導入孔１３が特許請求の範囲に記載のガス導入部に相当し、センサ出力端子１９ｂおよび接地端子１９ｃがセンサ電極に相当し、共用保持用治具２１がセンサ保持部，保持用治具および共用保持用治具に相当し、雌コネクタ部３３および外部接続コネクタ部３５がセンサ信号配線部に相当し、弾性スプリング５１が押圧手段に相当し、シールパッキン４９が気密維持用シール部材に相当するものである。
【００９６】
次に、第２実施例として、ガスセンサ１１に対してエージング処理を行うエージング処理装置２について説明する。
なお、エージング処理装置２は、上述のガスセンサ検査装置１のうち、検査用ガス供給部をエージング用ガス供給部に変更し、制御部で実行される制御処理の処理内容をエージング処理用に変更して構成されている。
【００９７】
エージング用ガス供給部は、予め定められた一定濃度のＣＯおよびＮＯ2 を含むエージング用ガスを供給するよう構成されている。制御部で実行される制御処理は、ガスセンサ１１のヒータ５ｃに対して外部接続コネクタ部３５、雌コネクタ部、雄コネクタ部１７を介して通電しつつ両感ガス体５ａ，５ｂを活性化させ、ガス導入孔１３に対してエージング用ガスを供給する状態を、一定時間継続する処理を行うように構成されている。
【００９８】
このエージング処理装置２は、大型ガス室を備えるエージング処理装置に比べて、ガス使用量が低減できることから、ガスセンサ１１に対してエージング処理を行うにあたり、作業所要時間を短縮でき、また、エージング用ガスの使用量低減によるコストの低減を図ることができる。
【００９９】
また、共用保持用治具２１は、図４および図５に示すように、自身の表面から突出した棒状のエージング処理完了表示部７１を備えており、エージング処理完了表示部７１は、環状形状の処理完了表示リング７３を挿通可能に構成されている。ガスセンサ１１に対するエージング処理が完了したときに、作業員がエージング処理完了表示部７１に対して環状形状の処理完了表示リング７３を挿通する。
【０１００】
これにより、エージング処理完了表示部７１に環状形状の処理完了表示リング７３が挿通されているか否かに基づいて、共用保持用治具２１に装着されているガスセンサ１１へのエージング処理が完了したか否かを判断することができる。このように、エージング処理が完了したか否かを判断できることから、ガスセンサ１１に対してエージング処理を重複して実行するのを防止でき、作業に無駄が生じるのを防止できる。
【０１０１】
よって、第２実施例のエージング処理装置２によれば、エージング処理を行うにあたり、作業所要時間の短縮や、ガス使用量低減によるコスト低減を図ることができる。また、エージング処理完了表示部７１に基づきエージング処理が完了したか否かを判断できるため、エージング処理の重複実施という作業の無駄を防止でき、作業の効率向上を図ることができる。
【０１０２】
なお、エージング処理装置２においては、エージング処理完了表示部７１が、特許請求の範囲に記載の特定センサ処理完了表示部に相当する。
ところで、ガスセンサ１１は、出荷前処理として、エージング処理およびセンサ特性検査処理が実行される。このため、上述したエージング処理装置２およびガスセンサ検査装置１を用いることで、ガスセンサ１１に対する出荷前処理を行うことができる。
【０１０３】
なお、出荷前処理は、先にエージング処理を実行した後に、センサ特性検査処理を実行するという順序で実行される。このため、エージング処理装置とガスセンサ検査装置とが、互いに異なる形状の保持用治具を配置可能に構成されている場合には、エージング処理完了後、ガスセンサ１１をエージング用保持用治具からセンサ検査用保持用治具に移し替える必要が生じる。
【０１０４】
これに対し、共用保持用治具２１は、エージング処理装置２およびガスセンサ検査装置１のそれぞれのセンサ処理位置４４に配置可能な構造であることから、エージング処理工程からセンサ特性検査処理工程に移行するにあたり、共用保持用治具２１からガスセンサ１１を取り外す作業を省略することができるため、作業の簡略化を図ることができる。
【０１０５】
このため、ガスセンサ１１に対してエージング処理およびセンサ特性検査処理を実行するにあたり、異なるセンサ処理位置間のガスセンサ１１の移動時間を短縮することができ、一連のセンサ処理作業（エージング処理作業およびセンサ特性検査処理作業）における作業時間を短縮できる。
【０１０６】
また、共用保持用治具２１は、エージング処理完了表示部７１における処理完了表示リング７３の有無に基づいてエージング処理が完了したか否かを判断することができる。このため、エージング処理完了表示部７１に処理完了表示リング７３が装着されている共用保持用治具２１に限り、ガスセンサ検査装置１でのセンサ特性検査処理を行うようにするとよい。これにより、エージング処理が未実施のガスセンサ１１に対してセンサ検査処理を実施するのを防止でき、また、エージング処理の後にセンサ特性検査処理を行うという出荷前処理の処理順序が誤った順序となるのを防止することができる。
【０１０７】
このようにして一連の処理を行うためには、例えば、作業員が、エージング処理完了表示部７１の状態を判断して、処理完了表示リング７３が装着されている共用保持用治具２１に限り、ガスセンサ検査装置１に配置するとよい。
あるいは、ガスセンサ検査装置１に、エージング処理完了表示部７１に処理完了表示リング７３が装着されているか否かを判断するためのエージング処理完了判断部を備えてもよい。そして、エージング処理完了判断部において処理完了表示リング７３が装着されていると判断された場合に限り、センサ特性検査処理の実行を許可するようにガスセンサ検査装置１を構成するのである。これにより、エージング処理が未処理のガスセンサ１１に対して、センサ特性検査処理が実行されるのを防止することができる。
【０１０８】
よって、エージング処理完了表示部７１における処理完了表示リング７３の装着状態に基づいてエージング処理の完了を確認し、誤った順序で複数のセンサ処理が実行されるのを防止することで、ガスセンサ１１に対する一連の出荷前処理を適切な順序で実行することができる。
【０１０９】
なお、エージング処理完了判断部は、処理完了表示リング７３の有無を判断可能に構成されていれば良く、例えば、共用保持用治具２１のエージング処理完了表示部７１が配置される位置を挟むようにレーザ光送信部とレーザ光受信部とを備えて構成することができる。このエージング処理完了判断部によれば、処理完了表示リング７３によりレーザ光が遮断されるか否かによって、エージング処理が完了しているか否かを判断することができる。
【０１１０】
また、エージング処理を実行した後に、センサ特性検査処理を行うにあたっては、検査用ガスよりも特定ガスを高濃度に含有したものをエージング用ガスとして用いることが望ましい。これにより、エージングによるガスセンサの特性を安定化させる効果がより一層得られるからである。
【０１１１】
以上、本発明の実施例について説明したが、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、種々の態様を採ることができる。
例えば、同時に装着可能なガスセンサの個数は１０個に限ることはなく、より多数のガスセンサを装着可能となるように、ガスセンサ処理装置を構成しても良い。つまり、用途に応じてガスセンサの装着個数を設定し、ガスセンサの装着個数に応じたガス室形成部を備え、ガスセンサの装着個数に応じた形状の共用保持用治具を用いてガスセンサ処理装置を構成すればよい。
【０１１２】
また、ガスセンサ検査装置１は、特性検査時における特定ガスの供給順序は、ＣＯの後にＮＯ2 という順序に限ることはなく、ＮＯ2 の後にＣＯという順序でもよい。また、特定ガスの種類は、２種類に限らず、１種類でも良いし、３種類以上であっても良い。
【０１１３】
また、基台部２５は、隣接するガス室形成部２３の個別ガス室５３を接続するように、ガス配管５９を配置すると良い。つまり、複数備えられるガス室形成部２３のうち、互いの距離が離れたガス室形成部２３の個別ガス室５３どうしを接続する場合には、ガス配管５９の長さが長くなり、ガス流通経路における総容積が拡大することになる。これに対して、隣接するガス室形成部２３の個別ガス室５３を接続するようにガス配管５９を配置することで、ガス配管５９を短縮することができ、ガス流通経路における総容量を縮小することができる。
【０１１４】
よって、基台部を備えるガスセンサ処理装置は、ガス使用量を更に減少できると共に、ガス置換時間を更に短縮することができる。
なお、基台部２５は、隣接するガス室形成部２３どうしの距離が最短距離となるように複数のガス室形成部２３を配置して構成するとよく、これにより、ガス配管５９の距離をさらに短縮でき、ガス流通経路の総容積を更に縮小することができる。この場合、共用保持用治具として、複数のガス室形成部２３の配置位置に応じた位置に、ガスセンサを配置可能に構成された共用保持用治具を用いることは言うまでもない。
【０１１５】
また、センサ収容部とコネクタ部は、ガスセンサの同一面に備えられているものに限られず、センサ収容部とコネクタ部とが異なる面に備えられていても良い。その場合には、保持用治具として、センサ収容部をガス室形成部の対向位置に配置できるように雌コネクタ部の位置が定められた保持用治具を用いることで、ガス室形成部をガスセンサに当接することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 ガスセンサのセンサ特性検査を行うガスセンサ検査装置の概略構成を表す構成図である。
【図２】 （ａ）は、ガスセンサの分解斜視図であり、（ｂ）は、ガスセンサの平面図（上面図）である。
【図３】 ガスセンサの平面図である。
【図４】 共用保持用治具の平面図である。
【図５】 共用保持用治具の側面図である。
【図６】 共用保持用治具のうち、２個のガスセンサが配置される部分の断面図である。
【図７】 共用保持用治具に装着されたガスセンサに対し、ガス室形成部を当接させる前段階の状態を示す説明図である。
【図８】 ガスセンサとガス室形成部とが当接した状態を表す説明図である。
【図９】 ガスセンサに対してセンサ処理を行うための従来型センサ処理装置の概略構成図である。
【符号の説明】
１…ガスセンサ検査装置、２…エージング処理装置、１１…ガスセンサ、１３…ガス導入孔、１５…センサ収容部、１７…雄コネクタ部、１９…端子部、２１…共用保持用治具、２３…ガス室形成部、２５…基台部、２７…センサ挟持機構部、３３…雌コネクタ部、３５…外部接続コネクタ部、４４…センサ処理位置、４５…固定部、４７…可動部、４９…シールパッキン、５１…弾性スプリング、５３…個別ガス室、５９…ガス配管、７１…エージング処理完了表示部、７３…処理完了表示リング。
【発明の属する技術分野】
本発明は、特定ガスの濃度変化に応じて電気抵抗値が変化する感ガス体と、測定対象ガスを前記感ガス体まで導入するガス導入部とを備えるガスセンサに対し、特定ガスを含むセンサ処理用ガスをガス導入部に供給して所定のセンサ処理を行うにあたり、複数のガスセンサに対してセンサ処理を同時に行うガスセンサ処理装置およびセンサ処理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、特定ガス（ＣＯ、ＮＯ2 など）の濃度変化に応じて電気抵抗値が変化する感ガス体を備えて構成されるガスセンサが知られている。
このようなガスセンサは、出荷前の製造工程において、自身の特性の安定化や出力特性検査などを目的として、特定ガスを含むセンサ処理用ガスを感ガス体に供給して特定のセンサ処理（エージング処理やセンサ特性検査処理など）が実行される。なお、エージング処理とは、ガスセンサの出荷前に、ガスセンサが所定の性能を示すように（換言すれば、出荷後に品質が低下しないように）、一定濃度の特定ガスを含むセンサ処理用ガスを用いてガスセンサをならしで駆動させ、ガスセンサの特性を安定化させる処理をいう。
【０００３】
このセンサ処理は、例えば、図９に示すような従来型センサ処理装置１０１を用いて実行される。
従来型センサ処理装置１０１は、複数個（例えば、３５個）のガスセンサ１０７を保持する保持用治具１０３と、保持用治具１０３を収容可能な大型ガス室（例えば、容積１００［Ｌ］）を有するチャンバ１０５とを備えて構成されている。
【０００４】
従来型センサ処理装置１０１は、ガスセンサ１０７が取り付けられた保持用治具１０３がチャンバ１０５の大型ガス室の内部に配置された後、大型ガス室にセンサ処理用ガスを充填することで、各ガスセンサ１０７に対してセンサ処理用ガスを供給して、センサ処理を実行する。
【０００５】
このように複数個のガスセンサを大型ガス室に配置して同時にセンサ処理を行うことで、ガスセンサを１個ずつセンサ処理を行う場合に比べて、ガスセンサ１個あたりに要するセンサ処理の作業所要時間を短縮することができ、作業効率の向上を図ることができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述のような従来型センサ処理装置においては、大型ガス室の容積が大きいために、大型ガス室の内部をセンサ処理用ガスに置き換えるためのガス置換時間が長くなり、また、ガス使用量が多くなるという問題がある。
【０００７】
センサ処理の作業所要時間には、ガス置換時間が必ず含まれるため、ガス置換時間が長くなると、センサ処理における所要時間を一定時間以下に短縮することが難しくなり、作業効率を十分に向上することができない。
また、ガス使用量が多量となると、センサ処理に要するコストが増大するという問題が生じる。
【０００８】
さらに、大型ガス室の内部にセンサ処理用ガスを導入して、室内を一定濃度雰囲気に置換する場合、上述したようにガス置換時間が長くなる傾向にあり、センサ処理用ガスを導入した時点から一定濃度に達するまでの濃度勾配が緩慢な傾きを示すことになる。そのために、大型ガス室を有するチャンバを用いて複数のガスセンサに対しセンサ特性検査処理を行った場合、ガスセンサがガス濃度の急峻な変化を検出したか否かを適正に評価（検査）したものとは言い難く、センサ特性検査処理の信頼性が確実なものとは言い難い。
【０００９】
そこで、本発明は、こうした問題に鑑みなされたものであり、複数のガスセンサに対してセンサ処理を同時に行うにあたり、作業所要時間を短縮すると共にコストの低減を図ることができ、さらに精度良くセンサ処理を実行できるガスセンサ処理方法およびガスセンサ処理装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
かかる目的を達成するためになされた請求項１に記載の発明方法は、特定ガスの濃度変化に応じて電気抵抗値が変化する感ガス体と、測定対象ガスを感ガス体まで導入するガス導入部と、を備えるガスセンサに対し、特定ガスを含むセンサ処理用ガスをガス導入部に供給して所定のセンサ処理を行うにあたり、複数の前記ガスセンサに対してセンサ処理を同時に行うセンサ処理方法であって、複数のガスセンサのガス導入部をそれぞれ個別に設けられた個別ガス室で覆い、複数の個別ガス室にそれぞれセンサ処理用ガスを充填して、センサ処理を行うことを特徴とする。
【００１１】
このガスセンサ処理方法では、複数のガスセンサを全て収容する大型ガス室ではなく、各ガスセンサのガス導入部をそれぞれ個別に覆う複数の個別ガス室を用いて、センサ処理を実行する。
個別ガス室は、ガスセンサのガス導入部をそれぞれ個別に覆うことから、ガスセンサ全体を覆う構造のガス室に比べて、ガス導入部に供給するセンサ処理用ガスの収容容積は小さくなる。また、ガスセンサの個数に応じて設けられる複数の個別ガス室の合計容積は、複数のガスセンサを収容する大型ガス室の容積に比べて小さくなる。
【００１２】
このようにガス室の容積を縮小することで、センサ処理用ガスの使用量を減少でき、また、ガス室に対してセンサ処理用ガスを充填する際のガス置換時間を短縮できる。
さらに、ガスセンサのガス導入部に一対一で対応させて個別ガス室を配置し、複数のガスセンサに対し一括してセンサ処理を実行することから、個別ガス室に充填されるセンサ処理用ガスの濃度勾配が従来（即ち、大型ガス室を有するチャンバを用いてのセンサ処理）に比べて敏感になり、精度の良い所定のセンサ処理を一括して実行することができる。
【００１３】
よって、本発明（請求項１）のガスセンサ処理方法によれば、複数のガスセンサに対してセンサ処理を同時に行うにあたり、ガス置換時間の短縮により作業所要時間を短縮することができ、また、センサ処理用ガスの使用量の減少によりコストの低減を図ることができる。
【００１４】
なお、センサ処理としては、例えば、請求項２に記載のように、センサ処理用ガスとして一定濃度の特定ガスを含むエージング用ガスを用いることにより、ガスセンサの特性を安定化させるエージング処理を行うことができる。この発明方法（請求項２）によれば、ガスセンサに対してエージング処理を行うにあたり、作業所要時間を短縮でき、また、エージング用ガスの使用量低減によるコストの低減を図ることができる。さらに、複数のガスセンサの個々に対して、精度の良いエージング処理を一括して実行することができる。
【００１５】
また、センサ処理の他の例としては、請求項３に記載のように、センサ処理用ガスとして特定ガスを含む検査用ガスを用い、検査用ガスに含まれる特定ガスの濃度を変化させて、その濃度変化に対するガスセンサの出力の状態を検査するセンサ特性検査処理を行うことができる。
【００１６】
センサ特性検査処理を行うにあたり、本発明方法を用いることで、ガス置換時間を短縮できるため、特定ガス濃度の変更に要する濃度変更所要時間を短縮することができ、速やかにセンサ特性検査処理を行うことができる。
よって、本発明方法（請求項３）によれば、ガスセンサに対してセンサ特性検査処理を行うにあたり、作業所要時間を短縮でき、また、検査用ガスの使用量低減によるコストの低減を図ることができる。さらに、複数のガスセンサの個々に対して、精度の良いセンサ特性検査処理を一括して実行することができる。
【００１７】
次に、請求項４に記載の発明方法は、上述（請求項１から請求項３のいずれか）のガスセンサ処理方法であって、複数のガスセンサを保持し、センサ処理を行うためのセンサ処理位置に配置される保持用治具を用いるセンサ処理方法であり、保持用治具として、複数のセンサ処理位置に配置可能な構造の共用保持用治具を用いて、複数のガスセンサに対して複数のセンサ処理を行うことを特徴とする。
【００１８】
複数のガスセンサを１つの保持用治具で保持することで、センサ処理位置に対して複数のガスセンサを一度に配置でき、また、センサ処理位置から複数のガスセンサを一度に取り外すことができる。このため、センサ処理が完了した処理済みの複数のガスセンサをセンサ処理位置から取り除き、続いて未処理の複数のガスセンサをセンサ処理位置に配置するまでのガスセンサ取り替え時間を短縮することができ、一連のセンサ処理作業に要する作業時間を短縮することができる。
【００１９】
また、保持用治具として、複数のセンサ処理位置に配置可能な構造の共用保持用治具を用いることで、ガスセンサを他のセンサ処理位置に移動する際の各ガスセンサの着脱作業を省略することができる。つまり、複数のガスセンサに対して複数のセンサ処理を実行するにあたり、異なるセンサ処理位置間のガスセンサの移動時間を短縮することができ、一連のセンサ処理作業における作業時間を短縮することができる。
【００２０】
よって、本発明（請求項４）のガスセンサ処理方法によれば、保持用治具を用いることで、一連のセンサ処理作業における作業時間を短縮することができ、複数のガスセンサに対するセンサ処理の作業効率を向上することができる。また、共用保持用治具を用いることで、ガスセンサに対して複数種類のセンサ処理を行うにあたり、センサ処理毎に保持用治具に着脱を行う必要がなくなるので、作業時間を短縮でき、センサ処理の作業効率を向上できる。
【００２１】
なお、上記発明方法（請求項４）においては、例えば、請求項５に記載のように、複数のセンサ処理として、少なくともエージング処理とセンサ特性検査処理とを行うとよい。
エージング処理およびセンサ特性検査処理は、ガスセンサの出荷前に行われるセンサ処理であり、本発明方法（請求項５）を用いることで、ガスセンサの出荷前に実施する一連のセンサ処理の作業所要時間を短縮することができ、作業効率を向上できる。
【００２２】
次に、上述（請求項４または請求項５）のガスセンサ処理方法は、請求項６に記載のように、複数のセンサ処理のうち、特定のセンサ処理が完了したことを示す特定センサ処理完了表示を行うとよい。
このガスセンサ処理方法は、特定センサ処理完了表示に基づいて特定のセンサ処理（特定センサ処理）が完了しているか否かを判断できるため、特定センサ処理が未処理の状態でガスセンサが出荷されるのを防止できる。また、特定センサ処理が実行済みであるか否かを判断できるため、同一のガスセンサに対して、誤って必要以上の回数にわたり特定センサ処理を実行するのを防止でき、センサ処理の無駄が生じるのを防止できる。
【００２３】
さらに、複数のセンサ処理の実行順序が定められている場合には、センサ処理完了表示に基づいて特定センサ処理が完了しているか否かを判断できるため、誤った順序で複数のセンサ処理が実行されるのを防止できる。
よって、本発明（請求項６）のガスセンサ処理方法によれば、ガスセンサに対して特定センサ処理を確実に実行できるため、ガスセンサが不完全な状態で出荷されるのを防止でき、また、特定センサ処理の重複実行による作業の無駄を防止できるため、センサ処理の作業効率を向上できる。さらに、誤った順序で複数のセンサ処理が実行されるのを防止することで、ガスセンサに対する一連のセンサ処理を適切な順序で実行することができる。
【００２４】
なお、上述（請求項６）のガスセンサ処理方法において、少なくともエージング処理とセンサ特性検査処理を行う場合には、センサ処理完了表示として、エージング処理が完了したことを示すエージング完了表示を行うとよい。
これにより、エージング処理が完了したか否かを判断できるため、エージング処理の完了を確認した後にセンサ特性検査処理を実行することで、出荷前のガスセンサに対するセンサ処理を、適正な処理順序に従い実行することができる。また、エージング処理が完了したか否かを判断できることから、エージング処理を重複して実行するのを防止でき、作業に無駄が生じるのを防止できる。
【００２５】
ところで、各ガスセンサに対して供給されるセンサ処理用ガスの濃度（詳細には、特定ガスの濃度）がそれぞれ異なる場合、ガスセンサ毎にセンサ処理の効果にバラツキが生じることになる。そして、センサ処理用ガスのガスタンクから各個別ガス室に対してそれぞれ並列にガス配管を接続してセンサ処理用ガスを充填する場合、ガス配管の長さ寸法や曲げ角度の違いに起因して、各ガス配管のガス流通抵抗がそれぞれ異なる値となる場合がある。このようにガス流通抵抗が異なると、個別ガス室毎にセンサ処理用ガスの濃度が一定濃度となるまでの濃度勾配に差が生じる虞がある。
【００２６】
そこで、上述（請求項１から請求項６のいずれか）のガスセンサ処理方法においては、請求項７に記載のように、複数の個別ガス室はガス配管を介して直列に並置されており、ガス配管を通じて複数の個別ガス室の個々に対して順にセンサ処理用ガスを充填させるとよい。
【００２７】
つまり、個別ガス室をガス配管を介して直列に接続することで、個別ガス室およびガス配管からなるガス流通経路を複数ではなく単数（１本）に限定するのである。このようにガス流通経路を１本に限定することで、複数のガス流通経路を備える場合のようにガス流通抵抗の差異によって個別ガス室ごとの濃度勾配に差が生じ難くなり、所定のセンサ処理に対する信頼性をより向上させることができる。
【００２８】
よって、本発明（請求項７）のガスセンサ処理方法によれば、複数のガスセンサに対してセンサ処理を行うにあたり、個別ガス室に充填されるセンサ処理用ガスの濃度勾配を略均一にすることができ、その結果、各個別ガス室内のセンサ処理用ガスによる置換を安定してかつ敏感に行うことができ、ガスセンサ毎にセンサ処理の効果にバラツキが生じるのを防止できる。
【００２９】
次に、上述の目的を達成するためになされた請求項８に記載の発明は、特定ガスの濃度変化に応じて電気抵抗値が変化する感ガス体と、感ガス体に電気的に接続されたセンサ電極と、測定対象ガスを感ガス体まで導入するガス導入部と、を備えるガスセンサに対し、特定ガスを含むセンサ処理用ガスをガス導入部に供給して所定のセンサ処理を行うにあたり、複数のガスセンサに対してセンサ処理を同時に行うセンサ処理装置であって、複数のガスセンサを保持するセンサ保持部と、ガスセンサのセンサ電極に電気的に接続されるセンサ信号配線部と、複数のガスセンサのガス導入部をそれぞれ個別に覆うと共に、センサ処理用ガスを蓄積可能に構成された複数の個別ガス室と、を備えたことを特徴とする。
【００３０】
このガスセンサ処理装置は、請求項１の発明方法と同様に、複数のガスセンサを全て収容する大型ガス室ではなく、各ガスセンサのガス導入部をそれぞれ個別に覆う複数の個別ガス室が備えられている。このため、ガスセンサの個数に応じて設けられる複数の個別ガス室の合計容積は、複数のガスセンサを収容する大型ガス室の容積に比べて縮小される。このようにガス室の容積を縮小することで、センサ処理用ガスの使用量を減少でき、また、センサ処理用ガスのガス置換時間を短縮できる。
【００３１】
さらに、ガスセンサのガス導入部に一対一で対応させて個別ガス室を配置し、複数のガスセンサに対し一括してセンサ処理を実行することから、個別ガス室に充填されるセンサ処理用ガスの濃度勾配が従来（即ち、大型ガス室を有するチャンバを用いてのセンサ処理）に比べて敏感になり、精度の良いセンサ処理を一括して実行することができる。
【００３２】
よって、本発明（請求項８）のガスセンサ処理装置によれば、複数のガスセンサに対してセンサ処理を同時に行うにあたり、ガス置換時間の短縮により作業所要時間を短縮することができ、また、センサ処理用ガスの使用量の減少によりコストの低減を図ることができる。さらに、複数のガスセンサの個々に対して、精度の良いセンサ処理を一括して実行することができる。
【００３３】
なお、センサ処理としては、例えば、エージング処理があり、上述（請求項８）のセンサ処理装置は、請求項９に記載のように、センサ処理用ガスが一定濃度の特定ガスを含むエージング用ガスであり、センサ処理がガスセンサの特性を安定化させるエージング処理となるセンサ処理装置であるとよい。
【００３４】
このセンサ処理装置によれば、ガスセンサに対してエージング処理を行うにあたり、作業所要時間を短縮でき、また、エージング用ガスの使用量低減によるコストの低減を図ることができる。なお、エージング処理を行うにあたり、ガスセンサに対する通電が必要な場合には、センサ信号配線部を介して通電を行うことができる。
【００３５】
また、センサ処理の他の例としては、センサ特性検査処理があり、上述（請求項８）のセンサ処理装置は、請求項１０に記載のように、センサ処理用ガスが特定ガスを含む検査用ガスであり、センサ処理が、検査用ガスに含まれる特定ガスの濃度変化に対するガスセンサの出力の状態を検査するセンサ特性検査処理となるガスセンサ処理装置であるとよい。
【００３６】
このガスセンサ処理装置によれば、センサ特性検査処理を行うにあたり、ガス置換時間を短縮できるため、特定ガス濃度の変更に要する濃度変更所要時間を短縮することができ、速やかにセンサ特性検査処理を行うことができる。また、センサ特性検査処理を行うにあたり、ガスセンサからの出力は、センサ信号配線部を介して検出することができる。
【００３７】
よって、本発明（請求項１０）によれば、ガスセンサに対してセンサ特性検査処理を行うにあたり、作業所要時間を短縮でき、また、検査用ガスの使用量低減によるコストの低減を図ることができる。
ところで、各ガスセンサに対して供給されるセンサ処理用ガスの濃度（詳細には、特定ガスの濃度）がそれぞれ異なる場合、ガスセンサ毎にセンサ処理の効果にバラツキが生じることになる。そして、センサ処理用ガスのガスタンクから各個別ガス室に対してそれぞれ並列にガス配管を接続してセンサ処理用ガスを充填する場合、ガス配管の長さ寸法や曲げ角度の違いに起因して、各ガス配管のガス流通抵抗がそれぞれ異なる値となる場合がある。このようにガス流通抵抗が異なると、個別ガス室毎にセンサ処理用ガスの濃度が一定濃度となるまでの濃度勾配に差が生じる虞がある。
【００３８】
そこで、上述（請求項８から請求項１０のいずれか）のガスセンサ処理装置は、請求項１１に記載のように、複数の個別ガス室が、ガス配管を介して直列に配置され、ガス配管を通じてセンサ処理用ガスが充填される構成であるとよい。
つまり、個別ガス室をガス配管を介して直列に接続することで、個別ガス室およびガス配管からなるガス流通経路を複数ではなく単数（１本）に限定するのである。このようにガス流通経路を１本に限定することで、複数のガス流通経路を備える場合のようにガス流通抵抗の差異によって個別ガス室ごとの濃度勾配に差が生じ難くなり、所定のセンサ処理に対する信頼性をより向上させることができる。
【００３９】
よって、本発明（請求項１１）のガスセンサ処理装置によれば、複数のガスセンサに対してセンサ処理を行うにあたり、個別ガス室に充填されるセンサ処理用ガスの濃度勾配を略均一にすることができ、その結果、各個別ガス室内のセンサ処理用ガスによる置換を安定してかつ敏感に行うことができ、ガスセンサ毎にセンサ処理の効果にバラツキが生じるのを防止できる。
【００４０】
次に、上述（請求項８から請求項１１のいずれか）のガスセンサ処理装置は、請求項１２に記載のように、ガスセンサとの当接面に個別ガス室を備え、複数のガスセンサに対応して設けられる複数のガス室形成部と、ガスセンサに当接した複数のガス室形成部をそれぞれガスセンサに向けて押圧する押圧手段とを備えるとよい。
【００４１】
単一のガス室形成部に対して複数の個別ガス室を一体に備えるのではなく、複数の個別ガス室を、それぞれ異なるガス室形成部に備えることで、個別ガス室（ガス室形成部）とガスセンサとの距離を、個別ガス室毎にそれぞれ独立して調整することができる。また、押圧手段がガス室形成部をガスセンサに向けて押圧するため、個別ガス室（ガス室形成部）を確実にガスセンサに当接させることができる。
【００４２】
つまり、ガスセンサとガス室形成部との相対距離が、寸法較差等に起因してガスセンサ毎に異なる場合でも、ガス室形成部を各ガスセンサに確実に当接させることができるため、ガスセンサのガス導入孔を確実に個別ガス室で覆うことができる。
【００４３】
よって、本発明（請求項１２）のガスセンサ処理装置によれば、複数のガスセンサに対してセンサ処理を行うにあたり、ガスセンサやガスセンサ処理装置に寸法較差がある場合でも、ガスセンサのガス導入孔を個別ガス室で覆うことができ、ガスの漏洩を防ぎつつセンサ処理を実行することができる。
【００４４】
また、上述（請求項１２）のガスセンサ処理装置は、請求項１３に記載のように、ガス室形成部の当接面とガスセンサとの間に配置され、当接面とガスセンサとの間の隙間を閉塞して個別ガス室の気密を維持する気密維持用シール部材を備えるとよい。
【００４５】
気密維持用シール部材を備えることで、ガス室形成部の当接面とガスセンサとの間に生じる僅かな隙間についても閉塞することができ、個別ガス室の気密性をより向上させることができる。
よって、本発明（請求項１３）のガスセンサ処理装置によれば、複数のガスセンサに対してセンサ処理を行うにあたり、個別ガス室の気密性をより向上させることができるため、センサ処理用ガスの漏洩をより一層防止でき、センサ処理用ガスの濃度低下によるセンサ処理の効率低下を防止できる。
【００４６】
次に、上述（請求項８から請求項１３のいずれか）のガスセンサ処理装置は、請求項１４に記載のように、センサ保持部として、複数のガスセンサを保持し、センサ処理を行うためのセンサ処理位置に配置される保持用治具を備え、保持用治具が、複数種類のガスセンサ処理装置のセンサ処理位置に配置可能な構造の共用保持用治具であるとよい。
【００４７】
このガスセンサ処理装置は、複数のガスセンサを１つの保持用治具で保持することから、請求項４の発明方法と同様に、ガスセンサ取り替え時間を短縮することができ、一連のセンサ処理作業に要する作業時間を短縮することができる。
また、このガスセンサ処理装置は、共用保持用治具を用いることから、請求項４の発明方法と同様に、ガスセンサを他のセンサ処理位置に移動する際の各ガスセンサの着脱作業を省略でき、一連のセンサ処理作業における作業時間を短縮することができる。
【００４８】
よって、本発明（請求項１４）のガスセンサ処理装置によれば、請求項４の発明方法と同様に、複数のガスセンサに対して複数種類のセンサ処理を行う場合の作業効率を向上することができる。
なお、上記発明（請求項１４）においては、例えば、請求項１５に記載のように、共用保持用治具が、少なくともエージング処理を行うためのガスセンサ処理装置と、センサ特性検査処理を行うためのガスセンサ処理装置とに装着可能に構成されているとよい。
【００４９】
エージング処理およびセンサ特性検査処理は、ガスセンサの出荷前に行われるセンサ処理であり、本発明（請求項１５）を用いることで、ガスセンサの出荷前に実施するセンサ処理の作業効率を向上できる。
次に、上述（請求項１４または請求項１５）のガスセンサ処理装置は、請求項１６に記載のように、保持用治具が、複数のセンサ処理のうち、特定のセンサ処理が完了したことを示す特定センサ処理完了表示部を備えるとよい。
【００５０】
このガスセンサ処理装置は、請求項６の発明方法と同様に、特定センサ処理完了表示部に基づいて特定のセンサ処理（特定センサ処理）が完了しているか否かを判断できるため、特定センサ処理が未処理の状態でガスセンサが出荷されるのを防止できる。また、同一のガスセンサに対して、誤って必要以上の回数にわたり特定センサ処理を実行するのを防止でき、センサ処理の無駄が生じるのを防止できる。さらに、複数のセンサ処理の実行順序が定められている場合には、誤った順序で複数のセンサ処理が実行されるのを防止できる。
【００５１】
よって、本発明（請求項１６）のガスセンサ処理装置によれば、ガスセンサが不完全な状態で出荷されるのを防止でき、また、センサ処理の作業効率を向上できる。さらに、誤った順序で複数のセンサ処理が実行されるのを防止することで、ガスセンサに対する一連のセンサ処理を適切な順序で実行することができる。
【００５２】
なお、上述（請求項１６）のガスセンサ処理装置において、少なくともエージング処理とセンサ特性検査処理を行う場合には、保持用治具が、特定センサ処理完了表示部として、エージング処理が完了したことを示すエージング完了表示部を備えるとよい。
【００５３】
このガスセンサ処理装置は、エージング完了表示部に基づいて、請求項７の発明方法と同様に、エージング処理が完了したか否かを判断できるため、エージング処理の完了を確認した後にセンサ特性検査処理を実行することで、出荷前のガスセンサに対するセンサ処理を、適正な処理順序に従い実行することができる。また、エージング処理が完了したか否かを判断できることから、エージング処理を重複して実行するのを防止でき、作業に無駄が生じるのを防止できる。
【００５４】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施例を図面と共に説明する。
実施例として、ガスセンサ１１のセンサ特性検査を行うガスセンサ検査装置１について説明する。ガスセンサ検査装置１の主要部分の概略構成を表す構成図を図１に示す。なお、図１では、ガスセンサ検査装置１の内部構成を示すために一部を断面図として表している。
【００５５】
ガスセンサ検査装置１は、１０個のガスセンサ１１に対して、特定ガスを含む検査用ガスを供給し、特定ガスの濃度変化に対するガスセンサ１１の出力の状態を検査するセンサ特性検査処理を行うためのセンサ処理装置である。
なお、ガスセンサ１１は、特定ガスの濃度変化に応じて電気抵抗値が変化する感ガス体を有する検知素子を内部に備えており、具体的には、ＣＯ等の還元性ガスの濃度変化に応じて電気抵抗値が変化する第１感ガス体と、ＮＯ2 等の酸化性ガスの濃度変化に応じて電気抵抗値が変化する第２感ガス体とを有する検知素子を内部に備えている。ガスセンサ１１の分解斜視図を図２（ａ）に示し、ガスセンサ１１の平面図（上面図）を図３に示す。
【００５６】
図２及び図３に示すように、ガスセンサ１１は、被検知ガス取入口８１ｂが形成されたサブケース８１の内部に、図示しない検知素子と、その検知素子の検知能を活性化させるためのヒータとを組み込んだものである。そして、この検知素子およびヒータが、マイクロコンピュータ８３と、コンデンサや抵抗器といった電子部品８５とともに、基板８７に一体的に組み付けられている。基板８７は、プラスチック製のケース９１，９３内に封入され、ケース９１には雄コネクタ部１７と、検知素子およびヒータを内部に有するサブケース８１を内側に収容すると共に複数のガス導入孔１３が設けられたセンサ収容部１５が形成されている。
【００５７】
雄コネクタ部１７の内部には、ガスセンサを自動車あるいはガスセンサ検査装置１（または後述する第２実施例のエージング処理装置２）に電気的に接続するためのヒータ電源端子１９ａ、センサ出力端子１９ｂおよび接地端子１９ｃを有する端子部１９が設けられている。端子部１９は、基板８７に設けられた端子孔８９に各々挿通され、この端子孔８９の周囲に形成された金属パッドを介して、基板８７の上に形成された配線パターンに半田付け接続されている。
【００５８】
上述した通り、ガスセンサ１１の検知素子は、図２（ｂ）に示すように、還元性ガスを検知する第１感ガス体５ａと、酸化性ガスを検知する第２感ガス体５ｂとを有する。前者は、還元性ガスの濃度が増加すると電気抵抗値が減少する酸化物薄膜（例えばＳｎＯ2 ）、後者は酸化性ガスの濃度が増加すると電気抵抗値が増加する酸化物薄膜（例えばＷＯ3 ）により形成される。第１感ガス体５ａと第２感ガス体５ｂとは、ヒータ５ｃとともにセラミック基体５ｄの上に一体的に組み付けられている。なお、本実施形態では、第１感ガス体５ａおよび第２感ガス体５ｂの各出力端子５ｔ1 、５ｔ2 と、両感ガス体５ａ，５ｂの間で共用される接地端子５ｔｇが設けられている。また、ヒータ５ｃの入力端子としてヒータ用入力端子５ｔ3 が備えられ、ヒータ５ｃの接地側の端子は両感ガス体５ａ，５ｂの接地端子５ｔｇと共用化されている。
【００５９】
このガスセンサ１１は、両感ガス体５ａ，５ｂより別個に得られるセンサ出力をマイコン８３に記憶された所定の検知プログラムに従って処理し、その処理結果をセンサ出力端子１９ｂから出力する。具体的には、感ガス体の電気抵抗値の変化が大きくガス検知と判断される場合には、ハイレベルのガス検知信号を、逆に感ガス体の電気抵抗値の変化が小さくガスを検知していないと判断される場合には、ローレベルのガス検知信号を、センサ出力端子１９ｂから出力する。なお、２つの感ガス体５ａ，５ｂからのガス検知信号は、例えば、上記検知プログラムによる時分割出力処理により、１つのセンサ出力端子１９ｂを用いて出力できる。
【００６０】
ガスセンサ検査装置１は、図１に示すように、１０個のガスセンサ１１を保持可能な共用保持用治具２１と、センサ処理位置４４および１０個のガス室形成部２３を有する基台部２５と、共用保持用治具２１に装着されたガスセンサ１１に当接し、ガス室形成部２３との間でガスセンサ１１を挟持するセンサ挟持機構部２７と、を備えて構成されている。
【００６１】
なお、基台部２５においては、センサ処理位置４４は、共用保持用治具２１を配置可能に構成されており、ガス室形成部２３は、後述する個別ガス室５３を備えて構成されている。
このうち、共用保持用治具２１について、平面図を図４に示し、側面図を図５に示す。なお、図５は、図４に示す共用保持用治具２１を、矢印３９の方向に見たときの側面図である。
【００６２】
共用保持用治具２１は、図４および図５から判るように、略長方形の略板形状に形成されており、表面から裏面にかけて貫通する５個の開口部３１と、開口部３１に隣接して設けられた１０個の雌コネクタ部３３と、検査機器に対して電気的に接続される外部接続コネクタ部３５と、を備えて構成されている。なお、検査機器は、ガスセンサ１１から出力されるガス検知信号の状態を測定（検査）するための機能を備えている。
【００６３】
図６に、図４における共用保持用治具２１のＢ−Ｂ視断面のうち、２個のガスセンサ１１が配置される部分の断面図を示す。
雌コネクタ部３３は、図６に示すように、ガスセンサ１１の雄コネクタ部１７が嵌合接続可能な形状に構成されており、外部接続コネクタ部３５（詳細には、後述する外部用電極３７）と電気的に接続された雌コネクタ端子（図示省略）を備えている。雌コネクタ端子は、雌コネクタ部３３と雄コネクタ部１７との嵌合接続時に、雄コネクタ部１７の各端子１９ａ〜１９ｃに接触する位置に配置されており、各端子１９ａ〜１９ｃと電気的に接続可能に構成されている。なお、雌コネクタ部３３は、１つの開口部３１に対して２個ずつ備えられている。
【００６４】
外部接続コネクタ部３５は、図５に示すように、共用保持用治具２１の側面に設けられており、検査機器に繋がる検査機器側コネクタ（図示省略）と嵌合接続可能な形状に形成されている。
また、外部接続コネクタ部３５は、雌コネクタ部３３の雌コネクタ端子と電気的に接続された３０個の外部用電極３７を備えて構成されている。外部用電極３７は、外部接続コネクタ部３５と検査機器側コネクタとの嵌合接続時に、検査機器側コネクタに備えられる検査機器側電極に接触する位置に配置されており、検査機器側電極と電気的に接続可能に構成されている。
【００６５】
次に、共用保持用治具２１へのガスセンサ１１の装着手順について、共用保持用治具２１の一部断面を表す図６の断面図を用いて説明する。
装着に際しては、まず、ガスセンサ１１を、図６の左側に示すように、センサ収容部１５および雄コネクタ部１７が共用保持用治具２１に対向するように配置する。そのあと、矢印に示す方向にガスセンサ１１を移動することで、センサ収容部１５を開口部３１に配置すると共に、雄コネクタ部１７を雌コネクタ部３３に挿入する。このようにして、雄コネクタ部１７が雌コネクタ部３３に嵌合接続されることで、ガスセンサ１１は、共用保持用治具２１に装着される。
【００６６】
このようにガスセンサ１１が共用保持用治具２１に装着されると、各端子１９ａ〜１９ｃ（図示省略）と雌コネクタ端子（図示省略）とが互いに接触して電気的に接続されて、各端子１９ａ〜１９ｃは、雌コネクタ端子および外部接続コネクタ部３５の外部用電極３７を介して、検査機器と電気的に接続される。
【００６７】
また、ガスセンサ１１は、雄コネクタ部１７が雌コネクタ部３３に嵌合接続されることで、共用保持用治具２１に保持される構造であるため、雄コネクタ部１７とは別の装着用固定部を備えることなく共用保持用治具２１に装着可能となる。
【００６８】
次に、基台部２５は、図１に示すように、ガス室形成部２３を支持する可動基台部４１と、共用保持用治具２１が配置されるセンサ処理位置４４を有する固定基台部４３と、を備えて構成されている。なお、図１では、可動基台部４１および固定基台部４３は、断面図として表されている。
【００６９】
可動基台部４１は、固定基台部４３に摺動可能な状態で支持されると共に、図示しないアクチュエータに連結されており、アクチュエータの動作に応じて、図１における上下方向に移動可能に構成されている。つまり、可動基台部４１は、上下方向に移動することで、固定基台部４３のセンサ処理位置４４に配置された共用保持用治具２１とガス室形成部２３との相対距離を変更するよう構成されている。
【００７０】
ガス室形成部２３は、図７に示すように、可動基台部４１に固定される固定部４５と、ガス室を備える可動部４７とを備えて構成されている。なお、図７は、共用保持用治具２１に装着されたガスセンサ１１に対し、ガス室形成部２３を当接させる前段階の状態を示す説明図である。図７では、可動基台部４１，ガス室形成部２３および共用保持用治具２１を断面図として表しており、特にガス室形成部２３については内部構造を示している。
【００７１】
可動部４７は、図７に示すように、固定部４５の内部を摺動可能に構成されると共に、弾性スプリング５１の弾性力により共用保持用治具２１に近づくよう押圧される状態で備えられている。
図７に示す２つのガス室形成部２３のうち、右側に示すガス室形成部２３は、外力の印加により可動部４７が固定部４５の内部を図中下方向に移動した状態を表している。このように可動部４７が移動した右側のガス室形成部２３では、内部に備えられる弾性スプリング５１が、高さ方向寸法が短くなるよう弾性変形する。この結果、弾性スプリング５１は、元の形状に戻ろうとする弾性力を発生するため、可動部４７を共用保持用治具２１（ガスセンサ１１）に向けて押圧する。
【００７２】
つまり、ガス室形成部２３は、図７に示す矢印方向に向けて可動基台部４１と共に移動してガスセンサ１１に当接すると、弾性スプリング５１の押圧力によりガスセンサ１１に密着するように構成されている。
また、ガス室形成部２３は、図８に示すように、可動部４７の表面のうち、ガスセンサ１１との当接面５０に設けられるシールパッキン４９と、ガスセンサ１１との当接面５０の内部に設けられる個別ガス室５３（内容積８［ｃｃ］）と、外部から個別ガス室５３に通じる２つのガス注入口５５と、を備えて構成されている。
【００７３】
なお、図８は、ガスセンサ１１とガス室形成部２３とが当接した状態を表す説明図であり、共用保持用治具２１については図示を省略している。また、図８では、図１のうち、Ａ−Ａ視断面におけるガス室形成部２３およびガスセンサ１１に相当する部分の断面図を表しており、ガス室形成部２３における個別ガス室５３の位置を示すために、内部構造を省略した模擬的な断面状態を表している。
【００７４】
シールパッキン４９は、弾性材料（例えば、ゴムなど）で形成されており、ガス室形成部２３（詳細には可動部４７の当接面５０）とガスセンサ１１との間に生じる隙間を閉塞し、個別ガス室５３の気密性を維持するために備えられる。
個別ガス室５３は、ガスセンサ１１のセンサ収容部１５を収容可能な大きさに形成されると共に、ガス注入口５５を通じて検査用ガスを内部に充填可能に構成されている。ガス注入口５５は、可撓性材料からなるガス配管５９の端部に備えられるガス配管用コネクタ５７が着脱可能な形状に構成されており、他のガス室形成部２３のガス注入口５５とガス配管５９を介して連結される。
【００７５】
そして、ガスセンサ検査装置１に備えられる１０個の個別ガス室５３は、ガス配管５９を介して直列に接続されており、図示しない検査用ガス供給部からガス配管５９を通じて検査用ガスが充填される。
次に、センサ挟持機構部２７は、図１に示すように、ガスセンサ１１に当接するセンサ当接面６５を有する可動当接部６１と、基台部２５の固定基台部４３との相対位置が固定されている挟持機構固定部６３と、を備えて構成されている。
【００７６】
可動当接部６１は、挟持機構固定部６３に摺動可能な状態で支持されると共に、図示しないアクチュエータに連結されており、アクチュエータの動作に応じて、図１における上下方向に移動可能に構成されている。つまり、可動当接部６１は、上下方向に移動することで、固定基台部４３のセンサ処理位置４４に配置された共用保持用治具２１とセンサ当接面６５との相対距離を変更するよう構成されている。
【００７７】
このように構成されたセンサ挟持機構部２７は、可動当接部６１のセンサ当接面６５でガスセンサ１１に当接することで、基台部２５の可動基台部４１に固定されたガス室形成部２３との間で、ガスセンサ１１を挟持する。
次に、ガスセンサ検査装置１を用いてガスセンサ１１のセンサ特性検査処理を行う際の、作業手順について説明する。
【００７８】
まず、１０個のガスセンサ１１を共用保持用治具２１に装着し、その共用保持用治具２１を固定基台部４３のセンサ処理位置４４に配置したあと、共用保持用治具２１の外部接続コネクタ部３５に対して検査機器側コネクタを接続する。
続いて、ガスセンサ検査装置１に対して作業員から検査処理開始指令が入力されると、制御部（図示省略）で実行される制御処理が開始されて、制御処理の処理内容に従い、制御部から各部に駆動指令が出力される。なお、制御部は、マイクロコンピュータ（以下、マイコンともいう）を主体に構成されており、作業員からの指令やガスセンサ検査装置１の各部の状態に応じて、各種制御処理を実行可能に構成されている。
【００７９】
可動基台部４１および可動当接部６１は、制御部からの駆動指令に基づき対応するアクチュエータが駆動することにより、それぞれ共用保持用治具２１に近づく方向に移動して、ガス室形成部２３とセンサ当接面６５との間でガスセンサ１１を挟持する。これにより、各ガスセンサ１１のセンサ収容部１５は、それぞれ異なる個別ガス室５３に覆われる。
【００８０】
次に、図示しない検査用ガス供給部が、制御部からの駆動指令に基づき、ガス配管５９を介して直列接続された１０個の個別ガス室５３に対して、検査用ガスを供給する。なお、検査用ガス供給部は、ガス配管５９および個別ガス室５３からなるガス流通経路のうち、一端（ガス入力端）から目標濃度の特定ガスを含む検査用ガスを注入し、他端（ガス出力端）での特定ガス濃度を検出するよう構成されている。そして、検査用ガス供給部は、ガス出力端での特定ガス濃度が目標濃度に達すると、全ての個別ガス室５３が目標濃度に達したと判断するよう構成されている。
【００８１】
検査用ガス供給部は、制御部からの駆動指令に基づき、個別ガス室５３での特定ガス濃度を一定濃度に設定した後、特定ガス濃度が異なる検査用ガスを注入して個別ガス室５３における特定ガス濃度を変化させる。本実施例のガスセンサ検査装置１に備えられる検査用ガス供給部は、特定ガスとしてＣＯおよびＮＯ2 をそれぞれ供給するよう構成されており、ＣＯの濃度を変化させた後、ＮＯ2 濃度を変化させるという順番で検査用ガスを供給する。
【００８２】
このとき、外部接続コネクタ部３５に接続される検査機器は、ガスセンサ１１それぞれのガス濃度信号の状態を検出し、ＣＯの濃度を変化させた場合にガス濃度信号がローレベルからハイレベルに変化したか否か、およびＮＯ2 の濃度を変化させた場合にガス濃度信号がローレベルからハイレベルに変化したか否かに基づき、各ガスセンサ１１が正常であるか異常であるかを判定する。なお、検査機器は、特定ガスの濃度変化に応じてガス濃度信号がローレベルからハイレベルに変化するガスセンサ１１を正常と判定し、特定ガスの濃度変化が生じてもローレベルの出力を維持するガスセンサ１１を異常と判定する。また、この特定ガスの濃度変化に対するガスセンサ１１の出力の状態を検査する工程においては、各ガスセンサ１１の感ガス体５ａ，５ｂが活性化状態になるように、各ガスセンサ１１のヒータ５ｃは外部接続コネクタ部３５、雌コネクタ部、雄コネクタ部１７を介して通電状態とされ、両感ガス体５ａ，５ｂを加熱している。
【００８３】
特定ガスの濃度変化に対するガスセンサ１１の出力の状態を検査する工程が終了すると、制御部からの駆動指令に基づき、対応するアクチュエータが駆動することにより、可動基台部４１および可動当接部６１がそれぞれ共用保持用治具２１から離れる方向に移動して、ガス室形成部２３およびセンサ当接面６５による挟持からガスセンサ１１を開放する。
【００８４】
このあと、共用保持用治具２１の外部接続コネクタ部３５から検査機器側コネクタを取り外し、共用保持用治具２１をセンサ処理位置４４から取り除くことにより、一連のセンサ特性検査処理が終了する。
以上説明したように、ガスセンサ検査装置１は、１０個のガスセンサ１１を全て収容する大型ガス室ではなく、各ガスセンサ１１のセンサ収容部１５（ガス導入孔１３）をそれぞれ個別に覆う１０個の個別ガス室５３が備えられている。このように構成されるガスセンサ検査装置１においては、ガス配管５９および個別ガス室５３からなるガス流通経路における１個のガスセンサ１１あたりのガス容積が、前述した大型ガス室の容積（１００［Ｌ］）における１個のガスセンサあたりのガス容積に比べて小さくなる。このようにガス室の容積を縮小することで、センサ１個あたりの検査用ガスの使用量を減少できる。
【００８５】
また、ガス室の容積を縮小することで、検査用ガスのガス置換時間も短縮できるため、ガスセンサ検査装置１は、センサ特性検査処理を行うにあたり、特定ガス濃度の変更に要する濃度変更所要時間を短縮することができ、速やかにセンサ特性検査処理を行うことができる。
【００８６】
さらに、ガスセンサ１１のセンサ収容部１５（ガス導入孔１３）に一対一で対応させて個別ガス室５３を配置し、複数のガスセンサ１１に対し一括してセンサ特性検査処理を実行することから、個別ガス室５３に充填される検査用ガスの濃度勾配が従来（即ち、大型ガス室を有するチャンバを用いてのセンサ特性検査処理）に比べて敏感になり、精度の良いセンサ特性検査処理を一括して実行することができる。
【００８７】
よって、本実施例のガスセンサ検査装置１によれば、複数のガスセンサ１１に対してセンサ特性検査処理を同時に行うにあたり、ガス置換時間の短縮により作業所要時間を短縮することができ、また、検査用ガスの使用量の減少によりコストの低減を図ることができる。
【００８８】
また、ガスセンサ検査装置１は、１０個の個別ガス室５３が、ガス配管５９を介して直列に配置され、ガス配管５９を通じて検査用ガスが充填されるよう構成されている。このように個別ガス室５３およびガス配管５９からなるガス流通経路を１本に限定することで、複数のガス流通経路を並行して備える場合のようにガス流通抵抗の差異によって個別ガス室５３ごとに、検査用ガスの濃度が一定濃度となるまでの濃度勾配にバラツキ差が生じるのを防ぐことができる。
【００８９】
したがって、ガスセンサ検査装置１によれば、１０個のガスセンサ１１に対して同時にセンサ処理を行うにあたり、各個別ガス室５３に充填される検査用ガスの濃度を略均一に設定することができる。これにより、個別ガス室５３の内部の検査ガスによる置換を安定して、かつ敏感に行うことができ、センサ特性検査の条件が、ガスセンサ１１ごとにばらつくのを防止することができる。
【００９０】
さらに、ガスセンサ検査装置１は、各ガスセンサ１１に対応して設けられる１０個のガス室形成部２３を備えることから、個別ガス室５３（ガス室形成部２３）とガスセンサ１１との距離を、個別ガス室５３ごとにそれぞれ独立して調整することができる。
【００９１】
また、ガスセンサ検査装置１は、ガスセンサ１１に当接したガス室形成部２３（詳細には、可動部４７）をそれぞれガスセンサ１１に向けて押圧する弾性スプリング５１を備えることから、個別ガス室５３（ガス室形成部２３）を確実にガスセンサ１１に当接させることができる。
【００９２】
つまり、ガスセンサ１１とガス室形成部２３との相対距離が、寸法較差等に起因してガスセンサ１１ごとに異なる場合でも、ガス室形成部２３を各ガスセンサ１１に確実に当接できるため、ガスセンサ１１のガス導入孔１３が形成されたセンサ収容部１５を確実に個別ガス室５３で覆うことができる。
【００９３】
よって、ガスセンサ検査装置１によれば、複数のガスセンサ１１に対してセンサ特性検査処理を行うにあたり、ガスセンサや装置自体に寸法較差等がある場合でも、検査用ガスの漏洩を防ぎつつセンサ特性検査処理を実行することができる。
【００９４】
また、ガスセンサ検査装置１は、シールパッキン４９を備えており、ガス室形成部２３の当接面５０とガスセンサ１１との間に生じる僅かな隙間についても閉塞することができ、個別ガス室の気密性をより向上させることができる。よって、検査用ガスの漏洩をより一層防止でき、検査用ガスの濃度低下によるセンサ特性検査処理の効率低下を防止できる。
【００９５】
なお、ガスセンサ検査装置１においては、ガス導入孔１３が特許請求の範囲に記載のガス導入部に相当し、センサ出力端子１９ｂおよび接地端子１９ｃがセンサ電極に相当し、共用保持用治具２１がセンサ保持部，保持用治具および共用保持用治具に相当し、雌コネクタ部３３および外部接続コネクタ部３５がセンサ信号配線部に相当し、弾性スプリング５１が押圧手段に相当し、シールパッキン４９が気密維持用シール部材に相当するものである。
【００９６】
次に、第２実施例として、ガスセンサ１１に対してエージング処理を行うエージング処理装置２について説明する。
なお、エージング処理装置２は、上述のガスセンサ検査装置１のうち、検査用ガス供給部をエージング用ガス供給部に変更し、制御部で実行される制御処理の処理内容をエージング処理用に変更して構成されている。
【００９７】
エージング用ガス供給部は、予め定められた一定濃度のＣＯおよびＮＯ2 を含むエージング用ガスを供給するよう構成されている。制御部で実行される制御処理は、ガスセンサ１１のヒータ５ｃに対して外部接続コネクタ部３５、雌コネクタ部、雄コネクタ部１７を介して通電しつつ両感ガス体５ａ，５ｂを活性化させ、ガス導入孔１３に対してエージング用ガスを供給する状態を、一定時間継続する処理を行うように構成されている。
【００９８】
このエージング処理装置２は、大型ガス室を備えるエージング処理装置に比べて、ガス使用量が低減できることから、ガスセンサ１１に対してエージング処理を行うにあたり、作業所要時間を短縮でき、また、エージング用ガスの使用量低減によるコストの低減を図ることができる。
【００９９】
また、共用保持用治具２１は、図４および図５に示すように、自身の表面から突出した棒状のエージング処理完了表示部７１を備えており、エージング処理完了表示部７１は、環状形状の処理完了表示リング７３を挿通可能に構成されている。ガスセンサ１１に対するエージング処理が完了したときに、作業員がエージング処理完了表示部７１に対して環状形状の処理完了表示リング７３を挿通する。
【０１００】
これにより、エージング処理完了表示部７１に環状形状の処理完了表示リング７３が挿通されているか否かに基づいて、共用保持用治具２１に装着されているガスセンサ１１へのエージング処理が完了したか否かを判断することができる。このように、エージング処理が完了したか否かを判断できることから、ガスセンサ１１に対してエージング処理を重複して実行するのを防止でき、作業に無駄が生じるのを防止できる。
【０１０１】
よって、第２実施例のエージング処理装置２によれば、エージング処理を行うにあたり、作業所要時間の短縮や、ガス使用量低減によるコスト低減を図ることができる。また、エージング処理完了表示部７１に基づきエージング処理が完了したか否かを判断できるため、エージング処理の重複実施という作業の無駄を防止でき、作業の効率向上を図ることができる。
【０１０２】
なお、エージング処理装置２においては、エージング処理完了表示部７１が、特許請求の範囲に記載の特定センサ処理完了表示部に相当する。
ところで、ガスセンサ１１は、出荷前処理として、エージング処理およびセンサ特性検査処理が実行される。このため、上述したエージング処理装置２およびガスセンサ検査装置１を用いることで、ガスセンサ１１に対する出荷前処理を行うことができる。
【０１０３】
なお、出荷前処理は、先にエージング処理を実行した後に、センサ特性検査処理を実行するという順序で実行される。このため、エージング処理装置とガスセンサ検査装置とが、互いに異なる形状の保持用治具を配置可能に構成されている場合には、エージング処理完了後、ガスセンサ１１をエージング用保持用治具からセンサ検査用保持用治具に移し替える必要が生じる。
【０１０４】
これに対し、共用保持用治具２１は、エージング処理装置２およびガスセンサ検査装置１のそれぞれのセンサ処理位置４４に配置可能な構造であることから、エージング処理工程からセンサ特性検査処理工程に移行するにあたり、共用保持用治具２１からガスセンサ１１を取り外す作業を省略することができるため、作業の簡略化を図ることができる。
【０１０５】
このため、ガスセンサ１１に対してエージング処理およびセンサ特性検査処理を実行するにあたり、異なるセンサ処理位置間のガスセンサ１１の移動時間を短縮することができ、一連のセンサ処理作業（エージング処理作業およびセンサ特性検査処理作業）における作業時間を短縮できる。
【０１０６】
また、共用保持用治具２１は、エージング処理完了表示部７１における処理完了表示リング７３の有無に基づいてエージング処理が完了したか否かを判断することができる。このため、エージング処理完了表示部７１に処理完了表示リング７３が装着されている共用保持用治具２１に限り、ガスセンサ検査装置１でのセンサ特性検査処理を行うようにするとよい。これにより、エージング処理が未実施のガスセンサ１１に対してセンサ検査処理を実施するのを防止でき、また、エージング処理の後にセンサ特性検査処理を行うという出荷前処理の処理順序が誤った順序となるのを防止することができる。
【０１０７】
このようにして一連の処理を行うためには、例えば、作業員が、エージング処理完了表示部７１の状態を判断して、処理完了表示リング７３が装着されている共用保持用治具２１に限り、ガスセンサ検査装置１に配置するとよい。
あるいは、ガスセンサ検査装置１に、エージング処理完了表示部７１に処理完了表示リング７３が装着されているか否かを判断するためのエージング処理完了判断部を備えてもよい。そして、エージング処理完了判断部において処理完了表示リング７３が装着されていると判断された場合に限り、センサ特性検査処理の実行を許可するようにガスセンサ検査装置１を構成するのである。これにより、エージング処理が未処理のガスセンサ１１に対して、センサ特性検査処理が実行されるのを防止することができる。
【０１０８】
よって、エージング処理完了表示部７１における処理完了表示リング７３の装着状態に基づいてエージング処理の完了を確認し、誤った順序で複数のセンサ処理が実行されるのを防止することで、ガスセンサ１１に対する一連の出荷前処理を適切な順序で実行することができる。
【０１０９】
なお、エージング処理完了判断部は、処理完了表示リング７３の有無を判断可能に構成されていれば良く、例えば、共用保持用治具２１のエージング処理完了表示部７１が配置される位置を挟むようにレーザ光送信部とレーザ光受信部とを備えて構成することができる。このエージング処理完了判断部によれば、処理完了表示リング７３によりレーザ光が遮断されるか否かによって、エージング処理が完了しているか否かを判断することができる。
【０１１０】
また、エージング処理を実行した後に、センサ特性検査処理を行うにあたっては、検査用ガスよりも特定ガスを高濃度に含有したものをエージング用ガスとして用いることが望ましい。これにより、エージングによるガスセンサの特性を安定化させる効果がより一層得られるからである。
【０１１１】
以上、本発明の実施例について説明したが、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、種々の態様を採ることができる。
例えば、同時に装着可能なガスセンサの個数は１０個に限ることはなく、より多数のガスセンサを装着可能となるように、ガスセンサ処理装置を構成しても良い。つまり、用途に応じてガスセンサの装着個数を設定し、ガスセンサの装着個数に応じたガス室形成部を備え、ガスセンサの装着個数に応じた形状の共用保持用治具を用いてガスセンサ処理装置を構成すればよい。
【０１１２】
また、ガスセンサ検査装置１は、特性検査時における特定ガスの供給順序は、ＣＯの後にＮＯ2 という順序に限ることはなく、ＮＯ2 の後にＣＯという順序でもよい。また、特定ガスの種類は、２種類に限らず、１種類でも良いし、３種類以上であっても良い。
【０１１３】
また、基台部２５は、隣接するガス室形成部２３の個別ガス室５３を接続するように、ガス配管５９を配置すると良い。つまり、複数備えられるガス室形成部２３のうち、互いの距離が離れたガス室形成部２３の個別ガス室５３どうしを接続する場合には、ガス配管５９の長さが長くなり、ガス流通経路における総容積が拡大することになる。これに対して、隣接するガス室形成部２３の個別ガス室５３を接続するようにガス配管５９を配置することで、ガス配管５９を短縮することができ、ガス流通経路における総容量を縮小することができる。
【０１１４】
よって、基台部を備えるガスセンサ処理装置は、ガス使用量を更に減少できると共に、ガス置換時間を更に短縮することができる。
なお、基台部２５は、隣接するガス室形成部２３どうしの距離が最短距離となるように複数のガス室形成部２３を配置して構成するとよく、これにより、ガス配管５９の距離をさらに短縮でき、ガス流通経路の総容積を更に縮小することができる。この場合、共用保持用治具として、複数のガス室形成部２３の配置位置に応じた位置に、ガスセンサを配置可能に構成された共用保持用治具を用いることは言うまでもない。
【０１１５】
また、センサ収容部とコネクタ部は、ガスセンサの同一面に備えられているものに限られず、センサ収容部とコネクタ部とが異なる面に備えられていても良い。その場合には、保持用治具として、センサ収容部をガス室形成部の対向位置に配置できるように雌コネクタ部の位置が定められた保持用治具を用いることで、ガス室形成部をガスセンサに当接することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 ガスセンサのセンサ特性検査を行うガスセンサ検査装置の概略構成を表す構成図である。
【図２】 （ａ）は、ガスセンサの分解斜視図であり、（ｂ）は、ガスセンサの平面図（上面図）である。
【図３】 ガスセンサの平面図である。
【図４】 共用保持用治具の平面図である。
【図５】 共用保持用治具の側面図である。
【図６】 共用保持用治具のうち、２個のガスセンサが配置される部分の断面図である。
【図７】 共用保持用治具に装着されたガスセンサに対し、ガス室形成部を当接させる前段階の状態を示す説明図である。
【図８】 ガスセンサとガス室形成部とが当接した状態を表す説明図である。
【図９】 ガスセンサに対してセンサ処理を行うための従来型センサ処理装置の概略構成図である。
【符号の説明】
１…ガスセンサ検査装置、２…エージング処理装置、１１…ガスセンサ、１３…ガス導入孔、１５…センサ収容部、１７…雄コネクタ部、１９…端子部、２１…共用保持用治具、２３…ガス室形成部、２５…基台部、２７…センサ挟持機構部、３３…雌コネクタ部、３５…外部接続コネクタ部、４４…センサ処理位置、４５…固定部、４７…可動部、４９…シールパッキン、５１…弾性スプリング、５３…個別ガス室、５９…ガス配管、７１…エージング処理完了表示部、７３…処理完了表示リング。
Claims (16)
- 特定ガスの濃度変化に応じて電気抵抗値が変化する感ガス体と、測定対象ガスを前記感ガス体まで導入するガス導入部と、を備えるガスセンサに対し、前記特定ガスを含むセンサ処理用ガスを前記ガス導入部に供給して所定のセンサ処理を行うにあたり、複数の前記ガスセンサに対して前記センサ処理を同時に行うセンサ処理方法であって、
複数の前記ガスセンサの前記ガス導入部をそれぞれ個別に設けられた個別ガス室で覆い、
前記複数の個別ガス室にそれぞれ前記センサ処理用ガスを充填して、前記センサ処理を行うこと、
を特徴とするセンサ処理方法。 - 前記センサ処理用ガスとして一定濃度の前記特定ガスを含むエージング用ガスを用いることにより、前記ガスセンサの特性を安定化させるエージング処理を行うこと、
を特徴とする請求項１に記載のセンサ処理方法。 - 前記センサ処理用ガスとして前記特定ガスを含む検査用ガスを用い、前記検査用ガスに含まれる前記特定ガスの濃度を変化させて、その濃度変化に対する前記ガスセンサの出力の状態を検査するセンサ特性検査処理を行うこと、
を特徴とする請求項１に記載のセンサ処理方法。 - 請求項１から請求項３のいずれかに記載のセンサ処理方法であって、
前記複数のガスセンサを保持し、前記センサ処理を行うためのセンサ処理位置に配置される保持用治具を用いるセンサ処理方法であり、
前記保持用治具として、複数の前記センサ処理位置に配置可能な構造の共用保持用治具を用いて、前記複数のガスセンサに対して複数の前記センサ処理を行うこと、
を特徴とするセンサ処理方法。 - 前記複数のセンサ処理として、少なくともエージング処理とセンサ特性検査処理とを行うこと、
を特徴とする請求項４に記載のガスセンサ処理方法。 - 前記複数のセンサ処理のうち、特定のセンサ処理が完了したことを示す特定センサ処理完了表示を行うこと、
を特徴とする請求項４または請求項５に記載のガスセンサ処理方法。 - 前記複数の個別ガス室はガス配管を介して直列に並置されており、前記ガス配管を通じて前記複数の個別ガス室の個々に対して順に前記センサ処理用ガスを充填させること、
を特徴とする請求項１から請求項６のいずれかに記載のガスセンサ処理方法。 - 特定ガスの濃度変化に応じて電気抵抗値が変化する感ガス体と、前記感ガス体に電気的に接続されたセンサ電極と、測定対象ガスを前記感ガス体まで導入するガス導入部と、を備えるガスセンサに対し、前記特定ガスを含むセンサ処理用ガスを前記ガス導入部に供給して所定のセンサ処理を行うにあたり、複数の前記ガスセンサに対して前記センサ処理を同時に行うセンサ処理装置であって、
前記複数のガスセンサを保持するセンサ保持部と、
前記ガスセンサの前記センサ電極に電気的に接続されるセンサ信号配線部と、
複数の前記ガスセンサの前記ガス導入部をそれぞれ個別に覆うと共に、前記センサ処理用ガスを蓄積可能に構成された複数の個別ガス室と、
を備えたことを特徴とするガスセンサ処理装置。 - 前記センサ処理用ガスは、一定濃度の前記特定ガスを含むエージング用ガスであり、
前記センサ処理は、前記ガスセンサの特性を安定化させるエージング処理であること、
を特徴とする請求項８に記載のガスセンサ処理装置。 - 前記センサ処理用ガスは、前記特定ガスを含む検査用ガスであり、
前記センサ処理は、前記検査用ガスに含まれる前記特定ガスの濃度変化に対する前記ガスセンサの出力の状態を検査するセンサ特性検査処理であること、
を特徴とする請求項８に記載のガスセンサ処理装置。 - 前記複数の個別ガス室は、ガス配管を介して直列に配置され、前記ガス配管を通じて前記センサ処理用ガスが充填される構成であること、
を特徴とする請求項８から請求項１０のいずれかに記載のガスセンサ処理装置。 - 前記ガスセンサとの当接面に前記個別ガス室を備え、前記複数のガスセンサに対応して設けられる複数のガス室形成部と、
前記ガスセンサに当接した前記複数のガス室形成部をそれぞれ前記ガスセンサに向けて押圧する押圧手段と、
を備えることを特徴とする請求項８から請求項１１のいずれかに記載のガスセンサ処理装置。 - 前記ガス室形成部の前記当接面と前記ガスセンサとの間に配置され、前記当接面と前記ガスセンサとの間の隙間を閉塞して前記個別ガス室の気密を維持する気密維持用シール部材、を備えること、
を特徴とする請求項１２に記載のガスセンサ処理装置。 - 前記センサ保持部として、前記複数のガスセンサを保持し、前記センサ処理を行うためのセンサ処理位置に配置される保持用治具を備え、
前記保持用治具が、複数種類のガスセンサ処理装置の前記センサ処理位置に配置可能な構造の共用保持用治具であること、
を特徴とする請求項８から請求項１３のいずれかに記載のガスセンサ処理装置。 - 前記共用保持用治具は、少なくともエージング処理を行うためのガスセンサ処理装置と、センサ特性検査処理を行うためのガスセンサ処理装置とに装着可能に構成されていること、
を特徴とする請求項１４に記載のガスセンサ処理装置。 - 前記保持用治具は、前記複数のセンサ処理のうち、特定のセンサ処理が完了したことを示す特定センサ処理完了表示部を備えること、
を特徴とする請求項１４または請求項１５に記載のガスセンサ処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002212488A JP3873011B2 (ja) | 2002-07-22 | 2002-07-22 | ガスセンサ処理方法およびガスセンサ処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002212488A JP3873011B2 (ja) | 2002-07-22 | 2002-07-22 | ガスセンサ処理方法およびガスセンサ処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004053463A JP2004053463A (ja) | 2004-02-19 |
| JP3873011B2 true JP3873011B2 (ja) | 2007-01-24 |
Family
ID=31935409
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002212488A Expired - Fee Related JP3873011B2 (ja) | 2002-07-22 | 2002-07-22 | ガスセンサ処理方法およびガスセンサ処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3873011B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4811934B2 (ja) * | 2006-06-22 | 2011-11-09 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ処理方法及びガスセンサ処理装置 |
| JP5324836B2 (ja) * | 2008-06-18 | 2013-10-23 | 本田技研工業株式会社 | 燃料電池車両 |
| JP5192350B2 (ja) * | 2008-10-30 | 2013-05-08 | 株式会社船井電機新応用技術研究所 | センサ評価システム |
| DE102009052332B4 (de) | 2009-11-07 | 2020-07-02 | Iav Gmbh Ingenieurgesellschaft Auto Und Verkehr | Vorrichtung zur Prüfung von Abgassensoren |
| JP4944972B2 (ja) * | 2010-01-18 | 2012-06-06 | 日本碍子株式会社 | センサ素子の検査装置およびセンサ素子の電気的特性検査方法 |
| JP2012238194A (ja) * | 2011-05-12 | 2012-12-06 | Hitachi Ltd | 注文処理サーバ、注文処理方法、および、注文処理プログラム |
| JP6259677B2 (ja) * | 2014-02-27 | 2018-01-10 | 新コスモス電機株式会社 | 点検治具 |
| JP6467194B2 (ja) * | 2014-11-07 | 2019-02-06 | 日本碍子株式会社 | 評価装置及び評価方法 |
-
2002
- 2002-07-22 JP JP2002212488A patent/JP3873011B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2004053463A (ja) | 2004-02-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN213425051U (zh) | 电池单体泄漏检测装置 | |
| JP3873011B2 (ja) | ガスセンサ処理方法およびガスセンサ処理装置 | |
| KR101659589B1 (ko) | 전자 제품의 리크 테스트 장치 및 방법 | |
| US20110303023A1 (en) | Pressure sensor with semiconductor pressure measuring transducer | |
| JP2017506750A (ja) | 差圧検知ダイ用のパッケージ | |
| EP2056099A1 (en) | Sensor control device | |
| JP2010151794A (ja) | 電子部品試験装置 | |
| KR20180028472A (ko) | 센서 유닛 및 기밀성 검사 장치 | |
| CN110657925A (zh) | 用于测试封装的气密密封的方法 | |
| JP6830175B2 (ja) | 圧力センサアセンブリ、測定装置、およびそれらの製造方法 | |
| CN112763158A (zh) | 一种气密性测试装置及测试方法 | |
| JP4498376B2 (ja) | ガスセンサの製造方法 | |
| CN113654585B (zh) | 用于压力传感器和加速度传感器标定的自动化设备 | |
| KR101297141B1 (ko) | 압력 센서 및 압력 센서의 부착 구조 | |
| KR20120058933A (ko) | 플러시 다이어프램식 압력센서 및 플러시 다이어프램식 압력센서용 지그장치 | |
| CN111837022B (zh) | 防水检查装置 | |
| KR100756012B1 (ko) | 배터리 팩 보호회로모듈 조립장치 및 방법 | |
| JP4811934B2 (ja) | ガスセンサ処理方法及びガスセンサ処理装置 | |
| JP2012508374A (ja) | 一体化されたシールプレートを有する圧力感知用モジュール及び圧力感知用モジュールを組み立てる方法 | |
| JP6830174B2 (ja) | 圧力センサアセンブリ、測定装置、およびそれらの製造方法 | |
| CN214277301U (zh) | 用于检测水和氧气的泄漏量与渗透量的检测装置 | |
| JP2002328111A (ja) | ガスセンサの気密検査装置及び検査方法 | |
| JP2005292090A (ja) | 検査装置、検査治具および検査方法 | |
| CN112798186A (zh) | 用于检测水和氧气的泄漏量与渗透量的检测装置 | |
| JP3959362B2 (ja) | ガスセンサの製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050701 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060922 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20061003 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20061023 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091027 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091027 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101027 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101027 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111027 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111027 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121027 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121027 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131027 Year of fee payment: 7 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |