JP2002328111A - ガスセンサの気密検査装置及び検査方法 - Google Patents

ガスセンサの気密検査装置及び検査方法

Info

Publication number
JP2002328111A
JP2002328111A JP2001135376A JP2001135376A JP2002328111A JP 2002328111 A JP2002328111 A JP 2002328111A JP 2001135376 A JP2001135376 A JP 2001135376A JP 2001135376 A JP2001135376 A JP 2001135376A JP 2002328111 A JP2002328111 A JP 2002328111A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
atmosphere
gas
body assembly
gas sensor
measured
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2001135376A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4552351B2 (ja
Inventor
Kazuhiro Fujii
一弘 藤井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Denso Corp
Original Assignee
Denso Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Denso Corp filed Critical Denso Corp
Priority to JP2001135376A priority Critical patent/JP4552351B2/ja
Priority to ES200200997A priority patent/ES2212884A1/es
Priority to US10/135,428 priority patent/US6698273B2/en
Publication of JP2002328111A publication Critical patent/JP2002328111A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4552351B2 publication Critical patent/JP4552351B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
    • G01N27/403—Cells and electrode assemblies
    • G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
    • G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
    • G01N27/4077—Means for protecting the electrolyte or the electrodes

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)
  • Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】精密に大気側雰囲気と被測定ガス側雰囲気との
間に生じる気密もれを検出可能なガスセンサの気密検査
装置及び気密検査方法を提供すること。 【解決手段】 ボディアッシ１の基端側に設置する大気
側用治具２１と，ボディアッシ１の先端側に設置する被
測定ガス側用治具２２とよりなる。被測定ガス側用治具
２１は，エアー溜まり部２１１とボディアッシ１を差し
込む差し込み部とエアー溜まり部２１１に対し高圧エア
ーを供給する高圧エアー源２１９とよりなる。大気側用
治具２２は，気密部２２１と差し込み部２２５と気密シ
ール部２２０と，気密部２２１に対し低圧エアーを供給
する低圧エアー源２２９と気密部２２１に連通するセン
サ部２３を有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【技術分野】本発明は，内燃機関の燃焼制御等に用いら
れるガスセンサの気密検査装置及び検査方法に関する。
【０００２】
【従来技術】基準ガス室を有するガスセンサ素子が内蔵
されたボディアッシと該ボディアッシの基端側を覆い，
ボディアッシの外方に大気側雰囲気を構成する大気側カ
バーを有し，上記ボディアッシの内部に上記ガスセンサ
素子がさらされる被測定ガス側雰囲気を有し，上記大気
側雰囲気は上記基準ガス室と上記被測定ガス側雰囲気に
対し気密性を保ちながら通じるよう構成されたガスセン
サが知られている。
【０００３】
【解決しようとする課題】上記ガスセンサ素子は被測定
ガスに接する電極と基準ガスとなる大気に接する電極と
の間に生じる電気化学的反応から被測定ガス中のガス濃
度を検出するよう構成されている。
【０００４】そのためガスセンサ内は，上述したごと
く，気密的に分離された大気側雰囲気と被測定ガス側雰
囲気とを有し，ガスセンサ素子は両雰囲気に接するよう
に設置される。大気側雰囲気と被測定ガス雰囲気とが完
全分離されていなければ，正しい特定ガス濃度の検出が
できなくなるため，ガスセンサ製造の際は精密な気密検
査を行う必要があった。
【０００５】本発明は，かかる従来の問題点に鑑みてな
されたもので，精密に大気側雰囲気と被測定ガス側雰囲
気との間に生じる気密もれを検出可能なガスセンサの気
密検査装置及び気密検査方法を提供しようとするもので
ある。
【０００６】
【課題の解決手段】第１の発明は，基準ガス室を有する
ガスセンサ素子が内蔵されたボディアッシと該ボディア
ッシの基端側を覆い，ボディアッシの外方に大気側雰囲
気を構成する大気側カバーを有し，上記ボディアッシの
内部に上記ガスセンサ素子がさらされる被測定ガス側雰
囲気を有し，上記大気側雰囲気は上記基準ガス室と上記
被測定ガス側雰囲気に対し気密性を保ちながら通じるよ
う構成されたガスセンサで，該ガスセンサにおける大気
側雰囲気と被測定ガス側雰囲気との間の気密性を検査す
る装置であって，上記ボディアッシの基端側に設置する
大気側用治具と，上記ボディアッシの先端側に設置する
被測定ガス側用治具とよりなり，上記被測定ガス側用治
具は，ボディアッシ先端側を覆うように構成されたエア
ー溜まり部と，該エアー溜まり部に対し上記ボディアッ
シを差し込む差し込み部と，上記エアー溜まり部に対し
高圧エアーを供給するよう構成された高圧エアー源とよ
りなり，上記大気側用治具は，ボディアッシ基端側を覆
うように構成された気密部と，該気密部に対し上記ボデ
ィアッシを差し込む差し込み部と，該差し込み部と上記
ボディアッシとの間を気密シールする気密シール部と，
上記気密部に対し低圧エアーを供給するよう構成された
低圧エアー源と，上記気密部に連通するセンサ部を有す
ることを特徴とするガスセンサの気密検査装置にある
（請求項１）。
【０００７】第１の発明の気密検査装置を用いること
で，実機に近い状態で気密検査を行うことができる。す
なわち，ガスセンサの実使用環境では，ボディアッシの
先端側を被測定ガスにさらしてガス濃度を測定する。高
圧エアーをボディアッシを覆うエアー溜まり部から供給
し，この高圧エアーがボディアッシを介してボディアッ
シ先端側の気密部に対し漏れることの有無を調べること
が可能な本発明の気密検査を用いることで，実使用環境
に近い状態で検査を行うことができる。
【０００８】また，漏れたエア量を圧力にて測定し，そ
れをエア漏れ量に換算することにより体積で計測するこ
とに比べて，かなり精密測定できる。このように第１の
発明にかかる気密検査装置を用いることで，精密に気密
測定を行うことができる。
【０００９】以上により，第１発明によれば精密に大気
側雰囲気と被測定ガス側雰囲気との間に生じる気密もれ
を検出可能なガスセンサの気密検査装置を提供すること
ができる。
【００１０】第２の発明は，基準ガス室を有するガスセ
ンサ素子が内蔵されたボディアッシと該ボディアッシの
基端側を覆い，ボディアッシの外方に大気側雰囲気を構
成する大気側カバーを有し，上記ボディアッシの内部に
上記ガスセンサ素子がさらされる被測定ガス側雰囲気を
有し，上記大気側雰囲気は上記基準ガス室と上記被測定
ガス側雰囲気に対し気密性を保ちながら通じるよう構成
されたガスセンサで，該ガスセンサにおける大気側雰囲
気と被測定ガス側雰囲気との間の気密性を検査するにあ
たり，該ガスセンサの上記被測定ガス側雰囲気と上記大
気側雰囲気との気密性はボディアッシの先端側に高圧エ
アーによる高圧雰囲気を形成すると共に，ボディアッシ
の基端側に低圧エアーによる低圧雰囲気を形成し，低圧
雰囲気側における圧力変化をモニタすることにより，ボ
ディアッシ内での高圧雰囲気側からのリークを検出する
ことを特徴とするガスセンサの気密検査方法にある（請
求項３）。
【００１１】第２の発明は，第１の発明と同様に実機に
近い状態で気密検査を行うことができる。また，大気側
測定カプセルに微小圧力を印加することにより，ボディ
アッシの各部における割れの発見，及び気密シール部に
おけるシール劣化の発見を行うことができると共に，よ
り精密な気密検査を行うことができる。このように第２
の発明にかかる気密検査方法を用いることで，精密に気
密測定を行うことができる。
【００１２】以上により，第２発明によれば精密に大気
側雰囲気と被測定ガス側雰囲気との間に生じる気密もれ
を検出可能なガスセンサの気密検査方法を提供すること
ができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】上記第１の発明（請求項１）にお
いて，気密シール部はシリコーンゴムまたはウレタンゴ
ム等により構成することができる。これにより，気密シ
ール部のシール性を向上させることができる。また，上
記気密シール部の硬度は７０〜９０とすることが好まし
い。これにより，耐磨耗性を高めることができる。硬度
が７０未満である場合は，気密シール部の劣化が早まる
おそれがあり，硬度が９０を越えた場合は，ボディアッ
シの各部における割れを発見できなくなるおそれがあ
る。
【００１４】また，上記気密シール部はボディアッシと
接する箇所を面取りすることが好ましい。これにより，
よりボディアッシに対して密着させることができ，気密
シール部の気密性を高めることができる。仮に気密シー
ル部の気密性能が低ければ，ボディアッシの気密漏れの
有無が判別できなくなるおそれがある。
【００１５】なお，第１発明において検査装置の対象と
なるガスセンサの構成は，例えば，筒形のハウジングと
該ハウジングに気密的に挿通配置されるガスセンサ素子
とを有し，該ハウジングの先端側に被測定ガス側カバー
を設けて，ガスセンサ素子の先端側を覆い，ハウジング
の基端側に大気側カバーを設けた構成が挙げられる。上
記構成の場合，ガスセンサの基端側は大気側雰囲気とな
り，先端側は被測定ガス側雰囲気となり，ガスセンサ素
子とハウジングとの間等が気密封止されることによっ
て，両雰囲気が分離されるケースがある。
【００１６】その他，ガスセンサ素子とハウジングとの
間に絶縁碍子等を配設した構成や，ヒータ等が設けられ
る構成等，様々な構成のガスセンサについて，第１発明
にかかる気密装置を用いて，ボディアッシの気密測定を
行うことができる。また，ガスセンサ素子として後述す
る図２に示すごときコップ型の素子を用いるケース，積
層型のガスセンサ素子を用いるケース等があり，いずれ
についても本発明にかかる検査装置で気密性を検査する
ことができる。
【００１７】上記ボディアッシは，ガスセンサ素子を中
心としたガスセンサ内部の部分構造となる。ガスセンサ
素子が特定ガス濃度を測定するためには，基準ガスとし
て利用する大気と測定の対象となる被測定ガスとの双方
に接する必要があり，ボディアッシ内部は両雰囲気が気
密分離された状態で形成される必要がある。また，ボデ
ィアッシの基端側はこれを覆うように大気側カバーが配
置されて，ガスセンサ内部の大気側カバー内部に形成さ
れた大気側雰囲気に対し接する部分でもある。つまり，
第１の発明におけるエアー溜まり部はガスセンサ使用時
の被測定ガス側雰囲気を模擬したもので，上記気密部は
ガスセンサ使用時の大気側雰囲気を模擬したものであ
る。
【００１８】また，上記センサ部は，上記低圧エアー源
と上記気密部との間に第１バルブを有する第１管を，ま
た上記低圧エアー源に第２バルブを有する第２管が接続
され，該第２管の先端は閉じており，上記第１管と上記
第２管との間にはダイヤフラムを設けた第３管を有する
ことが好ましい（請求項２）。
【００１９】上記ダイヤフラムは第１管と第２管との間
がわずかな圧力差であっても反応することができるた
め，上記構成のセンサ部を用いることでわずかな気密漏
れも正確に検出することができる。その他，ダイヤフラ
ムを圧力でオフセットできるので，大気側に微小圧力が
かかっていても０の圧力として換算することができる。
また，上記第２の発明にかかる方法での詳細は上記第１
の発明について記載した箇所とほぼ同様である。
【００２０】
【実施例】以下に，図面を用いて本発明の実施例につい
て説明する。 （実施例）本発明にかかる，気密検査装置及び気密検査
方法，また検査が施されるガスセンサについて，図１及
び図２を用いて説明する。図２に示すごとく，本例で検
査されるガスセンサは，基準ガス室（図示略）を有する
コップ型のガスセンサ素子１９が内蔵されたボディアッ
シ１と該ボディアッシ１の基端側を覆い，ボディアッシ
１の外方に大気側雰囲気を構成する大気側カバー（図示
略）を有し，上記ボディアッシ１の内部に上記ガスセン
サ素子１９がさらされる被測定ガス側雰囲気１１を有
し，上記大気側雰囲気は上記基準ガス室と上記被測定ガ
ス側雰囲気１１に対し気密性を保ちながら通じるよう構
成されている。
【００２１】図１に示すごとく，本例にかかる検査装置
２は，ガスセンサにおける大気側雰囲気と被測定ガス側
雰囲気１１との間の気密性を検査する装置である。上記
装置２は，上記ボディアッシ１の基端側に設置する大気
側用治具２２と，上記ボディアッシ１の先端側に設置す
る被測定ガス側用治具２１とよりなる。上記被測定ガス
側用治具２１は，ボディアッシ１の先端側を覆うように
構成されたエアー溜まり部２１１と，該エアー溜まり部
２１１に対し上記ボディアッシ１を差し込む差し込み部
２１５と，上記エアー溜まり部２１１に対し高圧エアー
を供給するよう構成された高圧エアー源２１９とよりな
る。
【００２２】上記大気側用治具２２は，ボディアッシ１
の基端側を覆うように構成された気密部２２１と，該気
密部２２１に対し上記ボディアッシ１を差し込む差し込
み部２２１と，該差し込み部２２５と上記ボディアッシ
１との間を気密シールする気密シール部２２０と，上記
気密部２２１に対し低圧エアーを供給するよう構成され
た低圧エアー源２２９と，上記気密部２２１に連通する
センサ部２３を有する。
【００２３】また，上記センサ部２３は，上記低圧エア
ー源と上記気密部２２１との間に第１バルブ２３１を有
する第１管２４１を，また上記低圧エアー源２２９に第
２バルブ２３２を有する第２管２４２が接続され，該第
２管２４２の先端は閉じており，上記第１管２４１と上
記第２管２４２との間にはダイヤフラム２３５を設けた
第３管２４３を有する。
【００２４】以下，詳細に説明する。本例で検査される
ガスセンサは，自動車エンジンの排気系に設置して，燃
焼制御に利用されるものである。このガスセンサは，図
２に示すごとく，コップ型のガスセンサ素子１９が内蔵
されたボディアッシ１と該ボディアッシ１の基端側を覆
い，ボディアッシ１の外方に大気側雰囲気を構成する大
気側カバーを有する（図示略）。
【００２５】上記ボディアッシ１は，図２に示すごと
く，筒形のハウジング１０と該ハウジング１０に気密的
に挿通配置されるコップ型のガスセンサ素子１９とを有
し，該ハウジング１０の先端側は二重構成で複数の導入
穴１１３が設けてある被測定ガス側カバー１１１，１１
２を設けてある。被測定ガス側カバー１１１，１１２に
よりガスセンサ素子１９の先端側が覆われ，ハウジング
１０の基端側は内部大気側カバー１２１により覆われて
いる。なお，内部大気側カバー１２１の内側に広がる空
間はガスセンサにおける大気側雰囲気の一部である。
【００２６】ガスセンサ素子１９は酸素イオン導電性の
ジルコニア固体電解質体と，該固体電解質体の内部に設
けた基準ガス室とよりなり，固体電解質体の外側面には
被測定ガスにさらされる外側電極が，内側面には基準ガ
スとなる大気にさらされる内側電極が設けてある（図示
略）。また，コップ型の固体電解質体の外側面には外側
電極と電気的に導通したリード部及び端子部が，内側面
も同様に内側電極と電気的に導通したリード部及び端子
部が形成されており，各端子部に接続するための接続端
子１９１，１９２がガスセンサ素子１９に固定されてい
る。なお，この接続端子１９１，１９２には，ガスセン
サ外部に素子の出力を導出するようリード線に接続され
る（図示略）
【００２７】また，上記ガスセンサ素子１９はその中央
部付近が径方向外側に突出した突部１９９であり，また
上記ハウジング１０の内側面にはテーパー部１０９が形
成された箇所がある。上記テーパー部１０９に対し上記
センサ素子１９の突部１９９を置いて，ここでガスセン
サ素子１９を支承する。
【００２８】ガスセンサ素子１９における突部１９９の
上方とハウジング１０の内側面との間は，タルク１０
１，金属パッキン１０２，そして絶縁碍子１０３が配置
される。これらによって，ガスセンサ素子１９とハウジ
ング１０との間が気密的に封止され，この気密的封止に
よって被測定ガス側雰囲気と大気側雰囲気の気密的分離
が確保される。
【００２９】また，上記絶縁碍子１０３の上方におい
て，内部大気側カバー１２１の先端側がハウジング１０
の基端側１０９に対しかしめリング１０８を介してかし
め固定される。
【００３０】次に，上記検査装置２について詳細に説明
する。図１に示すごとく，上記検査装置２は被測定ガス
側用治具２１と大気側用治具２２とよりなる。被測定ガ
ス側用治具２１は，ボディアッシ１の先端側の被測定ガ
ス側カバー１１１が差し込まれるエアー溜まり部２１１
と差し込み部２１５とを有する。差し込み部２１５はボ
ディアッシ１のハウジング１０における先端側１０８に
接するよう構成された円形の穴であり，該差し込み部２
１５にはシール部２１０が設けてある。このシール部２
１０によってボディアッシ１との間がシールされる。
【００３１】そして，エアー溜まり部２１１に高圧エア
ーを供給するよう構成されたエアー通路２１２が設けて
あり，該エアー通路２１２は高圧エアー源２１９に接続
されている。
【００３２】また，上記大気側用治具２２は，ボディア
ッシ１の基端側の内部大気側カバー２１２が差し込まれ
る気密部２２１と差し込み部２２５とを有する。差し込
み部２２５はハウジング１０における基端側１０７に接
するよう構成された円形の穴で，該差し込み部２２５に
は気密シール部２２０が設けてある。
【００３３】上記気密シール部２２０はハウジング１０
との間が確実にシールされ，エア漏れがないように気密
封止するよう構成されたシリコーンよりなるシール部材
である。また，このシール部材の硬度は７０で，ハウジ
ング１０と接触する接触面は確実にハウジング１０と接
することができるようにハウジング１０の形状にあわせ
て面取りされた状態にある。
【００３４】上記気密部２２１には，低圧エアーを供給
するよう構成されたエアー通路２２２が設けてあり，こ
のエアー通路２２２に対し低圧エアー源２２９が接続さ
れるが，両者の間にセンサ部２３が介在される。なお，
上記被測定ガス側用治具２１，大気側用治具２２はいず
れも緻密な金属材料よりなる。
【００３５】次に，上記センサ部２３について説明す
る。図１に示すごとく，上記センサ部２３はいわゆる差
圧センサとして機能し，低圧エアー源２２９と気密部２
２１と間の微小な圧力差を検出可能に構成されている。
センサ部２３の構成は低圧エアー源２２９に接続される
接続管２４９と，該接続管２４９から分岐した第１管２
４１と第２管２４２とよりなる。第１管２４１は第１バ
ルブ２３１が配置され，第２管２４２は第２バルブ２３
２が配置されている。上記第１バルブ２３１は上記気密
部２２１のエアー通路２２２に接続され，第２管２４２
の末端２４５は閉じている。
【００３６】そして，第１バルブ２３１について低圧エ
アー流れの下流側，第３バルブについて下流側となる第
１管２４１，第２管２４２の間には第３管２４３が接続
され，第３管２４３にはダイヤフラム２３５が設けてあ
る。
【００３７】このセンサ部２３を用いて，ボディアッシ
１の気密検査を行う方法について説明する。まず，第１
バルブ２３１，第２バルブ２３２を開放する。そして低
圧エアー源２２９から低圧エアーを気密部２２１に供給
し，第１管２３１及び第２管２３２，第３管２４３，エ
アー通路２２２，気密部２２１を低圧エアーと同圧力と
なす。その後，第１バルブ２３１を閉じる。低圧エアー
の圧力は４９．６±１．９ｋＰａで，低圧エアーの供給
時間は２秒，その後，１秒おいて各部の圧力を平衡化さ
せた。
【００３８】次いで，高圧エアー源２１９から高圧エア
ーをエアー溜まり部２１１に向けて供給する。高圧エア
ーの圧力は４４２±４９ｋＰａであった。仮にボディア
ッシ１が気密漏れしていれば，高圧エアーがボディアッ
シ１を通じて気密部２２１に流れ込み，気密部２２１の
圧力が上昇する。そのため，気密部２２１と連通してい
るエアー通路２２２，第１管２４１，第３管２４３の第
１バルブ２３１の気密部２２１側，ダイヤフラム２３５
の気密部２２１側の圧力も上昇する。
【００３９】従って，ダイヤフラム２３５の気密部２２
１側と第２管２４２側とで圧力に差が生じるため，ダイ
ヤフラム２３５が，第２管２４２側に押され，ダイヤフ
ラムに取りつけてある歪みゲージが変形することによ
り，歪みケージの抵抗が変化して，圧力変化を検出する
機構となる。このようにボディアッシ１の気密漏れの有
無がダイヤフラム２３５の状態に反映され，気密漏れを
検知することができる。
【００４０】なお，上記気密シール部２２０が仮に気密
性を保持できなかった場合，気密部２２１そのものに気
密漏れが生じて，ボディアッシ１の気密性が検知できな
くなる。このため，低圧エアーを導入した時点で，気密
シール部２２０からのエア漏れを検知し，異常を作業者
に知らせ，気密部２２１の気密性の検査を行う。なお，
気密シール部２２０の交換インターバルは１０万回とす
るが，気密部２２１の気密性が低下した際には１０万回
より前でもシール交換を行う。
【００４１】以下，本例の作用効果について説明する。
ガスセンサの実使用環境では，ボディアッシ１の先端側
を被測定ガスにさらしてガス濃度を測定する。高圧エア
ーをボディアッシ１を覆うエアー溜まり部２１１から供
給し，この高圧エアーがボディアッシ１を介してボディ
アッシ１先端側の気密部に対し漏れることの有無を調べ
ることが可能な本例にかかる気密検査を用いることで，
実使用環境に近い状態で検査を行うことができる。ま
た，本例の装置を使用することで，高い精度で気密漏れ
を検知できる。このように上記気密検査装置２を用いる
ことで，精密に気密測定を行うことができる。
【００４２】以上により，本例によれば，精密に大気側
雰囲気と被測定ガス側雰囲気との間に生じる気密もれを
検出可能なガスセンサの気密検査装置及び気密検査方法
を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例における，気密検査装置を示す説明図。
【図２】実施例における，ガスセンサのボディアッシの
説明図。
【符号の説明】
１．．．ボディアッシ， ２．．．気密検査装置， ２１．．．被測定ガス側治具， ２１１．．．エアー溜まり部， ２２．．．大気側治具， ２２１．．．気密部， ２３．．．センサ部，

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 基準ガス室を有するガスセンサ素子が内
    蔵されたボディアッシと該ボディアッシの基端側を覆
    い，ボディアッシの外方に大気側雰囲気を構成する大気
    側カバーを有し，上記ボディアッシの内部に上記ガスセ
    ンサ素子がさらされる被測定ガス側雰囲気を有し，上記
    大気側雰囲気は上記基準ガス室と上記被測定ガス側雰囲
    気に対し気密性を保ちながら通じるよう構成されたガス
    センサで，該ガスセンサにおける大気側雰囲気と被測定
    ガス側雰囲気との間の気密性を検査する装置であって，
    上記ボディアッシの基端側に設置する大気側用治具と，
    上記ボディアッシの先端側に設置する被測定ガス側用治
    具とよりなり，上記被測定ガス側用治具は，ボディアッ
    シ先端側を覆うように構成されたエアー溜まり部と，該
    エアー溜まり部に対し上記ボディアッシを差し込む差し
    込み部と，上記エアー溜まり部に対し高圧エアーを供給
    するよう構成された高圧エアー源とよりなり，上記大気
    側用治具は，ボディアッシ基端側を覆うように構成され
    た気密部と，該気密部に対し上記ボディアッシを差し込
    む差し込み部と，該差し込み部と上記ボディアッシとの
    間を気密シールする気密シール部と，上記気密部に対し
    低圧エアーを供給するよう構成された低圧エアー源と，
    上記気密部に連通するセンサ部を有することを特徴とす
    るガスセンサの気密検査装置。
  2. 【請求項２】 請求項１において，上記センサ部は，上
    記低圧エアー源と上記気密部との間に第１バルブを有す
    る第１管を，また上記低圧エアー源に第２バルブを有す
    る第２管が接続され，該第２管の先端は閉じており，上
    記第１管と上記第２管との間にはダイヤフラムを設けた
    第３管を有することを特徴とするガスセンサの気密検査
    装置。
  3. 【請求項３】 基準ガス室を有するガスセンサ素子が内
    蔵されたボディアッシと該ボディアッシの基端側を覆
    い，ボディアッシの外方に大気側雰囲気を構成する大気
    側カバーを有し，上記ボディアッシの内部に上記ガスセ
    ンサ素子がさらされる被測定ガス側雰囲気を有し，上記
    大気側雰囲気は上記基準ガス室と上記被測定ガス側雰囲
    気に対し気密性を保ちながら通じるよう構成されたガス
    センサで，該ガスセンサにおける大気側雰囲気と被測定
    ガス側雰囲気との間の気密性を検査するにあたり，該ガ
    スセンサの上記被測定ガス側雰囲気と上記大気側雰囲気
    との気密性はボディアッシの先端側に高圧エアーによる
    高圧雰囲気を形成すると共に，ボディアッシの基端側に
    低圧エアーによる低圧雰囲気を形成し，低圧雰囲気側に
    おける圧力変化をモニタすることにより，ボディアッシ
    内での高圧雰囲気側からのリークを検出することを特徴
    とするガスセンサの気密検査方法。
JP2001135376A 2001-05-02 2001-05-02 ガスセンサの気密検査装置及び検査方法 Expired - Lifetime JP4552351B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001135376A JP4552351B2 (ja) 2001-05-02 2001-05-02 ガスセンサの気密検査装置及び検査方法
ES200200997A ES2212884A1 (es) 2001-05-02 2002-04-30 Un aparato para inspeccionar la hermeticidad de un detector de gas.
US10/135,428 US6698273B2 (en) 2001-05-02 2002-05-01 Method and apparatus for inspecting airtightness of gas sensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001135376A JP4552351B2 (ja) 2001-05-02 2001-05-02 ガスセンサの気密検査装置及び検査方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002328111A true JP2002328111A (ja) 2002-11-15
JP4552351B2 JP4552351B2 (ja) 2010-09-29

Family

ID=18982850

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001135376A Expired - Lifetime JP4552351B2 (ja) 2001-05-02 2001-05-02 ガスセンサの気密検査装置及び検査方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US6698273B2 (ja)
JP (1) JP4552351B2 (ja)
ES (1) ES2212884A1 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010237045A (ja) * 2009-03-31 2010-10-21 Ngk Insulators Ltd ガスセンサの気密検査方法
CN102393279A (zh) * 2011-10-26 2012-03-28 中国南方航空工业(集团)有限公司 发动机的密封性能的检测装置
JP2017122616A (ja) * 2016-01-06 2017-07-13 日本特殊陶業株式会社 センサの検査方法及びセンサの製造方法

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040246039A1 (en) * 2003-06-03 2004-12-09 Chi-Ming Hsiao Switched capacitor circuit capable of minimizing clock feedthrough effect in a voltage controlled oscillator circuit
JP4414915B2 (ja) * 2004-12-02 2010-02-17 エナジーサポート株式会社 ガス分析装置
KR102178597B1 (ko) * 2015-12-21 2020-11-13 현대중공업 주식회사 선박용 탈질 시스템에서의 촉매 관리 장치 및 방법
CN108168782A (zh) * 2017-12-15 2018-06-15 芜湖致通汽车电子有限公司 一种检测用夹紧工装及其使用方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02146363U (ja) * 1989-05-15 1990-12-12
JPH10260153A (ja) * 1997-03-19 1998-09-29 Unisia Jecs Corp 酸素センサおよび該酸素センサの気密検査装置
JP2000314715A (ja) * 1999-04-28 2000-11-14 Ngk Spark Plug Co Ltd ガスセンサ及びその製造方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4542643A (en) * 1983-11-25 1985-09-24 S. Himmelstein And Company Fluid leak testing method
JP2708915B2 (ja) * 1989-11-25 1998-02-04 日本特殊陶業株式会社 ガス検出センサ
DE4026228C1 (ja) * 1990-08-18 1991-08-22 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart, De
JP3123352B2 (ja) * 1994-06-29 2001-01-09 株式会社デンソー 漏れ測定方法及びその装置
JPH0843241A (ja) * 1994-08-03 1996-02-16 Nippondenso Co Ltd 漏れ測定方法
JP3029802B2 (ja) 1996-06-26 2000-04-10 日本特殊陶業株式会社 ガスセンサ
DE19652832B4 (de) * 1996-12-18 2005-12-15 Denso Corp., Kariya Leckagemeßvorrichtung
JPH11118657A (ja) * 1997-10-21 1999-04-30 Cosmo Keiki:Kk ドリフト補正値算出装置及びこの算出装置を具備した洩れ検査装置
US6167751B1 (en) * 1997-11-26 2001-01-02 Thermedics Detection, Inc. Leak analysis

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02146363U (ja) * 1989-05-15 1990-12-12
JPH10260153A (ja) * 1997-03-19 1998-09-29 Unisia Jecs Corp 酸素センサおよび該酸素センサの気密検査装置
JP2000314715A (ja) * 1999-04-28 2000-11-14 Ngk Spark Plug Co Ltd ガスセンサ及びその製造方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010237045A (ja) * 2009-03-31 2010-10-21 Ngk Insulators Ltd ガスセンサの気密検査方法
CN102393279A (zh) * 2011-10-26 2012-03-28 中国南方航空工业(集团)有限公司 发动机的密封性能的检测装置
CN102393279B (zh) * 2011-10-26 2013-11-20 中国南方航空工业(集团)有限公司 发动机的密封性能的检测装置
JP2017122616A (ja) * 2016-01-06 2017-07-13 日本特殊陶業株式会社 センサの検査方法及びセンサの製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
US6698273B2 (en) 2004-03-02
US20020162382A1 (en) 2002-11-07
JP4552351B2 (ja) 2010-09-29
ES2212884A1 (es) 2004-08-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4499332B2 (ja) 漏れを検査しかつ漏れの箇所をつきとめるための方法ならびに該方法を実施するために適した装置
EP3306292B1 (en) Sensor unit and airtightness inspection device
JP4863960B2 (ja) 酸素センサの検査方法
CN111665003B (zh) 电池包的泄漏检查方法及泄漏检查装置
JP2008224307A (ja) 漏洩検査装置
JP4552351B2 (ja) ガスセンサの気密検査装置及び検査方法
US6319378B1 (en) Gas sensor having improved structure
JP2007271558A (ja) 漏れ検査装置
JP5006899B2 (ja) ガスセンサの気密検査方法
US6913678B2 (en) Gas sensor
US20100139409A1 (en) Construction of a pressure sensor
JP2007248313A (ja) 定電位電解式ガスセンサ
JP5612872B2 (ja) 板状成形・接合体の漏れ検査装置
CN212300763U (zh) 一种金属波纹管检漏设备
JP2005273705A (ja) バルブテスタ
JP3983479B2 (ja) 電池の液漏れ検査装置
JP4402427B2 (ja) ヘリウムガス漏れ検出装置
JP4278569B2 (ja) 圧力測定器
KR101786717B1 (ko) 리크 검사 지그 및 리크 검사 장치
JP2007322134A (ja) ガスセンサ
CN217520686U (zh) 膜电极气密测试设备和用于其的标定装置
JP2007132875A (ja) エアリーク検査装置
JPH02673Y2 (ja)
CN214894095U (zh) 压力测试装置
KR20190110260A (ko) 방수검사장치

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070709

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20091026

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100622

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20100705

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130723

Year of fee payment: 3

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 4552351

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130723

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term