JP6467194B2 - 評価装置及び評価方法 - Google Patents
評価装置及び評価方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6467194B2 JP6467194B2 JP2014227312A JP2014227312A JP6467194B2 JP 6467194 B2 JP6467194 B2 JP 6467194B2 JP 2014227312 A JP2014227312 A JP 2014227312A JP 2014227312 A JP2014227312 A JP 2014227312A JP 6467194 B2 JP6467194 B2 JP 6467194B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- gas sensor
- chamber
- cap portion
- pipe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Description
ガスセンサを評価する評価装置であって、
ガスを流通可能でありガスセンサが取り付けられたチャンバーと、
前記チャンバー内に配設され、該チャンバー内と異なる雰囲気で前記ガスセンサを被覆及び被覆解除可能であるキャップ部と、
を備えたものである。
ガスセンサを評価する評価方法であって、
(a)ガスを流通可能であるチャンバーに取り付けられたガスセンサを該チャンバー内と異なる雰囲気でキャップ部により被覆した状態で該ガスセンサの検出信号を取得するステップと、
(b)前記キャップ部の被覆を解除した状態で該ガスセンサの検出信号を取得するステップと、
を含むものである。
図1に示した評価装置10を作製した。チャンバー20の実容積は、1.26Lであり、キャップ部の内部空間の容積は、1.57mLである。ガスセンサは、NOxセンサーとし、被測定ガスを酸素ガスとし、パージガスを酸素/窒素ガスとした。評価条件は、チャンバー温度が15〜45℃、圧力が±30hPa、被測定ガスの流量が200kg/h、流速が13m/sとした。また、パージガスは、供給管のガス流量が2L/min、ガス濃度が酸素/窒素=8体積%/92体積%とした。移動部のストロークは60mmとし、キャップ部の移動速度は100mm/s以上とした。キャップ部でガスセンサの先端を被覆した状態から被覆解除し、そのときの酸素ガス濃度の変化を測定した。
バーナー式でガス濃度を変更する評価装置を作製した(バーナー式)。バーナーで酸素を除去した状態からバーナーを停止し、そのときの酸素ガス濃度を測定した。
チャンバーへガスを供給する配管にパージガスを供給可能な供給管を接続し、マスフローコントローラにより、チャンバーの上流側でガスを切り替えることによりガス濃度を変更する評価装置を作製した(モデルガス式)。被測定ガスの流量を11m/sとした場合を実験例3とし、30m/sとした場合を実験例4とした。
図6、7は、実験例1〜4の時間経過に伴う酸素濃度検出値の測定結果である。なお、標準のセンサの波形を図6に示し、標準センサに対して保護カバーの形状を変更し応答性を改善したセンサの波形を図7に示した。また、実験例1〜4の各方式における評価条件の範囲を表1にまとめた。図6,7に示すように、実験例2〜4では、センサの検出値の応答が遅いことがわかった。ガスセンサ自体は同じものであり、応答特性が同じであるため、これは、ガスセンサに至るまでのガス拡散が影響しているものと推察された。これに対し、キャップ部によるガス切替を行った実験例1では、応答性が高い結果であった。これは、ガス拡散による応答性への影響がより低減され、ガスセンサ自体の応答特性をより示しているものと推察された。このように、本発明では、ガスセンサの特性、特に応答特性をより適正に評価することができることがわかった。
Claims (14)
- ガスセンサを評価する評価装置であって、
ガスを流通可能でありガスセンサが取り付けられたチャンバーと、
前記チャンバー内に配設され、該チャンバー内と異なる雰囲気で前記ガスセンサを被覆及び被覆解除可能であるキャップ部と、を備え、
前記キャップ部には、排出口から該キャップ部の内部空間のガスを排出する排出管が接続されている、評価装置。 - ガスセンサを評価する評価装置であって、
ガスを流通可能でありガスセンサが取り付けられたチャンバーと、
前記チャンバー内に配設され、該チャンバー内と異なる雰囲気で前記ガスセンサを被覆及び被覆解除可能であるキャップ部と、を備え、
前記キャップ部には、供給口から該キャップ部の内部空間へガスを供給する供給管が前記チャンバー内のガス流通方向の上流側に接続され、排気口から該キャップ部の内部空間のガスを排出する排出管が前記チャンバー内のガス流通方向の下流側に接続されている、評価装置。 - ガスセンサを評価する評価装置であって、
ガスを流通可能でありガスセンサが取り付けられたチャンバーと、
前記チャンバー内に配設され、該チャンバー内と異なる雰囲気で前記ガスセンサを被覆及び被覆解除可能であるキャップ部と、を備え、
前記キャップ部には、前記ガスセンサと対向する位置に内管と外管とを有する2重配管が接続されており、前記内管及び前記外管のいずれか一方が該キャップ部の内部空間へガスを供給する供給管であり、他方が該キャップ部の内部空間のガスを排出する排出管である、評価装置。 - ガスセンサを評価する評価装置であって、
ガスを流通可能でありガスセンサが取り付けられたチャンバーと、
前記チャンバー内に配設され、該チャンバー内と異なる雰囲気で前記ガスセンサを被覆及び被覆解除可能であるキャップ部と、
前記ガスセンサを被覆する位置と前記ガスセンサを被覆解除する位置とに前記キャップ部を移動させる移動部と、を備えた評価装置。 - 前記移動部は、前記ガスセンサを被覆解除する際に、前記キャップ部を前記チャンバーの空間から退避させる、請求項4に記載の評価装置。
- 前記キャップ部には、排出口から該キャップ部の内部空間のガスを排出する排出管が接続されている、請求項2〜5のいずれか1項に記載の評価装置。
- 前記排出管にはガスを排出及び排出停止する排出部が接続されており、
前記排出部は、前記キャップ部が前記ガスセンサを被覆解除したあとにも前記内部空間のガスの排出を継続させる、請求項1又は6に記載の評価装置。 - 前記キャップ部には、供給口から該キャップ部の内部空間へガスを供給する供給管が接続されている、請求項1〜7のいずれか1項に記載の評価装置。
- 前記供給管にはガスを供給及び供給停止する供給部が接続されており、
前記供給部は、前記キャップ部が前記ガスセンサを被覆解除した際には前記内部空間へのガスの供給を停止する、請求項8に記載の評価装置。 - 前記キャップ部には、供給口から該キャップ部の内部空間へガスを供給する供給管が前記チャンバー内のガス流通方向の上流側に接続され、排気口から該キャップ部の内部空間のガスを排出する排出管が前記チャンバー内のガス流通方向の下流側に接続されている、請求項1、3〜9のいずれか1項に記載の評価装置。
- 前記キャップ部には、前記ガスセンサと対向する位置に内管と外管とを有する2重配管が接続されており、前記内管及び前記外管のいずれか一方が該キャップ部の内部空間へガスを供給する供給管であり、他方が該キャップ部の内部空間のガスを排出する排出管である、請求項1、2、4〜10のいずれか1項に記載の評価装置。
- 前記2重配管は、前記キャップ部の移動方向に沿って設けられており、前記キャップ部の支持部材を兼ねている、請求項11に記載の評価装置。
- 請求項1〜12のいずれか1項に記載の評価装置であって、
前記ガスセンサを被覆する位置と前記ガスセンサを被覆解除する位置とに前記キャップ部を移動させる移動部、を備えた評価装置。 - 請求項1〜13のいずれか1項に記載の評価装置を用いてガスセンサを評価する評価方法であって、
(a)ガスを流通可能であるチャンバーに取り付けられたガスセンサを該チャンバー内と異なる雰囲気でキャップ部により被覆した状態で該ガスセンサの検出信号を取得するステップと、
(b)前記キャップ部の被覆を解除した状態で該ガスセンサの検出信号を取得するステップと、
を含む評価方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014227312A JP6467194B2 (ja) | 2014-11-07 | 2014-11-07 | 評価装置及び評価方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014227312A JP6467194B2 (ja) | 2014-11-07 | 2014-11-07 | 評価装置及び評価方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016090484A JP2016090484A (ja) | 2016-05-23 |
JP6467194B2 true JP6467194B2 (ja) | 2019-02-06 |
Family
ID=56018407
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014227312A Active JP6467194B2 (ja) | 2014-11-07 | 2014-11-07 | 評価装置及び評価方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6467194B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106442948A (zh) * | 2016-10-27 | 2017-02-22 | 苏州仓旻电子科技有限公司 | 一种气敏陶瓷测试装置 |
JP2019158758A (ja) | 2018-03-15 | 2019-09-19 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサの応答時間評価装置及び方法 |
JP6923473B2 (ja) * | 2018-03-23 | 2021-08-18 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサの検査装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08128928A (ja) * | 1994-10-28 | 1996-05-21 | Shimadzu Corp | ガス濃度測定装置 |
JP3873011B2 (ja) * | 2002-07-22 | 2007-01-24 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ処理方法およびガスセンサ処理装置 |
JP4863960B2 (ja) * | 2007-10-12 | 2012-01-25 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 酸素センサの検査方法 |
JP4944972B2 (ja) * | 2010-01-18 | 2012-06-06 | 日本碍子株式会社 | センサ素子の検査装置およびセンサ素子の電気的特性検査方法 |
DE102012021928A1 (de) * | 2012-11-09 | 2014-05-15 | Man Truck & Bus Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Kalibrierung eines Abgassensors |
-
2014
- 2014-11-07 JP JP2014227312A patent/JP6467194B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016090484A (ja) | 2016-05-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6467194B2 (ja) | 評価装置及び評価方法 | |
US9804118B2 (en) | Gas sensor | |
US9880077B2 (en) | Multi sampling port monitoring apparatus for measuring pollution level and monitoring method using the same | |
JP2012231918A5 (ja) | ||
EP3521822A8 (en) | Gas detecting device | |
KR20200089278A (ko) | 포름알데히드 또는 voc 방출량 테스트 및 전처리 간이 챔버 | |
JP2013507999A5 (ja) | ||
TW200631122A (en) | Method to position a wafer | |
US10330635B2 (en) | Gas sensor including sensor element, housing and element cover | |
FR2886015A1 (fr) | Procede de mesure de la porosite par ellipsometrie et dispositif mettant en oeuvre un tel procede | |
BR102013028811B1 (pt) | Método e dispositivo para calibrar sensor de gás de exaustão | |
WO2011124702A3 (en) | Fluid mixing apparatus | |
WO2017031257A3 (en) | Fluid control system | |
US20220074884A1 (en) | Gas sensor | |
US20180095013A1 (en) | Apparatus and Method for Detecting Pollution Location and Computer Readable Recording Medium | |
JP6233207B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP2015230220A5 (ja) | 特定ガス濃度検出方法 | |
SG11201906267TA (en) | Improved system for aerating a submerged membrane | |
US20220074885A1 (en) | Gas sensor | |
JP2005002915A (ja) | 蒸発燃料処理装置のリーク診断装置 | |
CN109386354A (zh) | 内燃机的排气净化装置 | |
JP6233206B2 (ja) | ガスセンサ | |
KR101729471B1 (ko) | 가스 종들의 혼합을 향상시키기 위한 소형 장치 | |
MX2017014512A (es) | Aparato para medicion de presion de un motor. | |
WO2008042033A8 (en) | Split sample test chamber device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170721 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180510 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180605 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180718 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190108 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190111 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6467194 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |