JP2022052125A - 描画装置 - Google Patents
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Abstract
Description
4 パターン描画部
7 フレーム
9 基板
21a 第1ステージ
21b 第2ステージ
22a 第1移動機構
22b 第2移動機構
41 描画ヘッド
42 描画ヘッド移動機構
51 カウンタウエイト
52 ウエイト移動機構
74 ガントリー部
91 上面
115 ウエイト移動制御部
S11~S19,S21~S29,S31~S36,S41~S45 ステップ
Claims (8)
- 基板に対する描画を行う描画装置であって、
下方にて水平移動する基板の上側の主面に対して光を照射してパターンを描画するパターン描画部と、
第1基板保持部と、
前記パターン描画部の下方にて前記第1基板保持部を基板移動方向に水平移動する第1移動機構と、
前記第1基板保持部に隣接して配置される第2基板保持部と、
前記基板移動方向に交差する方向において前記第1移動機構と並んで配置され、前記パターン描画部の下方にて前記第2基板保持部を前記基板移動方向に水平移動する第2移動機構と、
前記第1移動機構および前記第2移動機構を支持するフレームと、
前記基板移動方向と交差するウエイト移動方向に移動可能に前記フレームに取り付けられるカウンタウエイトと、
前記カウンタウエイトを前記ウエイト移動方向に移動するウエイト移動機構と、
前記基板移動方向における前記第1基板保持部および前記第2基板保持部の位置に基づいて、前記第1基板保持部および前記第2基板保持部の重量による前記フレームの変形を抑制する位置に前記カウンタウエイトが配置されるように前記ウエイト移動機構を制御するウエイト移動制御部と、
を備えることを特徴とする描画装置。 - 請求項1に記載の描画装置であって、
前記ウエイト移動方向は、前記基板移動方向に垂直であることを特徴とする描画装置。 - 請求項1または2に記載の描画装置であって、
前記カウンタウエイトの重心は、上下方向において、前記第1基板保持部の上面および前記第2基板保持部の上面よりも下側に位置することを特徴とする描画装置。 - 請求項3に記載の描画装置であって、
前記カウンタウエイトの上端は、上下方向において、前記第1基板保持部の前記上面および前記第2基板保持部の前記上面よりも下側に位置することを特徴とする描画装置。 - 請求項1ないし4のいずれか1つに記載の描画装置であって、
前記フレームは、前記第1移動機構および前記第2移動機構を跨ぐとともに前記パターン描画部を支持するガントリー部を備え、
前記ガントリー部は、前記第1移動機構および前記第2移動機構の前記基板移動方向における中央部の上方から前記基板移動方向の一方側へと延び、
前記第1移動機構および前記第2移動機構は、前記ガントリー部から前記基板移動方向の他方側へと突出しており、
前記カウンタウエイトは、前記第1移動機構および前記第2移動機構に対して前記基板移動方向の他方側に隣接して配置されることを特徴とする描画装置。 - 請求項1ないし5のいずれか1つに記載の描画装置であって、
前記フレームの剛性は、前記第1移動機構および前記第2移動機構の前記基板移動方向における一方側の端部、中央部および他方側の端部の順に低く、
前記カウンタウエイトは、前記第1移動機構および前記第2移動機構に対して前記基板移動方向の前記他方側に隣接して配置され、
前記第1基板保持部が、前記パターン描画部による描画が行われる位置に位置している状態において、前記第2基板保持部が前記基板移動方向における前記一方側の端部に位置するときに、前記カウンタウエイトは前記ウエイト移動方向における前記第1移動機構と前記第2移動機構との中央の基準位置に位置し、前記第2基板保持部が前記基板移動方向における前記中央部に位置するときに、前記カウンタウエイトは前記基準位置よりも前記第1移動機構寄りの第1位置に位置し、前記第2基板保持部が前記基板移動方向における前記他方側の端部に位置するときに、前記カウンタウエイトは前記第1位置よりも前記第1移動機構寄りの第2位置に位置し、
前記第2基板保持部が、前記パターン描画部による描画が行われる位置に位置している状態において、前記第1基板保持部が前記基板移動方向における前記一方側の端部に位置するときに、前記カウンタウエイトは前記基準位置に位置し、前記第1基板保持部が前記基板移動方向における前記中央部に位置するときに、前記カウンタウエイトは前記基準位置よりも前記第2移動機構寄りの第3位置に位置し、前記第1基板保持部が前記基板移動方向における前記他方側の端部に位置するときに、前記カウンタウエイトは前記第3位置よりも前記第2移動機構寄りの第4位置に位置することを特徴とする描画装置。 - 請求項1ないし5のいずれか1つに記載の描画装置であって、
前記フレームの剛性は、前記第1移動機構および前記第2移動機構の前記基板移動方向における一方側の端部、中央部および他方側の端部の順に低く、
前記カウンタウエイトは、前記第1移動機構および前記第2移動機構に対して前記基板移動方向の前記他方側に隣接して配置され、
前記第1基板保持部および前記第2基板保持部が前記基板移動方向における同じ位置に位置するときに、前記カウンタウエイトは前記ウエイト移動方向における前記第1移動機構と前記第2移動機構との中央の基準位置に位置し、
前記第2基板保持部が前記第1基板保持部よりも前記基板移動方向における前記他方側に位置するときに、前記カウンタウエイトは前記基準位置よりも前記第1移動機構寄りの位置に位置し、
前記第2基板保持部が前記第1基板保持部よりも前記基板移動方向における前記一方側に位置するときに、前記カウンタウエイトは前記基準位置よりも前記第2移動機構寄りの位置に位置することを特徴とする描画装置。 - 請求項1ないし7のいずれか1つに記載の描画装置であって、
前記パターン描画部は、
下方に向けて光を照射する描画ヘッドと、
前記描画ヘッドを、前記第1移動機構の上方の第1描画位置と前記第2移動機構の上方の第2描画位置との間で移動する描画ヘッド移動機構と、
を備えることを特徴とする描画装置。
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