JP2020113692A5 - - Google Patents

Description

上記の静電チャックにおいて、前記誘電板の上面の表面粗さは、表面粗さＲａで０．３μｍ以下であることが好ましい。
本開示の静電チャック装置は、上記の静電チャックと、前記静電チャックを冷却する冷媒が流れる流路を有する支持台と、前記静電チャックを前記支持台に接合する接合剤と、を有する。

Claims (9)

1. 静電気力によってワーク基板を固定する静電チャックであって、
   前記ワーク基板が載置される誘電板と、
   前記誘電板を支持するベース板と、
   前記誘電板と前記ベース板との間に配設され前記ワーク基板を吸着する静電気力を生じさせるための吸着電極と、
   を備え、
   前記誘電板はサファイア基板であり、
   前記ベース板はアルミナセラミックスであり、
   前記吸着電極は、－２００℃以上、４００℃以下の範囲において抵抗変化率が２０％以下であり、
   前記誘電板と前記ベース板とが前記吸着電極を介して一体接合されている、
   静電チャック。
2. 前記吸着電極は、アルミナセラミックス、導電材料及び酸化物系共晶点材料からなる複合セラミックスであり、
   前記誘電板及び前記ベース板は、前記吸着電極と再焼結している、
   請求項１に記載の静電チャック。
3. 前記ベース板は、厚さ方向に貫通する貫通孔と、前記貫通孔に配設されて前記吸着電極に電気的に接続される給電電極とを有し、
   前記給電電極は、前記吸着電極と同じ材料にて形成されている、
   請求項１又は請求項２に記載の静電チャック。
4. 前記誘電板、前記吸着電極、及び前記ベース板の線熱膨張率は８．０×１０^－６／Ｋ以下である、請求項１～請求項３の何れか一項に記載の静電チャック。
5. 前記誘電板の上面の表面粗さは、表面粗さＲａで０．０５μｍ以下である、請求項１～請求項４のいずれか一項に記載の静電チャック。
6. 前記誘電板は、上面から突出する凸部を有し、前記凸部の直径は０．３ｍｍ以上、３．０ｍｍ以下であり、前記凸部の高さは０．０５ｍｍ以下であり、前記凸部の上面端部は前記凸部の側面にかけて湾曲した稜線部であり、前記稜線部の半径は０．０３ｍｍ以下である、請求項１～請求項４のいずれか一項に記載の静電チャック。
7. 前記誘電板の上面の表面粗さは、表面粗さＲａで０．３μｍ以下である、請求項６に記載の静電チャック。
8. 請求項１～請求項７のいずれか一項に記載の静電チャックと、
   前記静電チャックを冷却する冷媒が流れる流路を有する支持台と、
   前記静電チャックを前記支持台に接合する接合剤と、
   を有する静電チャック装置。
9. 請求項１～請求項７のいずれか一項に記載の静電チャックと、
   前記静電チャックを冷却する冷媒が流れる流路を有する支持台と、
   を備え、
   前記静電チャックは、前記支持台と直接接合されている、
   静電チャック装置。