JP2009055017A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 基板を保持するセラミックスからなる保持部と、該保持部に接してなり該保持部より体積固有抵抗が低い支持部材とを有することを特徴とする保持用治具。
2. 基板を保持するセラミックスからなる保持部材と、該保持部材より体積固有抵抗が低く該保持部材に接する支持部材とが、前記保持部材の体積固有抵抗と同等かそれ以下の接着材で接合されていることを特徴とする保持用治具。
3. 前記保持部または前記保持部材は炭化珪素からなり、その周囲はアルミナ／炭化チタン複合材料からなることを特徴とする請求項１または２に記載の保持用治具。
4. 前記保持部または前記保持部材に被保持体を吸着するように成したことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の保持用治具。
5. 前記保持部または前記保持部材は炭化珪素からなり、その表面の最大ボイド径が５μｍ以下で且つボイド占有率が０．１％未満であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の保持用治具。
6. 前記セラミックスの体積固有抵抗は１０^３〜１０^９Ω・ｃｍの範囲であり、前記支持部材の表面に絶縁性領域を有していることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の保持用治具。
7. 前記セラミックスの体積固有抵抗は１０^３〜１０^９Ω・ｃｍの範囲であり、前記支持部材の表面に導電性領域を有していることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の保持用治具。
8. 請求項１乃至７のいずれかの保持用治具を吸着手段として用いたことを特徴とする吸着装置。