JP2014176950A5 - - Google Patents
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Claims (6)
- 基板を研磨するための研磨パッドが貼り付けられる貼り付け面を有する研磨テーブルと、
前記研磨テーブルの貼り付け面上に設けられ、前記研磨テーブルと前記研磨パッドとの間に介在するシリコーン層と、
を備え、
前記シリコーン層は、前記貼り付け面に設けられた、シリコーン樹脂を含有する粘着剤のコーティングを含み、前記研磨パッドは、前記研磨パッドの粘着剤を介して、前記シリコーン樹脂を含有する粘着剤のコーティングに貼り付けられていることを特徴とする研磨装置。 - 請求項１の研磨装置において、
前記シリコーン層は、前記貼り付け面に塗布された、シリコーンにセラミックを混合した樹脂系塗料を含む、
ことを特徴とする研磨装置。 - 請求項１または２の研磨装置において、
前記研磨テーブルは、炭化ケイ素、ステンレス鋼、樹脂、及び酸化アルミニウムの少なくとも１つを含んで形成される、
ことを特徴とする研磨装置。 - 請求項１乃至３のいずれか１項の研磨装置において、
前記シリコーン層と前記研磨パッドとの間に介在する研磨パッドの粘着剤をさらに備える、
ことを特徴とする研磨装置。 - 基板を研磨するための研磨パッドが貼り付けられる貼り付け面を有する研磨テーブルの前記貼り付け面に、前記貼り付け面に塗布されるシリコーン樹脂を含有する粘着剤を含むシリコーン層を設け、
前記貼り付け面に設けられたシリコーン層を熱処理し、
前記熱処理が行われたシリコーン層の上に前記研磨パッドを、前記研磨パッドの粘着剤を介して貼り付ける
ことを特徴とする研磨パッドの貼り付け方法。 - 基板を研磨するための研磨パッドが貼り付けられる貼り付け面を有する研磨テーブルと、
前記研磨テーブルの貼り付け面上に設けられ、前記研磨テーブルと前記研磨パッドとの間に介在するシリコーン層と、
を備え、
前記シリコーン層は、前記貼り付け面に貼り付けられた、シリコーン樹脂を含有する粘着シートを含み、前記研磨装置は、前記シリコーン樹脂を含有する粘着シートと前記研磨パッドとの間に介在する研磨パッドの粘着剤をさらに備えることを特徴とする研磨装置。
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