JP4414697B2 - 研磨パッド積層体及び両面粘着シート - Google Patents
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Description
渡邊純二他、表面基準ポリシングにおけるパッド構成、精密工学会春季学術講演会論文集,1997年,P.183
少なくとも研磨パッド1層と研磨装置貼着用粘着剤層1層とを含む研磨パッド積層体であって、
前記研磨装置貼着用粘着剤層が、ビニル基を分子内に有するシリコーン樹脂を架橋させてなるシリコーン粘着剤で構成されていることを特徴とする、前記研磨パッド積層体に関する。
本発明の好ましい態様によれば、前記研磨装置貼着用粘着剤層の金属イオン含有率が、5000ppm以下である。
本発明の別の好ましい態様によれば、前記研磨パッドが硬質ウレタン発泡体シートからなる。
また、前記研磨パッドと前記補強シートとは、直接に接触して積層されているか、あるいは、前記研磨パッドと前記補強シートとは、粘着剤層を介して積層されている。
本発明の好ましい態様によれば、前記補強シートの金属イオン含有率が、5000ppm以下である。
また、前記研磨パッドと前記軟質ウレタン発泡体層とは、直接に接触して積層されているか、あるいは、前記研磨パッドと前記軟質ウレタン発泡体層とは、粘着剤層を介して積層されている。
本発明の好ましい態様によれば、前記軟質ウレタン発泡体層の金属イオン含有率が、5000ppm以下である。
研磨パッド貼着用粘着剤層1層と研磨装置貼着用粘着剤層1層とを含む両面粘着シートであって、
前記研磨装置貼着用粘着剤層が、ビニル基を分子内に有するシリコーン樹脂を架橋させてなるシリコーン粘着剤で構成されていること、及び前記研磨パッド貼着用粘着剤層と研磨装置貼着用粘着剤層との間に、軟質ウレタン発泡体層及び/又は補強シートを含むことを特徴とする、前記両面粘着シートにも関する。
本発明の両面粘着シートの好ましい態様においては、前記研磨パッド貼着用粘着剤層と研磨装置貼着用粘着剤層との間に、軟質ウレタン発泡体層及び/又は補強シートを含む。
また、本発明の両面粘着シートの好ましい態様においては、前記研磨パッド貼着用粘着剤層、前記軟質ウレタン発泡体層、前記補強シート、及び前記研磨装置貼着用粘着剤層の順に積層されている。
但し、本発明が以下の実施の形態に限定されないことはいうまでもない。
本発明による研磨パッド積層体(及び本発明による両面粘着シート)は、研磨装置貼着用粘着剤層を含み、その研磨装置貼着用粘着剤層は、ビニル基を分子内に有するシリコーン樹脂を架橋させてなるシリコーン粘着剤で構成されている。
本発明におけるシリコーン粘着剤層は、貼着時及び研磨に使用する時の温度範囲において、ゴム状領域にあることが重要であり、例えば、JIS Z0237に規定する粘着テープ・粘着シート試験方法による180度引き剥がしの粘着力が50mN/25mm以上であり、室温における落下までの保持時間が60分以上の粘着特性を発現するものが好ましい。前記シリコーン粘着剤層の厚みも特に限定されないが、例えば、5〜150μ程度が好ましい。前記シリコーン粘着剤のガラス転移温度(以下、Tgという)は、−10℃以下、更には−90℃以上−20℃以下の範囲にあることが好ましい。
また、本発明の研磨パッド積層体(又は本発明による両面粘着シート)を構成するシリコーン粘着剤層以外にも、後述する層間接着用粘着剤層、又は後述する軟質ウレタン発泡体シート等が、それらから金属イオンを溶出しないか、又は実質的に金属イオンを含有しないことが好ましい。
(1)迅速に架橋を完了することができる高い活性を有すること。
(2)シリコーンへの溶解度が高いこと。
(3)シリコーン製品中に含まれる酸素や水に対して安定であること。
(4)触媒組成物がシリコーンを犯さないこと。
ヒドロシリル化反応触媒に用いられる遷移金属化合物は多く知られているが、上記4条件を満たす触媒は限られており、更に、低濃度で効果を発揮し、半導体研磨時の汚染回避の点から白金系化合物を用いることが好ましい。一般的な白金系化合物触媒は白金原子として1〜100ppm程度の添加量で効果を発揮し架橋可能である。
本発明における層間接着用粘着剤層は、シリコーン粘着剤層と同様に、貼着時及び研磨に使用する時の温度範囲において、ゴム状領域にあることが重要であり、例えば、JIS Z0237に規定する粘着テープ・粘着シート試験方法による180度引き剥がしの粘着力が50mN/25mm以上であり、室温における落下までの保持時間が60分以上の粘着特性を発現するものが好ましい。前記層間接着用粘着剤層の厚みも特に限定されないが、例えば、5〜150μ程度が好ましい。前記層間接着用粘着剤のガラス転移温度(Tg)は、−10℃以下、更には−90℃以上−20℃以下の範囲にあることが好ましい。
軟質ウレタン発泡体シートは、1m2内の最大厚みと最小厚みとの差が0μm以上100μm以内であることが好ましい。軟質ウレタン発泡体シートの1m2内の最大厚みと最小厚みとの差は、0μmが最も望ましいが現実的には許容範囲があり、100μmよりも大きいと、被研磨体を一定の均一な厚みに研磨することが難しくなりやすい。つまり、圧力を掛けて研磨する際に厚みの厚い部分と薄い部分で圧力差が生じるからである。このため、研磨精度を必要とする場合は、軟質ウレタン発泡体シートの1m2内の最大厚みと最小厚みとの差は、0以上100μm以内であるものが好ましく、80μm以内であるものがより好ましく、60μm以内であるものが更に好ましい。
発泡体シートの厚さの測定は、プローブ直径10mm、印加荷重50g/cm2において、1μm桁表示が可能なデジタル計測器により行うことができる。
本発明でいう「発泡体シートの25%圧縮硬さ」とは、発泡体シートをJIS K 6400に記載される試験の一般的条件、すなわち温度23℃、相対湿度50%の環境に24時間以上静置した後、該発泡体シートを30mm×30mmに打ち抜き、約10mmの厚さとなるようにシートを重ね合わせ、同温湿度環境下にて前記重ね合わせたシート全面を50mm/分の速度で平行に圧縮し、元の厚みから25%圧縮させた際の応力をいう。
軟質ウレタン発泡体シートの25%圧縮硬さが、0.1MPa未満だと研磨パッド積層体が柔軟に成りやすいので、被研磨体の「凹凸」は簡単に消去し得るが、「うねり」を消去することが難しくなる傾向にある。一方、軟質ウレタン発泡体シート(4)の25%圧縮硬さが1.0MPaを越えるとクッション性を失い、研磨装置の被研磨物保持治具等に不要な振動を引き起こすことになる。
ただし、被研磨物内に含有される金属や研磨のために用いるスラリーや活性剤、若しくは酸、塩基を含有する水溶液、又は、潤滑油等に含まれる金属は含有していても差し支えない場合がある。
工程フィルムに剥離処理を施した場合には、シート形成後に工程フィルムを剥離してウレタンのみの発泡体シートを得ることができる。また、工程フィルムに剥離処理を施さない場合には、ポリウレタンの発泡、硬化の過程で、ポリウレタンと工程フィルムとが強固に結合するので、この工程フィルムを後述する補強シートとして利用することができ、軟質ウレタン発泡体シートと補強シートとの間には格別層間接着用粘着剤層若しくはその他の任意の接着剤層を設けなくても両シートを積層することができる。
また、剥離処理してなる工程フィルムを使用する場合、1枚の工程フィルムの剥離処理面に、上記組成物を展開して発泡、硬化させたり、2枚の工程フィルムの剥離処理面間に上記組成物を挟み込んでから発泡、硬化させたりする方法があるが、後者の方が好ましい。すなわち2枚の工程フィルムを用いてポリウレタン発泡体シートを形成し、両工程フィルムを剥がすと、シート両面に滑らかなスキン層を有する発泡体シートが形成される。このスキン層は、層間接着用粘着剤層、又はその他の任意の接着剤層を用いて積層した場合には、層間の密着性向上に効果を奏し、更に厚み精度が制御し易いため、2枚の工程フィルムを用いることが好ましい。
補強シートは、種々のプラスチックシートであることが好ましく、厚さバラツキ精度の観点から好ましくはポリエチレンテレフタレートがより好ましい。厚さは12〜250μmであることが好ましく、更に25〜100μmであることがより好ましい。
また、補強シートの金属イオン含有率は、シリコーン粘着剤層(2−1)等の場合と同様の理由で、5000ppm以下であることが好ましく、1000ppm以下であることがより好ましく、500ppm以下であることが更に好ましい。
図1(模式的断面図)に示す本発明の研磨パッド積層体(10)は、シリコーン粘着剤層(2−1)の両面に研磨パッド層(1)と両面若しくは片面剥離シート(5)を有する態様である。
図2(模式的断面図)に示す本発明の研磨パッド積層体(10)は、シリコーン粘着剤層(2−1)の一方の表面に両面若しくは片面剥離シート(5)を有し、もう一方の表面に軟質ウレタン発泡体層(4)を有し、更に、その軟質ウレタン発泡体層(4)の上に研磨パッド層(1)を有する態様である。なお、図2に示す態様の研磨パッド積層体(10)の軟質ウレタン発泡体層(4)に代えて、補強シート層を有することもできる。
図1〜図5に示す本発明の研磨パッド積層体(10)は、それぞれ、研磨装置に貼着する前に、剥離シート(5)を剥がして用いる。
方法(イ):
研磨パッド(1)の裏面側にシリコーン粘着剤層(2−1)を形成し、該シリコーン粘着剤層(2−1)のもう一方の面と両面剥離シート(5)とを対向させ、必要に応じて加圧下に両層を接触させることによって積層する。
両面剥離シート(5)上にシリコーン粘着剤層(2−1)を形成し、そのシリコーン粘着剤層(2−1)の上に研磨パッド(1)を載せ、必要に応じて加圧下に両層を接触させることによって積層する。
方法(ハ):
軟質ウレタン発泡体層(4)の成型時に、研磨パッド(1)の裏面側と軟質ウレタン発泡体層(4)の表面とを接着させて、研磨パッド(1)/軟質ウレタン発泡体層(4)の積層体を形成し、軟質ウレタン発泡体層(4)のもう一方の表面上にシリコーン粘着剤層(2−1)を形成し、更に両面剥離シート(5)を積層させる。
なお、軟質ウレタン発泡体に代えて補強シートを用いると、軟質ウレタン発泡体層(4)の代わりに補強シート層を有する研磨パッド積層体を得ることができる。
方法(ニ):
補強シート(3)の一方の面にシリコーン粘着剤層(2−1)を形成し、そのシリコーン粘着剤層(2−1)の上に両面剥離シート(5)を載せ、必要に応じて加圧下に両層を接触させることによって積層する。次いで、該補強シート(3)の他方の面に層間接着用粘着剤層(2−2)を形成し、その層間接着用粘着剤層(2−2)の上に、研磨パッド(1)を、その研磨パッド(1)の裏面側を接触させるようにして載せ、必要に応じて加圧下に両層を接触させることによって積層体を得る。
両面剥離シート(5)にシリコーン粘着剤層(2−1)を形成し、補強シート(3)とを積層する。次いで、前記シリコーン粘着剤層(2−1)が接していない方の補強シート(3)の面に層間接着用粘着剤層(2−2)を形成し、その層間接着用粘着剤層(2−2)の上に、研磨パッド(1)を、その研磨パッド(1)の裏面側を接触させるようにして載せ、必要に応じて加圧下に両層を接触させることによって積層体を得る。
補強シート(3)の一方の表面上にシリコーン粘着剤層(2−1)を形成し、そのシリコーン粘着剤層(2−1)の上に両面剥離シート(5)を積層する。次いで、研磨パッド(1)の裏面側に層間接着用粘着剤層(2−2)を形成し、前記シリコーン粘着剤層(2−1)が接していない方の補強シート(3)の面の上に、前記層間接着用粘着剤層(2−2)が載るようにして、研磨パッド(1)/層間接着用粘着剤層(2−2)の積層体を載せ、必要に応じて加圧下に両層を接触させることによって積層体を得る。
方法(ト):
軟質ウレタン発泡体層(4)の成型時に、補強シート(3)の表面と接着させて、補強シート(3)/軟質ウレタン発泡体層(4)の積層体を形成し、補強シート(3)の表面上にシリコーン粘着剤層(2−1)を形成し、更に両面剥離シート(5)を積層させる。また、軟質ウレタン発泡体層(4)の表面上に層間接着用粘着剤層(2−3)を形成し、その層間接着用粘着剤層(2−3)の上に研磨パッド(1)を載せ、必要に応じて加圧下に両層を接触させることによって積層体を得る。
なお、各層の積層の順序は、前記図2あるいは後述する図5に示す態様の研磨パッド積層体(10)の製造方法と同様に、種々の方法を用いることができる。
方法(チ)
補強シート(3)の一方の面にシリコーン粘着剤層(2−1)を形成し、そのシリコーン粘着剤層(2−1)の上に両面剥離シート(5)を載せ、必要に応じて加圧下に両層を接触させることによって積層する。次いで、該補強シート(3)の他方の面に層間接着用粘着剤層(2−2)を形成し、その層間接着用粘着剤層(2−2)の上に軟質ウレタン発泡体シート(4)を載せ、必要に応じて加圧下に両層を接触させる。そして、前記層間接着用粘着剤層(2−2)が接していない方の軟質ウレタン発泡体シート(4)の面に層間接着用粘着剤層(2−3)を形成し、その層間接着用粘着剤層(2−3)の上に、研磨パッド(1)を、その研磨パッド(1)の裏面側を接触させるようにして載せ、必要に応じて加圧下に両層を接触させることによって積層体を得る。
両面剥離シート(5)にシリコーン粘着剤層(2−1)を形成し、そのシリコーン粘着剤層(2−1)の上から補強シート(3)を積層する。次いで、前記シリコーン粘着剤層(2−1)が接していない方の補強シート(3)の面に層間接着用粘着剤層(2−2)を形成し、その層間接着用粘着剤層(2−2)の上に軟質ウレタン発泡体シート(4)を載せ、必要に応じて加圧下に両層を接触させる。そして、前記層間接着用粘着剤層(2−2)が接していない方の軟質ウレタン発泡体シート(4)の面に層間接着用粘着剤層(2−3)を形成し、その層間接着用粘着剤層(2−3)の上に、研磨パッド(1)を、その研磨パッド(1)の裏面側を接触させるようにして載せ、必要に応じて加圧下に両層を接触させることによって積層体を得る。
補強シート(3)にシリコーン粘着剤層(2−1)を形成し、そのシリコーン粘着剤層(2−1)の上から両面若しくは片面剥離シート(5)を積層する。次いで、前記シリコーン粘着剤層(2−1)が接していない方の補強シート(3)の面に層間接着用粘着剤層(2−2)を形成し、その層間接着用粘着剤層(2−2)の上に軟質ウレタン発泡体シート(4)を載せ、必要に応じて加圧下に両層を接触させる。
一方、研磨パッド(1)の裏面側に層間接着用粘着剤層(2−3)を形成し、前記層間接着用粘着剤層(2−2)が接していない方の軟質ウレタン発泡体シート(4)の面と、前記層間接着用粘着剤層(2−3)とを接触させ、必要に応じて加圧下に両層を接触させることによって積層体を得る。
本実施例では、図5に示す態様の研磨パッド積層体を製造した。
シリコーン樹脂〔SD4580;東レダウコーニング・シリコーン(株)社製;金属イオン含有率=34ppm〕100部と白金錯体系触媒〔SRX212;東レダウコーニング・シリコーン(株)社製〕1部とを攪拌混合した粘着剤組成物塗液をコンマコーターで乾燥膜厚が50μmとなるように、補強シート(3)となる75μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(金属イオン含有率=12ppm)に塗布し、シリコーン粘着剤層(2−1)を形成した。続いて、剥離シート(5)としてのポリエチレンテレフタレート剥離シートと巻き取り時に該粘着剤層(2−1)側と接触させて0.3MPaの圧力でラミネートして、剥離シート(5)/シリコーン粘着剤層(2−1)/補強シート(3)からなる粘着シート(D−1)を得た。
実施例1で用いたシリコーン粘着剤の代わりに、シリコーン樹脂〔KR−100;信越化学工業(株)社製;金属イオン含有率=26ppm〕100部と過酸化物触媒〔ナイパーBMT−K40;信越化学工業(株)社製〕3部とを攪拌混合した粘着剤組成物塗液をコンマコーターで乾燥膜厚が50μmとなるように、剥離シート(5)に塗布し、シリコーン粘着剤層(2−1)を形成し、実施例1で用いた発泡体シート(4−1)の代わりに、1m2内の平均厚さが1568μm、1m2内の最大厚みと最小厚みとの差が74μm、25%圧縮硬さが0.36MPa、金属イオン含有率が14ppmの軟質ポリウレタン発泡体シート(4−2)を用いたこと以外は実施例1と同様にして、剥離シート(5)/シリコーン粘着剤層(2−1)/補強シート(3)/層間接着用粘着剤層(2−2)/発泡体シート(4−2)/層間接着用粘着剤層(2−3)からなる構成であって、1m2内の平均厚さが1753μm、1m2内の最大厚みと最小厚みとの差が75μm、25%圧縮硬さが0.39MPaとなる粘着シート(B−2)を得た。最後に、前記粘着シート(B−2)の層間接着用粘着剤層(2−3)と、研磨パッド(1)としての硬質ウレタン発泡体シート(IC1000;ロデール・ニッタ社製)とを0.3MPaの圧力でラミネートし、研磨パッド積層体(A−2)を得た。
実施例1で用いた発泡体シート(4−1)の代わりに、1m 2 内の平均厚さが1389μm、1m 2 内の最大厚みと最小厚みとの差が210μm、25%圧縮硬さが0.39MPa、金属イオン含有率が18ppmの軟質ポリウレタン発泡体シート(4−3)を用い、また実施例1で用いたシリコーン粘着剤層(2−1)の代わりにアクリル系粘着剤を含む粘着剤〔BPS3156D;東洋インキ製造(株)製;金属イオン含有率=11ppm〕100部とイソシアネート誘導体系硬化剤(東洋インキ製造(株)製)3部とを攪拌混合した粘着剤組成物塗液を用いたこと以外は実施例1と同様にして、剥離シート(5)/アクリル系粘着剤層(2’−1)/補強シート(3)/層間接着用粘着剤層(2−2)/発泡体シート(4−3)/層間接着用粘着剤層(2−3)からなる構成であって、1m2内の平均厚さが1574μm、1m2内の最大厚みと最小厚みとの差が211μm、25%圧縮硬さが0.42MPaの粘着シート(B−3)を得た。最後に、前記粘着シート(B−3)の層間接着用粘着剤層(2−3)と、研磨パッド(1)としての硬質ウレタン発泡体シート(IC1000;ロデール・ニッタ社製)とを0.3MPaの圧力でラミネートし、研磨パッド積層体(A−3)を得た。
実施例1で用いたシリコーン粘着剤層(2−1)の代わりにアクリル系粘着剤を含む粘着剤〔BPS3156D;東洋インキ製造(株)製;金属イオン含有率=11ppm〕100部とイソシアネート誘導体系硬化剤(東洋インキ製造(株)製)3部とを攪拌混合した粘着剤組成物塗液を用いたこと以外は実施例1と同様にして、剥離シート(5)/粘着剤層(2’−1)/補強シート(3)/層間接着用粘着剤層(2−2)/発泡体シート(4−1)/層間接着用粘着剤層(2−3)からなる構成であって、1m2内の平均厚さが1687μm、1m2内の最大厚みと最小厚みとの差が31μm、25%圧縮硬さが0.44MPaの粘着シート(B−4)を得た。最後に、前記粘着シート(B−4)の粘着剤層(2−3)と、研磨パッド(1)としての硬質ウレタン発泡体シート(IC1000;ロデール・ニッタ社製)とを0.3MPaの圧力でラミネートし、研磨パッド積層体(A−4)を得た。
実施例及び比較例で得られた研磨パッド積層体の前駆体(B−1〜B−4)の粘着剤層(2−3)側にJIS Z0237耐水研摩紙を貼り合わせ、シリコーン粘着剤層(2−1)あるいは相当するアクリル系粘着剤層(2’−1)側を、テスター産業社製研磨装置の定盤側に貼着した。
他方、前記研磨装置に、下記被研磨試料が前記耐水研摩紙と並行な位置に対向するように被研磨試料を装着し、前記耐水研摩紙と下記被研磨試料とを接触せしめ、荷重0.02MPaの圧力が掛かるようにし、20mL/分の流量で純水を供給しながら、20m/分の速度で、10分間研磨作業を行った。
直径30.0mmの円形で平均厚さ0.130mm、一方の面の60度反射光沢度が14.7のポリカーボネートのシート(a)を0.030mm厚さの粘着剤層を介して、直径30.0mmの円柱状圧子に貼付し被研磨試料とした。
厚さ測定は、プローブ直径10mm、印加荷重50g/cm2において、1μm桁表示が可能なデジタル計測器にて行った。
被研磨試料のポリカーボネートシート(a)の厚さを13箇所、研磨の前後でそれぞれ測定し、ばらつき度合いが良好なものを◎、ばらつき度合いが実用的なものを○、ばらつき度合いの大きいものを×、○と×の中間を△のように評価した。結果を表1に示す。
断面矩形状の溝加工を研磨パッドの中心から同心円状に多数本施した研磨パッド積層体を用いて、研磨スラリー流量を100mL/分とし、シリコンのウェーハ表面熱酸化膜を加工圧が48kPa、定盤回転速度が60rpm、被研磨物回転速度が40rpm、研磨時間が120secの条件で振動評価を行った。0から5の6段階の以下の評価基準で判定し、10枚のウェーハの平均値を得た。結果を表1に示す。評価結果が2未満である場合を良好と判断する。
0:振動しない、 1:微妙に振動する、 2:振動する、 3:やや強い振動、 4:強い振動、 5:かなり強い振動
実施例及び比較例で得られた研磨パッド積層体(25mm×100mm)のシリコーン粘着剤層(2−1)あるいは相当するアクリル系粘着剤層(2’−1)に対し、PFA−LPタイプフィルム(30mm×200mm;厚さ50μm;デュポン(株)社製〕をJIS Z0237に規定する粘着テープ・粘着シート試験方法によって圧着し、PFA−LPタイプフィルムを180度方向に引き剥がし、粘着力測定を行った。結果を表1に示す。
評価方法3で作成した試料を、80℃にて2.5%過酸化水素水溶液中に24時間浸漬させた後、80℃の雰囲気中にて、評価方法3と同様の方法で、PFA−LPタイプフィルムを180度方向に引き剥がし、粘着力測定を行った。結果を表1に示す。
実施例及び比較例で得られた研磨パッド積層体(30mm×100mm)のシリコーン粘着剤層(2−1)あるいは相当するアクリル系粘着剤層(2’−1)に対し、PFA−LPタイプフィルム(20mm×50mm;厚さ250μm;デュポン(株)社製〕の接着面積が20mm×20mmとなるようにして、JIS Z0237に規定する粘着テープ・粘着シート試験方法によって圧着し、PFA−LPタイプフィルムを水平方向に引き剥がし、剪断力測定を行った。結果を表1に示す。
評価方法5で作成した試料を、80℃にて2.5%過酸化水素水溶液中に24時間浸漬させた後、80℃雰囲気中にて、評価方法5と同様の方法で、PFA−LPタイプフィルムを水平方向に引き剥がし、剪断力測定を行った。結果を表1に示す。
4,4−1,4−2,4−3・・・軟質ウレタン発泡体シート;5・・・剥離シート。
Claims (7)
- 少なくとも研磨パッド1層と研磨装置貼着用粘着剤層1層とを含む研磨パッド積層体であって、
前記研磨装置貼着用粘着剤層が、ビニル基を分子内に有するシリコーン樹脂を架橋させることによって形成されるシリコーン粘着剤で構成されていること、及び前記研磨装置貼着用粘着剤層の金属イオン含有率が、5000ppm以下であることを特徴とする、前記研磨パッド積層体。 - 研磨パッドと研磨装置貼着用粘着剤層との内側に、更に補強シートを有する、請求項1に記載の研磨パッド積層体。
- 前記補強シートの破断強度が40MPa以上500MPa以下である、請求項2に記載の研磨パッド積層体。
- 研磨パッドと研磨装置貼着用粘着剤層との内側に、更に軟質ウレタン発泡体層を有する、請求項1〜3のいずれか一項に記載の研磨パッド積層体。
- 前記軟質ウレタン発泡体層は、1m 2 内の最大厚みと最小厚みとの差が0μm以上100μm以下であり、前記軟質ウレタン発泡体層の25%圧縮硬さが0.1MPa以上1.0MPa以下である、請求項4に記載の研磨パッド積層体。
- 研磨パッド貼着用粘着剤層1層と研磨装置貼着用粘着剤層1層とを含む両面粘着シートであって、
前記研磨装置貼着用粘着剤層が、ビニル基を分子内に有するシリコーン樹脂を架橋させてなるシリコーン粘着剤で構成されていること、前記研磨パッド貼着用粘着剤層と前記研磨装置貼着用粘着剤層との間に、軟質ウレタン発泡体層及び/又は補強シートを含むこと、並びに前記研磨装置貼着用粘着剤層の金属イオン含有率が、5000ppm以下であることを特徴とする、前記両面粘着シート。 - 前記研磨パッド貼着用粘着剤層、前記軟質ウレタン発泡体層、前記補強シート、及び前記研磨装置貼着用粘着剤層の順に積層されている、請求項6に記載の両面粘着シート。
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