JP2014205915A5 - - Google Patents
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- 基材上に成膜され、珪素が導入されるとともに、酸素がその表面及び内部に導入された非晶質炭素膜と、
前記非晶質炭素膜の水酸基との縮合反応により生成される結合によって前記非晶質炭素膜の表面に固定されるカップリング剤膜とを備え、
前記非晶質炭素膜は、前記カップリング剤膜側の酸素濃度が、前記基材側の酸素濃度よりも高いことを特徴とする積層体。 - シロキサン結合を有し、酸素がその表面及び内部に導入された非晶質炭素膜と、
前記非晶質炭素膜の水酸基との縮合反応により生成される結合によって前記非晶質炭素膜の第1の表面に固定されるカップリング剤膜とを備え、
前記非晶質炭素膜は、前記第1の表面側の酸素濃度が、前記第1の表面と対向する第2の面側の酸素濃度よりも高いことを特徴とする積層体。 - 前記該非晶質炭素膜からなる層が、二層以上の層からなり、少なくともその最上層にSi及びOを含有させたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の積層体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014101053A JP5819480B2 (ja) | 2010-03-03 | 2014-05-15 | 非晶質炭素膜からなる層への固定化方法及び積層体 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010047194 | 2010-03-03 | ||
JP2010047194 | 2010-03-03 | ||
JP2014101053A JP5819480B2 (ja) | 2010-03-03 | 2014-05-15 | 非晶質炭素膜からなる層への固定化方法及び積層体 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012503231A Division JP5628893B2 (ja) | 2010-03-03 | 2011-03-03 | 非晶質炭素膜からなる層への固定化方法及び積層体 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015190194A Division JP6085652B2 (ja) | 2010-03-03 | 2015-09-28 | 非晶質炭素膜からなる層への固定化方法及び積層体 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014205915A JP2014205915A (ja) | 2014-10-30 |
JP2014205915A5 true JP2014205915A5 (ja) | 2014-12-11 |
JP5819480B2 JP5819480B2 (ja) | 2015-11-24 |
Family
ID=44542272
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012503231A Active JP5628893B2 (ja) | 2010-03-03 | 2011-03-03 | 非晶質炭素膜からなる層への固定化方法及び積層体 |
JP2014101053A Active JP5819480B2 (ja) | 2010-03-03 | 2014-05-15 | 非晶質炭素膜からなる層への固定化方法及び積層体 |
JP2015190194A Active JP6085652B2 (ja) | 2010-03-03 | 2015-09-28 | 非晶質炭素膜からなる層への固定化方法及び積層体 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012503231A Active JP5628893B2 (ja) | 2010-03-03 | 2011-03-03 | 非晶質炭素膜からなる層への固定化方法及び積層体 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015190194A Active JP6085652B2 (ja) | 2010-03-03 | 2015-09-28 | 非晶質炭素膜からなる層への固定化方法及び積層体 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US9132609B2 (ja) |
EP (1) | EP2543633A4 (ja) |
JP (3) | JP5628893B2 (ja) |
KR (1) | KR101524063B1 (ja) |
CN (1) | CN102892706B (ja) |
TW (1) | TWI466782B (ja) |
WO (1) | WO2011108625A1 (ja) |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9132609B2 (en) * | 2010-03-03 | 2015-09-15 | Taiyo Chemical Industry Co., Ltd. | Method for fixation onto layer comprising amorphous carbon film, and laminate |
JP5750293B2 (ja) * | 2010-04-09 | 2015-07-15 | 太陽化学工業株式会社 | 表面濡れ性改質を行った非晶質炭素膜構造体、およびその製造方法 |
CN103635313B (zh) | 2011-06-06 | 2016-06-08 | 太阳诱电化学科技株式会社 | 在非晶形碳膜层上固定防水防油层的方法及由所述方法形成的层叠体 |
JP5935027B2 (ja) * | 2012-03-28 | 2016-06-15 | ナノテック株式会社 | 非晶質炭素膜への機能性材料の固定方法 |
WO2014148479A1 (ja) * | 2013-03-19 | 2014-09-25 | 太陽化学工業株式会社 | 防汚用の非晶質炭素膜を備える構造体及び防汚用の非晶質炭素膜の形成方法 |
JP6110533B2 (ja) * | 2016-03-04 | 2017-04-05 | 太陽誘電ケミカルテクノロジー株式会社 | 非晶質炭素膜積層部材及びその製造方法 |
WO2018181572A1 (ja) * | 2017-03-29 | 2018-10-04 | 帝人株式会社 | ハードコート層付高分子基板 |
CN108002377B (zh) * | 2017-11-23 | 2020-11-13 | 中国航发北京航空材料研究院 | 一种有机硅烷低聚物改性石墨烯的制备方法 |
US10891352B1 (en) | 2018-03-21 | 2021-01-12 | Optum, Inc. | Code vector embeddings for similarity metrics |
US10978189B2 (en) | 2018-07-19 | 2021-04-13 | Optum, Inc. | Digital representations of past, current, and future health using vectors |
JP7149778B2 (ja) * | 2018-09-10 | 2022-10-07 | 太陽誘電株式会社 | 超親水性コーティング及びその形成方法 |
KR102188421B1 (ko) * | 2018-09-14 | 2020-12-08 | 주식회사 현대케피코 | 연료 인젝터용 볼과 밸브 시트, 및 그 코팅 방법 |
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JP7291503B2 (ja) * | 2019-03-14 | 2023-06-15 | 太陽誘電株式会社 | シランカップリング剤層による機能再生及び/又は機能付与方法 |
JP2020153332A (ja) * | 2019-03-22 | 2020-09-24 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 低熱伝導部材、低熱伝導部材の製造方法および内燃機関のピストン |
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JP2008155437A (ja) | 2006-12-22 | 2008-07-10 | Dainippon Printing Co Ltd | ガスバリア性積層フィルム |
JP5033432B2 (ja) | 2007-01-30 | 2012-09-26 | 株式会社豊田自動織機 | 摺動部品 |
JP2008232877A (ja) | 2007-03-22 | 2008-10-02 | Toyota Central R&D Labs Inc | 生体分子の固定用材料、生体分子が固定化された固相体及びその製造方法 |
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JP2010067637A (ja) | 2008-09-08 | 2010-03-25 | Toyota Industries Corp | 放熱部材並びにそれを用いた半導体装置及びそれらの製造方法 |
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US9132609B2 (en) | 2010-03-03 | 2015-09-15 | Taiyo Chemical Industry Co., Ltd. | Method for fixation onto layer comprising amorphous carbon film, and laminate |
-
2011
- 2011-03-03 US US13/582,731 patent/US9132609B2/en active Active
- 2011-03-03 TW TW100107237A patent/TWI466782B/zh active
- 2011-03-03 WO PCT/JP2011/054861 patent/WO2011108625A1/ja active Application Filing
- 2011-03-03 JP JP2012503231A patent/JP5628893B2/ja active Active
- 2011-03-03 CN CN201180012024.3A patent/CN102892706B/zh active Active
- 2011-03-03 EP EP11750734.3A patent/EP2543633A4/en not_active Withdrawn
- 2011-03-03 KR KR1020127022573A patent/KR101524063B1/ko active IP Right Grant
-
2014
- 2014-05-15 JP JP2014101053A patent/JP5819480B2/ja active Active
-
2015
- 2015-08-06 US US14/819,556 patent/US9828671B2/en active Active
- 2015-09-28 JP JP2015190194A patent/JP6085652B2/ja active Active
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