JP2007110023A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 被処理基板を静電吸着して保持する基板保持装置であって、
   静電吸着のための電圧が印加される電極が埋設され、前記被処理基板を吸着する吸着面を有する吸着板と、
   前記吸着板が接着層により接合される、前記吸着板を支持する支持台と、を備え、
   前記吸着板の端部には段差形状が形成され、該段差形状が前記接着層を介して前記支持台に接合される構造であって、
   前記接着層を構成する材料が、前記吸着板の端部の側と前記吸着板の中心部の側で異なることを特徴とする基板保持装置。
2. 前記段差形状が複数形成されていることを特徴とする請求項１記載の基板保持装置。
3. 前記支持台には、前記段差形状に対応する別の段差形状が形成され、前記段差形状と前記別の段差形状が前記接着層により接合されていることを特徴とする請求項１または２記載の基板保持装置。
4. 前記段差形状および前記別の段差形状が複数形成され、前記段差形状の厚さが前記吸着板の端部から該吸着板の中心部に向かって薄くなっていることを特徴とする請求項３記載の基板保持装置。
5. 前記接着層の熱伝導率が、前記吸着板の中心部の側において前記吸着板の端部の側より高くなるよう構成されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の基板保持装置。