JP2009302347A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 静電電極が内蔵されている基体を有し、前記静電電極に電圧を印加することで吸着対象物を吸着保持する静電チャックであって、
   前記基体の上面には誘電体を含んで構成される載置部が着脱可能な状態で載置されており、
   前記吸着対象物は、前記載置部の上面に載置されることを特徴とする静電チャック。
2. 前記載置部がセラミックスからなることを特徴とする請求項１記載の静電チャック。
3. 前記静電電極に電圧が印加されると、前記載置部及び前記載置部の上面に載置される前記吸着対象物が、クーロン力により前記基体の上面に吸着保持されることを特徴とする請求項１又は２記載の静電チャック。
4. 前記載置部は、前記基体の上面に設けられた位置決め部により位置決めされていることを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項記載の静電チャック。
5. 前記位置決め部は、前記基体の上面の外縁部に平面視において円環状に設けられていることを特徴とする請求項４記載の静電チャック。
6. 前記載置部の上面には、複数の突起部が平面視水玉模様状に点在するように設けられていることを特徴とする請求項１乃至５の何れか一項記載の静電チャック。
7. 請求項１乃至６の何れか一項記載の静電チャックと、前記静電チャックを支持するベースプレートとを有し、
   前記静電チャックは、前記ベースプレート上に接着層を介して固定されている基板温調固定装置。
8. 前記載置部は、前記基体の上面及び側面、並びに、前記接着層の側面を覆うように設けられていることを特徴とする請求項７記載の基板温調固定装置。
9. 前記ベースプレートは、前記静電チャックに不活性ガスを導入するガス路と、前記静電チャックを加熱する発熱体と、前記静電チャックを冷却する水路とを内蔵することを特徴とする請求項７又は８記載の基板温調固定装置。