JP2007015375A5 - - Google Patents

Claims (19)

1. モールドであって、
   凹凸パターンが形成されている第１の面と、
   該モールドの厚さ方向に関して、該第１の面と反対側にある第２の面と、
   該第２の面に、あるいは該第１の面と該第２の面との間に設けられている発熱体と、
   を有することを特徴とするモールド。
2. 前記発熱体から前記凹凸パターンへの熱伝導により、前記凹凸パターンのサイズを補正可能に構成されている請求項１に記載のモールド。
3. 前記発熱体が、複数設けられており、それらは互いに独立して発熱制御可能であることを特徴とする請求項１に記載のモールド。
4. 前記発熱体が、前記第１の面の面内方向に複数設けられていることを特徴とする請求項１に記載のモールド。
5. 前記発熱体が、紫外線に対して光透過性を有することを特徴とする請求項１に記載のモールド。
6. 前記発熱体に電流を流すための電極が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のモールド。
7. 前記発熱体に電流を流すための電極が、前記第１の面に鉛直な方向に積層されていることを特徴とする請求項１に記載のモールド。
8. モールドであって、
   凹凸パターンが形成されている第１の面と、該モールドの厚さ方向に関して、該第１の面と反対側にある第２の面とを有するモールド本体と、
   該第２の面に、あるいは該第１の面と該第２の面との間に設けられており、且つ該凹凸パターンを該第１の面の面内方向に変形させるためのサイズ調整部材と、
   を有することを特徴とするモールド。
9. 前記サイズ調整部材は、前記第１の面の面内方向に伸縮可能な第１の伸縮層であることを特徴とする請求項８に記載のモールド。
10. 前記サイズ調整部材は、前記第１の伸縮層と、該第１の伸縮層と伸縮可能な方向が異なる第２の伸縮層を含む構成とされていることを特徴とする請求項８に記載のモールド。
11. 前記第１及び第２の伸縮層が、圧電素子層である請求項１０に記載のモールド。
12. 前記サイズ調整部材は、前記第２の面に積層された少なくとも二つの伸縮層を備え、該二つの伸縮層は前記パターン層の加工面と平行な面における異なる２方向に伸縮駆動可能に構成されていることを特徴とする請求項８に記載のモールド。
13. 前記モールドと同じ厚さで、且つ同じ材料からなる支持体が、前記第２の面側に積層されていることを特徴とする請求項８に記載のモールド。
14. 前記サイズ調整部材が、前記第２の面内方向に、独立して制御可能な複数のサイズ調整要素を備えていることを特徴とする請求項８に記載のモールド。
15. 前記モールドの側面に外力を加えるための圧電素子が設けられていることを特徴とする請求項８に記載のモールド。
16. 請求項１に記載のモールドを保持するためのモールド保持部、
    前記発熱体に流す電流量を制御するための制御部、及び
    前記モールドが有する凹凸パターンが転写される被加工物を支持するための支持部、を有することを特徴とするパターン転写装置。
17. 請求項８に記載の装置を保持するための保持部、
    前記サイズ調整部材によるサイズ調整量を制御するための制御部、及び
    前記モールドが有する凹凸パターンが転写される被加工物を支持するための支持部、を有することを特徴とするパターン転写装置。
18. モールドが有するパターンを用いて、被加工物にパターンを形成するためのパターン形成方法であって、
    請求項１に記載の前記モールドを用意し、
    前記モールドと対向して配置される該被加工物を用意し、
    前記発熱体を用いて、前記モールドのサイズを調整し、
    前記モールドが有する前記凹凸パターンと前記被加工物とを接触させることを特徴とするパターン形成方法。
19. モールドが有するパターンを用いて、被加工物にパターンを形成するためのパターン形成方法であって、
    請求項８に記載の前記モールドを用意し、
    前記モールドと対向して配置される該被加工物を用意し、
    前記発熱体を用いて、前記モールドのサイズを調整し、
    前記モールドが有する前記凹凸パターンと前記被加工物とを接触させることを特徴とするパターン形成方法。