JP2008034412A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. パターンを有する構造体の製造方法であって、
   被加工層のパターン形成領域に、表面に凹凸構造を有するスタンパをプレスし、第１のパターンを形成する第１のパターン形成工程と、
   前記第１のパターンを形成した際のパターン形成領域とスタンパとの相対的な位置を移動させ、前記スタンパを前記パターン形成領域の少なくとも一部にプレスし、第２のパターンを形成する第２のパターン形成工程と、
   を有することを特徴とするパターンを有する構造体の製造方法。
2. 前記スタンパは、前記表面の凹凸構造が四角格子状に配列された構造を備え、
   前記第２のパターンが、前記スタンパにより形成された第１のパターンの四角格子配列のユニットセルを成す四角形の重心点の位置に形成されることを特徴とする請求項１に記載のパターンを有する構造体の製造方法。
3. 前記スタンパは、前記表面の凹凸構造が三角格子状に配列された構造を備え、
   前記第２のパターンが、前記スタンパにより形成された第１のパターンの三角格子配列のユニットセルを成す三角形の重心点の位置に形成され、
   更に、第３のパターンが、前記第１のパターンの前記三角形における前記第２のパターンが形成されていない重心点の位置に形成されることを特徴とする請求項１に記載のパターンを有する構造体の製造方法。
4. 前記被加工層が、熱可塑性材料で形成されることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のパターンを有する構造体の製造方法。
5. 前記第２のパターン形成工程において、熱可塑性材料によって形成された被加工層に熱転写で前記第２のパターンを形成するに際し、
   前記第２のパターンの形成条件を、前記第１のパターン形成工程での第１のパターンの形成条件と異なる形成条件とし、
   前記第２のパターンの形状が前記第１のパターン形成工程で形成された第１のパターン形状と等しくなるように、前記第２のパターンを形成することを特徴とする請求項４に記載のパターンを有する構造体の製造方法。
6. 前記第２のパターンの形成条件が、
   前記被加工層と前記スタンパとの加熱温度の調整、前記加熱温度とプレス圧力の調整、前記加熱温度と前記プレス圧力とプレス時間の調整、のいずれかの選択によることを特徴とする請求項５に記載のパターンを有する構造体の製造方法。