JP5481000B2 - インプリントリソグラフィ方法 - Google Patents
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Description
[0001] 本出願は、その全体を参照により本明細書に組み込むものとする2010年8月26日出願の米国仮特許出願第61/377,399号の利益を主張する。
Claims (15)
- 意図したトポグラフィと、固定されたインプリント可能な媒体のパターン形成された層の部分から生じる実際のトポグラフィと、の間の差を低減するためのインプリントリソグラフィ方法であって、
流動可能なインプリント可能な媒体の層にインプリントリソグラフィテンプレートをインプリントして、前記インプリント可能な媒体中にパターン形成された層を形成するステップと、
インプリント可能な媒体を固定して、固定されたインプリント可能な媒体のパターン形成された層を形成するステップと、
前記意図したトポグラフィと、前記インプリント可能な媒体の前記固定されパターン形成された層の前記部分から生じる前記実際のトポグラフィと、の間の前記差を低減するために、前記パターン形成された層の前記部分の化学反応を調整するように前記パターン形成された層の前記部分に局所励起を適用するステップと、
を含む、方法。 - 前記インプリント可能な媒体は、第1の化学線を用いて硬化することによって固定される、請求項1に記載のインプリントリソグラフィ方法。
- 第1の化学線を用いて硬化することによって前記固定するステップは、前記インプリント可能な媒体の第1の単量体の重合反応を含む、請求項2に記載のインプリントリソグラフィ方法。
- 前記化学反応は、前記インプリント可能な媒体の第2の単量体の重合反応を含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載のインプリントリソグラフィ方法。
- 前記局所励起は、選択されたドーズ量の第1の化学線を前記パターン形成された層の前記部分に局所適用することを含む、請求項1〜4のいずれか一項に記載のインプリントリソグラフィ方法。
- 前記局所励起は、選択されたドーズ量の第2の化学線を前記パターン形成された層の前記部分に局所適用することを含む、請求項1〜5のいずれか一項に記載のインプリントリソグラフィ方法。
- 前記局所励起は、固定されたインプリント可能な媒体のパターン形成された層を形成するように、前記インプリント可能な媒体を固定した後に適用される、請求項1〜6のいずれか一項に記載のインプリントリソグラフィ方法。
- 前記局所励起は、固定されたインプリント可能な媒体の前記パターン形成された層から前記インプリントリソグラフィテンプレートを除去した後に適用される、請求項7に記載のインプリントリソグラフィ方法。
- マスクを用いて前記局所励起の局所適用を制御する、請求項1〜8のいずれか一項に記載のインプリントリソグラフィ方法。
- 前記局所励起は、前記パターン形成された層の前記部分の局所加熱を含むか、又は局所加熱から成る、請求項1〜9のいずれか一項に記載のインプリントリソグラフィ方法。
- 前記局所加熱は、放射ビームによって提供される、請求項10に記載のインプリントリソグラフィ方法。
- 前記化学反応は、前記パターン形成された層の前記部分に前記反応化合物の空乏化を引き起こし、そのため、前記パターン形成された層の前記部分への前記反応化合物の拡散を誘導する反応化合物の化学反応を含む、請求項1〜11のいずれか一項に記載のインプリントリソグラフィ方法。
- 前記反応化合物は、耐エッチング性化合物を含む、請求項12に記載のインプリントリソグラフィ方法。
- 前記重合反応後に重合されないまま残る第2の単量体を、溶媒浸出を用いて前記固定されたインプリント可能な媒体から浸出することによって除去する、請求項4に記載のインプリントリソグラフィ方法。
- 固定されたインプリント可能な媒体の前記パターン形成された層の前記部分から生じる前記実際のトポグラフィは、固定されたインプリント可能な媒体の前記パターン形成された層の前記部分のトポグラフィを測定することによって決定される、請求項1〜14のいずれか一項に記載のインプリントリソグラフィ方法。
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