JP2007182063A - インプリントリソグラフィ - Google Patents
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- G03F7/0002—Lithographic processes using patterning methods other than those involving the exposure to radiation, e.g. by stamping
Abstract
【解決手段】基板を保持するように配置された第1の基板テーブル31および基板を保持するように配置された第2の基板テーブル32と、インプリントテンプレート40を保持するように配置されたインプリントテンプレートホルダ41と、インプリント可能媒体ディスペンサ36とを備え、第1の基板テーブルはインプリント可能媒体ディスペンサにまたはそれに隣接して配置された第1の位置と、前記インプリントテンプレートホルダにまたはそれに隣接して配置された第2の位置との間で移動可能であり、さらに第2の基板テーブルは、第1および第2の基板テーブルが位置を交換するように、該第1の位置と第2の位置との間で移動可能であるリソグラフィ装置が開示されている。
【選択図】 図4
Description
Claims (20)
- 基板を保持するように配置された第1の基板テーブルと、
基板を保持するように配置された第2の基板テーブルと、
インプリントテンプレートを保持するように配置されたインプリントテンプレートホルダと、
インプリント可能媒体ディスペンサと、を備え、
前記第1の基板テーブルは、前記インプリント可能媒体ディスペンサにまたはそれに隣接して位置する第1の位置と、前記インプリントテンプレートホルダにまたはそれに隣接して位置する第2の位置との間で移動可能であり、
前記第2の基板テーブルは、前記第1および第2の基板テーブルが位置を交換するように、前記第1の位置と第2の位置との間で移動可能であるインプリントリソグラフィ装置。 - 前記インプリント可能媒体ディスペンサにまたはそれに隣接して位置する第1のアライメントシステムと、前記インプリントテンプレートホルダにまたはそれに隣接して位置する第2のアライメントシステムとをさらに備える、請求項1に記載の装置。
- 前記第1のアライメントシステムは、前記第1の基板テーブルの上の1つまたは複数のアライメントマークに対して、前記第1の基板の上の1つまたは複数のアライメントマークの位置を測定するように配置される、請求項2に記載の装置。
- 前記第2のアライメントシステムは、前記第2の基板の1つまたは複数のターゲット部分が、前記インプリントテンプレートホルダによって保持されたときに前記インプリントテンプレートと位置合わせされ得るように、前記第2の基板テーブルの上の1つまたは複数のアライメントマークの位置を測定するように配置される、請求項2に記載の装置。
- 前記基板テーブルの位置をモニターするように配置された1組の干渉計をさらに備える、請求項1に記載の装置。
- どちらの基板テーブルの位置が前記インプリント可能媒体ディスペンサの箇所にあるかまたはそれに隣接しているかをモニターするように配置された第1の組の干渉計と、どちらの基板テーブルの位置が前記インプリントテンプレートホルダの箇所にあるかまたはそれに隣接しているかをモニターするように配置された第2の組の干渉計とを備える、請求項5に記載の装置。
- 前記基板テーブルは、前記インプリントテンプレートホルダの移動軸に対して実質的に垂直な平面内に共に位置する2つの方向へ移動可能である、請求項1に記載の装置。
- 前記基板テーブルはそれぞれがガス足部によって支持される、請求項1に記載の装置。
- 前記インプリント可能媒体ディスペンサは、インクジェットノズル、またはインクジェットノズルの配列を備える、請求項1に記載の装置。
- 基板を保持するように配置された第1の基板テーブルと、
基板を保持するように配置された第2の基板テーブルと、
インプリントテンプレートと、
インプリント可能媒体を提供するように構成されたディスペンサと、を備え、
前記第1の基板テーブルは、前記インプリント可能媒体ディスペンサにまたはそれに隣接して位置する第1の位置と、前記インプリントテンプレートにまたはそれに隣接して位置する第2の位置との間で移動可能であり、
前記第2の基板テーブルは、前記第1および第2の基板テーブルが位置を交換するように、前記第1の位置と第2の位置との間で移動可能であるインプリントリソグラフィ装置。 - 基板を保持するように配置された基板テーブルと、
インプリントテンプレートを保持するように配置されたインプリントテンプレートホルダと、
少なくとも2つのインプリント可能媒体ディスペンサと、を備え、第1の前記インプリント可能媒体ディスペンサは前記インプリントテンプレートホルダの一方の側にまたは一方の側に隣接して位置し、第2の前記インプリント可能媒体ディスペンサは前記インプリントテンプレートホルダの反対側にまたは反対側に隣接して位置するインプリントリソグラフィ装置。 - 前記基板テーブルは、前記基板のターゲット部分が前記インプリント可能媒体ディスペンサの一方の下方を通過する直後に、それが前記インプリントテンプレートの下方に位置するように走査方向へ移動可能である、請求項11に記載の装置。
- 前記インプリントテンプレートの上流に位置する前記インプリント可能媒体ディスペンサは、前記ターゲット部分が前記インプリントテンプレートの下方に位置する前に、インプリント可能媒体を前記基板の上に供給するように配置される、請求項12に記載の装置。
- 前記インプリント可能媒体ディスペンサの少なくとも一つは、穴の列、一連の穴の列または穴の配列を備える、請求項11に記載の装置。
- 前記穴はインクジェットノズルである、請求項14に記載の装置。
- インプリント可能媒体ディスペンサが前記インプリントテンプレートホルダのそれぞれの側にまたはそれぞれの側に隣接して位置するように、2つの追加的なインプリント可能媒体ディスペンサをさらに備える、請求項11に記載の装置。
- 第2の基板を保持するように配置された第2の基板テーブルと、
第2のインプリントテンプレートを保持するように配置された第2のインプリントテンプレートホルダと、
少なくとも2つのインプリント可能媒体ディスペンサと、をさらに備え、第1の前記インプリント可能媒体ディスペンサは前記第2のインプリントテンプレートホルダの一方の側にまたは一方の側に隣接して位置し、第2の前記インプリント可能媒体ディスペンサは前記第2のインプリントテンプレートホルダの反対側にまたは反対側に隣接して位置する、請求項11に記載の装置。 - 前記第1および第2の基板テーブルの位置は交換され得る、請求項17に記載の装置。
- 基板を保持するように配置された基板テーブルと、
インプリントテンプレートと、
少なくとも2つのインプリント可能媒体ディスペンサと、を備え、第1の前記インプリント可能媒体ディスペンサはインプリントテンプレートの一方の側にまたは一方の側に隣接して位置し、第2の前記インプリント可能媒体ディスペンサはインプリントテンプレートの反対側にまたは反対側に隣接して位置するインプリントリソグラフィ装置。 - 第1の基板を保持する第1の基板テーブルを第1の位置に移動させること、
前記基板を前記第1の位置にある前記基板テーブルに位置合わせすること、
インプリント可能媒体層を前記第1の基板の上に前記第1の位置で提供すること、
前記第1の基板を第2の位置に移動させること、
第2の基板を保持する第2の基板テーブルを前記第1の位置に移動させること、
前記第2の位置で、1つまたは複数のテンプレートを前記インプリント可能媒体層中にプレスすること、および
前記第2の基板を前記プレスの少なくとも一部の間に前記第2の基板テーブルに位置合わせすること、
を含むインプリントリソグラフィ方法。
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