JP2007230166A - 樹脂シートの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】液状組成物をインクジェット方式の微少ノズルから微小液滴として微細な凹凸形状が設けられたモールドに吐出して塗布する工程と、液状組成物を乾燥もしくは重合により硬化して樹脂膜を形成する工程と、樹脂膜をモールドから離型する工程とを備えることを特徴とする樹脂シートの製造方法。
【選択図】図1
Description
モールドの素材としては、シリコン、ガラス、ニッケルなどの材料を用いることができる。ここでは、石英ガラスを例に説明する。石英ガラスのモールドを製作するには、石英ガラス基板上に感光性のレジスト材料を均一に塗布し、レーザでパターン露光する。現像後にエッチングを施し、石英ガラス上に凹凸が設けられたモールドが作製される。
塩素系フッ素樹脂含有シランカップリング剤であるトリデカフルオロ−1,1,2,2−テトラヒドロオクチルトリクロロシラン[CF3−(CF2)5−CH2−CH2SiCl3]で石英ガラス製のモールドを表面処理し、微細な形状表面へフッ素樹脂の化学吸着膜を生成する。詳細は下記非特許文献3や4に記載されている。
M.Colburn,S.Johnson,M.Stewart,S.Damle,T.Bailey,B.Choi,M.Wedlake,T.Michaelson,S.V.Sreenivasan,J.Ekerdt and C.G.Willson,Proc.of SPIE 3676,(1999)378
非特許文献4:
T.Bailey,B.J.Choi,M.Colburn,M.Meissl,S.Shaya,J.G.Ekerdt,S.V.Sreenivasan,C.G.Willson;”Step and Flash Imprint Lithography:Template Surface Treatment and Defect Analysis.”J.Vac.Sci.Technol.B,18(6),3572−3577(2000)
(樹脂材料と溶媒について)
微細な凹凸形状を形成する樹脂膜に用いる樹脂としては、溶剤に溶ける樹脂を用いて、溶剤に溶解し液状化してインクジェット法により塗布する方法と、もう一方は、液状のUV硬化性樹脂や熱硬化性樹脂を用いインクジェット法により塗布した後硬化する方法とがある。
液状組成物をインクジェット方式を用いてモールド上に塗布する。インクジェット方式には、圧電体素子を用いたピエゾ型インクジェット方式、あるいは気泡ジェット方式等が挙げられるが、特にピエゾ型インクジェット方式を用いると数cp〜100cp程度までの幅広い粘度の液状組成物を吐出できるので、より望ましい。
液状組成物として溶剤を用いたり、熱硬化性樹脂を用いた場合は、ドライヤー、ホットプレート、オーブンなどの手法で、液状組成物が塗布されたモールドを熱し溶剤の除去あるいは硬化を行う。一方、UV硬化性樹脂を用いた場合は、UV光源を用いて光照射して硬化を行う。また、UV硬化性樹脂や熱硬化性樹脂を用いる場合は、この段階で硬化させても良いが、この段階では硬化せずに、次の接着剤の塗布を省略し、基材を接着した後硬化させる方法であっても良い。
基材としては、使用目的に応じて樹脂基板やフィルム、金属、ガラス等種々の材料や厚さのものを選択することができるが、バリア層が形成された樹脂基板(ポリエーテルスルホン、PES)を用いることが好ましい。樹脂基板を接着剤層の上に貼合する。UV硬化接着剤の場合は、例えば、石英ガラスのモールド側からUV光を照射して、UV硬化性樹脂を硬化させる。また、熱硬化接着剤の場合には、適切な温度にコントロールされた雰囲気中にデバイスを置き、接着剤を硬化させる。
バリア層を有する樹脂基板上に、深さ200nm、直径150nmのピラーが2次元にピッチ300nmで配列する微細形状の樹脂層を形成する手段を示す。
樹脂材料としてポリメチルメタクリレート(PMMA)を用い、PMMAを表面張力の低いトルエンに溶解し樹脂材料溶液を作製した。この時、ポリマーと溶媒の質量比率を1/20とした。
モールドの素材として、石英ガラスを用いる。石英ガラスは紫外線を透過する特徴を持つので、後の樹脂基板へのUV硬化性樹脂による接着工程を容易に行うことができる。
塩素系フッ素樹脂含有シランカップリング剤であるトリデカフルオロ−1,1,2,2−テトラヒドロオクチルトリクロロシラン[CF3−(CF2)5−CH2−CH2SiCl3]で石英製の金型を表面処理する。
ピエゾ方式のインクジェットヘッドを有するインクジェット記録装置を用い、インクカートリッジに上記液状組成物を充填し、モールド上にインクジェット方式により塗布した。
オーブンで、樹脂材料溶液が塗布されたモールドを80℃に加熱して十分に乾燥させる。
乾燥された樹脂材料の表面にUV硬化性樹脂として、PAK−01(東洋合成社製)をスピンコート法により塗布した。
基材としてバリア層が形成された樹脂基板(PES)を用いた。樹脂基板をUV硬化性樹脂層の上に貼合し、石英ガラスのモールド側からUV光を照射して、UV硬化性樹脂を硬化させた。
基材をモールドから離型する。
バリア層を有する樹脂基板上に、深さ200nm、直径150nmのピラーが2次元にピッチ300nmで配列する微細形状の樹脂層を形成するもう一つの手段を示す。
実施例1の液状組成物をUV硬化性樹脂に変え、以下同様にしてモールド上にインクジェット手法で塗布した。
基材としてバリア層が形成された樹脂基板(PES)を用い、樹脂基板をUV硬化性樹脂層の上に貼合し、石英ガラスのモールド側からUV光を照射して、UV硬化性樹脂を硬化させ、樹脂基板と接着させた。
基材をモールドから離型した。
2 樹脂膜
3 接着剤層
4 樹脂基板
10 インクジェットヘッド
Claims (1)
- 液状組成物をインクジェット方式の微少ノズルから微小液滴として微細な凹凸形状が設けられたモールドに吐出して塗布する工程と、液状組成物を乾燥もしくは重合により硬化して樹脂膜を形成する工程と、樹脂膜をモールドから離型する工程とを備えることを特徴とする樹脂シートの製造方法。
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