CN102216046B - 晶片透镜制造装置及晶片透镜制造方法 - Google Patents

晶片透镜制造装置及晶片透镜制造方法 Download PDF

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Abstract

本发明的目的在于：在晶片透镜制造装置以及晶片透镜制造方法中，抑制相对玻璃基板的树脂透镜部的位置偏离。本发明的晶片透镜制造装置备有：台，支撑玻璃基板；XY轴移动机构，使台在XY平面移动；XY空气滑行导向机构，通过空气使台相对XY导向浮上，导向由XY轴移动机构所作的台的移动；模具，被充填树脂；Z轴移动机构，使模具升降移动；Z空气滑行导向机构，通过空气使模具相对Z导向浮上，导向由Z轴移动机构所作的模具的升降移动；控制装置，控制XY空气滑行导向机构的运转及其停止，锁定台的移动位置，并且，控制Z空气滑行导向机构的运转及其停止，锁定模具的移动位置。

Description

晶片透镜制造装置及晶片透镜制造方法
技术领域
本发明涉及晶片透镜制造装置及晶片透镜制造方法。
背景技术
光学透镜制造领域中，一直研讨对玻璃基板设由固化性树脂构成的透镜部以此得到耐热性高的光学透镜之技术(参照例如专利文献1)。作为应用了该技术的光学透镜制造方法一例，有提案下述方法：作为透镜部对玻璃基板表面成型多个固化性树脂成形品，形成所谓的“晶片透镜”，然后按各透镜部切断玻璃基板。
作为晶片透镜制造装置的一个例子，有下述制造装置被提案：设配置位置一定的模具和能够支撑玻璃基板的台，使台能够相对模具在XY平面移动，分多次在玻璃基板上形成树脂透镜部。在该制造装置中，是使台移动到所定位置上，使玻璃基板对着模具配置，在该位置上将模具压到玻璃基板上并使树脂固化，对玻璃基板形成树脂透镜部。在该制造装置中，可以考虑设周知的空气滑行导向机构用来实现台的顺畅移动。
先行技术文献
专利文献
专利文献1：特许第3926380号公报
发明内容
发明欲解决的课题
但是，台利用空气滑行导向机构时，因为台由空气喷出支撑在浮游状态，所以，将充填树脂后的模具压到玻璃基板上等时，由于气体压缩，玻璃基板和模具的相对位置等在间隙范围微小变动，有可能不能将模具压到玻璃基板的所望位置上。此时，由于模具相对玻璃基板的按压位置出现偏移，所以，树脂透镜相对玻璃基板产生位置偏移。具体则是，如果在玻璃基板的XY平面内扫描方向上有位置偏离的话，在玻璃基板两面成型透镜部时，则产生透镜的偏心误差，单面时透镜的收率不良。另外，如果模具上下方向有位置偏离的话，则产生透镜的轴上厚误差。还有，在玻璃基板上形成对准标志和光阑时，与透镜的位置偏离也成为问题。
并且，台相对行进方向的位置，因为导向和滑行部中没有摩擦，所以由马达转矩保持。在此，对于行进方向的荷重，马达转矩的保持力和马达本身或连结滑行部和马达的部件刚性不足的话会产生变位，同样成为误差的原因。
因此，本发明的主要目的在于，提供一种能够抑制树脂透镜部相对玻璃基板的位置偏移的晶片透镜制造装置及晶片透镜制造方法。
用来解决课题的手段
根据本发明的一方式，提供一种晶片透镜制造装置，其特征在于，备有：
台，支撑玻璃基板；
XY轴移动机构，使所述台在XY平面上移动；
XY空气滑行导向机构，通过空气使所述台相对XY导向浮上，导向由所述XY轴移动机构所作的所述台的移动；
模具，被充填树脂；
Z轴移动机构，使所述模具升降移动；
Z空气滑行导向机构，通过空气使所述模具相对Z导向浮上，导向由所述Z轴移动机构所作的所述模具的升降移动；
控制装置，至少进行下述一个锁定：由所述XY空气滑行导向机构的运转、停止控制所做的所述台的移动位置的锁定；或者，由所述Z空气滑行导向机构的运转、停止控制所做的所述模具的移动位置的锁定。
根据本发明的另一方式，提供一种晶片透镜制造方法，其特征在于，
备有下述工序：通过第1空气供给，使玻璃基板边浮上边沿XY导向在XY平面移动，将所述玻璃基板配置到对着所述模具的位置上；通过第2空气供给，使所述模具边浮上边沿Z导向升降移动，配置到所定的高度位置上；使所述模具向着所述玻璃基板上升；
使所述模具上升的工序，是在停止所述第1空气和所述第2空气供给的状态，使所述模具向着所述玻璃基板上升的。
发明的效果
根据本发明，能够抑制树脂透镜部相对玻璃基板的位置偏离。也就是说，通过锁定空气滑行部，用固体之间的接触进行定位，所以，就误差来说，消除了气体压缩引起的误差，同时，就支撑力来说，摩擦力作为支撑力发挥作用，所以，不易产生支撑力不足引起的位置偏离，同时，作用在马达及连结部件等上的荷重减少，于是不易产生变形，误差减小。另外，因为能够降低滑行部以下的马达转矩和周边部件的刚性，所以能够使装置小型化。
附图说明
图1：晶片透镜的概略结构平面示意图。
图2：晶片透镜的概略结构侧面示意图。
图3：本发明优选实施方式的晶片透镜制造装置的概略结构立体图。
图4：图3晶片透镜制造装置的平面图以及侧面图。
图5：本发明优选实施方式中使用的X轴移动机构的概略结构示意图，是沿图4中A-A线的截面图。
图6：本发明优选实施方式中使用的Y轴移动机构的概略结构示意图，是沿图4中B-B线的截面图。
图7：本发明优选实施方式中使用的XY台和定盘内的概略结构截面示意图。
图8：沿图7中C-C线的截面图。
图9：本发明优选实施方式中使用的模具部的概略结构截面示意图。
图10：图9的概略结构平面示意图。
图11：本发明优选实施方式中，对着模具配置分配器时的概略结构截面示意图。
图12：本发明优选实施方式中使用的概略控制结构方框示意图。
图13：本发明优选实施方式的晶片透镜制造方法的时序性说明概略流程图。
图14：从图13的分配工序向脱模工序过渡中的压力状态概略时选图。
图15：本实施方式中用来调整玻璃基板和模具平行度的结构概略说明图。
图16：本实施方式中模具在二维平面上的坐标轴变换的概略说明图。
具体实施方式
下面参照附图，对本发明的优选实施方式作说明。
如图1、图2所示，成形后的晶片透镜1具有圆形状的玻璃基板2及多个凸透镜部4。玻璃基板2为基板一例。
玻璃基板2表面上矩阵状地配置着多个凸透镜部4。凸透镜部4上可以在光学面表面形成衍射槽和台阶等微细构造。另外也可以是凹透镜。
图1、图2表示制造工序的中途阶段，所以，玻璃基板2表面只有一部分形成了凸透镜部4。本实施方式中，以模具单位对一张玻璃基板2依次形成凸透镜部4(请参照图1、图2箭头所示)，最后按各凸透镜部4切断玻璃基板2进行单片化。
对玻璃基板2使用并形成凸透镜部4的顺序没有特别限定，可以串列逐次形成，也可以用与图1所示相反的环绕，依次形成等。
凸透镜部4用光固化性树脂形成。作为该光固化性树脂，可以采用例如丙烯酸树脂、烯丙酯树脂、PDMS和环氧树脂等，这些树脂能够通过原子团聚合、阳离子聚合固化。
接下去，对制造晶片透镜时使用的晶片透镜制造装置(10)作说明。
如图3、图4所示，晶片透镜制造装置10主要备有：呈立方体状的定盘20；设在定盘20上的XY台30；用来使XY台30沿X轴方向移动的X轴移动机构100；用来使XY台30沿Y轴方向移动的一对Y轴移动机构200。
如图4、图5所示，X轴移动机构100具有延伸在X轴方向的X轴导向102。如图5所示，XY台30被配置在X轴导向102下方着。XY台30上形成了延伸在X轴方向的一对突条部31，X轴导向102被配置在突条部31之间。
如图5所示，X轴移动机构100备有使XY台30实际上沿X轴方向移动的线性马达110。线性马达110具有主要由固定子112、可动子114、刻度尺116、传感118构成的周知的机构。
固定子112被固定在X轴导向102上。可动子114被固定在XY台30的一个突条部31上，能够沿X轴导向102移动。刻度尺116被固定在X轴导向102上。传感118被固定在XY台30的另一个突条部31上。
X轴移动机构100中，由传感118检测刻度尺116同时可动子114沿固定子112移动，由此，XY台30能够沿X轴导向102在X轴方向恰好移动所定距离。
XY台30的各突条部31上设有空气滑行导向机构120。空气滑行导向机构120具有喷出空气的喷出孔122。空气滑行导向机构120运转，从各喷出孔122向X轴导向102喷出空气，使XY台30相对X轴导向102浮上。
XY台30的下部设有多个空气滑行导向机构130。各空气滑行导向机构130具有喷出空气的2个喷出孔132、136及吸引空气的1个吸引孔134。空气滑行导向机构130运转，从各喷出孔132、136向定盘20喷出空气并从吸引孔134吸引空气，使XY台30相对定盘20以一定的高度位置浮上。
通过空气滑行导向机构120、130使XY台30相对X轴导向102以及定盘20浮上，所以，通过X轴移动机构100能够顺畅移动。
如图3、图4所示，Y轴移动机构200具有延伸在Y轴方向的1对Y轴导向202。Y轴导向202上设有1对Y轴移动体210。
各Y轴移动体210上固定着X轴导向102的两端，Y轴移动体210在支撑X轴导向102以及由X轴导向102支承的XY台30的状态下沿Y轴导向202在Y轴方向移动。
详细则是，Y轴移动机构200中设有线性马达220。线性马达220的结构与X轴移动机构100的线性马达110相同，主要由固定子222、可动子224、刻度尺226、传感(图示省略)构成，由传感检测刻度尺226同时可动子224沿固定子222移动，由此，Y轴移动体210能够沿Y轴导向202在Y轴方向恰好移动所定距离。
如图6所示，Y轴移动体210的端部上形成了呈钩状的钩部212、214，在各钩部212、214内侧持有间隙地嵌合埋设着Y轴导向202的端部204、206。
在钩部212上设有空气滑行导向机构230，在钩部214上设有空气滑行导向机构240。空气滑行导向机构230具有能够从3个方向(上方、侧方、下方)喷出空气的的喷出孔232、234、236。空气滑行导向机构240也具有能够从3个方向(上方、侧方、下方)喷出空气的喷出孔242、244、246。
空气滑行导向机构230运转，从各喷出孔232、234、236向Y轴导向202端部204喷出空气，另外，空气滑行导向机构240运转，从各喷出孔242、244、246向Y轴导向202端部206喷出空气，使Y轴移动体201相对Y轴导向202浮上。另外，通过使空气滑行导向机构230、240喷出口的一部分或全部停止，可以使Y轴导向202接触吸到210内壁的一部分上。
如图3、图4所示，XY台30上设有在玻璃基板2上滴下树脂的分配器32、测定模具64平面度(倾斜)和高度位置等的激光测长器34、模具和玻璃基板2对准时使用的显微镜36。
如图3所示，XY台30上，形成了贯通其上下面的俯视形状为圆形状的贯通孔40，玻璃基板2被支承于贯通孔40。
详细则是，贯通孔40上形成了台阶，在台阶上玻璃基板2由没有图示的弹簧固定。XY台30上设有盖住贯通孔40的俯视形状为四角形的盖部42。盖部42由石英板等光透过性部件构成，盖部42上方设有光源44。
如图7所示，定盘20上埋设着用来成型晶片透镜1凸透镜部4的模具部50以及用来使模具部50沿Z轴方向升降移动的Z轴移动机构300。模具部50被设置在Z轴移动机构300(Z台304)上部。
Z轴移动机构300主要备有上部具有突缘的4角筒状Z轴导向302、在Z轴方向上在Z轴导向302内移动的Z台304、使Z台304在Z轴方向(上下方向)上移动的马达306。
马达306内藏电位计，马达上连接着轴308。Z轴移动机构300中，马达306运转，轴308上下伸缩，Z台304及模具部50随之上下移动。
如图8(a)所示，在Z轴导向302内周面和Z台304侧面之间设有间隙310。
在Z轴导向302上设有空气滑行导向机构320。空气滑行导向机构320具有喷出空气的喷出孔322、324、326、328。空气滑行导向机构320运转，从各喷出孔322、324、326、328向Z台304喷出空气，使Z台304浮上。
如图7所示，Z轴导向320形成突缘的内周面上用硅脂、油封、O环等密封部件330密封，密封Z轴导向302与Z台304之间的间隙，使间隙310内的空气不漏到Z轴导向302上方(不泄漏)。
另外没有图示，为了得到上述效果，进一步优选在上下动的Z台304周围设突缘部，用金属制风箱覆盖与固定配置的Z轴导向302突缘部之间的间隙，由此，同样进行密封。
如图7所示，在由盖体42、XY台30、定盘20、Z轴导向302围起的区域中形成了空间部400。空间部400由设置在XY台30上的玻璃基板2划分为：玻璃基板2与盖体42间构成的上部空间部402；玻璃基板2与Z轴移动机构300之间构成的下部空间部404。
玻璃基板2周缘部上形成了贯通上下面、相互连通上部空间部402和下部空间部404的连通孔3，构造上两空间部402、404没有差压。下部空间部404与真空泵等减压机构410连结，减压机构410运转，使空间部400处于减压状态。
也可以例如如图7的虚线所示，在XY台30上形成连通孔38，代替在玻璃基板20上形成的连通孔3。
如图9所示，模具部50主要备有依次设置在Z台304上的第1支撑台52、压力传动装置54、第2支撑台56、压力传感58、第3支撑台60、模具64。
第1支撑台52和第2支撑台56由通过预压用螺杆66连结的弹簧67作用相互接近。第1支撑台52和第2支撑台56之间设有3个压力传动装置54和L字形板弹簧68(参照图10)。第2支撑台56和第3支撑台60由螺杆70连结，第2支撑台56和第3支撑台60之间设有压力传感58。另外，如后面所述，也可以在第3支撑台60和模具64之间设用来使模具64转动的θ台62。
如图10所示，3个压力传动装置54分别被设在第1支撑台52的3个角部上，用3点支撑第2支撑台56。模具部50中，根据压力传感58的输出值，控制各压力传动装置54运转，由此，第2支撑台56、第1支撑台60及模具64的倾斜得到调整。结果，能够使模具64与玻璃基板2平行，能够在向模具64中充填树脂之后，边控制向树脂的荷重为所望的压力，边进行关模和转印成型。
本实施方式中是3个压力传动装置54的结构，但只要是适合于上述达成平行的促进和进行荷重控制的配置以及个数，都可以，个数并不局限于上述。
模具64上阵列状地形成了多个腔65(凹部)。腔65的表面(成型面)形状是负片形状，与晶片透镜1上的凸透镜部4相应。
如图11所示，分配器32具有滴下树脂的针部33，针部33贯通XY台30。使XY台30的分配器32对着模具部50配置的状态下，由XY台30、定盘20、Z轴移动机构300围起的区域中形成空间部406，分配器32的针部33先端被配置在空间部406内。在该状态下减压机构410运转，使空间部406处于减压状态。
图11中的其他结构与图7的相同，对同样的结构部分标相同的符号，省略说明。
具有上述结构的晶片透镜制造装置10备有控制装置500。控制装置500上连接着分配器32、激光测长器34、显微镜36、光源44、模具部50(压力传动装置54、压力传感58、θ台62等)、X轴移动机构100、Y轴移动机构200、Z轴移动机构300、空气滑行导向机构120、130、230、240、320、减压机构410等，控制装置500接受上述部件的检测结果以及控制它们的动作(运转、停止等)。
接下去参照图13、图14，对使用上述晶片透镜制造装置10制造晶片透镜1的方法作说明。
首先，在XY台30上设置玻璃基板2(晶片装载工序S1)，用盖部42盖住XY台30的贯通孔40(参照图7)。
然后，使X轴移动机构100(线性马达110)、Y轴移动机构200(线性马达220)、空气滑行导向机构120、130、230、240等运转，通过空气，使XY台30在X轴方向及Y轴方向上边浮上边滑行移动，使分配器32位于模具64上方地进行位置对准(预对准工序S2)。
此时，定盘20的所定位置上事先标有对准标志，预对准工序中，边用显微镜36确认该对准标志，边进行分配器32的位置对准。
分配器32的位置对准后，使空气滑行导向机构120、130、230、240停止运转，使处于XY台30和定盘20密贴的锁定状态。由此，能够将XY台30固定在其位置上。在该状态下，从分配器32针部33向模具部50的模具64上滴下所定量的树脂(分配工序S3，参照图11)。
此时，如图14实线部分所示，控制减压机构410，对空间部406进行减压。减压是使空间部40基本上为真空状态，具体则是使达到10-2MPa以下。
在减压状态下进行分配工序S3处理，这样能够防止气泡混入树脂内。
本实施方式中，从分配工序S3到脱模工序S7，基本上使处于减压状态，减压的定义如上所述。
然后使空气滑行导向机构120、130、230、240运转，通过空气，使XY台30在X轴方向及Y轴方向浮上并滑行移动，使预先设置的玻璃基板2位于模具部50的模具64上方地进行位置对准(对准工序S4，参照图7)。
然后，
(1)如图15所示，将周知的激光测长器34配置到模具64上方，使空气滑行导向机构120、130、230、240停止运转，使处于XY台30和定盘20密贴的锁定状态。由此，能够将玻璃基板2固定在其位置上。
同时，控制马达306和空气滑行导向机构320，从喷出孔322、324、326、328喷出空气，将Z台304配置到所定的高度位置上，然后如图8(b)所示，例如只从喷出孔322、328喷出空气，使Z台304一部分接触Z轴导向302的内壁。由此，能够通过Z台304与Z轴导向302之间的摩擦力，将模具部50的位置保持在一定，进行锁定。
(2)然后，由激光测长器34进行3点以上的高度测定，从测定结果算出模具64上面的倾斜和模具64的高度位置，根据输出值(角度α的偏离值，参照图15)，控制压力传动装置54，使玻璃基板2的下面与模具64的上面相互平行。
然后，解除锁定状态，将显微镜36配置到模具64上方。使空气滑行导向机构120、130、230、240停止运转，使处于XY台30和定盘20密贴的锁定状态。由此，能够将玻璃基板2固定在其位置上。
同时，控制空气滑行导向机构320，如图8(b)所示，例如只从喷出孔322、328喷出空气，使Z台304一部分接触Z轴导向302的内壁。通过Z台304与Z轴导向302之间的摩擦力，将模具部50的位置保持在一定。
这样，通过Z轴导向302与Z台304接触，安装在其上的模具64能够相对Z轴导向304保持支撑在定出的位置和角度。结果，具有下述优点：在解除锁定状态时Z台304及模具64能够顺畅运转；在锁定状态时能够以调整时同样的姿势进行成型动作。
(3)然后，用显微镜36检测模具64，根据检测结果，掌握模具64的现状配置位置，根据其现状配置位置，在控制装置500中，作为轴坐标，变换预先设定的模具64的初期位置的轴坐标。
详细则是用显微镜36从模具64上方至少识别2点位置，以其一个位置为原点O，另一个位置为修正点进行识别。例如，事先对模具64在对角上标对准标志，以一个对准标志为原点O，另一个对准标志为修正点进行识别。本实施方式中，作为检测模具64配置位置的位置检测器一例，使用显微镜36。
然后，算出从原点O向修正点的坐标变换用直线，算出该算出的直线与预先设定的轴坐标的偏离(角度θ的偏离值，参照图16)，从该偏离变换轴坐标。也就是说，在控制装置500中，预先设定模具64的平面上的配置位置作为轴坐标，对于该设定的轴坐标，掌握与用显微镜36识别算出的坐标变换用直线的偏离，如图16所示，将预先设定的轴坐标(参照虚线部)变换到从该偏离算出的轴坐标(参照实线部)。由此，能够2维固定模具64与玻璃基板2的相对位置关系，能够相对模具64正确移动玻璃基板2。
另外，也可以在模具部50中设使模具64转动的θ台62(参照图9)，控制θ台62，使模具64旋转移动，与预先设定的坐标轴对应(使偏离的轴坐标回复原位)，以此代替由控制装置500所作的上述轴坐标变换。
在该状态下，对模具部50进行位置控制，使模具64相对玻璃基板2上升，移动至所定位置，将模具保持在所定位置(刻印(imprint)工序S5)。
详细则是使Z轴移动机构(马达306)运转，向上方伸出轴308，使Z台304向上方移动。
此时，根据马达306内藏的电位计的输出值，控制马达306运转，使Z台304移动到所定的高度位置。于是，树脂被押到玻璃基板2上徐徐扩展，充填到模具64腔65中。
在该刻印工序S5中也控制减压机构410，对空间部400减压。
通过在减压状态下将树脂押到玻璃基板2上，这样能够防止气泡混入树脂内。另外，因为使空间部400为减压状态，所以，上部空间部402和下部空间部404之间没有差压，又能够防止玻璃基板2的翘曲和变形。
之后，在将Z台304保持在设定位置的状态下控制光源44，对树脂照射光，使树脂固化(曝光工序S6)。
此时，因为控制减压机构410使空间部400为减压状态，所以，能够防止对树脂的氧障碍，能够确切地使树脂固化。同样的效果也可以通过置换成氧之外的其它气体来得到。
树脂固化时(树脂固化时或之后)，如果Z台304就此被保持在所定的高度位置的话，则树脂中产生固化收缩时，玻璃基板2适应不了其收缩，有树脂内部出现变形以及腔65对树脂的面形状转印不充分的可能性。
在此，使光源44点灯一定时间，对树脂照射一定量的光，然后对模具部50进行压力控制，保持模具64对玻璃基板2的压力为所定压力。详细则是根据压力传感58的输出值，使压力传动装置54运转，使模具64移动到上方。此时，为了防止位置偏离，上方移动是在使XY台滑行导向机构120、130、230、240运转停止的状态，在只使Z空气滑行导向机构320的喷出孔322、328停止、使Z台304接触Z轴导向302的状态下进行的。
然后使光源44消灯，停止对树脂的光照射。光照射停止后，使马达306运转，使轴308缩至下方，使Z台304移动到下方。于是，与玻璃基板2一起从模具64脱模固化后的树脂(脱模工序S7)。
此时，控制减压机构410，使空间部400处于减压状态，这样就没有大气压作用，所以容易脱模。结果，如图1、图2所示，与1个模具64的腔65相应的多个凸透镜部4被形成在玻璃基板2上。
然后，反复所定次数分配工序S3、刻印工序S5、曝光工序S6、脱模工序S7，在玻璃基板2上顺次形成更多个凸透镜部4(参照图1、图2)，制造晶片透镜1。
对玻璃基板2形成了所定数的凸透镜部4之后，使移动机构100、200、300和空气滑行导向机构120、130、230、240、320运转，使XY台30和Z台304移动到所定位置，最终是从XY台30去掉盖部42，取出玻璃基板2(取出工序S8)。
本实施方式中出示是用模具单位对玻璃基板2顺次形成凸透镜部4的所谓“步骤&重复方式”的例子，但也可以采用所谓的“一次方式”，即代替模具64使用与玻璃基板2尺寸(面积)相应的大径模具，对玻璃基板2一次性形成所望个数的凸透镜部4。
另外，本实施方式中，从分配工序S3到脱模工序S7使玻璃基板2附近为局部性减压状态，但是，不管是上述“步骤&重复方式”还是“一次方式”，都可以将整个晶片透镜制造装置10(不包括控制装置500)设置在室等封闭系统中，连同包括玻璃基板2附近的晶片透镜装置10一起，使整体处于减压状态。
另外，本实施方式中，以同时控制使XY空气滑行机构运转、停止以及Z空气滑行机构运转、停止作了说明，但也可以仅进行至少任何一个控制。
根据上述实施方式，因为是在控制装置500控制停止空气滑行导向机构120、130、230、240、320运转的状态(空气滑行导向机构320中是一部分停止的状态)下实行从对准工序S4至脱模工序S7的工序处理，所以，玻璃基板2与模具64的相对位置不易变动，能够抑制相对玻璃基板2的树脂凸透镜部4的位置偏离。
本发明并不局限于上述实施方式，在不逸出本发明主要旨意的范围内可以有适当变更。
例如，上述实施方式中是在刻印工序S5、曝光工序S6时对空间部400进行减压的，但也可以去掉形成在玻璃基板2上的连通孔3，只对下部空间部404进行减压。
此时，如图14的虚线部分所示，优选分配工序S3、刻印工序S5、曝光工序S6之中至少一次开放为大气压。
分配工序S3中在减压状态下充填树脂的情况，虽然能够防止气泡混入树脂内，但由于树脂的表面张力，树脂内会产生气泡。因此，在使处于减压状态之后开放一次为大气压的话，能够防止气泡发生，这样，能够消除树脂向腔65的未充填部位。
刻印工序S5中使2个上部空间部402和下部空间部404都处于减压状态的情况，因为上部空间部402和下部空间部404之间没有差压，所以能够防止气泡混入树脂内，但是，例如使上部空间部402为大气压、使下部空间部404为减压状态的话，则由于差压而玻璃基板2会产生翘曲和变形。对此，将下部空间部404从减压状态开放为大气压时，能够保持玻璃基板2平坦，能够在平坦的状态下进行刻印。
曝光工序S6中在减压状态下曝光树脂的情况，能够防止氧的树脂固化障碍，使树脂确切地固化，但之后开放为大气压的话能够提高转印性。在上述这些工序中向大气压的开放，在图14中用点划线表示。
并且，上述实施方式中，出示了从模具64形成树脂性凸透镜部4的例子，但上述实施方式也可以适用于下述场合：将模具64作为母体模具(主模)，形成树脂性模具(副模)；作为中间模具使用。
符号说明
1 晶片透镜
2 玻璃基板
3 连通孔
4  凸透镜部
10 晶片透镜制造装置
20 定盘
30 XY台
31 突条部
32 分配器
33 针部
34 激光测长器
36 显微镜
38 连通孔
40 贯通孔
42 盖部
44 光源
50 模具部
52 第1支撑台
54 压力传动装置
56 第2支撑台
58 压力传感
60 第3支撑台
62 θ台
64 模具
65 腔
66 螺杆
68 板弹簧
70 螺杆
100 X轴移动机构
102 X轴导向
110 线性马达
112 固定子
114 可动子
116 刻度尺
118 传感
120 空气滑行导向机构
122 喷出孔
130 空气滑行导向机构
132、136 喷出孔
134 吸引孔
200 Y轴移动机构
202 Y轴导向202
204、206 端部
210 Y轴移动体
212、214 钩部
220 线性马达
222 固定子
224 可动子
226 刻度尺
230 空气滑行导向机构
232、234、236 喷出孔
240 空气滑行导向机构
242、244、246 喷出孔
300 Z轴移动机构
302 Z轴导向
304 Z台
306 马达
308 轴
310 间隙
320 空气滑行导向机构
322、324、326、328 喷出孔
330 密封部件
400 空间部
402 上部空间部
404 下部空间部
406 空间部
410 减压机构
500 控制装置

Claims (9)

1.一种晶片透镜制造装置，其特征在于，备有：
台，支撑玻璃基板；
XY轴移动机构，使所述台在XY平面移动；
XY空气滑行导向机构，通过空气使所述台相对XY导向浮上，导向由所述XY轴移动机构所作的所述台的移动；
模具，被充填树脂；
Z轴移动机构，使所述模具升降移动；
Z空气滑行导向机构，通过空气使所述模具相对Z导向浮上，导向由所述Z轴移动机构所作的所述模具的升降移动；
控制装置，至少进行下述一个锁定：由所述XY空气滑行导向机构的运转、停止控制所做的所述台的移动位置的锁定；或者，由所述Z空气滑行导向机构的运转、停止控制所做的所述模具的移动位置的锁定。
2.如权利要求1中记载的晶片透镜制造装置，其特征在于，所述控制装置进行所述XY空气滑行导向机构的运转及其停止控制、以及所述Z空气滑行导向机构的运转及其停止控制，进行所述台的移动位置以及所述模具的移动位置的双方的锁定。
3.如权利要求2中记载的晶片透镜制造装置，其特征在于，
所述Z轴移动机构备有：支撑所述模具的延伸在Z轴方向的模具台；在Z轴方向导向所述模具台的筒状导向部件；
所述Z空气滑行导向机构具有从不同方向向Z导向喷出空气的多个喷出孔，
所述控制装置在使所述XY空气滑行导向机构的运转停止的状态下，再使所述Z空气滑行导向机构的所述喷出孔的运转的一部分停止，使所述模具台接触所述导向部件，在该状态下，控制所述Z轴移动机构，使所述模具向着由所述台支撑的玻璃基板上升。
4.如权利要求3中记载的晶片透镜制造装置，其特征在于，
备有检测所述模具配置位置的位置检测器，
所述控制装置中，预先将所述模具的初期位置设定作为轴坐标，所述控制装置在锁定所述XY空气滑行导向机构和所述Z空气滑行导向机构的状态下，根据所述位置检测器的检测结果，把握所述模具的现状配置位置，按照所述模具的现状配置位置，变换所述模具的初期位置的轴坐标。
5.如权利要求3中记载的晶片透镜制造装置，其特征在于，
备有检测所述模具配置位置的位置检测器，
所述控制装置中，预先将所述模具的初期位置设定作为轴坐标，所述控制装置在锁定所述XY空气滑行导向机构的状态下，再一部分锁定所述Z空气滑行导向机构，使所述模具台接触所述导向部件，在该状态下，根据所述位置检测器的检测结果，把握所述模具的现状配置位置，按照所述模具的现状配置位置，变换所述模具的初期位置的轴坐标。
6.一种晶片透镜的制造方法，其特征在于，使用权利要求1～5中任一项记载的晶片透镜制造装置，其中，所述晶片透镜的制造方法备有下述工序：通过第1空气供给，使玻璃基板边浮上边沿XY导向在XY平面移动，将所述玻璃基板配置到对着所述模具的位置上；通过第2空气供给，使所述模具边浮上边沿Z导向升降移动，配置到所定的高度位置上；使所述模具向着所述玻璃基板上升；
使所述模具上升的工序，是在停止所述第1空气和所述第2空气供给的状态下，使所述模具向着所述玻璃基板上升的。
7.如权利要求6中记载的晶片透镜的制造方法，其特征在于，
使所述模具上升的工序，是在停止所述第1空气供给的状态下，再一部分停止所述第2空气供给，使支撑所述模具的Z台接触所述Z导向，在该状态下，使所述模具向着所述玻璃基板上升的。
8.如权利要求6中记载的晶片透镜的制造方法，其特征在于，备有下述工序：
将所述模具的初期位置设定作为轴坐标；
在停止所述第1空气和所述第2空气供给的状态下，把握所述模具的现状配置位置，按照所述模具的现状配置位置，变换所述模具的初期位置的轴坐标。
9.如权利要求7中记载的晶片透镜的制造方法，其特征在于，备有下述工序：
将所述模具的初期位置设定作为轴坐标；
在停止所述第1空气供给的状态下，再一部分停止所述第2空气供给，使支撑所述模具的Z台接触所述Z导向，在该状态下，把握所述模具的现状配置位置，按照所述模具的现状配置位置，变换所述模具的初期位置的轴坐标。
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