CN102458807B - 晶片透镜的制造方法，中间模具、光学部件、成型模具以及成型模具的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种晶片透镜的制造方法、中间模具、光学部件以及成型模具，同时提供一种形状良好、脱模性优异的成型模具的制造方法，其中，晶片透镜中不会不必要地加厚形成在基板上的透镜部等树脂部分，能够实现小型化。晶片透镜1的制造方法备有：从模具7制造第1中间模具(8)的第1中间模具制造工序；从第1中间模具(8)制造第2中间模具(9)的第2中间模具制造工序；从第2中间模具(9)制造晶片透镜1的晶片透镜制造工序。在第1中间模具基板(80)对着模具(7)的面上，形成模具(7)成型部(71)顶部(71a)或周边部(77)的至少接近第1中间模具基板(80)部分被配置的凹部(85)，在模压光固化性树脂(84A)时，在凹部(85)内配置模具(7)顶部(71a)或周边部(77)的至少接近第1中间模具基板(80)部分，并设所定间隙，使之不接触凹部(85)的凹面(85a)。

Description

晶片透镜的制造方法,中间模具、光学部件、成型模具以及成型模具的制造方法

技术领域

本发明涉及晶片透镜的制造方法、中间模具、光学部件、成型模具以及成型模具的制造方法 

背景技术

以往的光学透镜制造领域中，有探讨通过对玻璃基板设由固化性树脂构成的透镜部从而得到耐热性高的光学透镜之技术。作为应用了该技术的光学透镜制造方法的一例，有一种形成对玻璃基板表面作为固化性树脂成型品形成了多个透镜部、例如折射透镜部的所谓“晶片透镜”，然后按透镜部切割玻璃基板的方法被提案。 

作为晶片透镜的制造方法，有一种例如从模具（主模）制作树脂制的第1中间模具（副模），然后从第1中间模具制作同样树脂制的第2中间模具（副副模），用第2中间模具制造树脂制晶片透镜的使用二个中间模具的情况（请参照例如专利文献1、2）。尤其是专利文献2中公开了一种对大径玻璃基板依次形成透镜部的所谓的步骤反复方式。 

以下，对使用二个中间模具制造晶片透镜的方法作说明。 

图28（a）、（b）表示从模具7G成型第1中间模具8G的方法。首先如图28（a）所示，在具有与晶片透镜1G凸透镜部11G（请参照图30（b））光学面形状相应的负片形状之成型部71G的模具7G上面上滴下树脂84H（配给工序），吸引、固定第1中间模具基板80G使之一部分的第1区域位于模具7G上方。然后，使第1中间模具基板80G向配置在下方的模具7G下降，在第1中间模具基板80G的第1区域部分模压树脂84H（转印工序）。此时，为了避免在模具7G成型部71G周边接着成型部71G设有的平坦部72G与第1中 间模具基板80G碰撞，在模具7G与第1中间模具基板80G之间设有一定间隙S4地使第1中间模具基板80G停止。该间隙S4量在图28（a）中为ΔH。ΔH量不仅考虑为了防止机械性碰撞的需要，还从树脂84H成型方面考虑确保所需最低限度的间隙而决定。然后就此保持第1中间模具基板80G的高度位置，从第1中间模具基板80G上方对被充填在成型部71G中的树脂84H照光，使树脂84H固化（曝光工序）。然后使第1中间模具基板80G上升，从模具7G脱模树脂84H（脱模工序）。然后如图2所示使模具7G偏离所定量，在所定位置（与第1中间模具基板80G的第2区域部分对应）进行上述配给工序、转印工序、曝光工序，之后用反复上述工序进行成型的所谓步骤反复方式进行成型。这种结构具有能够从小模具形成广面积的成型模具之优点。 

但使用这种步骤反复方式进行成型时，如图2所示，在第1区域成型后，与邻接的第2区域之间产生所定量的间隙X，这是由于不能完全对准第1位置与邻接的第2位置的位置精度而产生的。 

结果，如图28（b）所示，制成的第1中间模具8在第1中间模具基板80G的下面上具有第1中间模具基板80G素材露出的槽部86G。这是因为树脂84H不连续的原因。 

采用上述步骤反复方式从模具成型第1中间模具、从第1中间模具成型第2中间模具、从第2中间模具成型光学元件时的构成如下。 

图29（a）、（b）表示从第1中间模具8G成型第2中间模具9G的方法。如图29（a）所示，在第1中间模具8G的上面上滴下树脂94H（配给工序），在第1中间模具8G的上方吸引、固定第2中间模具基板90G。然后使第2中间模具基板90G向配置在下方的第1中间模具8G下降，将树脂94H压到第2中间模具基板90G（转印工序）。此时，为了避免第1中间模具8G的树脂部84G中最突出的部分与第2中间模具基板90G碰撞，在第1中间模具8G与第2中间模具基板90G之间设有ΔH间隙S5地使第1中间模具8G停止。然后同样进行曝光工序、脱模工序，如图29（b）所示，能够制造在第2中间模具基板90G下面上具有成型部91G的第2中间模具9G。图中的符号 93G是进入第1中间模具8G槽部86G的树脂94H固化后的部分，是第2中间模具9G树脂部94G中最高的部分。 

图30（a）、（b）表示从第2中间模具9G成型最终产品晶片透镜1G的方法。如图30（a）所示，在第2中间模具9G上面上滴下树脂4H（配给工序），在第2中间模具9G的上方吸引、固定晶片透镜用玻璃基板2G。然后使玻璃基板2G向配置在下方的第2中间模具9G下降，将树脂4H压到玻璃基板2G（转印工序）。此时，为了避免第2中间模具9G的树脂部94G中最突出的部分与玻璃基板2G碰撞，在第2中间模具9G与玻璃基板2G之间设有ΔH间隙S6地使第2中间模具9G停止。然后同样进行曝光工序、脱模工序，如图30（b）所示，能够制造晶片透镜1G。这样，在晶片透镜1G的凸透镜部11G周边接着凸透镜部11G的平坦部12G距离玻璃基板2G的高度为2ΔH，是上述一次成型中为了防止碰撞所必需的间隙ΔH的2倍。 

也就是说，由于第1中间模具槽部86G的形成，从第1中间模具制作第2中间模具时所必需的间隙ΔH，最终在从第2中间模具制作透镜时成为2倍的间隙。 

先行技术文献 

专利文献 

专利文献1：特表2006－519711号公报 

专利文献2：美国专利申请公开2006/0259546号公报 

发明内容

发明欲解决的课题 

如上所述，在从模具成型第1中间模具及第2中间模具、然后成型晶片透镜时，为了避免转印工序时各成型模具的突出部分与各基板碰撞，必须在成型模具与基板之间设适当的距离ΔH，在使用二个中间模具时，作为晶片透镜，相对本来成型所必需的厚度来说，必须多余成型厚度2ΔH。结果，在上下叠层晶片透镜构成晶片透镜单元时，光轴方向变厚，不利于小型化。 

另外上述专利文献2中记载的步骤反复方式的情况，是在大 径玻璃基板上配给透镜成型材料之后，将具有一个成型部的一个成型模具压到基板上的成型材料上成型一个透镜部，然后用同样方法依次成型多个透镜部。也就是说，不是使用具有多个成型部的阵列主模进行步骤反复方式，而是一个成型模具只有一个成型部，所以是使一个成型部内的成型材料固化、脱模之后，将下一环成型材料配给到成型部内进行固化。因为是一个个固化、成型透镜部，所以设想相邻的透镜部之间不会连在一起，没有问题。 

而使用具有多个成型部的阵列主模时，是在各成型部中分别配给成型材料进行成型，所以由于配给量而会引起有的成型部中成型材料溢出，而一旦溢出，与该溢出成型部邻接的成型部内的成型材料因为还未固化而为液体，所以固化时连上，出现问题。而一旦成型材料之间连上，固化收缩时应力大到好几倍，会导致后阶段中间模具、转印模具的形状恶化及脱模性恶化等问题。 

本发明鉴于上述情况，目的在于提供一种晶片透镜的制造方法、中间模具、光学部件以及成型模具，同时提供一种形状良好、脱模性优异的成型模具的制造方法，其中，晶片透镜中不会不必要地加厚形成在基板上的透镜部等树脂部分，能够实现小型化。 

用来解决课题的手段 

根据本发明的一形态，提供一种在基板的至少一面上设多个光固化性树脂透镜部的晶片透镜的制造方法，晶片透镜制造方法的特征在于， 

该制造方法备有下述各工序： 

第1中间模具制造工序，在具有与所述透镜部光学面形状对应的负片形状的成型部的模具与第1中间模具基板之间充填、模压光固化性树脂，用光照射使之固化，由此制造具有与所述光学部件光学面形状对应的正片形状的透镜部的第1中间模具，该第1中间模具制造工序包括下述各副工序ｉ）～vii）：ｉ）准备第1中间模具基板；ii）在所述模具中配给光固化性树脂，将所述第1中间模具基板表面一部分的第1区域压到所述模具，由此将光固化性树脂充填到所述模具的成型部内；iii）对所述充填的光固化性树脂照射光促使固化；iv）所述固化之后从光固化性树脂脱模所 述模具；ｖ）在脱模后的模具中配给光固化性树脂，将第1中间模具基板表面上与所述第1区域持所定间隔配置的第2区域压到所述模具，由此将光固化性树脂充填到所述模具的成型部内；vi）对所述充填的光固化性树脂照射光促使固化；vii）所述固化之后从光固化性树脂脱模所述模具； 

第2中间模具制造工序，在由所述第1中间模具制造工序得到的第1中间模具与不同于所述第1中间模具的第2中间模具基板之间充填、模压光固化性树脂，用光照射使之固化，由此制造具有与所述透镜部光学面形状对应的负片形状的成型部的第2中间模具； 

晶片透镜制造工序，在所述第2中间模具与所述基板之间充填、模压光固化性树脂，用光照射使之固化，由此制造备有多个所述透镜部的晶片透镜； 

在所述第1中间模具基板的对着所述模具的面上形成凹部，其中配置所述模具的所述成型部的顶部、或接着所述成型部的周边部的至少接近所述第1中间模具基板的部分， 

在模压充填在所述模具与所述第1中间模具基板之间的光固化性树脂时，在所述凹部内配置所述模具的所述顶部、或所述周边部的至少接近所述第1中间模具基板的部分，并设所定间隙，使之不接触形成所述凹部的凹面。 

根据本发明的另一形态，提供一种中间模具，被用于制造在基板的至少一面上设光固化性树脂光学部件的晶片透镜，具有：中间模具基板；设在所述中间模具基板上的与所述光学部件的光学面形状对应的正片形状或负片形状的成型部；中间模具的特征在于， 

所述中间模具基板上形成了凹部，其中配置所述成型部的顶部或接着所述成型部的周边部的至少接近所述中间模具基板的部分， 

在所述凹部内配置所述成型部的所述顶部或所述周边部的至少接近所述中间模具基板的部分，并设所定的间隙，使之不接触形成所述凹部的凹面。 

根据本发明的另一形态，提供一种形成了树脂成型部的光学部件，包括：基板；一部分在所述基板至少一面上固化光固化性树脂得到的凹或凸的折射透镜部；光学部件的特征在于， 

在所述基板的至少一面上设凹部，所述树脂成型部至少在该基板的形成了凹部的一面上备有所述凹或凸的折射透镜部和接着该折射透镜部的树脂平坦部，使所述折射透镜部在从平行于光轴的方向向所述基板投影时的区域纳入所述基板的凹部内。 

根据本发明的另一形态，提供一种成型模具，被用于制造在基板的至少一面上设多个光固化性树脂折射透镜部的晶片透镜，具有与所述透镜部的光学面形状对应的正片形状或负片形状的成型部，以及形成所述成型部周围的周边形成部，成型模具的特征在于， 

所述成型部以及所述周边形成部中含有使所述光固化性树脂固化的具有特定波长吸收作用的物质。 

根据本发明的另一形态，提供一种成型模具的制造方法，是多次使用由凹部划分多组透镜成型部及接着该透镜成型部周围的突缘成型部的模具，在基板上制造固化性树脂成型模具的成型模具制造方法，其特征在于， 

具有下述各工序：配给工序，在所述基板的第1位置与形成在所述模具上的多组所述透镜成型部及所述突缘成型部各个之间分别配给固化性树脂；固化工序，在所述配给工序之后固化所述模具与所述基板之间的固化性树脂；脱模工序，在所述固化工序之后从所述固化性树脂脱模所述模具；配给工序，在不同于所述基板第1位置的第2位置与形成在所述模具上的多组所述透镜成型部及所述突缘成型部各个之间分别配给固化性树脂；固化工序，在所述配给工序之后固化所述模具与所述基板之间的固化性树脂；脱模工序，在所述固化工序之后从所述固化性树脂脱模所述模具； 

在所述模具的各突缘成型部以及接着该突缘成型部设有的形成所述凹部的高低差面上实施脱模处理， 

并且，在所述配给工序中，被配给到所述基板与所述模具的 各透镜成型部及突缘成型部之间的固化性树脂的配给容量，大于在所述基板与所述模具的各透镜成型部及突缘成型部之间形成的形成空间体积。 

发明的效果 

根据本发明，在采用步骤反复方式从模具制造第1中间模具、第2中间模具、晶片透镜时，也能够降低由于采用该步骤反复方式而不可避免产生的起因于第1中间模具槽部的间隙的厚度，所以，不会不必要地加厚第1中间模具的成型部及周边部等的树脂部分，能够使第1中间模具小型化。使用这种第1中间模具制造的晶片透镜也能够实现小型化。 

另外根据本发明，通过在各突缘成型部及高低差面上实施脱模处理，能够使固化的固化性树脂容易地从模具脱模。 

另外，因为使固化性树脂的配给容量大于基板与模具的各透镜成型部及突缘成型部之间形成的形成空间体积，所以能够防止固化性树脂固化收缩时产生的沉陷，能够制造形状良好的成型模具。 

并且，模具是由凹部划分为多组透镜成型部及突缘成型部并在突缘成型部与凹部之间具有高低差面之结构，所以，能够防止配给到相邻透镜成型部内的固化性树脂相互连接、固化。而且，固化性树脂是向基板侧展开的锥形形状固化的，这又有利于相对模具的脱模性。 

附图说明

图1：晶片透镜的概略结构平面示意图。 

图2：晶片透镜的概略结构侧面示意图。 

图3：本发明第1实施方式晶片透镜制造方法的一部分侧面示意图，是制造第1中间模具的情况。 

图4：本发明第1实施方式晶片透镜制造方法的一部分侧面示意图，是从图3状态制造第2中间模具的情况。 

图5：本发明第1实施方式晶片透镜制造方法的一部分侧面示意图，是从图4状态制造晶片透镜的情况。 

图6：制造装置的概略结构立体示意图。 

图7：图6制造装置的平面图。 

图8：X轴移动机构的概略结构示意图，是沿图7中A-A线的截面图。 

图9：Y轴移动机构的概略结构示意图，是沿图7中B-B线的截面图。 

图10：XY台与定盘内的概略结构截面示意图。 

图11：沿图10中C-C线的截面图。 

图12：模具部的概略结构截面示意图。 

图13：图12的概略结构平面示意图。 

图14：在模具对面配置配给器时的概略结构截面示意图。 

图15：概略性控制结构方框示意图。 

图16：用来时序性说明晶片透镜制造方法的概略流程。 

图17：从图16的配给工序到脱模工序的压力状态概略定时图表。 

图18：用来调整玻璃基板与模具平行度的结构概略说明图。 

图19：模具在二维平面上的坐标轴变换概略说明图。 

图20：本发明第2实施方式晶片透镜的概略结构侧面示意图。 

图21：本发明第2实施方式晶片透镜的概略结构侧面示意图。 

图22：本发明第3实施方式晶片透镜的概略结构侧面示意图。 

图23：本发明第3实施方式晶片透镜的概略结构侧面示意图。 

图24：本发明第4实施方式晶片透镜的概略结构侧面示意图。 

图25：晶片透镜制造方法的一部分侧面示意图，是制造中间模具的情况。 

图26：晶片透镜制造方法的一部分侧面示意图，是从图25状态制造转印模具的情况。 

图27：晶片透镜制造方法的一部分侧面示意图，是从图26状态制造晶片透镜的情况。 

图28：以往例中晶片透镜制造方法的一部分侧面示意图，是制造第1中间模具的情况。 

图29：以往例中晶片透镜制造方法的一部分侧面示意图，是 从图5状态制造第2中间模具的情况。 

图30：以往例中晶片透镜制造方法的一部分侧面示意图，是从图29状态制造晶片透镜的情况。 

具体实施方式

以下参照附图，对本发明的优选实施方式作说明。 

［第1实施方式］ 

如图1、2所示，晶片透镜1备有圆形玻璃基板2以及形成在玻璃基板2一面上的树脂部4。 

如图5（b）所示，树脂部4具有为凸状光学面的凸透镜部11以及凸透镜部11周边接着凸透镜部11形成的周边部17。周边部17具有接着凸透镜部11形成的环状的平坦部12以及接着该平坦部12形成的凸状部13。优选凸透镜部11是折射透镜，但并不一定局限于此，也可以形成光学面表面衍射槽和台阶等微细构造。 

树脂部4用光固化性树脂形成。作为该光固化性树脂，可以采用例如丙烯树脂、烯丙酯树脂等，这些树脂可以通过原子团聚合反应固化。 

凸状部13与凸透镜部11不同，顶部13a为平坦面。凸状部13顶部13a的高度高于凸透镜部11顶部11a的高度。 

形成在凸透镜部11与凸状部13之间以及邻接的凸状部13之间的环状平坦部（薄的部分）12，其从玻璃基板2起的高度为ΔH，尤其是凸透镜部11与凸状部13之间的平坦部12，其高度是以往的一半。 

如图3～图5所示，晶片透镜1如下所述地成型：从具有与凸透镜部11光学面形状对应的负片形状（凹状）成型部71的模具7，成型具有正片形状（凸形状）成型部81的第1中间模具8，从第1中间模具8成型具有负片形状（凹状）成型部91的第2中间模具9，由成型的第2中间模具9成型晶片透镜1。本实施方式中，是以第2中间模具9单位对一张玻璃基板2依次形成树脂部4（凸透镜部11）（请参照图1、图2箭头），最后按每个凸透镜部11切割玻璃基板2进行单片化。 

图1、图2表示制造工序的中途阶段，所以只在玻璃基板2表面的一部分上形成了树脂部4。由于图示的关系，图1、图2中的树脂部4形状是图5（b）所示的简略。 

接下去，对制造晶片透镜1的方法作说明。 

第1中间模具制造工序

图3（a）、（b）表示从模具7成型第1中间模具8的方法。如图3（a）所示，在模具7的上面上滴下树脂84A（配给工序），在模具7上方吸引、固定为玻璃基板的第1中间模具基板80。预先，在第1中间模具基板80下面上的对着模具7成型部71顶部71a和接着成型部71的周边部77（平坦部72及凹状部73一部分）的位置上，形成凹部85。 

然后，使模具7向配置在上方的第1中间模具基板80上升，将树脂84A压到第1中间模具基板80（转印工序）。本实施方式中，当第1中间模具基板80的下面和模具7平坦部72在相同高度位置时，停止模具7上升。此时，模具7平坦部72被置于第1中间模具基板80的凹部85内，不接触形成凹部85的凹面85a地形成了所定的间隙S1。也就是说，防止模具7上最突出在第1中间模具基板80一侧的平坦部72与第1中间模具基板80的下面碰撞。 

然后就此保持模具7的高度位置，从第1中间模具基板80上方对充填在成型部71中的树脂84A照光，使树脂部84A光固化（曝光工序）。光照射之后使模具7下降，从模具7脱模树脂84A（脱模工序）。由此制成如图3（b）所示，在第1中间模具基板80的下面上具有与晶片透镜1凸透镜部11光学面形状对应的正片形状成型部81的第1中间模具8。 

制成的第1中间模具8的成型部81周边，接着成型部81设有周边部87。周边部87是接着成型部81的平坦部82和接着平坦部82的凸状部83。在成型部81、平坦部82及凸状部83构成的树脂部84、84相互之间形成了槽部86，树脂84A不连接，第1中间模具基板80素材露出。另外，第1中间模具8的平坦部82与第1中间模具基板80的下面是同样的高度。凸状部83的高度高于成型部81的高度。 

第2中间模具制造工序

图4（a）、（b）表示从第1中间模具8成型第2中间模具9的方法。如图4（a）所示，在第1中间模具8的上面上滴下树脂94A（配给工序），在第1中间模具8上方吸引、固定为玻璃基板的第2中间模具基板90。 

然后使第1中间模具8向配置在上方的第2中间模具基板90上升，将树脂94A压到第2中间模具基板90（转印工序）。此时为了防止第1中间模具8的凸状部83碰撞第2中间模具基板90的下面，使第1中间模具8的凸状部83与第2中间模具基板90之间设有一定间隙S2地停止第1中间模具8。 

然后就此保持第1中间模具8的高度位置，从第2中间模具基板90上方对充填在成型部81中的树脂94A照光，使树脂94A光固化（曝光工序）。光照射之后使第1中间模具8下降，从第1中间模具8脱模树脂94A（脱模工序）。由此制成如图4（b）所示，在第2中间模具基板90的下面上具有与晶片透镜1凸透镜部11光学面形状对应的负片形状成型部91的第2中间模具9。 

制成的第2中间模具9的成型部91周边，接着成型部91设有周边部97。周边部97是接着成型部91的平坦部92和接着平坦部92的凹状部96及接着凹状部96的凸状部93。另外，第2中间模具9的凸状部93是被充填到第1中间模具8槽部86中的树脂94A固化的部分，高度与第2中间模具9平坦部92一样。 

晶片透镜制造工序

图5（a）、（b）表示从第2中间模具9成型晶片透镜1的方法。如图5（a）所示，在第2中间模具9的上面上滴下树脂4A（配给工序），在第2中间模具9上方吸引、固定晶片透镜用玻璃基板2。 

然后，使第2中间模具9向配置在上方的玻璃基板2上升，将树脂4A压到玻璃基板2（转印工序）。此时为了防止第2中间模具9的平坦部92及凸状部93碰撞玻璃基板2的下面，使第2中间模具9的平坦部92及凸状部93与玻璃基板2之间设有一定间隙S3地停止第2中间模具9。 

然后就此保持第2中间模具9的高度位置，从玻璃基板2上方对充填在成型部91中的树脂4A照光，使树脂4A光固化（曝光工 序）。光照射之后使第2中间模具9下降，从第2中间模具9脱模树脂4A（脱模工序）。由此制成如图5（b）所示，在玻璃基板2的下面上备有凸透镜部11的晶片透镜1。 

制成的晶片透镜1的凸透镜部11周边，接着凸透镜部11设有具有平坦部12及凸状部13的周边部17。晶片透镜1的平坦部12距离玻璃基板2下面的高度为ΔH。这与以往一次成型中为了防止碰撞所必需的间隙ΔH相等，是图30（b）中以往晶片透镜1G的平坦部12G距离玻璃基板2G下面的高度2ΔH的一半。 

接下去对制造上述晶片透镜1时使用的制造装置10作说明。这里举例说明在图3（a）、（b）说明的从模具7制造第1中间模具8时使用的装置，从第1中间模具8制造第2中间模具9以及从第2中间模具9制造晶片透镜1时也可以使用同样的制造装置。 

如图6、图7所示，制造装置10主要备有：呈立方体状的定盘20；设在定盘20上的XY台30；用来使XY台30沿X轴方向移动的X轴移动机构100；用来使XY台30沿Y轴方向移动的一对Y轴移动机构200。 

如图7、图8所示，X轴移动机构100具有延伸在X轴方向的X轴导向102。如图5所示，XY台30被配置在X轴导向102下方。XY台30上形成了延伸在X轴方向的一对突条部31，X轴导向102被配置在突条部31之间。 

如图8所示，X轴移动机构100备有使XY台30实际上沿X轴方向移动的线性马达110。线性马达110具有周知的机构，主要由固定子112、可动子114、刻度尺116、传感118构成。 

设有被固定在XY台30的一个突条部31上的可动子114，能够沿X轴导向102移动。刻度尺116被固定在X轴导向102上。传感118被固定在XY台30的另一个突条部31上。 

X轴移动机构100中，由传感118检测刻度尺116同时可动子114沿固定子112移动，由此，XY台30能够沿X轴导向102在X轴方向恰好移动所定距离。 

XY台30的各突条部31上设有空气滑行导向机构120。空气滑行导向机构120具有喷出空气的喷出孔122。空气滑行导向机 构120能够从各喷出孔122向X轴导向102喷出空气，使XY台30相对导向浮上。 

XY台30的下部设有多个空气滑行导向机构130。各空气滑行导向机构130具有喷出空气的2个喷出孔132、136和吸引空气的1个吸引孔134。空气滑行导向机构130从各喷出孔132、136向定盘20喷出空气并从吸引孔134吸引空气，使XY台30相对定盘20以一定的高度位置浮上。 

如图6、图7所示，Y轴移动机构200具有延伸在Y轴方向的1对Y轴导向202。Y轴导向202上设有1对Y轴移动体210。 

各Y轴移动体210上固定着X轴导向102的两端，Y轴移动体210在支撑X轴导向102（XY台30）的状态下沿Y轴导向202在Y轴方向移动。 

详细则是Y轴移动机构200中设有线性马达220。线性马达220的结构与X轴移动机构100的线性马达110相同，主要由固定子222、可动子224、刻度尺226、传感（图示省略）构成，由传感检测刻度尺226同时可动子224沿固定子222移动，由此，Y轴移动体210能够沿Y轴导向202在Y轴方向恰好移动所定距离。 

如图9所示，Y轴移动体210的端部上形成了呈钩状的钩部212、214，在各钩部212、214内侧嵌合埋设着Y轴导向202的端部204、206。 

钩部212上设有空气滑行导向机构230，钩部214上设有空气滑行导向机构240。空气滑行导向机构230具有从3个方向（上方、侧方、下方）喷出空气的的喷出孔232、234、236。空气滑行导向机构240也具有从3个方向（上方、侧方、下方）喷出空气的喷出孔242、244、246。 

空气滑行导向机构230从各喷出孔232、234、236向Y轴导向202端部204喷出空气，另外，空气滑行导向机构240从各喷出孔242、244、246向Y轴导向202端部206喷出空气，使Y轴移动体201空气滑行。 

如图6、图7所示，XY台30上设有在模具7上滴下树脂的 配给器32、测定模具7平面度（倾斜）和高度位置等的激光测长器34、模具7与第1中间模具基板80对准时使用的显微镜36。 

如图6所示，XY台30上形成了贯通上下面的平面视形状为圆形状的贯通孔40，对贯通孔40设置第1中间模具基板80。 

详细则是：贯通孔40上形成了台阶，第1中间模具基板80由没有图示的弹簧固定在台阶上。XY台30上设有盖住贯通孔40的平面视形状为四方形的盖部42。盖部42由石英板等光透过性部件构成，盖部42上方设有光源44。 

如图10所示，定盘20上埋设着模具部50以及用来使模具部50沿Z轴方向移动的Z轴移动机构300。模具部50被设置在Z轴移动机构300（Z台304）上部。 

Z轴移动机构300主要备有上部具有突缘的4方筒状Z轴导向302、在Z轴方向上在Z轴导向302内移动的Z台304、使Z台304在Z轴方向（上下方向）上移动的马达306。 

马达306内藏电位计，马达上连接着轴308。Z轴移动机构300中，马达306运转，轴308上下伸缩，Z台304及模具部50随之上下移动。 

如图11（a）所示，在Z轴导向302内周面和Z台304侧面之间设有间隙310。 

在Z轴导向302上设有空气滑行导向机构320。空气滑行导向机构320具有喷出空气的喷出孔322、324、326、328。空气滑行导向机构320从各喷出孔322、324、326、328向Z台304喷出空气，使Z台304空气滑行。 

如图10所示，Z轴导向320形成突缘的内周面上通过硅脂、油封、O环等密封部件330密封，密封Z轴导向302与Z台304之间的间隙，使间隙310内的空气不漏到Z轴导向302上方（不泄漏）。 

另外没有图示，在作上下移动的Z台304周围设突缘部，用金属制风箱覆盖与固定配置的Z轴导向302突缘部之间的间隙，同样进行密封，这对于得到上述效果来说更优选。 

如图10所示，由XY台30、定盘20、Z轴导向302构成上 面开口的收容体。收容体的上面开口由盖部42盖住，在由盖部42、XY台30、定盘20、Z轴导向302围起的区域中形成了空间部400。空间部400由设置在XY台30上的第1中间模具基板80划分为：第1中间模具基板80与盖部42之间构成的上部空间部402；第1中间模具基板80与Z轴移动机构300之间构成的下部空间部404。 

第1中间模具基板80周缘部上形成了贯通上下面、相互连通上部空间部402和下部空间部404的连通孔3，构造上两空间部402、404没有差压。下部空间部404与真空泵等减压机构410连结，减压机构410运转，使空间部400处于减压状态。 

也可以例如如图10所示在XY台30上形成连通孔38，以此代替在第1中间模具基板80上形成的连通孔3。 

另外，减压机构410是与下部空间部404连结的，但也可以与上部空间部402连结。 

如图12所示，模具部50主要备有依次设置在Z台304上的第1支撑台52、压力传动装置54、第2支撑台56、压力传感58、第3支撑台60、模具7（或没有图示的第1中间模具8、第2中间模具9）。 

第1支撑台52和第2支撑台56通过预压用螺杆66连结，受其作用而相互接近。在第1支撑台52和第2支撑台56之间设置3个压力传动装置54和L字形板弹簧68（请参照图13）。第2支撑台56和第3支撑台60通过螺杆N连结，在第2支撑台56和第3支撑台60之间设置压力传感58。在第3支撑台60和模具7之间设置用来使模具7转动的θ台62。 

如图13所示，3个压力传动装置54分别被设在第1支撑台52的3个角部，用3点支撑第2支撑台56。模具部50中，根据压力传感58的输出值控制各压力传动装置54运转，第2支撑台56、第1支撑台60及模具64的倾斜得到调整。结果，能够使模具7与第1中间模具基板80平行，能够在向模具7中充填树脂之后控制向树脂的荷重为所望压力地进行关模和转印成型。本实施方式中是3个压力传动装置的结构，但只要是适合于促进上述 平行达成及能够进行荷重控制的配置及个数，就都可以，个数并不局限于上述。 

模具7上如上述图3（a）所示，形成有凹状成型部71、接着成型部71的平坦部72、进一步接着平坦部72设置的凹状部73（图12中作了简化）。成型部71的表面（成型面）形状是与晶片透镜1中的凸透镜部11对应的负片形状。 

如图14所示，配给器32具有滴下树脂的针部33，针部33贯通XY台30。在XY台30的配给器32与模具部50对着配置的状态下，在XY台30、定盘20、Z轴移动机构300围起的区域中形成空间部406，配给器32针部33的先端置于空间部406。在该状态下减压机构410工作，使空间部406处于减压状态。 

图14中的其他结构与图10的相同，对同样的结构部分标相同的符号，省略说明。 

具有上述结构的制造装置10备有控制装置500。控制装置500上连接着配给器32、激光测长器34、显微镜36、光源44、模具部50（压力传动装置54、压力传感58、θ台62等）、X轴移动机构100、Y轴移动机构200、Z轴移动机构300、空气滑行导向机构120、130、230、240、320、减压机构410等，控制装置500接受上述部件的检测结果，控制它们的动作（工作、停止等）。 

在上述制造装置10制造第2中间模具9时，可以将模具7换为第1中间模具8，将第1中间模具基板80换为第2中间模具基板90。另外，制造晶片透镜1时，可以将模具7换为第2中间模具9，将第2中间模具基板90换为晶片透镜用玻璃基板2。 

接下去参照图16、17，对上述制造装置10的动作作说明。这里也是举例说明从模具7制造第1中间模具8的情况（第1中间模具制造工序）。 

首先，在XY台30上设置第1中间模具基板80（晶片装载工序S1），用盖部42盖住XY台30的贯通孔40（请参照图10）。在第1中间模具基板80的下面上预先形成上述凹部85。 

然后控制X轴移动机构100（线性马达110）、Y轴移动机构 200（线性马达220）、空气滑行导向机构120、130、230、240等，使XY台30在X轴方向及Y轴方向通过空气滑行移动进行位置对准，使配给器32位于模具7上方（预对准工序S2）。 

此时，定盘20的所定位置上事先标有对准标志，在预对准工序中，边用显微镜36确认该对准标志，边进行配给器32的位置对准。 

进行配给器32的位置对准后，至少使空气滑行导向机构130的动作停止使进入XY台30与定盘20密贴的状态，从配给器32针部33向模具部50的模具7上滴下所定量的树脂84A（配给工序S3，请参照图3（a）、图14）。 

此时，如图17实线部分所示，控制减压机构410，对空间部406进行减压。减压是指使空间部406基本上为真空状态，具体则是使达到10-2MPa以下。 

通过在减压状态下进行配给工序S3处理，这样能够防止气泡混入树脂84A内。 

本实施方式中，使从配给工序S3到脱模工序S7基本上处于减压状态，减压的定义如上所述。 

然后控制X轴移动机构100（线性马达110）、Y轴移动机构200（线性马达220）、空气滑行导向机构120、130、230、240等，使XY台30在X轴方向及Y轴方向通过空气滑行移动进行位置对准，使预先设置的第1中间模具基板80位于模具部50的模具7上方（对准工序S4，请参照图10）。 

然后， 

（1）如图18所示，将周知的激光测长器34配置到模具7上方，使空气滑行导向机构120、130、230、240停止工作，在其位置锁定第1中间模具基板80，使XY台30与定盘20处于密贴状态。 

同时控制空气滑行导向机构320，如图11（b）所示，例如只从喷出孔322、328喷出空气，使Z台304一部分接触Z轴导向302内壁。由此能够锁定模具部50位置（定位），并由Z台304与Z轴导向302之间的摩擦力将模具部50位置保持在一定。 

（2）然后，由激光测长器34进行3点以上的高度测定，从测定结果算出模具上面的倾斜和模具的高度位置，根据输出值（角度α的偏离值），控制压力传动装置54，使第1中间模具基板80的下面与模具7的上面相互平行。 

解除锁定状态，在模具7上方配置显微镜。使空气滑行导向机构120、130、230、240停止工作，在此位置锁定第1中间模具基板80，使XY台30与定盘20处于密贴状态。 

同时控制空气滑行导向机构320，如图11（b）所示，例如只从喷出孔322、328喷出空气，使Z台304一部分接触Z轴导向302内壁。由此锁定模具部50位置（定位），并由Z台304与Z轴导向302之间的摩擦力将模具部50位置保持在一定。 

这样，通过Z轴导向302与Z台304接触，能够相对导向保持以定出的位置和角度支撑被安装在上面的模具。于是具有下述优点：在解除锁定状态时台及模具能够顺畅动作；并且，在锁定状态时能够以调整时同样的姿势进行成型动作。 

（3）然后，用显微镜36检测模具，根据检测结果，掌握模具7的现状配置位置，根据其现实配置位置，在控制装置500中，作为轴坐标，变换预先设定好的模具7的初期位置的轴坐标。 

详细则是：用显微镜36从模具7上方至少识别2点位置，识别其一个位置为原点，另一个位置为修正点。例如事先对模具7在对角上标对准标志，识别一个对准标志为原点，另一个对准标志为修正点。本实施方式中，作为检测模具7配置位置的位置检测器一例，使用显微镜36。 

然后，算出从原点向修正点的坐标变换用直线，算出该算出的直线与预先设定的轴坐标的偏离（角度θ的偏离值），根据该偏离变换轴坐标。也就是说，在控制装置500中，预先设定模具7的平面上的配置位置作为轴坐标，对于该设定的轴坐标，掌握与用显微镜36识别算出的坐标变换用的直线的偏离，如图19所示，将预先设定的轴坐标（请参照虚线部）变换到从该偏离算出的轴坐标（请参照实线部）。由此，能够2维固定模具7与第1中间模具基板80的相对位置关系，能够相对模具7正确移动第1 中间模具基板80。 

也可以在模具部50中设使模具7转动的θ台62（请参照图12），控制θ台62使模具7旋转移动与预先设定的坐标轴对应（使偏离的轴坐标回复原位），以此代替控制装置500所作的上述轴坐标变换。 

在该状态下，对模具部50进行位置控制，使模具7相对第1中间模具基板80上升移动至所定位置，将模具7保持在所定位置（转印工序S5）。 

详细则是使Z轴移动机构（马达306）工作，向上方伸出轴308，使Z台304向上方移动。 

此时，根据马达306内藏的电位计的输出值控制马达306的动作，使Z台304移动到所定的高度位置。于是树脂84A被押到第1中间模具基板80上渐渐展开，充填到模具7的成型部71中。 

在该转印工序S5中也控制减压机构410，对空间部400减压。 

通过在减压状态下将树脂84A押到第1中间模具基板80上，这样能够防止气泡混入树脂84A内。另外，因为使空间部400为减压状态，所以，上部空间部402和下部空间部404之间没有差压，又能够防止第1中间模具基板80的翘曲和变形。 

然后将Z台304保持在设定位置，在该状态下控制光源44，对树脂84A照射光，使树脂84A固化（曝光工序S6）。 

此时因为控制减压机构410使空间部400为减压状态，所以能够防止向树脂84A的氧障碍，能够确切地使树脂84A固化。 

树脂84A固化时（树脂84A固化时或之后），如果Z台304就此被保持在所定高度位置的话，则树脂84A中产生固化收缩时第1中间模具基板80不追随其收缩，有树脂84A内部出现变形、还有成型部71对树脂84A的面形状转印不充分的可能性。 

在此使光源44点灯一定时间对树脂84A照射一定量的光，然后对模具部50进行压力控制，保持模具7对第1中间模具基板80的压力在所定压力。 

详细则是根据压力传感58的输出值，使压力传动装置54工作，使模具7移动到上方。 

然后使光源44消灯，停止对树脂84A的光照射。光照射停止后使马达306工作，使轴308缩回下方，使Z台304移动到下方。于是，与第1中间模具基板80一起从模具7脱模固化后的树脂84A（脱模工序S7）。 

此时，控制减压机构410，使空间部400处于减压状态，这样就没有大气压作用，所以容易脱模。于是，与1个模具7的成型部71对应的第1中间模具8的成型部81被形成在第1中间模具基板80上。 

然后，反复所定次数的配给工序S3、转印工序S5、曝光工序S6、脱模工序S7，在第1中间模具基板80上顺次形成更多个成型部71（请参照图1、图2），制造第1中间模具8（请参照图3（b））。 

对第1中间模具基板80形成了所定数目的成型部71之后，使空气滑行导向机构120、130、230、240、320工作，使XY台30和Z台304移动到所定位置，最终从XY台30去掉盖部42，取出第1中间模具基板80（取出工序S8）。 

如上所述制造第1中间模具8之后，接下去将上述模具7换为第1中间模具8，将第1中间模具基板80换为第2中间模具基板90，进行上述各工序S1～S8，制造第2中间模具9。进一步在制造第2中间模具9之后，将第1中间模具8换为第2中间模具9，将第2中间模具基板90换为晶片透镜用玻璃基板2，同样进行上述工序S1～S8，制造晶片透镜1。 

如上所述，根据本实施方式，在第1中间模具制造工序中，是在第1中间模具基板80的下面上的对着模具7成型部71顶部71a、平坦部72及凹状部73一部分的位置上形成凹部85，模压充填在模具7与第1中间模具基板80之间的光固化性树脂84A时，将模具7树脂部4中最接近第1中间模具基板80的平坦部72配置在凹部85内，并且不接触形成凹部85的凹面85a地设所定的间隙S1，所以，能够防止模具7与第1中间模具基板80碰撞。另外，与不在第1中间模具基板80上设凹部85的情况相比，能够使模具7接近第1中间模具基板80，能够避免不必要地加厚第1中间模具8的成型 部81及周边部87等树脂部84，使第1中间模具8小型化。使用这样的第1中间模具8制造的晶片透镜1也能够实现小型化。 

［第2实施方式］ 

第2实施方式与第1实施方式不同，是晶片透镜的玻璃基板上也设有凹部的情况。 

图20是晶片透镜1B的光学面为凸形状的情况，在玻璃基板2B下面上面临凸透镜部11B、接着该凸透镜部11B的平坦部12B及凸状部13B一部分的位置上形成凹部15B。也就是说，使得在平行于凸透镜部11B光轴的方向将整个凸透镜部11B投影到基板2B上时的区域（投影区域）以及将整个平坦部12B投影到基板2B上时的区域（投影区域）纳入凹部15B内，平坦部12B被配置、并与形成凹部15B的凹面15aB之间设有所定的间隙。 

而图21是晶片透镜1C的光学面为凹形状的情况，在玻璃基板2C下面上面临凹透镜部11C的位置上形成凹部15C。凹部15C内，与上述相同，使得在平行于凹透镜部11C光轴的方向将整个凹透镜部11C投影到基板2B上时的区域（投影区域）纳入凹部15C内，并且，使凹透镜部11C的顶部不接触形成凹部15C的凹面15aC地设有所定的间隙。 

通过如此在晶片透镜1B、1C的玻璃基板2B、2C上设凹部15B、15C，能够使树脂部4B、4C距离玻璃基板2B、2C下面的高度Hb、Hc比第1实施方式的树脂部4的高度Ha（请参照图5（b））低，能够进一步实现晶片透镜1B、1C的小型化。另外不减薄玻璃基板整体的厚度，在玻璃基板2B、2C的一部分上设凹部15B、15C，这样既能够确保必要的玻璃基板2B、2C的强度，又能够达成小型化。 

另外，具有形成在凸透镜部11B或凹透镜部11C周围的平坦部12B、12C时，通过使从光轴平行方向投影所述凸透镜部11B或凹透镜部11C整体时的区域纳入基板2B、2C的凹部15B、15C内，这样与透镜部一部分越出凹部的结构相比，如后面将要叙述的那样，透镜部11D固化时能够较宽广地形成从周围向透镜部11D供给树脂的供给口，所以不易发生沉陷。这一点在构成凸透镜部时尤其显著。 

［第3实施方式］ 

第3实施方式如图22所示，与第2实施方式的图20相同，是在晶片透镜1D的玻璃基板2D上设凹部15D的情况，凸状部13D的高度Hd与第2实施方式的凸状部13B的高度Hb相等，但是，使平坦部12D的厚度Hd1比第2实施方式的平坦部12B的厚度Hb1厚。此时，在从第2中间模具9固化、制作凸状部13D时，一旦照射紫外线凸透镜部11D开始固化，则树脂经由平坦部12D从周围按箭头X所示被补充，所以不易发生沉陷。 

而图23与图22相比，除了去掉玻璃基板2D的凹部15D之外，其他相同。此时，如果平坦部12E的厚度特别薄的话平坦部12E会先固化，所以凸折射透镜部11E固化时容易产生沉陷。 

［第4实施方式］ 

第4实施方式如图24所示，是在从第2中间模具9F成型镜片透镜1F时，在第2中间模具9F的树脂部94F中添加了紫外线吸收剂。另外第4实施方式中是从第2中间模具9F一侧进行光照射。因此，晶片透镜1F树脂部4F的平坦部12F是通过穿过第2中间模具9F树脂部94F厚层的紫外线而固化的，由于用弱紫外线照射，所以固化时间长。而凸透镜部11F顶部和凸状部13F顶部却因为第2中间模具9F的树脂部94F薄，紫外线几乎没有降低，所以固化开始得快。因此，到凸折射透镜部11F和凸状部13F的几乎全区域固化结束，平坦部12F也不固化，能够防止沉陷。 

［第5实施方式］ 

以下说明第5实施方式。 

如图1、图2所示，晶片透镜1备有圆形玻璃基板2和形成在玻璃基板2一面上的树脂部4。 

如图27（c）所示，树脂部4具有为凸状光学面的凸透镜部11、在凸透镜部11周边接着凸透镜部11形成的环状平坦突缘部912、接着突缘部912形成的凹部913。相互邻接的凸透镜部11、11之间配置着突缘部912及凹部913。 

优选凸透镜部11是折射透镜，但并不一定局限于此，也可以形成光学面表面衍射槽和台阶等微细构造。 

优选凸透镜部11间的间距在10μm～5mm左右。为了减轻切割成片时对刀刃的负担，凹部913宽M（请参照图25（a））比后述切割成片时的切割宽m（通常为0.2～0.3mm，请参照图27（c））宽，优选在30μm～1mm程度。 

树脂部4由光固化性树脂形成。作为该光固化性树脂，可以采用例如丙烯树脂、烯丙酯树脂等，这些树脂可以通过原子团聚合反应固化。 

如图25～图27所示，晶片透镜1通过下述成型：从具有与凸透镜部11光学面对应的负片形状（凹状）透镜成型部971的阵列主模7，成型具有正片形状（凸形状）透镜成型部981的第1中间模具8，从第1中间模具8成型具有负片形状（凹形状）成型部91的第2中间模具9，用成型的第2中间模具9成型晶片透镜1。本实施方式中，用第2中间模具9单位对一张大径玻璃基板2依次形成树脂部4（凸透镜部11及突缘部912）（请参照图1、图2箭头），最终按每个凸透镜部11及突缘部912切割玻璃基板2进行单个化。 

图1、图2表示制造工序的中途阶段，所以只在玻璃基板2表面的一部分上形成了树脂部4。由于图示的关系，图1、图2中的树脂部4形状是图27（c）所示的简略。 

接下去对制造晶片透镜1的方法作说明。 

中间模具制造工序

图25（a）～（d）表示从阵列主模7（以下称之为模具7）成型第1中间模具8的方法。如图25（a）所示，模具7备有：形成第1中间模具8透镜成型部981的凹状透镜成型部971；在透镜成型部971周边接着透镜成型部971形成的环状平坦突缘成型部972；接着突缘成型部972形成的位于邻接的透镜成型部971、71之间的凹部973。形成凹部973的内壁面（侧面）是高低差面73a，高低差面73a是略垂直于突缘成型部972的面。 

作为模具7材料，优选金属或金属玻璃。 

另外，优选事先在突缘成型部972和高低差面73a上涂布脱模剂，提高与配给树脂84A的脱模性。本发明中，通过最初在模具7的突缘成型部972及高低差面73a表面涂布脱模剂提高脱模性。此 时，优选的方法是在该突缘成型部972及高低差面73a表面进行表面改质处理之后，涂布所定脱模剂提高脱模性。具体则是在模具7表面立羟基。表面改质方法可以是UV臭氧洗涤、氧等离子灰化等在模具7表面立羟基的任何方法。作为脱模剂，可以举出像硅烷耦合剂构造那样、具有在末端结合了加水分解可能官能团的材料、即与存在于金属表面的羟基之间发生脱水缩合或氢结合等进行结合之构造的物质。末端持硅烷耦合构造、他端持脱模性功能之脱模剂的场合，模具7表面越形成羟基，模具7表面的共有结合处越增加，能够更强固结合。这样，多次成型脱模效果也不降低，耐久性提高。另外，因为不需要打底涂料（底层SiO2涂层等），所以能够保持薄膜得到耐久性提高的效果。 

如图25（b）所示，在第1中间模具基板80的第1位置与模具7的多个透镜成型部971之间分别配给树脂84A（配给工序）。在模具7的多个透镜成型部971内分别配给树脂84A。使树脂84A的配给容量大于在第1中间模具基板80与模具7的各透镜成型部971及凸缘成型部972之间形成的形成空间体积T1（请参照图25（c））。详细则配给成：使树脂84A固化时形成第1中间模具基板80的下面与固化的树脂84A（高低差面83a）所成的角度θ1（请参照图25（d））为30°～45°的锥形。 

另外，在模具7上方吸引、固定为玻璃基板的第1中间模具基板80。作为在第1中间模具基板80下面上提高树脂84A湿润性的处理，优选实施等离子、UV臭氧处理。 

然后如图25（c）所示，使模具7向配置在上方的第1中间模具基板80上升，将树脂84A压到第1中间模具基板80（转印工序）。此时，在第1中间模具基板80的下面与模具7突缘成型部972之间设有一定的间隙S1地使模具7停止，防止第1中间模具基板80的下面与模具7突缘成型部972碰撞。 

然后就此保持模具7的高度位置，从第1中间模具基板80上方对充填在透镜成型部971中的树脂84A照光，使树脂部84A光固化（曝光工序）。光照射之后使模具7下降，从模具7脱模树脂84A（脱模工序）。由此如图25（d）所示，在第1中间模具基板80下面的 第1位置上，形成由凹部983划分的多组透镜成型部981及突缘成型部982。 

透镜成型部981是与晶片透镜1凸透镜部11光学面形状对应的正片形状，呈凸状。突缘成型部982在透镜成型部981周边接着透镜成型部981，是呈环状的平坦面。凹部983接着突缘成型部982形成在透镜成型部981、981之间。形成凹部983的内壁面（侧面）是高低差面83a，通过上述模具7的突缘成型部972及高低差面73a的脱模处理的湿润性，以及使配给容量多于第1中间模具基板80与所述模具7的各透镜成型部971及突缘成型部972之间形成的形成空间体积T1地进行配给，形成从模具7向第1中间模具基板80展开的高低差面83a，即高低差面83a呈锥形。该低差面83a与第1中间模具基板80下面所成的角度θ1为30°～45°。 

然后使用模具7，对没有图示的不同于第1中间模具基板80第1位置的第2位置，如上所述进行配给工序、转印工序、固化工序、脱模工序，形成多组透镜成型部981及突缘成型部982。 

这样，多次使用模具7，对大径第1中间模具基板80依次形成透镜成型部981及突缘成型部982，形成所定数目的透镜成型部981及突缘成型部982，由此制成第1中间模具8。 

转印模具制造工序

图26（a）～（c）所示表示从第1中间模具8成型第2中间模具9的方法。如图26（a）所示，在为玻璃基板的第2中间模具基板90的第1位置与第1中间模具8的多个透镜成型部981之间分别配给树脂94A（配给工序）。这里是在第2中间模具基板90的上面对着透镜成型部981的部位上分别配给。此时，也使树脂94A的配给容量是大于第2中间模具基板90与第1中间模具8的各透镜成型部981及突缘成型部982之间形成的形成空间体积T2（请参照图26（b））的容量。 

并且，优选事先在突缘成型部982和高低差面83a上涂布脱模剂提高与树脂94A的脱模性。进一步优选涂布脱模剂时进行突缘成型部982及高低差面83a的表面改质。 

另外，将第1中间模具8吸引、固定在第2中间模具基板90的 上方。 

然后如图26（b）所示，使第2中间模具基板90向配置在上方的第1中间模具8上升，将树脂94A压到第1中间模具8（转印工序）。此时，在第1中间模具8的透镜成型部981与第2中间模具基板90的上面之间设有一定间隙S2地使第2中间模具基板90停止，防止第1中间模具8的透镜成型部981与第2中间模具基板90的上面碰撞。 

然后就此保持第2中间模具基板90的高度位置，从第2中间模具基板90上方对充填在透镜成型部981中的树脂94A照光，使树脂部94A光固化（曝光工序）。光照射之后使第2中间模具基板90下降，从第1中间模具8脱模树脂94A（脱模工序）。由此如图26（c）所示，在第1中间模具基板90下面的第1位置上形成由凸部993划分的多组透镜成型部991及突缘成型部992。 

透镜成型部991是与晶片透镜1凸透镜部11光学面形状对应的负片形状，呈凹状。突缘成型部992在透镜成型部991周边接着透镜成型部991，是呈环状的平坦面。凸部993接着突缘成型部992形成在透镜成型部991、991之间。 

然后使用第1中间模具8，对没有图示的不同于第2中间模具基板90第1位置的第2位置，如上所述进行配给工序、转印工序、固化工序、脱模工序，形成多组透镜成型部991及突缘成型部992。 

这样，多次使用第1中间模具8，对大径第2中间模具基板90依次形成透镜成型部991及突缘成型部992，形成所定数目的透镜成型部991及突缘成型部992，由此制成第2中间模具9。 

晶片透镜制造工序

图27（a）～（c）所示表示从第2中间模具9成型晶片透镜1的方法。如图27（a）所示，在玻璃基板2的第1位置与第2中间模具9的多个透镜成型部991之间分别配给树脂4A（配给工序）。这里是在第2中间模具9的透镜成型部991内分别配给。此时，也使树脂4A的配给容量是大于玻璃基板2与第2中间模具9各透镜成型部991及突缘成型部992之间形成的形成空间体积T3（请参照图27（b））的容量。 

并且，优选事先在突缘成型部992和高低差面93a上涂布脱模 剂提高与树脂4A的脱模性。进一步优选涂布脱模剂时进行突缘成型部992及高低差面93a的表面改质。 

另外，将晶片透镜用玻璃基板2吸引、固定在第2中间模具9的上方。 

然后如图27（b）所示，使第2中间模具9向配置在上方的玻璃基板2上升，将树脂4A压到玻璃基板2（转印工序）。此时，在玻璃基板2的下面与第2中间模具9的凸状部993之间设有一定间隙S3地使第2中间模具9停止，防止玻璃基板2的下面与第2中间模具9的凸状部993碰撞。 

然后就此保持第2中间模具9的高度位置，从玻璃基板2上方对充填在透镜成型部991中的树脂4A照光，使树脂部4A光固化（曝光工序）。光照射之后使第2中间模具9下降，从第2中间模具9脱模树脂4A（脱模工序）。由此如图27（c）所示，在玻璃基板2的第1位置上形成由凹部913划分的多组凸透镜部11及突缘部912。 

然后使用第2中间模具9，对没有图示的不同于玻璃基板2第1位置的第2位置，如上所述进行配给工序、转印工序、固化工序、脱模工序，形成多组凸透镜部11及突缘部912。 

这样，多次使用第2中间模具9，对大径玻璃基板2依次形成凸透镜部11及突缘部912，形成所定数目的凸透镜部11及突缘部912，由此制成晶片透镜1。 

最后在凹部913位置切割玻璃基板2成片，由此按每1组凸透镜部11及凸缘部912进行单片化（切割成片工序）。 

如上所述，制造第1中间模具8之后，将上述模具7换成第2中间模具基板90，将第1中间模具基板80换成第1中间模具8，进行上述各工序S1～S8，由此制造第2中间模具。进一步在制造第2中间模具9之后，将第1中间模具8换成晶片透镜用玻璃基板2，将第2中间模具基板90换成第2中间模具9，同样进行上述工序S1～S8，由此制造晶片透镜1。 

如上所述，根据本实施方式，因为在模具7的各突缘成型部972及高低差面73a上实施了脱模处理，所以，容易从固化后的树脂84A脱模模具7。 

另外，在制造第1中间模具8时的配给工序中，配给到第1中间模具基板80与模具7的各透镜成型部971及突缘成型部972之间的树脂84A的配给容量，大于第1中间模具基板80与模具7的各透镜成型部971及突缘成型部972之间形成的形成空间体积T1。使树脂84A的配给容量小于形成空间体积T1时，树脂84A固化时由于收缩而容易出现沉陷，得到的第1中间模具8变形，结果，使用第1中间模具8制造以后的第2中间模具9和晶片透镜1等的话会影响它们的形状，而本发明中通过使配给容量大于形成空间体积T1来防止上述问题，能够制造形状良好的第1中间模具8。这样，也能够良好从第1中间模具8成型的第2中间模具9以及晶片透镜1的形状。 

另外，因为模具7由凹部973划分成多组透镜成型部971及突缘成型部972，在突缘成型部972与凹部973之间具有高低差面73a，所以，树脂84A固化为向第1中间模具基板80一侧展开的锥形状。因此，能够防止配给在相邻透镜成型部971、71内的树脂84A之间相连、固化。而且树脂84A向第1中间模具基板80一侧展开，固化成锥形，所以对模具7的脱模性良好。 

并且，即使是配给容量过多、与邻接的透镜成型部971内的树脂84A连着固化时，也能够经凹部973排气。也就是说，没有凹部973时邻接的透镜成型部971、71内的树脂84A之间有时完全连上，但现在能够防止这种现象。 

并且，通过在模具7上设凹部973，晶片透镜1上与模具7凹部973对应的部位（凹部913）厚度变薄，容易切割成片。 

在制造第1中间模具8时的配给工序中，是使树脂84A固化时形成第1中间模具基板80的下面与固化后的树脂84A所成的角度为30°～45°的锥形形状地进行配给的，所以，固化后的树脂84A与模具7的脱模性优异。 

并且，因为模具7上形成的凹部973的宽M宽于切割宽m，所以，不会在晶片透镜1的突缘部912位置切割，能够得到所望大小的晶片透镜1。 

在制造第1中间模具8时的配给工序中，优选树脂84A被配给 的一侧是成型模具（模具7）与基板（第1中间模具基板80）中的成型模具一侧。 

配给在基板一侧时，基板通常是用玻璃基板，但玻璃基板的湿润性为了避免产生切割不足而必需比模具良好，在湿润性良好的玻璃基板上配给树脂的话，树脂延展与邻接的树脂结合，模压成型模具时有流入不要部分的危险，另外延展变薄的树脂在成型凸面形状时有时树脂到达不了光学面中心的高度而出现气泡。另外，湿润性良好的玻璃基板时配给的树脂垂延成平面，难以制作厚度厚的透镜形状，即形成的透镜形成受到制约，存在不利点。 

如上所述，因为将树脂84A配给在模具7上，所以，与在第1中间模具基板80上配给树脂84A的情况相比，形成的透镜形状的制约以及配给的树脂的粘度制约也少，也不易出现如上所述不要的树脂延到成型模具周围和气泡问题。 

这意味着在铅直上侧配置基板、在下侧配置成型模具的情况时更优选。 

本发明并不局限于上述实施方式，在不逸出其要旨的范围可以有适宜的变更。 

符合说明 

1，1Ｂ  晶片透镜 

2，2Ｂ  玻璃基板 

4  树脂部 

4Ａ  树脂 

11，11Ｂ  凸透镜部 

11Ｃ  凹透镜部 

11Ｄ，11Ｅ，11Ｆ  凸折射透镜部 

11ａ  顶部 

12，12Ｂ  平坦部 

13，13Ｂ  凸状部 

15Ｂ  凹部 

17  周边部 

7  模具 

71  成型部 

71ａ  顶部 

72  平坦部 

73  凹状部 

77  周边部 

8  第1中间模具 

80  第1中间模具基板 

81  成型部 

82  平坦部 

83  凸状部 

84  树脂部 

84Ａ  树脂 

85  凹部 

85ａ  凹面 

86  槽部 

87  周边部 

9，9Ｆ  第2中间模具 

90  第2中间模具基板 

91  成型部 

92  平坦部 

93  凸状部 

94，94Ｆ  树脂部 

94Ａ  树脂 

96  凹状部 

97  周边部 

Claims (16)

1.一种在基板的至少一面上设多个光固化性树脂透镜部的晶片透镜的制造方法，晶片透镜制造方法的特征在于，

该制造方法备有下述各工序：

第1中间模具制造工序，在具有与所述透镜部光学面形状对应的负片形状的成型部的模具与第1中间模具基板之间充填、模压光固化性树脂，用光照射使之固化，由此制造具有与所述光学部件光学面形状对应的正片形状的透镜部的第1中间模具，该第1中间模具制造工序包括下述各副工序ｉ)～vii)：ｉ)准备第1中间模具基板；ii)在所述模具中配给光固化性树脂，将所述第1中间模具基板表面一部分的第1区域压到所述模具，由此将光固化性树脂充填到所述模具的成型部内；iii)对所述充填的光固化性树脂照射光促使固化；iv)所述固化之后从光固化性树脂脱模所述模具；ｖ)在脱模后的模具中配给光固化性树脂，将第1中间模具基板表面上与所述第1区域持所定间隔配置的第2区域压到所述模具，由此将光固化性树脂充填到所述模具的成型部内；vi)对所述充填的光固化性树脂照射光促使固化；vii)所述固化之后从光固化性树脂脱模所述模具；

第2中间模具制造工序，在由所述第1中间模具制造工序得到的第1中间模具与不同于所述第1中间模具的第2中间模具基板之间充填、模压光固化性树脂，用光照射使之固化，由此制造具有与所述透镜部光学面形状对应的负片形状的成型部的第2中间模具；

晶片透镜制造工序，在所述第2中间模具与所述基板之间充填、模压光固化性树脂，用光照射使之固化，由此制造备有多个所述透镜部的晶片透镜；

在所述第1中间模具基板的对着所述模具的面上形成凹部，其中配置所述模具的所述成型部的顶部、或接着所述成型部的周边部的至少接近所述第1中间模具基板的部分，

在模压充填在所述模具与所述第1中间模具基板之间的光固化性树脂时，在所述凹部内配置所述模具的所述顶部或所述周边部的至少接近所述第1中间模具基板的部分，并设所定间隙，使之不接触形成所述凹部的凹面。

2.如权利要求1中记载的镜片透镜的制造方法，其特征在于，

在所述晶片透镜的制造工序中，在所述基板的对着所述第2中间模具的面上形成凹部，其中配置所述第2中间模具的所述成型部的顶部或接着所述成型部的周边部的至少接近所述基板的部分，

在模压充填在所述第2中间模具与所述基板之间的光固化性树脂时，在所述凹部内配置所述第2中间模具的顶部以及所述周边部的至少接近所述基板的部分，并设所定间隙，使之不接触形成所述凹部的凹面。

3.如权利要求1或2中记载的镜片透镜的制造方法，其特征在于，使所述第2中间模具的所述成型部以及接着所述成型部的周边部中，含有使所述光学部件的所述光固化性树脂固化的具有特定波长吸收作用的物质。

4.一种中间模具，被用于制造在基板的至少一面上设光固化性树脂光学部件的晶片透镜，具有：中间模具基板；设在所述中间模具基板上的与所述光学部件的光学面形状对应的正片形状或负片形状的成型部；中间模具的特征在于，

所述中间模具基板上形成了凹部，其中配置所述成型部的顶部或接着所述成型部的周边部的至少接近所述中间模具基板的部分，

在所述凹部内配置所述成型部的所述顶部或所述周边部的至少接近所述中间模具基板的部分，并设所定的间隙，使之不接触形成所述凹部的凹面。

5.如权利要求4中记载的中间模具，其特征在于，使所述成型部以及接着所述成型部的所述周边部中，含有使所述光学部件的所述光固化性树脂固化的具有特定波长吸收作用的物质。

6.一种形成了树脂成型部的光学部件，包括：基板；一部分在所述基板至少一面上固化光固化性树脂得到的凹或凸的折射透镜部；光学部件的特征在于，

在所述基板的至少一面上设凹部，所述树脂成型部至少在该基板的形成了凹部的一面上备有所述凹或凸的折射透镜部、形成在该折射透镜部的周围且接着该折射透镜部的树脂平坦部以及凸状部，所述凹部位于面临折射透镜部、树脂平坦部以及凸状部的一部分的位置上，使所述折射透镜部在从平行于光轴的方向向所述基板投影该折射透镜部时的区域纳入所述基板的凹部内。

7.如权利要求6中记载的光学部件，其特征在于，所述折射透镜部是凸的折射透镜部，所述树脂成型部中，所述凸状部在所述树脂平坦部的周围，是比折射透镜部光轴方向的最高位置还要突出的成型部。

8.如权利要求6或7中记载的光学部件，其特征在于，所述光学部件由下述得到：将形成了多个所述树脂成型部的凹或凸的折射透镜部的晶片透镜，按折射透镜部各个切断使之独立而得到。

9.一种成型模具，被用于制造在基板的至少一面上设多个光固化性树脂折射透镜部的晶片透镜，具有与所述透镜部的光学面形状对应的正片形状或负片形状的成型部，以及形成所述成型部周围的周边形成部，成型模具的特征在于，

使所述成型部以及所述周边形成部中，含有使所述光固化性树脂固化的具有特定波长吸收作用的物质。

10.一种成型模具的制造方法，是多次使用由凹部划分多组透镜成型部及接着该透镜成型部周围的突缘成型部的模具，在基板上制造固化性树脂成型模具的成型模具制造方法，其特征在于，

具有下述各工序：配给工序，在所述基板的第1位置与形成在所述模具上的多组所述透镜成型部及所述突缘成型部各个之间分别配给固化性树脂；固化工序，在所述配给工序之后固化所述模具与所述基板之间的固化性树脂；脱模工序，在所述固化工序之后从所述固化性树脂脱模所述模具；配给工序，在不同于所述基板第1位置的第2位置与形成在所述模具上的多组所述透镜成型部及所述突缘成型部各个之间分别配给固化性树脂；固化工序，在所述配给工序之后固化所述模具与所述基板之间的固化性树脂；脱模工序，在所述固化工序之后从所述固化性树脂脱模所述模具；

在所述模具的各突缘成型部以及接着该突缘成型部设有的形成所述凹部的高低差面上实施脱模处理，

并且，在所述配给工序中，被配给到所述基板与所述模具的各透镜成型部及突缘成型部之间的固化性树脂的配给容量，大于在所述基板与所述模具的各透镜成型部及突缘成型部之间形成的形成空间体积。

11.如权利要求10中记载的成型模具的制造方法，其特征在于，在所述配给工序中按下述进行配给：使所述固化性树脂在固化时，以向所述基板对着所述模具的面展开的锥形形状，与所述对着面所成的角度为30°～45°。

12.如权利要求10或11中记载的成型模具的制造方法，其特征在于，

备有切割成片工序，在所述脱模工序之后，在固化后的固化性树脂的与所述模具的所述凹部对应的位置上分别切割所述基板，

形成在所述模具上的所述凹部的宽，比所述切割成片工序中的切割宽宽。

13.如权利要求10或11中记载的成型模具的制造方法，其特征在于，所述配给工序中，是在所述模具上配给所述固化性树脂。

14.如权利要求12中记载的成型模具的制造方法，其特征在于，所述配给工序中，是在所述模具上配给所述固化性树脂。

15.如权利要求13中记载的成型模具的制造方法，其特征在于，所述模具被配置在所述基板的铅直下侧。

16.如权利要求14中记载的成型模具的制造方法，其特征在于，所述模具被配置在所述基板的铅直下侧。