JP5056131B2 - インプリント用金型及びこれを備えたインプリント装置 - Google Patents
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Description
2:金型本体
2a:微細形状のパターン領域
2b:凹溝
3:金型ホルダー
3a、3b:接点収容室
3c:支持面
3d:溝
3e:供給路
4:電気抵抗部
4a、4b:接点部
40:発熱体ペースト
5:電気的絶縁層
6a、6b:接点
7a、7b:付勢ばね
8:固定部材
9:取付けビス
9a:ビス穴
10:金型装着部
11:樹脂
12:ステージ
S:スキージ
Claims (9)
- 金型本体と、該金型本体の裏面側を支持する金型ホルダーとを有し、前記金型本体を昇降温させることにより該金型本体の表面に形成されたパターンを樹脂に転写するインプリント用金型において、
前記金型本体の裏面に、昇温用の電気抵抗部が埋設されており、
前記金型ホルダーに、前記金型本体の裏面との間で降温用の冷却用空気の流路を形成する溝が形成されていると共に、該溝内に冷却用空気を供給するための供給路が貫通形成されていることを特徴とするインプリント用金型。 - 前記電気抵抗部は、前記金型本体の裏面と略同一面になるように埋設されていることを特徴とする請求項1記載のインプリント用金型。
- 前記電気抵抗部は、前記金型本体の表面に形成されたパターンの領域に対応する位置に埋設されていることを特徴とする請求項1又は2記載のインプリント用金型。
- 前記金型ホルダーに、前記金型本体の前記電気抵抗部と当接して通電を行うための接点が設けられていることを特徴とする請求項1、2又は3記載のインプリント用金型。
- 前記供給路は、前記金型本体の表面に形成されたパターンの領域に対応する裏面に向けて開口していることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のインプリント用金型。
- 前記電気抵抗部と前記金型本体との間に、電気的絶縁層を設けたことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のインプリント用金型。
- 前記金型本体において前記電気抵抗部が埋設される溝内面は、円弧形状であることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のインプリント用金型。
- 前記電気抵抗部は、PtもしくはPt系合金であることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載のインプリント用金型。
- 請求項1〜8のいずれかに記載のインプリント用金型を備えることを特徴とするインプリント装置。
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