JP5881098B2 - サーマルヘッドの製造方法 - Google Patents
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本発明は、透明なガラス材料からなる支持基板、および、透明なガラス材料からなる上板基板の少なくとも一方の一面に開口する凹部を形成する凹部形成工程と、前記支持基板と前記上板基板とを板厚方向に配し、前記凹部の開口を閉塞して空洞部を形成するように前記支持基板と前記上板基板とを積層状態に接合する接合工程と、該接合工程により前記支持基板に接合された前記上板基板における前記空洞部に対して板厚方向に配される空洞部対面領域の厚さ寸法を測定する板厚測定工程と、該板厚測定工程により測定された前記厚さ寸法が所定の基準値を超えている場合に、前記上板基板の空洞部対面領域における前記支持基板側の表面にフェムト秒レーザを照射し、前記所定の基準値を満たすように、前記上板基板の空洞部対面領域の厚さを調整する板厚調整工程と、前記支持基板に接合された前記上板基板の表面における前記空洞部に対向する領域に発熱抵抗体を形成する抵抗体形成工程とを含むサーマルヘッドの製造方法を提供する。
このように構成することで、板厚調整工程を施す前に、支持基板に接合された上板基板上に発熱抵抗体や電極等を形成した場合であっても、板厚調整工程において、これら発熱抵抗体や電極にフェムト秒レーザを照射することなく、上板基板の空洞部対面領域の支持基板側表面にフェムト秒レーザを照射してその領域の厚さ寸法を調整することができる。
本実施形態に係るサーマルヘッドの製造方法は、例えば、図1に示すように、サーマルプリンタ(図示略)に用いられるサーマルヘッド10を製造するようになっている。本実施形態においては、図2および図3に示すような大判の支持基板12および上板基板14から複数のサーマルヘッド10を製造する方法について説明する。
以下、各工程について具体的に説明する。
発熱抵抗体15および電極部17A,17Bを形成する順序は任意である。発熱抵抗体15および電極部17A,17Bにおけるリフトオフもしくはエッチングのためのレジスト材のパターニングでは、フォトマスクを用いてフォトレジスト材をパターンニングする。
個別電極17Aに選択的に電圧を印加すると、選択された個別電極17Aとこれに対向する共通電極17Bとが接続されている発熱抵抗体15に電流が流れて発熱する。発熱抵抗体15において発生した熱は、保護膜19側へ伝達されて印字等に利用される一方、一部が上板基板14を介して支持基板12側に伝達される。
12 支持基板
14 上板基板
15 発熱抵抗体
17A,17B 電極(電極部)
21 凹部
23 空洞部
31 空洞部対面領域
SA1 凹部形成工程
SA2 接合工程
SA3 薄板化工程
SA4 板厚測定工程
SA5 板厚調整工程
Claims (4)
- 透明なガラス材料からなる支持基板、および、透明なガラス材料からなる上板基板の少なくとも一方の一面に開口する凹部を形成する凹部形成工程と、
前記支持基板と前記上板基板とを板厚方向に配し、前記凹部の開口を閉塞して空洞部を形成するように前記支持基板と前記上板基板とを積層状態に接合する接合工程と、
該接合工程により前記支持基板に接合された前記上板基板における前記空洞部に対して板厚方向に配される空洞部対面領域の厚さ寸法を測定する板厚測定工程と、
該板厚測定工程により測定された前記厚さ寸法が所定の基準値を超えている場合に、前記上板基板の空洞部対面領域における前記支持基板側の表面にフェムト秒レーザを照射し、前記所定の基準値を満たすように、前記上板基板の空洞部対面領域の厚さを調整する板厚調整工程と、
前記支持基板に接合された前記上板基板の表面における前記空洞部に対向する領域に発熱抵抗体を形成する抵抗体形成工程とを含むサーマルヘッドの製造方法。 - 前記接合工程により前記支持基板に接合された後、前記板厚測定工程により厚さ寸法が測定される前の前記上板基板の厚さを薄板化する薄板化工程を含む請求項1に記載のサーマルヘッドの製造方法。
- 前記板厚調整工程が、前記空洞部対面領域の前記支持基板側の表面に対して、前記支持基板側からフェムト秒レーザを照射する請求項1または請求項2に記載のサーマルヘッドの製造方法。
- 前記凹部形成工程が、大判の前記支持基板および前記上板基板の少なくとも一方の一表面に前記凹部を複数形成し、
前記板厚調整工程後に大判の前記上板基板および前記支持基板を個々のサーマルヘッドの領域ごとに切断する切断工程を含む請求項1から請求項3のいずれかに記載のサーマルヘッドの製造方法。
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