JP5765843B2 - サーマルヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
本発明は、支持基板の表面に凹部を形成する凹部形成工程と、前記凹部が形成された前記支持基板の表面に上板基板を積層状態に接合する接合工程と、前記支持基板に接合された前記上板基板を薄板化する薄板化工程と、薄板化された前記上板基板の厚さを測定する厚さ測定工程と、前記上板基板の厚さが所定値以上の領域を再び薄板化する再薄板化工程と、薄板化された前記上板基板の表面における前記凹部に対応する領域に発熱抵抗体を形成する発熱抵抗体形成工程とを含み、前記再薄板化工程が、1つのサーマルヘッドが形成される領域単位で前記上板基板を薄板化するサーマルヘッドの製造方法を採用する。
このようにすることで、1つのサーマルヘッド内において、上板基板の厚さ寸法が急激に変化してしまうことを防止することができる。また、これにより、大型の基板内の各サーマルヘッドの発熱効率を均一化することができ、かつ1つのサーマルヘッド内において、複数の発熱部からの発熱効率を均一化することができ、印字の濃度のばらつきを抑えることができる。
本実施形態に係るサーマルヘッド1は、例えば図1に示すようなサーマルプリンタ10に用いられており、印刷データに基づいて複数の発熱素子を選択的に駆動することによって、感熱紙12等の印刷対象物に印刷を行うものである。
放熱板15は、例えば、アルミ等の金属、樹脂、セラミックスまたはガラス等からなる板状部材であり、サーマルヘッド1の固定および放熱を目的とするものである。
サーマルヘッド1は、図3に示すように、放熱板15に固定されている平板状の支持基板3と、支持基板3の表面に接合された平板状の上板基板5と、上板基板5上に設けられた発熱抵抗体7と、発熱抵抗体7に接続された一対の電極8と、発熱抵抗体7および一対の電極8を覆い、磨耗や腐食から保護する保護膜9とを備えている。
本実施形態においては、図4および図5に示すような大型の支持基板3および上板基板5から複数のサーマルヘッド1を製造する方法について説明する。
次に、ステップS12において記録された上板基板5の厚さデータと照合し(ステップS14)、測定された厚さが所定値(例えば20μm±5μm)よりも大きな領域に対して露光・現像を行う(ステップS15:レジストマスク形成工程)。
次に、レジストマスク30を剥離して(ステップS17)、再び上板基板5の厚さを測定する(ステップS18)。
例えば、上記の実施形態においては、大型の積層基板6単位で上板基板5を薄板化加工することとしたが、個々のサーマルヘッド1ごとに上板基板5を薄板化加工することとしてもよい。このようにすることで、より高品質なサーマルヘッド1を製造することができる。また、個々のサーマルヘッド1ごとに予め切り分けられた支持基板3および上板基板5を用いて、サーマルヘッド1を個別に製造することとしてもよい。
2 凹部
3 支持基板
4 空洞部
5 上板基板
6 積層基板
7 発熱抵抗体
8 電極
9 保護膜
10 サーマルプリンタ
S1 凹部形成工程
S2 接合工程
S3 薄板化工程
S4 厚さ測定工程
S5 再薄板化工程
S6 発熱抵抗体形成工程
S7 電極形成工程
S8 保護膜形成工程
S9 切断工程
Claims (4)
- 支持基板の表面に凹部を形成する凹部形成工程と、
前記凹部が形成された前記支持基板の表面に上板基板を積層状態に接合する接合工程と、
前記支持基板に接合された前記上板基板を薄板化する薄板化工程と、
薄板化された前記上板基板の厚さを測定する厚さ測定工程と、
前記上板基板の厚さが所定値以上の領域を再び薄板化する再薄板化工程と、
薄板化された前記上板基板の表面における前記凹部に対応する領域に発熱抵抗体を形成する発熱抵抗体形成工程とを含み、
前記再薄板化工程が、1つのサーマルヘッドが形成される領域単位で前記上板基板を薄板化するサーマルヘッドの製造方法。 - 前記再薄板化工程が、
前記厚さ測定工程により測定された厚さが所定値以下の領域に対して、前記1つのサーマルヘッドが形成される領域単位でレジストマスクを形成するレジストマスク形成工程と、
前記レジストマスクが形成された前記上板基板にエッチング処理を行うエッチング処理工程とを含む請求項1に記載のサーマルヘッドの製造方法。 - 前記レジストマスク形成工程が、前記上板基板にポジ型のレジストを塗布した上で、前記上板基板の厚さが前記所定値よりも大きな領域を露光することで、前記所定値以下の領域に対してレジストマスクを形成する請求項2に記載のサーマルヘッドの製造方法。
- 前記レジストマスク形成工程が、前記上板基板にネガ型のレジストを塗布した上で、前記上板基板の厚さが前記所定値以下の領域を露光することで、前記所定値以下の領域に対してレジストマスクを形成する請求項2に記載のサーマルヘッドの製造方法。
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