JP2009149022A - 発熱抵抗素子部品およびサーマルプリンタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】支持基板2と、該支持基板2の表面側に配置された絶縁被膜3と、該絶縁被膜3の上に間隔をあけて配列された複数の発熱抵抗体4と、該発熱抵抗体4の一端に接続される共通配線5aと、前記発熱抵抗体4の他端に接続される個別配線5bとを備え、前記支持基板2の表面で、かつ、前記発熱抵抗体4の発熱部に対向する領域に凹部8が設けられているとともに、前記絶縁被膜3が、前記凹部8に対応した領域のみに設けられており、その他の領域には設けられていない。
【選択図】図2
Description
発熱抵抗素子部品の高効率化においては、発熱抵抗体の下層に断熱層を形成する方法がある(例えば、特許文献1参照。)。発熱抵抗体で発生した熱量のうち、発熱抵抗体上方の耐摩耗層に伝達される上方伝達熱量の方が発熱抵抗体下方の絶縁基板に伝達される下方伝達熱量よりも大きくなるので、印字時に必要とされるエネルギー効率が良好となる。
本発明に係る発熱抵抗素子部品は、支持基板と、該支持基板の表面側に配置された絶縁被膜と、該絶縁被膜の上に間隔をあけて配列された複数の発熱抵抗体と、該発熱抵抗体の一端に接続される共通配線と、前記発熱抵抗体の他端に接続される個別配線とを備え、前記支持基板の表面で、かつ、前記発熱抵抗体の発熱部に対向する領域に凹部が設けられているとともに、前記絶縁被膜が、前記凹部に対応した領域のみに設けられており、その他の領域には設けられていない。
さらに、絶縁被膜は、支持基板の側から発熱抵抗体の側に向かって先細となる断面視略台形状を呈しているので、印刷時における押圧力を増加させることができて、紙当たりを向上させることができる。
図1は本実施形態に係る発熱抵抗素子部品であるサーマルヘッドの平面図であり、保護膜を取り除いた状態を示す図、図2は図1のII−II矢視断面図、図3(a)〜図3(c)は図1のII−II矢視断面図であって、本実施形態に係る発熱抵抗素子部品であるサーマルヘッドの製造方法を説明するための工程図である。
図2に示すように、サーマルヘッド1は、支持基板(以下、「基板」という。)2と、基板2の上に形成されたアンダーコート(絶縁被膜)3とを備えている。また、図1および図2に示すように、アンダーコート3の上には複数の発熱抵抗体4が一方向に間隔をあけて形成され(配列され)、発熱抵抗体4には配線5が接続されている。配線5は、発熱抵抗体4の配列方向に直交する方向(以下、「印刷対象物送り方向」という。)の一端に接続される共通配線5aと、他端に接続される個別配線5bとから構成されている。さらに、図2に示すように、サーマルヘッド1は、発熱抵抗体4および配線5の上面を被覆する保護膜6を備えている。
なお、発熱抵抗体4が実際に発熱する部分(以下、「発熱部」という。)は、配線5と重ならない部分である。
凹部8は発熱抵抗体4毎に空洞部(中空断熱層)7を形成するように設けられており、凹部8と凹部8との間はドット間隔壁9で隔てられている(仕切られている)。そして、凹部8の底面(基板2の表面に平行な面)および壁面(基板2の表面と直交する面)と、アンダーコート3の裏面(図2において下側の面)とで形成される(密閉される)空間は、それぞれ空洞部7を構成している。
また、基板2の表面に、複数の凹部8が形成されることにより、凹部8と凹部8との間に位置するドット間隔壁9の表面(図2において上側の面)全体がアンダーコート3の裏面と接触することとなる。すなわち、凹部8と凹部8とは、ドット間隔壁9によって区画される(仕切られる)こととなる。
なお、アンダーコート3は、各凹部8に対応した領域のみに形成されており(設けられており)、その他の領域には形成されていない(設けられていない)。また、アンダーコート3は、平面視矩形状を呈しているとともに、断面視略台形状を呈している。
まず、一定の厚さを有する基板2の表面の、発熱抵抗体4が形成される領域毎に、空洞部7を形成する凹部8を加工する。基板2の材料としては、例えば、ガラス基板、単結晶シリコン基板等が用いられる。また、基板2の厚みは、300μm〜1mm程度である。
凹部8は、例えば、基板2の表面に、サンドブラスト、ドライエッチング、ウェットエッチング、レーザー加工等を施すことによって形成される。
エッチングによる加工を施す場合には、同様に、基板2の表面に凹部8を形成する領域にエッチング窓が形成されたエッチングマスクを形成し、この状態で、基板2の表面にエッチングを施すことで、所定深さの凹部8を得る。このエッチング処理には、単結晶シリコンの場合、例えば、水酸化テトラメチルアンモニウム溶液、KOH溶液、フッ酸と硝酸の混合液によるエッチング液等によるウェットエッチングが、また、ガラス基板の場合、フッ酸系のエッチング液等を用いたウェットエッチングが行われる。そのほか、リアクティブイオンエッチング(RIE)やプラズマエッチング等のドライエッチングが用いられる。
また、ガラスからなる基板2と薄板ガラスからなるアンダーコート3とを接合する場合は、接着層を用いない熱融着で接合する。ガラスからなる基板2と薄板ガラスからなるアンダーコート3との接合処理は、ガラスからなる基板2および薄板ガラスからなるアンダーコート3の徐冷点以上で、かつ、軟化点以下の温度で行われる。そのため、基板2およびアンダーコート3の形状精度を保つことができ、信頼性が高い。
ここで、薄板ガラスとして10μm程度の厚みのものは、製造やハンドリングが困難であり、また高価である。そこで、このような薄い薄板ガラスを直接基板2に接合する代わりに、製造やハンドリングが容易な厚みをもった薄板ガラスを基板2に接合した後に、この薄板ガラスをエッチングや研磨等によって所望の厚みとなるように加工してもよい。この場合には、基板2の一面に容易、かつ、安価にごく薄いアンダーコート3を形成することができる。
なお、薄板ガラスの研磨には、例えば、半導体ウェハー等の高精度研磨に用いられるCMP(ケミカルメカニカルポリッシング)等を用いることができる。
これら発熱抵抗体4、個別配線5b、共通配線5a、保護膜6は、従来のサーマルヘッドにおけるこれら部材の製造方法を用いて作製することができる。具体的には、スパッタリングやCVD(化学気相成長法)、蒸着等の薄膜形成法を用いて絶縁被膜上にTa系やシリサイド系等の発熱抵抗体材料の薄膜を成膜し、この発熱抵抗体材料の薄膜をリフトオフ法やエッチング法等を用いて成形することにより所望の形状の発熱抵抗体を形成する。
同様に、アンダーコート3の上に、Al、Al−Si、Au、Ag、Cu、Pt等の配線材料をスパッタリングや蒸着法等により成膜してこの膜をリフトオフ法、もしくはエッチング法を用いて形成したり、配線材料をスクリーン印刷した後に焼成する等して、所望の形状の個別配線5bおよび共通配線5aを形成する。
このようにして発熱抵抗体4、個別配線5b、および共通配線5aを形成した後、アンダーコート3の上にSiO2、Ta2O5、SiAlON、Si3N4、ダイヤモンドライクカーボン等の保護膜材料をスパッタリング、イオンプレーティング、CVD法等により成膜して、保護膜6を形成する。
また、アンダーコート3は、発熱抵抗体4の側から基板2の側に向かって末広がりとなる断面視略台形状を呈しているので、アンダーコート3および発熱抵抗体4の上に、共通配線5aおよび個別配線5bを容易に積層させることができ、製造工程を簡略化することができて、製造コストを低減させることができる。
さらに、アンダーコート3は、基板2の側から発熱抵抗体4の側に向かって先細となる断面視略台形状を呈しているので、印刷時におけるプラテンローラ62(図4参照)への押圧力を増加させることができて、感熱紙63(図4参照)との当たりを向上させることができる。
このような凹部が形成されたサーマルヘッドによれば、隣接して配置された凹部同士が互いに連通状態とされ、発熱抵抗体4で発生した熱(熱量)の、基板2内への流出経路の一部が遮断されることとなるので、発熱抵抗体4で発生した熱(熱量)が、基板2内へ流出してしまうことをさらに抑制することができ、発熱抵抗体4の発熱効率をさらに向上させることができて、消費電力の低減化をさらに図ることができる。
本実施形態に係るサーマルプリンタ60は、本体フレーム61に、水平配置されるプラテンローラ62と、プラテンローラ62に感熱紙63を挟んで押し付けられる上記実施形態に係るサーマルヘッド1とを備えている。サーマルヘッド1は、プラテンローラ62の長手方向に配列された複数の発熱抵抗体4を有し、加圧機構64により所定の押圧力で感熱紙63に押し付けられるようになっている。図中、符号65は紙送り駆動モータである。
2 基板(支持基板)
3 アンダーコート(絶縁被膜)
4 発熱抵抗体
5a 共通配線
5b 個別配線
8 凹部
60 サーマルプリンタ
Claims (4)
- 支持基板と、該支持基板の表面側に配置された絶縁被膜と、該絶縁被膜の上に間隔をあけて配列された複数の発熱抵抗体と、該発熱抵抗体の一端に接続される共通配線と、前記発熱抵抗体の他端に接続される個別配線とを備え、
前記支持基板の表面で、かつ、前記発熱抵抗体の発熱部に対向する領域に凹部が設けられているとともに、前記絶縁被膜が、前記凹部に対応した領域のみに設けられており、その他の領域には設けられていない発熱抵抗素子部品。 - 前記絶縁被膜の断面視形状が、前記発熱抵抗体の側から前記支持基板の側に向かって末広がりとなる略台形である発熱抵抗素子部品。
- 前記凹部が、前記複数の発熱抵抗体に共通して設けられている請求項1または2に記載の発熱抵抗素子部品。
- 請求項1から3のいずれか一項に記載の発熱抵抗素子部品からなるサーマルヘッドを備えるサーマルプリンタ。
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