JP5266519B2 - 発熱抵抗素子部品およびサーマルプリンタ、並びに発熱抵抗素子部品の製造方法 - Google Patents
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Description
発熱抵抗素子部品の高効率化においては、発熱抵抗体の下層に空洞部を形成させる方法がある(例えば、特許文献1参照。)。発熱抵抗体で発生した熱量のうち、発熱抵抗体上方の耐摩耗層に伝達される上方伝達熱量の方が発熱抵抗体下方の支持基板に伝達される下方伝達熱量よりも大きくなるので、印字時に必要とされるエネルギー効率が良好となる。
本発明に係る発熱抵抗素子部品は、支持基板と、該支持基板の表面側に配置され、エッチング処理により薄板化された絶縁被膜と、該絶縁被膜の上に間隔をあけて配列された複数の発熱抵抗体と、該発熱抵抗体の一端に接続される共通配線と、前記発熱抵抗体の他端に接続される個別配線と、前記絶縁被膜の上に成膜され、これら発熱抵抗体、共通配線および個別配線を被覆する保護膜とを備え、前記支持基板の表面で、かつ、前記発熱抵抗体の発熱部に対向する領域に凹部が設けられ、前記絶縁被膜を前記支持基板の上に重ね合わせたときに、前記絶縁被膜の少なくとも前記凹部と対向する領域に、フェムト秒レーザの照射による異質相が形成されているとともに、該絶縁被膜における前記発熱抵抗体が配列された一表面の前記異質相と対向する領域に、エッチレートの差による凹凸が形成されており、前記保護膜が、前記絶縁被膜の前記凹凸に対応して形成された凹凸を表面に有する。
また、絶縁被膜の上に形成された(積層された)保護膜の表面にも凹凸が形成される(及ぶ)こととなるので、保護膜の表面粗さを大きくすることができ、感熱紙への押し付け力(押圧力)を局所的に高くすることができて、熱伝達効率を向上させることができる。
さらに、保護膜の表面に形成された凹凸により、感熱紙との接触面積が低減されることとなるので、スティッキング現象(印字の際に溶融した発色剤や顕色剤の一部が、通電遮断時に固着してサーマルヘッドに貼り付き、搬送不良となる現象)を防止する(低減させる)ことができる。
また、絶縁被膜の上に形成された(積層された)保護膜の表面にも凹凸が形成される(及ぶ)こととなるので、保護膜の表面粗さを大きくすることができ、感熱紙への押し付け力(押圧力)を局所的に高くすることができて、熱伝達効率を向上させることができる。
さらに、保護膜の表面に形成された凹凸により、感熱紙との接触面積が低減されることとなるので、スティッキング現象(印字の際に溶融した発色剤や顕色剤の一部が、通電遮断時に固着してサーマルヘッドに貼り付き、搬送不良となる現象)を防止する(低減させる)ことができる。
図1は本実施形態に係る発熱抵抗素子部品であるサーマルヘッドの平面図、図2は図1のII−II矢視断面図、図3(A)〜図3(C)は図2と同様の図であって、本実施形態に係る発熱抵抗素子部品であるサーマルヘッドの製造方法を説明するための工程図である。
図2に示すように、サーマルヘッド1は、支持基板(以下、「基板」という。)2と、基板2の上に形成されたアンダーコート(絶縁被膜)3とを備えている。また、図1および図2に示すように、アンダーコート3の上には複数の発熱抵抗体4が一方向に間隔をあけて形成され(配列され)、発熱抵抗体4には配線5が接続されている。配線5は、発熱抵抗体4の配列方向に直交する方向(以下、「印刷対象物送り方向」という。)の一端に接続される共通配線5aと、他端に接続される個別配線5bとから構成されている。さらに、図2に示すように、サーマルヘッド1は、発熱抵抗体4および配線5の上面を被覆する保護膜6を備えている。
なお、発熱抵抗体4が実際に発熱する部分(以下、「発熱部」という。)は、配線5と重ならない部分である。
凹部8は発熱抵抗体4毎に空洞部(中空断熱層)7を形成するように設けられており、凹部8と凹部8との間はドット間隔壁9で隔てられている(仕切られている)。そして、凹部8の底面(基板2の表面に平行な面)および壁面(基板2の表面と直交する面)と、アンダーコート3の裏面(図2において下側の面)とで形成される(密閉される)空間は、それぞれ空洞部7を構成している。
また、基板2の表面に、複数の凹部8が形成されることにより、凹部8と凹部8との間に位置するドット間隔壁9の表面(図2において上側の面)全体がアンダーコート3の裏面と接触することとなる。すなわち、凹部8と凹部8とは、ドット間隔壁9によって区画される(仕切られる)こととなる。
まず、図3(A)に示すように、一定の厚さを有するアンダーコート3の表面(図3(A)における上面)からフェムト秒レーザ(1×106W〜1×108W、1×10−14sec〜1×10−12secの集光した高強度、超極短パルスレーザ)を照射して、アンダーコート3の表面側で、かつ、アンダーコート3を基板2の上に重ね合わせたときに各凹部8と対向する領域(およびその周辺領域)に、異質相(母材(ここではアンダーコート3)と物性の異なる相)10を形成させる。
なお、本実施形態では、照射ピッチを0.5μm〜20μmとし、かつ、アンダーコート3の表面から深さ1μm〜30μmのところに異質相10が形成されるようにフェムト秒レーザを調整した。
凹部8は、例えば、基板2の表面に、サンドブラスト、ドライエッチング、ウェットエッチング、レーザー加工等を施すことによって形成される。
エッチングによる加工を施す場合には、同様に、基板2の表面に凹部8を形成する領域にエッチング窓が形成されたエッチングマスクを形成し、この状態で、基板2の表面にエッチングを施すことで、所定深さの凹部8を得る。このエッチング処理には、単結晶シリコンの場合、例えば、水酸化テトラメチルアンモニウム溶液、KOH溶液、フッ酸と硝酸の混合液によるエッチング液等によるウェットエッチングが、また、ガラス基板の場合、フッ酸系のエッチング液等を用いたウェットエッチングが行われる。そのほか、リアクティブイオンエッチング(RIE)やプラズマエッチング等のドライエッチングが用いられる。
また、ガラスからなる基板2と薄板ガラスからなるアンダーコート3とを接合する場合は、接着層を用いない熱融着で接合する。ガラスからなる基板2と薄板ガラスからなるアンダーコート3との接合処理は、ガラスからなる基板2および薄板ガラスからなるアンダーコート3の徐冷点以上で、かつ、軟化点以下の温度で行われる。そのため、基板2およびアンダーコート3の形状精度を保つことができ、信頼性が高い。
ここで、薄板ガラスとして10μm程度の厚みのものは、製造やハンドリングが困難であり、また高価である。そこで、このような薄い薄板ガラスを直接基板2に接合する代わりに、製造やハンドリングが容易な厚みをもった薄板ガラスを基板2に接合した後に、この薄板ガラスをエッチングや研磨等によって所望の厚みとなるように加工してもよい。この場合には、基板2の一面に容易、かつ、安価にごく薄いアンダーコート3を形成することができる。
これら発熱抵抗体4、個別配線5b、共通配線5a、保護膜6は、従来のサーマルヘッドにおけるこれら部材の製造方法を用いて作製することができる。具体的には、スパッタリングやCVD(化学気相成長法)、蒸着等の薄膜形成法を用いて絶縁被膜上にTa系やシリサイド系等の発熱抵抗体材料の薄膜を成膜し、この発熱抵抗体材料の薄膜をリフトオフ法やエッチング法等を用いて成形することにより所望の形状の発熱抵抗体を形成する。
同様に、アンダーコート3の上に、Al、Al−Si、Au、Ag、Cu、Pt等の配線材料をスパッタリングや蒸着法等により成膜してこの膜をリフトオフ法、もしくはエッチング法を用いて形成したり、配線材料をスクリーン印刷した後に焼成する等して、所望の形状の個別配線5bおよび共通配線5aを形成する。
このようにして発熱抵抗体4、個別配線5b、および共通配線5aを形成した後、アンダーコート3の上にSiO2、Ta2O5、SiAlON、Si3N4、ダイヤモンドライクカーボン等の保護膜材料をスパッタリング、イオンプレーティング、CVD法等により成膜して、保護膜6を形成する。
また、図2に示すように、アンダーコート3の上に形成された(積層された)保護膜6の表面にも凹凸11が形成される(及ぶ)こととなるので、保護膜6の表面粗さを大きくすることができ、感熱紙63への押し付け力(押圧力)を局所的に高くすることができて、熱伝達効率を向上させることができる。
さらに、保護膜6の表面に形成された凹凸11により、感熱紙63との接触面積が低減されることとなるので、スティッキング現象(印字の際に溶融した発色剤や顕色剤の一部が、通電遮断時に固着してサーマルヘッド1に貼り付き、搬送不良となる現象)を防止する(低減させる)ことができる。
本実施形態に係るサーマルヘッドは、アンダーコート3の側に凹部8が形成され、基板2の側には凹部8が形成されていないという点で上述した第1実施形態のものと異なる。その他の構成要素については上述した第1実施形態のものと同じであるので、ここではそれら構成要素についての説明は省略する。
まず、図4(A)に示すように、一定の厚さを有するアンダーコート3の表面(図4(A)における上面)の、発熱抵抗体4が形成される領域毎に、空洞部7を形成する凹部8を加工する。
つづいて、アンダーコート3の表面からフェムト秒レーザ(1×106W〜1×108W、1×10−14sec〜1×10−12secの集光した高強度、超極短パルスレーザ)を照射して、アンダーコート3の表面側で、かつ、各凹部8に対応する領域(およびその周辺領域)に、異質相(母材(ここではアンダーコート3)と物性の異なる相)10を形成させる。
なお、本実施形態では、照射ピッチを0.5μm〜20μmとし、かつ、アンダーコート3の表面から深さ1μm〜30μmのところに異質相10が形成されるようにフェムト秒レーザを調整した。
このようにして発熱抵抗体4、個別配線5b、および共通配線5aを形成した後、アンダーコート3の上にSiO2、Ta2O5、SiAlON、Si3N4、ダイヤモンドライクカーボン等の保護膜材料をスパッタリング、イオンプレーティング、CVD法等により成膜して、保護膜6を形成する。
例えば、上述した第1実施形態では、アンダーコート3の表面からフェムト秒レーザを照射して、アンダーコート3の表面側に異質相10を形成させたが、アンダーコート3の表面からフェムト秒レーザを照射して、アンダーコート3の裏面側(図3(A)における下面)に異質相10を形成させてもよい。
これにより、基板2の上にアンダーコート3を重ね合わせる際、アンダーコート3の天地をひっくり返す(表面と裏面とをひっくり返す)工程をなくすことができて、製造工程の簡略化を図ることができる。
これにより、凹部8を加工する工程と、異質相10を加工する工程とで、加工装置の統一化を図ることができて、製造工程に要する作業時間を短縮することができる。
このような凹部が形成されたサーマルヘッドによれば、隣接して配置された凹部同士が互いに連通状態とされ、発熱抵抗体4で発生した熱(熱量)の、基板2内への流出経路の一部が遮断されることとなるので、発熱抵抗体4で発生した熱(熱量)が、基板2内へ流出してしまうことをさらに抑制することができ、発熱抵抗体4の発熱効率をさらに向上させることができて、消費電力の低減化をさらに図ることができる。
本実施形態に係るサーマルプリンタ60は、本体フレーム61に、水平配置されるプラテンローラ62と、プラテンローラ62に感熱紙63を挟んで押し付けられる上記実施形態に係るサーマルヘッド(例えば、第1実施形態のところで説明したサーマルヘッド1)とを備えている。サーマルヘッド1は、プラテンローラ62の長手方向に配列された複数の発熱抵抗体4を有し、加圧機構64により所定の押圧力で感熱紙63に押し付けられるようになっている。図中、符号65は紙送り駆動モータである。
2 基板(支持基板)
3 アンダーコート(絶縁被膜)
4 発熱抵抗体
5a 共通配線
5b 個別配線
8 凹部
10 異質相
60 サーマルプリンタ
Claims (6)
- 支持基板と、該支持基板の表面側に配置され、エッチング処理により薄板化された絶縁被膜と、該絶縁被膜の上に間隔をあけて配列された複数の発熱抵抗体と、該発熱抵抗体の一端に接続される共通配線と、前記発熱抵抗体の他端に接続される個別配線と、前記絶縁被膜の上に成膜され、これら発熱抵抗体、共通配線および個別配線を被覆する保護膜とを備え、
前記支持基板の表面で、かつ、前記発熱抵抗体の発熱部に対向する領域に凹部が設けられ、
前記絶縁被膜を前記支持基板の上に重ね合わせたときに、前記絶縁被膜の少なくとも前記凹部と対向する領域に、フェムト秒レーザの照射による異質相が形成されているとともに、該絶縁被膜における前記発熱抵抗体が配列された一表面の前記異質相と対向する領域に、エッチレートの差による凹凸が形成されており、
前記保護膜が、前記絶縁被膜の前記凹凸に対応して形成された凹凸を表面に有する発熱抵抗素子部品。 - 支持基板と、該支持基板の表面側に配置され、エッチング処理により薄板化された絶縁被膜と、該絶縁被膜の上に間隔をあけて配列された複数の発熱抵抗体と、該発熱抵抗体の一端に接続される共通配線と、前記発熱抵抗体の他端に接続される個別配線と、前記絶縁被膜の上に成膜され、これら発熱抵抗体、共通配線および個別配線を被覆する保護膜とを備え、
前記支持基板と対向する前記絶縁被膜の裏面で、かつ、前記発熱抵抗体の発熱部に対向する領域に凹部が設けられ、
前記絶縁被膜の少なくとも前記凹部に対応する領域に、フェムト秒レーザの照射による異質相が形成されているとともに、該絶縁被膜における前記発熱抵抗体が配列された一表面の前記異質相と対向する領域に、エッチレートの差による凹凸が形成されており、
前記保護膜が、前記絶縁被膜の前記凹凸に対応して形成された凹凸を表面に有する発熱抵抗素子部品。 - 前記凹部が、前記複数の発熱抵抗体に共通して設けられている請求項1または2に記載の発熱抵抗素子部品。
- 請求項1から3のいずれか一項に記載の発熱抵抗素子部品からなるサーマルヘッドを備えるサーマルプリンタ。
- 支持基板の表面に、空洞部を形成する凹部を加工する段階と、
前記支持基板の上に重ね合わせたときに、絶縁被膜の少なくとも前記凹部と対向する領域に、フェムト秒レーザを照射することにより異質相を形成する段階と、
前記支持基板の上に前記絶縁被膜を重ね合わせて、これら支持基板と絶縁被膜とを接合する段階と、
前記支持基板に接合された前記絶縁被膜をエッチング処理し、該絶縁被膜を薄板化しつつその一表面の前記異質相に対向する領域にエッチレートの差による凹凸を形成する段階と、
薄板化された前記絶縁被膜の上に、間隔をあけて配列された複数の発熱抵抗体と、該発熱抵抗体の一端に接続される共通配線と、前記発熱抵抗体の他端に接続される個別配線とを形成する段階と、
これら発熱抵抗体、共通配線および個別配線を被覆し、前記絶縁被膜の前記凹凸に対応する凹凸が表面に形成されるように、該絶縁被膜の上に保護膜と成膜する段階とを含む発熱抵抗素子部品の製造方法。 - 絶縁被膜の裏面に、空洞部を形成する凹部を加工する段階と、
前記絶縁被膜の少なくとも前記凹部に対応する領域に、フェムト秒レーザを照射することにより異質相を形成する段階と、
支持基板の上に前記絶縁被膜を重ね合わせて、これら支持基板と絶縁被膜とを接合する段階と、
前記支持基板に接合された前記絶縁被膜をエッチング処理し、該絶縁被膜を薄板化しつつその一表面の前記異質相に対向する領域にエッチレートの差による凹凸を形成する段階と、
薄板化された前記絶縁被膜の上に、間隔をあけて配列された複数の発熱抵抗体と、該発熱抵抗体の一端に接続される共通配線と、前記発熱抵抗体の他端に接続される個別配線とを形成する段階と、
これら発熱抵抗体、共通配線および個別配線を被覆し、前記絶縁被膜の前記凹凸に対応する凹凸が表面に形成されるように、該絶縁被膜の上に保護膜と成膜する段階とを含む発熱抵抗素子部品の製造方法。
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