JP2011119654A5 - - Google Patents
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一観点によれば、金属製のベース部材上に接着剤を用いて接合される絶縁性を有した静電チャック用基板であって、前記ベース部材に接合される側と反対側の吸着面の近傍の基板部分に埋め込まれ、一つの連続する第１の電極層と、前記第１の電極層と反対側の基板部分に埋め込まれ、複数の独立した第２の電極層とを有し、前記複数の独立した第２の電極層は、分割されて相互に電気的に絶縁されており、吸着用の直流電圧が前記第１の電極層に印加され、プラズマ制御用の異なる高周波が前記複数の独立した第２の電極層に給電される静電チャック用基板が提供される。
また、別の観点によれば、金属製のベース部材と、該ベース部材上に吸着面と反対側の面が接着剤層を介して接合された絶縁性を有した基板とを備え、前記絶縁性を有した基板は、前記ベース部材に接合される側と反対側の吸着面の近傍の前記基板の部分に埋め込まれ、一つの連続する第１の電極層と、前記第１の電極層と反対側の前記基板の部分に埋め込まれ、複数の独立した第２の電極層とを有し、前記複数の独立した第２の電極層は、分割されて相互に電気的に絶縁されており、吸着用の直流電圧が前記第１の電極層に印加され、プラズマ制御用の異なる高周波が前記複数の独立した第２の電極層に給電される静電チャックが提供される。
Claims (10)
- 金属製のベース部材上に接着剤を用いて接合される絶縁性を有した静電チャック用基板であって、
前記ベース部材に接合される側と反対側の吸着面の近傍の基板部分に埋め込まれ、一つの連続する第１の電極層と、
前記第１の電極層と反対側の基板部分に埋め込まれ、複数の独立した第２の電極層とを有し、
前記複数の独立した第２の電極層は、分割されて相互に電気的に絶縁されており、
吸着用の直流電圧が前記第１の電極層に印加され、プラズマ制御用の異なる高周波が前記複数の独立した第２の電極層に給電されることを特徴とする静電チャック用基板。 - 前記複数の第２の電極層は、平面視したときに中心部に配置される電極層と、該電極層の周囲にリング状に配置される少なくとも１つの電極層とを含み、前記複数の第２の電極層を構成する各電極層は、それぞれ同一平面上にはない異なる層に分割されて配置されていることを特徴とする請求項１に記載の静電チャック用基板。
- 前記複数の第２の電極層を構成する各電極層は、平面視したときに部分的に重なり合うように配置されていることを特徴とする請求項２に記載の静電チャック用基板。
- 前記複数の第２の電極層は、平面視したときに中心部に配置される電極層と、該電極層の周囲にリング状に配置される少なくとも１つの電極層とを含み、前記複数の第２の電極層を構成する各電極層は、それぞれ同一平面上に分割されて配置されていることを特徴とする請求項１に記載の静電チャック用基板。
- 前記複数の第２の電極層を構成する各電極層は、平面視したときにそれぞれ四角形の形状であり、それぞれ同一平面上に分割され、もしくは同一平面上にはない異なる層に分割されて配置されていることを特徴とする請求項１に記載の静電チャック用基板。
- 金属製のベース部材と、該ベース部材上に吸着面と反対側の面が接着剤層を介して接合された絶縁性を有した基板とを備え、
前記絶縁性を有した基板は、
前記ベース部材に接合される側と反対側の吸着面の近傍の前記基板の部分に埋め込まれ、一つの連続する第１の電極層と、
前記第１の電極層と反対側の前記基板の部分に埋め込まれ、複数の独立した第２の電極層とを有し、
前記複数の独立した第２の電極層は、分割されて相互に電気的に絶縁されており、
吸着用の直流電圧が前記第１の電極層に印加され、プラズマ制御用の異なる高周波が前記複数の独立した第２の電極層に給電されることを特徴とする静電チャック。 - 前記複数の第２の電極層は、平面視したときに中心部に配置される電極層と、該電極層の周囲にリング状に配置される少なくとも１つの電極層とを含み、前記複数の第２の電極層を構成する各電極層は、それぞれ同一平面上にはない異なる層に分割されて配置されていることを特徴とする請求項６に記載の静電チャック。
- 前記複数の第２の電極層を構成する各電極層は、平面視したときに部分的に重なり合うように配置されていることを特徴とする請求項７に記載の静電チャック。
- 前記複数の第２の電極層は、平面視したときに中心部に配置される電極層と、該電極層の周囲にリング状に配置される少なくとも１つの電極層とを含み、前記複数の第２の電極層を構成する各電極層は、それぞれ同一平面上に分割されて配置されていることを特徴とする請求項６に記載の静電チャック。
- 前記複数の第２の電極層を構成する各電極層は、平面視したときにそれぞれ四角形の形状であり、それぞれ同一平面上に分割され、もしくは同一平面上にはない異なる層に分割されて配置されていることを特徴とする請求項６に記載の静電チャック。
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