JP6182082B2 - 緻密質複合材料、その製法及び半導体製造装置用部材 - Google Patents
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Description
ることにより得られる複合材料の基本特性を調べたところ、アルミナとの線熱膨張係数差がきわめて小さく、熱伝導率、緻密性及び強度が十分高いことを見いだし、本発明を完成するに至った。
回折パターンを取得し、データ解析用ソフトウェアを用いた簡易定量により求めた。炭化珪素粒子が37質量%未満しか含有されていない場合には、熱伝導率を十分高くすることができないため、好ましくない。また、60質量%を超えると、開気孔率が大きくなったり強度が十分高くならなかったりするため、好ましくない。炭化珪素粒子は、緻密質複合材料の縦90μm×横120μmの領域を1000倍に拡大したSEM像(反射電子像)において、長径10μm以上の炭化珪素粒子が16個以上存在していることが好ましい。この場合、複合材料の焼結が十分であり、十分に緻密化しているからである。
しい。炭化チタンの質量%は、珪化チタンの質量%及びチタンシリコンカーバイドの質量%より小さいことが好ましい。珪化チタンの質量%は、チタンシリコンカーバイドの質量%より大きいことが好ましい。つまり、質量%は、炭化珪素が最も大きく、珪化チタン、チタンシリコンカーバイド、炭化チタンの順に小さくなることが好ましい。例えば、炭化珪素を37〜60質量%、珪化チタンを31〜41質量%、チタンシリコンカーバイドを5〜25質量%、炭化チタンを1〜4質量%としてもよい。
焼成時の温度は、1370〜1460℃で焼成させる。1370℃未満の温度で焼成した場合には、得られる複合材料が緻密化不足になり開気孔率が1%を超えるおそれがあるため、好ましくない。1460℃を超える温度で焼成した場合には、液相成分の染み出しが多くなり、開気孔率1%以下の緻密質複合材料が得られにくいため好ましくない。なお、焼成時間は、焼成条件に応じて適宜設定すればよいが、例えば1〜10時間の間で適宜設定すればよい。
・調合
SiC原料、金属Si原料、金属Ti原料及び二珪化チタン原料を、表1及び表2に示す質量%となるように秤量し、イソプロピルアルコールを溶媒とし、ナイロン製のポット、直径10mmの鉄芯入りナイロンボールを用いて4時間湿式混合した。混合後スラリーを取り出し、窒素気流中110℃で乾燥した。その後、30メッシュの篩に通し、調合粉末とした。尚、秤量した原料約500gを高速流動混合機(粉体投入部の容量1.8L)に投入し、攪拌羽根の回転数1500rpmで混合した場合にも湿式混合と同様の材料特性が得られることを確認した。
・成形
調合粉末を、200kgf/cm2の圧力で一軸加圧成形し、直径50mm、厚さ17mm程度の円盤状成形体を作製し、焼成用黒鉛モールドに収納した。
・焼成
円盤状成形体をホットプレス焼成することにより緻密質焼結材料を得た。ホットプレス焼成では、プレス圧力を200kgf/cm2とし、表1及び表2に示す焼成温度(最高
温度)で焼成し、焼成終了まで真空雰囲気とした。焼成温度での保持時間は4時間とした。
表1及び表2には、a:各実験例の出発原料組成(質量比)、b:原料中、SiCを除いたSi,Ti,TiSi2に由来する、Si,Tiの総量に対するSiの質量比(Si
/(Si+Ti))、c:原料SiCの平均粒径、d:ホットプレス焼成温度、e:焼成時の液相の染み出しの有無、f:緻密質複合材料の縦90μm×横120μmの領域を1000倍に拡大したSEM像(反射電子像)における長径10μm以上のSiC粒子の数、g:XRD測定結果から求めた複合材料の構成相とその量比(簡易定量結果)、h:複合材料の基本特性(開気孔率、嵩密度、4点曲げ強度、線熱膨張係数、熱伝導率)を示した。なお、実験例1〜44のうち、実験例2〜5,7,9〜12,14,16〜19,22〜25,27,28,31〜34,43が本発明の実施例に相当し、残りの実験例が比較例に相当する。
複合材料を乳鉢で粉砕し、X線回折装置により結晶相を同定した。測定条件はCuK
α,40kV,40mA,2θ=5〜70°とし、封入管式X線回折装置(ブルカー・エイエックスエス製 D8 ADVANCE)を使用した。また、構成相の簡易定量を行った。この簡易定量は、複合材料に含まれる結晶相の含有量をX線回折のピークに基づいて求めた。ここでは、SiC、TiSi2、TSC(Ti3SiC2)、TiCおよびSiに
分けて簡易定量を行い含有量を求めた。簡易定量には、ブルカー・エイエックスエス社の粉末回折データ解析用ソフトウェア「EVA」の簡易プロファイルフィッティング機能(FPM Eval.)を利用した。本機能は定性した結晶相のICDD PDFカードのI/Icor(コランダムの回折強度に 対する強度比)を用いて構成相の量比を算出するものである。各結晶相のPDFカード番号は、SiC:00−049−1428、TiSi2:01−071−0187、TSC: 01−070−6397、TiC:01−070−9258(TiC0.62)、Si:00−027−1402を用いた。
(1)平均粒径
日機装株式会社製、マイクロトラックMT3300EXを使用し、純水を分散媒として測定した。
(2)開気孔率及び嵩密度
純水を媒体としたアルキメデス法により測定した。
(3)4点曲げ強度
JIS−R1601に従って求めた。
(4)線熱膨張係数(40〜570℃の平均線熱膨張係数)
ブルカーエイエックスエス(株)製、TD5020S(横型示差膨張測定方式)を使用し、アルゴン雰囲気中、昇温速度20℃/分の条件で650℃まで2回昇温し、2回目の測定データから40〜570℃の平均線熱膨張計数を算出した。標準試料には装置付属のアルミナ標準試料(純度99.7%、嵩密度3.9g/cm3、長さ20mm)を使用し
た。このアルミナ標準試料をもう1本用意し、同一条件で線熱膨張係数を測定した値は7.7ppm/Kであった。
(5)熱伝導率
レーザーフラッシュ法により測定した。
(6)SEM観察
緻密質複合材料のSEM観察を行った。SEM観察では、緻密質複合材料の断面を電
子顕微鏡(SEM;フィリップス社製XL30)により反射電子像で観察した。反射電子像の観察は、加速電圧20kV、スポットサイズ4の条件で行った。
(1)実験例1〜7
実験例1〜7では、Si/(Si+Ti)の値が0.298となるように原料を混合した粉体混合物を、表1に記載の温度でホットプレス焼成した。SiC原料は平均粒径15.5μmのものを用いた。その結果、焼成温度を1370〜1460℃とした場合には、開気孔率が1%以下であり、4点曲げ強度や熱伝導率が十分高く、アルミナとの線熱膨張係数の差が0.5ppm/K以内の緻密質複合材料が得られた(実験例2〜5,7)。しかし、焼成温度を1480℃とした場合には、ホットプレス焼成時に染み出しが発生し、得られた複合材料は開気孔率が1%を超え、緻密性に欠けるものだった(実験例1)。また、焼成温度を1350℃とした場合にも、開気孔率が1%を超える非緻密性の複合材料が得られた(実験例6)。なお、染み出しとは、高温下で生じる液相又は気相成分が焼成治具の隙間からはみ出した状態で焼結することである。染み出しの発生は、焼成した材料の組成ずれや緻密化不足の原因となる他、焼成治具の腐食、磨耗に繋がるため好ましくない。
実験例8〜14では、Si/(Si+Ti)の値が0.342となるように原料を混合した粉体混合物を、表1に記載の温度でホットプレス焼成した。SiC原料は平均粒径15.5μmのものを用いた。その結果、焼成温度を1370〜1460℃とした場合には、開気孔率が1%以下であり、4点曲げ強度や熱伝導率が十分高く、アルミナとの線熱膨張係数の差が0.5ppm/K以内の緻密質複合材料が得られた(実験例9〜12,14)。しかし、焼成温度を1480℃とした場合には、ホットプレス焼成時に染み出しが発生し、得られた複合材料は開気孔率が1%を超え、緻密性に欠けるものだった(実験例8)。また、焼成温度を1350℃とした場合にも、開気孔率が1%を超える非緻密性の複合材料が得られた(実験例13)。
実験例15〜27では、Si/(Si+Ti)の値が0.396となるように原料を混合した粉体混合物を、表1に記載の温度でホットプレス焼成した。SiC原料は平均粒径15.5μmのものを用いた。なお、実験例15〜26では原料としてSiC,金属Si及び金属Tiを用いたが、実験例27では原料としてSiC,金属Ti及びTiSi2を
用いた。その結果、焼成温度を1370〜1460℃とした場合には、開気孔率が1%以下であり、4点曲げ強度や熱伝導率が十分高く、アルミナとの線熱膨張係数の差が0.5ppm/K以内の緻密質複合材料が得られた(実験例16〜19)。しかし、焼成温度を1480℃とした場合には、ホットプレス焼成時に染み出しが発生し、得られた複合材料は開気孔率が1%を超え、緻密性に欠けるものだった(実験例15,21)。また、焼成温度を1350℃とした場合にも、開気孔率が1%を超える非緻密性の複合材料が得られた(実験例20,26)。なお、実験例27では、異なる原料を用いたが、実験例22〜25と同等の良好な緻密質複合材料が得られた。
実験例28では、表2に示すように、平均粒径15.5μmと6.9μmのSiC原料を1:1で混合し、平均粒径10.1μmとしたSiC原料を用い、Si/(Si+Ti)の値が0.396となるように原料を混合した粉体混合物を、1430℃でホットプレス焼成した。その結果、開気孔率が1%以下であり、4点曲げ強度や熱伝導率が十分高く、アルミナとの線熱膨張係数の差が0.5ppm/K以内の緻密質複合材料が得られた。一方、実験例29では、表2に示すように、平均粒径6.9μmのSiCを用い、Si/(Si+Ti)の値が0.396となるように原料を混合した粉体混合物を、1430℃でホットプレス焼成した。その結果、開気孔率が1%を超える非緻密性の複合材料が得られた。こうしたことから、緻密質複合材料を得るには、SiC原料の平均粒径を10μm以上とすべきことがわかった。
実験例30〜35では、Si/(Si+Ti)の値が0.468となるように原料を混合した粉体混合物を、表2に記載の温度でホットプレス焼成した。SiC原料は平均粒径15.5μmのものを用いた。その結果、焼成温度を1370〜1460℃とした場合には、開気孔率が1%以下であり、4点曲げ強度や熱伝導率が十分高く、アルミナとの線熱膨張係数の差が0.5ppm/K以内の緻密質複合材料が得られた(実験例31〜34)。しかし、焼成温度を1480℃とした場合には、ホットプレス焼成時に染み出しが発生し、得られた複合材料は開気孔率が1%を超え、緻密性に欠けるものだった(実験例30)。また、焼成温度を1350℃とした場合にも、得られた複合材料は開気孔率が1%を超える非緻密性のものだった(実験例35)。
実験例36〜41では、表2に示すように、Si/(Si+Ti)の値が0.54を超
えるように原料を混合した粉体混合物を、それぞれ異なる温度でホットプレス焼成した。SiC原料は平均粒径15.5μmのものを用いた。その結果、1350℃以上でホットプレス焼成した場合には、焼成時に染み出しが発生した。また、実験例38を除き、開気孔率が1%を超える非緻密性の複合材料が得られた。これらの複合材料は、構成相としてTiCを含んでおらず、代わりにSiを含むものがあった。更に、4点曲げ強度も概して低かった。また、実験例37と上記の実験例35を比較すると、いずれも高気孔率であったが、構成相としてTiCを含む実験例35の方が曲げ強度が高かった。これは、TiCが珪化チタン内部に分散する為に高強度化しているものと考えられた。
実験例42〜44及び実験例17,23では、表2に示すように、Si/(Si+Ti)の値が0.396となるように原料を混合した粉体混合物を、1430℃でホットプレス焼成した。但し、原料として用いたSiC、金属Si及び金属Tiの質量%はそれぞれ異なる値になるようにした。その結果、SiC原料が59質量%を超えた場合には、複合材料中のSiCが60質量%を超え、4点曲げ強度や熱伝導率は十分高い複合材料が得られたが、開気孔率が1%を超える非緻密性の材料となり、アルミナとの線熱膨張係数差が0.5ppm/Kを超えた(実験例42)。一方、SiC原料が30質量%未満の場合には、複合材料中のSiCが37質量%未満となり、熱伝導率が十分高い値にならなかった(実験例44)。これに対して、SiC原料の質量%が適正な範囲の場合には、開気孔率が1%以下であり、4点曲げ強度や熱伝導率が十分高く、アルミナとの線熱膨張係数の差が0.5ppm/K以内の緻密質複合材料が得られた(実験例43,17,23)。
実験例2〜5,7,9〜12,14,16〜19,22〜25,27,28,31〜34,43で得られた緻密質複合材料は、アルミナとの線熱膨張係数の差が0.5ppm/K以内であり、熱伝導率、緻密性及び強度が十分高かった。このため、こうした緻密質複合材料からなる第1材と、アルミナからなる第2材とを金属接合した半導体製造装置用部材は、低温と高温との間で繰り返し使用されたとしても、第1材と第2材とが剥がれることがないため、耐用期間が長くなる。なお、これらの実験例(実施例相当)をみると、緻密質複合材料を得るための原料組成のSiCは39〜51質量%の範囲に入り、緻密質複合材料中のSiCは37〜60質量%の範囲に入る。
(1)実験例7及び実験例17で得られた緻密質複合材料サンプル(直径50mm、厚み8mm)に、アルミニウムが主構成材料である厚み200μmの金属箔(縦、横は前出のサンプルと同じ)と、厚み5mmの緻密質アルミナ焼結体)とをこの順に積層し、焼成用黒鉛モールドに収納し、100kgf/cm2の圧力、600℃真空下でホットプレス焼
成した。そうしたところ、界面に剥離やボイドのない接合体(金属接合体)が得られた。
軸加圧成形し、直径50mm、厚さ10mm程度の円盤状成形体を作製した。この成形体に直径50mm、厚さ5mm程度の緻密質アルミナ焼結体を積層し、焼成用黒鉛モールドに収納し、200kgf/cm2の圧力、1430℃真空下でホットプレス焼成した。そ
うしたところ、界面に剥離やボイドのない接合体(直接接合体)が得られた。
軸加圧成形し、直径50mm、厚さ10mm程度の円盤状成形体を作製した。続いて、純度99.99%以上、平均粒径1μm以下のアルミナ粉末を100kgf/cm2の圧力
で一軸加圧成形し、直径50mm、厚さ10mm程度の円盤状成形体を作製した。実験例7或いは実験例17の原料組成の成形体とアルミナ粉末の成形体を積層し、焼成用黒鉛モ
ールドに収納し、200kgf/cm2の圧力、1430℃真空下でホットプレス焼成し
た。そうしたところ、実験例7及び実験例17の緻密質複合材料と緻密質アルミナが積層され、界面に剥離やボイドのない接合体(直接接合体)が得られた。尚、上記アルミナ粉末に焼結助剤として、酸化マグネシウム、フッ化マグネシウム、希土類フッ化物をアルミナの総量に対して1wt%以下添加した原料を用いた場合にも同様の接合体が得られた。
(1)SiC原料の平均粒径について
緻密質複合材料を得るうえで、SiC原料の平均粒径が10μm以上25μm以下であることが好ましいことがわかった。SiC原料の平均粒径が10μm未満の場合には、粒径の小さなSiC粒子の比率が高まるために、SiC粒子の表面積が大きくなりすぎて緻密化不足になり、開気孔率を1%以下にすることができないおそれがある(実験例29)。なお、SiCは骨材であり、SiCの表面において他の成分と反応するため、焼成後のSiCの平均粒径はSiC原料の平均粒径よりわずかに小さくなる。SiC原料の平均粒径が大きくなる場合、SiC粒子の表面積は小さくなるので緻密性は向上するが、大きくなり過ぎる場合には強度が不足する恐れがある。後出の図2のSEM像に示されるSiC原料の粒径は、最大でも25μm程度であるから、あえて平均粒径25μmを超える粒子を用いる必要はない。
緻密質複合材料を得るうえで、構成相としてSiCを37〜60質量%含有すると共に、TiSi2、TSC及びTiCをそれぞれSiCの質量%より少量含有していることが
必須であった。SiCが60質量%を超えた場合には、開気孔率が1%を超える非緻密性の材料となり、アルミナとの線熱膨張係数差が0.5ppm/K以上の複合材料が得られた(実験例42)。また、SiCが37質量%未満の場合には、熱伝導率が十分高い値にならなかった(実験例44)。
表1,2に示したbの質量比つまりSi/(Si+Ti)に関して、Si−Tiの2成分状態図を図1に示す。Si/(Si+Ti)は状態図の上側の横軸と一致する。Si/(Si+Ti)の値は適正範囲0.26〜0.54(図1の上側の横軸で26wt%〜54wt%)に入ることが好ましい。この適正範囲に入る場合、焼成中にTiSi2,Ti
Si,Ti5Si4,Ti5Si3の化学式で表される珪化チタンが任意の比率で生成する。そのため、これらの珪化チタンとSiC粒子の表面とが反応することで二珪化チタン、チタンシリコンカーバイド、チタンカーバイド(TiCx)が生成する。
焼成温度が1460℃を超えた場合には、原料組成が適正であっても、開気孔率が1%を超えてしまい、緻密化しなかった(実験例1,8,15,21,30)。これは、ホットプレス焼成時に染み出しが発生したためと思われる。一方、焼成温度が1370℃未満だっだ場合には、原料組成が適正であっても、やはり開気孔率が1%を超えてしまい、緻密化しなかった((実験例6,13,20,26,35)。このため、焼成温度は1370〜1460℃が好適であることがわかった。
図2は、実験例2の反射電子像の写真である。この写真は、緻密質複合材料の断面研磨後、縦90μm×横120μmの領域を1000倍に拡大したSEM像(反射電子像)である。図2では、濃灰色の粒子がSiC粒子、SiC粒子間の灰色の組織がTiSi2、SiC間の明灰色の組織がTSC、TiSi2中に分散する柱状組織がTiC(明るさは
TSCと同レベル)である。図2から、SiC粒子の表面はTSC、TiSi2、TiCの少なくとも1つによって覆われていることがわかる。図2から、全形が視野の範囲内に収まる各SiC粒子について、長径(粒子の最大径)を求めた。そうしたところ、長径10μm以上のSiC粒子の数は、34個であった。その他の実験例で実施例相当のものについても反射電子像の写真を撮影し、長径10μm以上のSiC粒子の数を求めたところ、表1及び表2に示すように16個以上であった。
Claims (15)
- 炭化珪素粒子を37〜60質量%含有すると共に、珪化チタン、チタンシリコンカーバイド及び炭化チタンをそれぞれ前記炭化珪素粒子の質量%より少量含有し、開気孔率が1%以下である、
緻密質複合材料。 - 炭化チタンの質量%は、前記珪化チタンの質量%及び前記チタンシリコンカーバイドの質量%より小さい、
請求項1に記載の緻密質複合材料。 - 前記珪化チタンの質量%は、前記チタンシリコンカーバイドの質量%より大きい、
請求項1又は2に記載の緻密質複合材料。 - 前記炭化珪素粒子同士の間隙に、前記珪化チタン、前記チタンシリコンカーバイド及び前記炭化チタンの少なくとも1つが前記炭化珪素粒子表面を覆うように存在している、
請求項1〜3のいずれか1項に記載の緻密質複合材料。 - 前記炭化チタンが前記珪化チタンの内部に分散している、
請求項1〜4のいずれか1項に記載の緻密質複合材料。 - 前記珪化チタンは、TiSi2である、
請求項1〜5のいずれか1項に記載の緻密質複合材料。 - アルミナとの40℃〜570℃の平均線熱膨張係数の差が0.5ppm/K以下である、
請求項1〜6のいずれか1項に記載の緻密質複合材料。 - 40℃〜570℃の平均線熱膨張係数が7.2〜8.2pm/Kである、
請求項1〜7のいずれか1項に記載の緻密質複合材料。 - 熱伝導率が75W/mK以上である、
請求項1〜8のいずれか1項に記載の緻密質複合材料。 - 4点曲げ強度が200MPa以上である、
請求項1〜9のいずれか1項に記載の緻密質複合材料。 - 縦90μm×横120μmの領域を1000倍に拡大したSEM像(反射電子像)において長径10μm以上の炭化珪素粒子の数が16個以上である、
請求項1〜10のいずれか1項に記載の緻密質複合材料。 - 請求項1〜11のいずれか1項に記載の緻密質複合材料からなる第1材と、アルミナからなる第2材とを接合したものである、
接合体。 - 前記第1材と前記第2材とは金属接合されている、
請求項12に記載の接合体。 - 請求項12又は13に記載の接合体からなる、
半導体製造装置用部材。 - (a)平均粒径が10μm以上25μm以下の炭化珪素粒子を39〜51質量%含有すると共に、Ti及びSiが含まれるように選択された1種以上の原料を含有し、炭化珪素を除く原料に由来するSi及びTiについてSi/(Si+Ti)の質量比が0.26〜0.54である粉体混合物を作製する工程と、
(b)前記粉体混合物を不活性雰囲気下でホットプレスにより1370〜1460℃で焼結させる工程と、
を含む緻密質複合材料の製法。
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