JP2020103033A - 密封型ロボット駆動部 - Google Patents
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- H02K2201/03—Machines characterised by aspects of the air-gap between rotor and stator
Abstract
Description
本出願は、2013年11月13日に出願された米国仮特許出願第61/903,813号の利益を主張する通常出願であって、その開示内容の全ては、参照により本明細書に組み込まれる。
例示的な実施形態は、概してロボット駆動部、特に、密封型ロボット駆動部に関する。
Claims (50)
- ハウジングと、
前記ハウジングに取り付けられる駆動部と、
前記駆動部に接続される少なくとも1つの搬送アームと
を備える搬送装置であって、前記駆動部は、
透磁性材料の少なくとも1つの突極を有し、隔離環境内に位置する少なくとも1つのロータと、
それぞれのコイルユニットを備えたステータ突極を有し、前記隔離環境外に位置する少なくとも1つのステータと、
前記隔離環境内に配置される少なくとも1つのステータ突極延伸部であって、少なくとも1つのステータ突極延伸部と前記ロータの少なくとも1つの突極が、前記少なくとも1つのステータと前記少なくとも1つのロータとの間で閉磁束回路を形成するように、それぞれのステータ突極と位置合わせされる少なくとも1つのステータ突極延伸部と、
各ステータ突極と、それぞれのステータ突極延伸部との間に配置される少なくとも1つのシール部と
を含み、
前記ステータ突極延伸部および前記少なくとも1つのシール部がともに前記隔離環境を隔離するように構成されるように、前記少なくとも1つのシール部および各ステータ突極延伸部が配置される、
搬送装置。 - 前記駆動部がさらに、前記隔離環境内に配置される内面と、前記隔離環境の反対側を向く外面とを有するシール支持部材を含み、前記少なくとも1つのシール部は、前記外面上または前記外面に隣接して配置され、前記シール支持部材が、前記少なくとも1つのシール部を構造的に支持するように構成される請求項1記載の搬送装置。
- 前記シール支持部材が、前記少なくとも1つのステータ突極延伸部を収容するように構成される請求項2記載の搬送装置。
- 前記少なくとも1つのステータおよび前記少なくとも1つのロータが、積み重ねられたモータを形成し、前記少なくとも1つのシール部が、前記積み重ねられたモータのそれぞれに共通である請求項1記載の搬送装置。
- 前記少なくとも1つのステータが、少なくとも2つのステータを備え、前記少なくとも1つのロータが、少なくとも2つのロータを備え、前記少なくとも2つのステータおよび前記少なくとも2つのロータが、積み重ねられたモータを形成し、前記少なくとも1つのシール部が、前記積み重ねられたモータにおける他のモータのシール部とは異なる、各モータ用のシール部を含む請求項1記載の搬送装置。
- 前記少なくとも1つのステータ突極延伸部および前記少なくとも1つのロータが、前記少なくとも1つのステータ突極延伸部および前記少なくとも1つのロータが障害のないインターフェースを有するように配置される請求項1記載の搬送装置。
- 前記少なくとも1つのステータが、少なくとも2つのステータを備え、前記少なくとも1つのロータが、少なくとも2つのロータを備え、各ステータおよびロータのペアが、他のモータモジュールと積み重ねられるように構成されるモータモジュールを形成する請求項1記載の搬送装置。
- 前記駆動部が、軸方向磁束流駆動部または径方向磁束流駆動部として構成される請求項1記載の搬送装置。
- 前記少なくとも1つのロータが、積層される突極を含む請求項1記載の搬送装置。
- 前記少なくとも1つのロータが駆動部材インターフェースを含み、
前記駆動部がさらに、駆動伝達部材を含み、
前記駆動伝達部材は、前記積層された突極と相互作用し、前記積層された突極を前記駆動伝達部材に固定するように、前記駆動部材インターフェースで、前記少なくとも1つのロータと相互作用する請求項9記載の搬送装置。 - 前記積層された突極が、前記駆動伝達部材に対して軸方向に配列されるように前記駆動伝達部材に固定される請求項10記載の搬送装置。
- 前記積層された突極が、前記駆動伝達部材に対して径方向に配列されるように前記駆動伝達部材に固定される請求項10記載の搬送装置。
- 前記少なくとも1つのステータが、積層された突極を含む請求項1記載の搬送装置。
- 前記駆動部が、前記ハウジングに接続されるZ軸駆動モータを含む請求項1記載の搬送装置。
- 前記少なくとも1つのロータのそれぞれに配置される、少なくとも1つのリラクタンスに基づくエンコーダトラックと、
前記少なくとも1つのリラクタンスに基づくエンコーダトラックと相互作用するように構成される、少なくとも1つのリラクタンスに基づく位置フィードバックセンサと
をさらに備える請求項1記載の搬送装置。 - 前記少なくとも1つのロータが、前記少なくとも1つの搬送アームを駆動させるために同軸駆動シャフト構成に連結される請求項1記載の搬送装置。
- ハウジングと、
前記ハウジングに取り付けられる駆動部と、
前記駆動部に接続される少なくとも1つの搬送アームと、
を備える搬送装置であって、前記駆動部が、
透磁性材料の少なくとも1つの突極を有する少なくとも1つのロータと、
少なくとも1つのステータであって、
ステータコア、
突出上部プレート、
突出底部プレート、および
各突出上部プレートおよび突出底部プレートのペアに関連付けられるコイルユニット
を含み、前記突出上部プレートおよび前記突出底部プレートは、前記ステータコアに接続され、前記ステータコアにより離間され、前記少なくとも1つのステータと前記少なくとも1つのロータとの間で閉磁束回路を形成するために、前記少なくとも1つのロータの前記少なくとも1つの突極と相互作用するように構成される、少なくとも1つのステータと、
前記突出上部プレートと前記突出底部プレートとの間に配置される隔離壁であって、前記隔離壁、前記突出上部プレートおよび前記突出底部プレートが、組み合わされて、前記少なくとも1つの搬送アームが動作する隔離環境から前記ステータコアを隔離するように構成される、隔離壁と
を含む搬送装置。 - 前記少なくとも1つのステータが、少なくとも2つのステータを備え、前記少なくとも1つのロータが、少なくとも2つのロータを備え、各ロータおよびステータのペアが、モータモジュールとして構成され、前記モータモジュールが、積み重ねられたモータを有する駆動部を形成するために、前記少なくとも2つのステータおよび前記少なくとも2つのロータの他の異なるロータおよびステータのペアにより形成された他のモータモジュールと相互作用するように構成されている請求項17記載の搬送装置。
- 前記駆動部が、軸方向磁束流駆動部または径方向磁束流駆動部として構成される請求項17記載の搬送装置。
- 前記駆動部が、前記ハウジングに接続されるZ軸駆動モータを含む請求項17記載の搬送装置。
- 前記少なくとも1つのロータのそれぞれに配置される、少なくとも1つのリラクタンスに基づくエンコーダトラックと、
少なくとも1つのリラクタンスに基づくエンコーダトラックと相互作用するように構成される、少なくとも1つのリラクタンスに基づく位置フィードバックセンサと
をさらに備える請求項17記載の搬送装置。 - 前記少なくとも1つのロータが、前記少なくとも1つの搬送アームを駆動させるために、同軸駆動シャフト構成に連結される請求項17記載の搬送装置。
- ハウジングと、
前記ハウジングに取り付けられる駆動部と、
前記駆動部に接続される少なくとも1つの搬送アームと
を備える搬送装置であって、前記駆動部が、
隔離環境内に配置される透磁性材料の積層された突極を有する少なくとも1つの積層ロータであって、前記隔離環境から隔離される少なくとも1つの積層ロータと、
少なくとも1つの突極を有する少なくとも1つのステータであって、前記少なくとも1つの積層ロータの前記積層された突極および前記少なくとも1つのステータの前記少なくとも1つの突極が、少なくとも1つのステータと少なくとも1つのロータとの間で閉磁束回路を形成するように、前記隔離環境外に配置されるそれぞれのコイルユニットを備えた少なくとも1つの突極を有する少なくとも1つのステータと、
少なくとも1つのシール部であって、前記少なくとも1つのシール部および前記少なくとも1つのステータの前記少なくとも1つの突極がともに前記隔離環境を隔離するように構成されるように、前記少なくとも1つのステータの前記少なくとも1つの突極に対して配置される少なくとも1つのシール部と
を含む搬送装置。 - 前記少なくとも1つの積層ロータが駆動部材インターフェースを含み、
前記駆動部がさらに、駆動伝達部材を含み、
前記駆動伝達部材は、前記積層された突極と相互作用し、前記積層された突極を前記駆動伝達部材に固定するように、前記駆動部材インターフェースで、前記少なくとも1つの積層ロータと相互作用する請求項23記載の搬送装置。 - 前記積層された突極が、前記駆動伝達部材に対して軸方向に配列されるように前記駆動伝達部材に固定される請求項24記載の搬送装置。
- 前記積層された突極が、前記駆動伝達部材に対して径方向に配列されるように前記駆動伝達部材に固定される請求項24記載の搬送装置。
- 前記少なくとも1つの積層ロータが、前記少なくとも1つの積層ロータを前記隔離環境から隔離するように構成される遮蔽体に埋め込まれる請求項23記載の搬送装置。
- 前記少なくとも1つのシール部が、前記少なくとも1つのステータと一体である請求項23記載の搬送装置。
- 前記少なくとも1つのシール部が、前記少なくとも1つのステータに取り付けられる膜を備える請求項23記載の搬送装置。
- 前記少なくとも1つのシール部が、前記少なくとも1つのステータに寄り掛かる請求項23記載の搬送装置。
- 前記少なくとも1つのステータが、前記少なくとも1つのシール部を構造的に支持する請求項23記載の搬送装置。
- 前記少なくとも1つのシール部が、前記少なくとも1つのステータの形状に適合する請求項23記載の搬送装置。
- 前記少なくとも1つのステータが、ステータコア、上部プレートおよび底部プレートを含み、
前記上部プレートおよび前記底部プレートが突極を形成し、前記ステータコアに接続され、また前記ステータコアにより離間され、前記少なくとも1つの積層ロータと相互作用するように構成され、
前記少なくとも1つのシール部が、前記上部プレートと前記底部プレートとの間にあり、前記少なくとも1つの搬送アームが動作する隔離環境から前記ステータコアを隔離するように構成される請求項23記載の搬送装置。 - 前記駆動部がさらに、前記隔離環境内に配置され、前記ステータのそれぞれの突極と位置合わせされる、少なくとも1つのステータ突極延伸部を含み、前記少なくとも1つのシール部が、前記ステータの各突極とそれぞれのステータ突極延伸部との間に配置される請求項23記載の搬送装置。
- 前記駆動部がさらに、前記隔離環境内に配置される内面と前記隔離環境の反対側を向く外面とを有するシール支持部材を含み、前記少なくとも1つのシール部が、前記外面上または前記外面に隣接して配置され、前記シール支持部材が、前記少なくとも1つのシール部を構造的に支持するように構成される請求項34記載の搬送装置。
- 前記シール支持部材が、前記少なくとも1つのステータ突極延伸部を収容するように構成される請求項35記載の搬送装置。
- ハウジングと、
前記ハウジングに取り付けられる駆動部と、
前記駆動部に接続される少なくとも1つの搬送アームと
を備える搬送装置であって、前記駆動部が、
透磁性材料の積層されるロータ突極を有し、隔離環境内に配置される、少なくとも1つの真空適合積層ロータであって、交互に積み重ねられる強磁性の層および非導電性の層の積層体のセットを含む少なくとも1つの真空適合積層ロータと、
前記隔離環境外に配置されるそれぞれのコイルユニットを備える少なくとも1つのステータ突極を有する少なくとも1つのステータと、
前記少なくとも1つのステータ突極と組み合わせて前記隔離環境を隔離するように構成される少なくとも1つのシール部と
を含み、
前記積層されるロータ突極はそれぞれ、前記少なくとも1つのステータ突極と相互作用すると、前記少なくとも1つの真空適合積層ロータと前記少なくとも1つのステータとの間で閉磁束回路を形成する搬送装置。 - 前記駆動部が、少なくとも1つの駆動シャフトと、前記少なくとも1つの真空適合積層ロータを前記少なくとも1つの駆動シャフトに取り付け、交互に積み重ねられた積層体を一緒にクランプするように構成される保持部材とを含む請求項37記載の搬送装置。
- 前記交互に積み重ねられた積層体が一緒に接着される請求項38記載の搬送装置。
- 前記少なくとも1つのシール部が、前記少なくとも1つのステータと一体である請求項37記載の搬送装置。
- 前記少なくとも1つのシール部が、前記少なくとも1つのステータに取り付けられる膜を備える請求項37記載の搬送装置。
- 前記少なくとも1つのシール部が、前記少なくとも1つのステータに寄り掛かる請求項37記載の搬送装置。
- 前記少なくとも1つのステータが、前記少なくとも1つのシール部を構造的に支持する請求項37記載の搬送装置。
- 前記少なくとも1つのシール部が、前記少なくとも1つのステータの形状に適合する請求項37記載の搬送装置。
- 前記少なくとも1つのステータが、ステータコア、上部プレートおよび底部プレートを含み、
前記上部プレートおよび前記底部プレートがステータ突極を形成し、前記ステータコアに接続され、また前記ステータコアにより離間され、前記少なくとも1つの真空適合積層ロータと相互作用するように構成され、
前記少なくとも1つのシール部が、前記上部プレートと前記底部プレートとの間にあり、前記少なくとも1つの搬送アームが動作する隔離環境から前記ステータコアを隔離するように構成される請求項37記載の搬送装置。 - 前記駆動部がさらに、前記隔離環境内に配置され、それぞれのステータ突極と位置合わせされる、少なくとも1つのステータ突極延伸部を含み、前記少なくとも1つのシール部が、各ステータ突極とそれぞれのステータ突極延伸部との間に配置される請求項37記載の搬送装置。
- 前記駆動部がさらに、前記隔離環境内に配置される内面と前記隔離環境の反対側を向く外面とを有するシール支持部材を含み、前記少なくとも1つのシール部が、前記外面上または前記外面に隣接して配置され、前記シール支持部材が、前記少なくとも1つのシール部を構造的に支持するように構成される請求項46記載の搬送装置。
- 前記シール支持部材が、前記少なくとも1つのステータ突極延伸部を収容するように構成される請求項47記載の搬送装置。
- 前記少なくとも1つのシール部が、前記少なくとも1つのステータの構造と一体である請求項37記載の搬送装置。
- 前記少なくとも1つのシール部が、前記少なくとも1つのステータの構造により支持される請求項37記載の搬送装置。
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