JP4452279B2 - 駆動源および搬送ロボット - Google Patents
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Description
なお、本発明は、移動及び処理を行う際に高い清浄環境を必要とする物品のいずれにも適用可能である。特に、以下の説明では電子部品である半導体ウエハや、LCDをあげて説明するが、これは例示のためであり、本発明を限定するものではない。
搬送装置1Aは、真空チャンバ50(筐体)の壁体の一部に形成された開口部分に設置されている、搬送装置1Aは、フランジ部11(ベース部材)を有し、このフランジ部11と真空チャンバ50の壁体とは真空チャンバ50内の高真空に耐えられるように気密状態で取り付けられている。
フランジ部11には、真空チャンバ50の内部に向けて固定軸10(固定軸部材)が設置されている。固定軸10の外側には、中空構造の作動軸21、22(回動部材)が設置されている。作動軸21、22は、固定軸10と同軸状であるとともに、互いに上下方向にずらした位置に保持され、軸受けを介して回動自在に取り付けられている。
作動軸21、22の各々の内側において、固定軸10の外周には電磁式のステータS(電機子)が設置され、作動軸21、22の内周には永久磁石を用いたロータRが設置され、これらのステータSとロータRとは互いに対向した位置に配置され、これらにより電磁モータMが構成されている。ステータSは固定軸10に形成された凹部13に収容され、その外周(凹部13の開口面)には隔壁部材14が溶接され、これによりステータSを含む凹部13内と真空チャンバ50内とが隔絶されている。
作動軸21、22の各々の内側には、作動軸21、22の各々の位置検出のためにレゾルバ式の位置検出器40が設置されている。位置検出器40は、モータMとは固定軸10の軸方向にずれた領域に設置されている。位置検出器40は、モータMと同様にステータ42とロータ41とを有し、このうちステータ42はモータMと同様に固定軸10の凹部13内に収容され、外周を隔壁部材14で封止されている。
以上のフランジ部11ないし固定軸10、隔壁部材14、作動軸21,22、モータM、位置検出器40により高真空用の駆動源が構成されている。
ここで、作動軸21、22には搬送アームアッセンブリ30(駆動アーム)が接続されている。そして、作動軸21にはプーリー31が接続され、作動軸22にはアーム32が接続され、これらは搬送アームアッセンブリ30の先端に設置される可動機構(図示省略)を介して半導体ウエハ等の製品のハンドリングが行えるようになっている。
以上の搬送アームアッセンブリ30と駆動源とにより搬送装置1A(搬送ロボット)が構成されている。
更に、前述の搬送装置1Aでは、レゾルバ式位置検出器40により作動軸21、22の位置検出を行う。通常、レゾルバ式位置検出器40はステータSの影響を受けやすく、ステータSから軸方向に離れた位置に備える必要がある。このため、搬送装置1A全体の軸方向の大きさ(高さ)が更に大きくなるという問題がある。
更に、固定軸10と作動軸21、22とは軸受Bを介して取り付けられる。この際、作動軸21,22の回動による作動軸自身の撓みや振動等を考慮して、隔壁部材14からロータRまでの距離に余裕を設ける必要があり、この点でもモータトルクの減少および位置精度の低下が懸念される。
このような構成とすれば、筐体の開口部分を封止することができ、筐体に設置する際に最も簡潔な構成とすることができる。
このような構成とすれば、ベース部分が外周部材を介して支持され、駆動源を筐体の外側に張り出した形で設置することができる。これにより、筐体内の空間を駆動源が占有することを避けることができる。
このような構成とすれば、ベース部分が固定軸を介して支持され、例えば可動部材ないしモータを二連構成とする場合に、筐体の開口部分から離れた側の構成として好適である。
このような構成によれば、例えばフロッグレッグ型の搬送ロボットのような二つの駆動が必要な場合でもコンパクトに対応できる。
このような構成によれば、各組の軸受を更に軸方向の同じ領域で重複させることができ、駆動源をよりコンパクトにすることができる。
この一定距離は具体的に0.2mmから1.0mmであり、望ましくは0.2mmから0.5mmであり、さらに望ましくは0.2mmから0.3mmである。この一定距離が0.2mm以下であればさらに良いが、本発明においては回動部材が回転する際の偏芯量や、隔壁部材を真空雰囲気中においた際の微少な膨張(収縮)を考慮した結果0.2mm以上としている。例えば隔壁部材がステンレス鋼である場合、その厚みは0.05mmであっても十分に処理装置で処理を行うときの超高真空に耐えことができる。しかし、この駆動源を量産する際の個体差を考慮して前述の厚みに幅を持たせている。
本発明の駆動源では、前記隔壁部材の素材がニッケル合金であることが望ましい。
このような構成により、回動部材を回動可能に支持するための剛性を必要としないため真空に耐えうるという条件のみを考慮した厚みにすることができる。また、隔壁部材に回動部材を備える場合に比べて、回動部材の回動により生じる撓みや振動による回動部材の偏芯量が減少する。これらの理由により、隔壁部材から回動部材までの距離を従来のものより狭くすることができる。
2 筐体
3 ベース部材
4 Oリング
5 隔壁部材
6,6a,6b 電機子(固定子)
7a〜7h センサ
8 固定軸部材
9,9a、9b 磁石(回転子)
10,10a、10b 回動部材
11,11a、11b 軸受け
12 搬送ロボット
13、13a、13b 駆動アーム
14、14a〜14d 従動アーム
15 エンドエフェクタ
16 基板
17a、17b 支軸
18 スチールベルト
19 回動伝達手段
20 筐体
図1には、本発明の第1実施形態の駆動源1aが示されている。
駆動源1aは、内部を真空雰囲気とすることができる筐体2の開口部分に設置され、この筐体2内で製品搬送などを行う搬送ロボットを駆動する。
駆動源1aは、ベース部材3を有し、このベース部材3が前記筐体2の開口部分を覆うように固定されることで筺体2に取り付けられる。ベース部材3と筺体2の開口周縁との接触箇所には0リング4が設置され、互いの間は気密状態に維持される。ベース部材3の中央には筐体2の内部に延びる固定軸部材8が設置されている。固定軸部材8は中空であり、その内部空間はベース部材3と連通されている。但し、ベース部材3の同側には、固定軸部材8を覆う有底筒状の隔壁部材5が設置されている。この隔壁部材5により、筺体2の内部である真空領域IVと、筺体2の外側である大気領域IAとは、互いに気密状態に隔離されている。
回動部材10の内周には、磁石9(回転子)およびセンサ7a、7bが同軸配置されている。固定軸部材8の外周には電機子6(固定子)およびセンサ7e、7fが同軸配置されている。磁石9および電機子6は隔壁部材5を挟んで対向配置され、センサ7a、7bおよびセンサ7e、7fも隔壁部材5を挟んで対向配置されている。これら対向配置された各々は、その先端が隔壁部材5に十分に近く配置され、互いに最小限の一定間隔で対向するように設定されている。
このような第1実施形態では、固定子である電機子6および回転子である磁石9に加え、軸受11までが固定軸部材8の軸方向の同じ領域に同軸状に配置されている。これにより、駆動源1aとしての軸方向の長さを短縮することが可能となる。
図2および図3には、一つの固定軸部材8に二つの回動部材10a、10bを高さ方向にずらして2つ設けた駆動源1bが示されている。
駆動源1bは、内部を真空雰囲気とすることができる筐体2に設置されている。ベース部材3およびその外周部材、隔壁部材5、固定軸部材8などの構成は前記第1実施形態と同様であるので重複する説明は省略する。
本実施形態においては、一つの固定軸部材8に二つの回動部材10a、10bが設置されている。このうち、一方の回動部材10aは、前記第1実施形態で述べたように、二列の軸受11aを介してベース部材3の外周部材に回転自在に支持されている。他方の回動部材10bは、二列の軸受11bを介して回動部材10aの上縁内側に回転自在に接続され、回動部材10aを介してベース部材3に支持されている。この構成では、ベース部材3と回動部材10aが回転自在であり、回動部材10a,10bが互いに回転自在であり、従って回動部材10a,10bは共にベース部材3に対してそれぞれ回転自在である。
回動部材10bの内周には、センサ7g、7hおよび回転子である磁石9c、9dが設置されている。固定軸部材8の外周には、隔壁部材5を挟んで対向するセンサ7c、7dおよび固定子である電機子6c、6dが設置されている。これらの互いに対向する端部は、それぞれ隔壁部材5に近接され、僅かな一定間隔をおいて対向されている。
このような第2実施形態では、固定子である電機子6a,6bおよび回転子である磁石9a,9bに加え、軸受11a,11bまでが固定軸部材8の軸方向の同じ領域に同軸状に配置されている。これにより、駆動源1bとしての軸方向の長さを短縮することが可能となる。
図4において、搬送ロボット12aは、基板16等を保持するエンドエフェクタの進退方向が旋回方向に異なる方向となるように備えるものである。この搬送ロボット12aは、駆動源1bの回動部材10a、10bの側面及び上面に駆動アーム13a、13bを水平面内へ突出して備える。この搬送ロボット12aでは、駆動源1の作動により駆動アーム13a、13bが回動して、駆動アーム13a、13bの端部上面に支承する従動アーム14a、14bが連動して、従動アーム14a、14bに回動可能に支持するエンドエフェクタ15を水平面内で進退運動することができる。
これに対して図5に示す搬送ロボット12bは、駆動アーム13の端部上面に2つの従動アーム14a、14bをそれぞれ備える。この従動アーム14a、14bの端部付近にエンドエフェクタ15a、15bを備える。これにより180°異なる方向に進退運動でき、駆動源の作動により一方が進行すれば、他方が連動して後退して、基板の受け渡しを行うことができる。
図8には、一つの固定軸部材8に二つの回動部材10a、10bを高さ方向にずらして2つ設けた駆動源1cが示されている。
駆動源1cは、内部を真空雰囲気とすることができる筐体2に設置されている。ベース部材3およびその外周部材3a、隔壁部材5、固定軸部材8などの構成は前記第2実施形態と同様であるので重複する説明は省略する。なお、本実施形態においては、外周部材3aが軸方向に比較的長く形成され、二組の回動部材10a,10bの電機子6a,6b、磁石9a,9b部分は殆ど筐体2の外に配置されている。
本実施形態においては、固定軸部材8の外周には4列の軸受11aを介して回動部材10bが回転自在に支持され、その外側に2列の軸受11bを介して回動部材10aが回転自在に支持されている。これにより、回動部材10a,10bがそれぞれベース部材3に対して回転自在であることは前記第2実施形態と同様である。
ベース部材3の外周部材3aの内周には凹部が形成され、その内部に電機子6a,6bが納められている。凹部の開口は隔壁部材5aで塞がれている。
回動部材10a,10bの外周には、電機子6a,6bと対向する磁石9a,9bが配置され、前記第2実施形態と同様、互いに一定間隔で近接配置されている。
なお、センサ7a〜7hに関しても、前記第2実施形態と逆の配置になっている。
このような第3実施形態でも、固定子である電機子6a,6bおよび回転子である磁石9a,9bに加え、軸受11a,11bまでが固定軸部材8の軸方向の同じ領域に同軸状に配置されている。これにより、駆動源1cとしての軸方向の長さを短縮することが可能となる。
図9には、一つの固定軸部材8に四つの回動部材10a〜10dを高さ方向にずらして2つ設けた駆動源1dが示されている。
駆動源1dは、内部を真空雰囲気とすることができる筐体2に設置されている。ベース部材3、隔壁部材5、固定軸部材8などの構成は前記第2実施形態と同様であるので重複する説明は省略する。
本実施形態においては、ベース部材3から筐体2の内側に向けて円筒状の外周部材3aが軸方向に立ち上がっている。また、固定軸部材8の先端には先端部材13が固定されている。先端部材13はベース部材3に相当する円盤状であり、その外周にはベース部材3に向かって立ち上がる外周部材13aが形成されている。
外周部材13aの内周には2列の軸受11cを介して回動部材10cが回転自在に支持され、その内側には2列の軸受11dを介して回動部材10dが回転自在に支持されている。これにより、回動部材10c,10dがそれぞれ先端部材13ないしベース部材3に対して回転自在である。
なお、各電機子6a〜6dおよび磁石9a〜9dに隣接して、センサ7a〜7pが配置されている。
このような第4実施形態でも、固定子である電機子6a〜6dおよび回転子である磁石9a〜9dに加え、軸受11a〜11dまでが固定軸部材8の軸方向の同じ領域に同軸状に配置されている。これにより、駆動源1dとしての軸方向の長さを短縮することが可能となる。
また、各実施形態における各機能部品は、それぞれ同様のもので代替するとしてもよく、例えば軸受はいわゆる転がり軸受に限らず、自己潤滑性の合成樹脂材料を用いたもの等であってもよい。更に、各部材の区画割りあるいは接合構造も適宜設計しうる事項であり、各部の材質等も必要条件に応じて適宜選択すればよい。
Claims (11)
- 筐体に設置されるベース部材と、前記ベース部材から前記筐体の内側に向けて設置された固定軸と、前記固定軸と同軸状に配置された回動部材と、前記固定軸を中心に前記回動部材を回転自在に支持する軸受と、前記固定軸と同軸状に配置された固定子と、前記回動部材に配置されかつ前記固定子に対向される回転子と、前記固定子と前記回転子との間に前記固定軸と同軸状に設置されて前記筐体外の大気雰囲気と前記筐体内の真空雰囲気とを隔てる隔壁部材と、を有する駆動源であって、
前記固定軸の外側に前記固定軸と同軸状に設置された円筒状の外周部材を有し、
前記固定子は前記固定軸の外周または前記外周部材の内周の何れか一方に形成された凹部内に配置されかつ前記隔壁部材を挟んで前記回転子と互いに一定間隔で近接配置され、
前記軸受は前記固定軸の外周または前記外周部材の内周の何れか他方に配置され、
これらの固定子および軸受が前記固定軸の軸方向の同じ領域に同軸状に配置されていることを特徴とする駆動源。 - 請求項1に記載した駆動源において、
前記ベース部材は前記筐体の開口部分に配置されており、
前記外周部材と前記固定軸とはそれぞれ前記ベース部材の前記筐体内側に向かう同じ側に設置されていることを特徴とする駆動源。 - 請求項1に記載した駆動源において、
前記ベース部材は前記筐体の開口部分よりも前記筐体の外側に離れて配置されており、
前記ベース部材と前記筐体とが前記外周部材で連結されていることを特徴とする駆動源。 - 請求項1に記載した駆動源において、
前記ベース部材は前記筐体の開口部分よりも前記筐体の内側に離れて配置されており、
前記ベース部材と前記筐体とが前記固定軸で連結されていることを特徴とする駆動源。 - 請求項1から請求項4の何れかに記載した駆動源において、
前記回動部材、前記回転子、前記固定子および前記軸受が、同じ固定軸の軸方向にずらした位置に複数組設置されていることを特徴とする駆動源。 - 請求項5に記載した駆動源において、
前記軸受の一つは前記回動部材の一つと前記固定軸とを回転自在に連結するとともに、
前記軸受の他の一つは前記回動部材の一つを前記回動部材の他の一つに回転自在に連結することを特徴とする駆動源。 - 請求項1から請求項6の何れかに記載した駆動源において、
前記回動部材に磁石を備えることにより前記隔壁部材の内部に備える位置検出手段が回動部材の位置検出を行うことを特徴とする駆動源。 - 請求項1から請求項7の何れかに記載した駆動源において、
前記隔壁部材の素材がニッケル合金であることを特徴とする駆動源。 - 請求項1から請求項8の何れかに記載の駆動源と、
駆動源に備える回動部材に突出して固設する駆動アームと、
前記駆動アームの他端に回動自在に連結された従動アームと、
前記従動アームの他端に回動自在に連結されたエンドエフェクタとを有し、
前記駆動源により駆動アームが回動するとともに従動アームが連動することでエンドエフェクタを進退運動できることを特徴とする搬送ロボット。 - 請求項9に記載した搬送ロボットにおいて、
前記回動部材の側面又は上面に2つの駆動アームを備えるとともに、各駆動アームの端部付近に連結された2つの従動アームと、各従動アームの端部付近に連結された2つのエンドエフェクタを有し、
該エンドエフェクタの進退方向が同一または旋回方向にずれた方向であることを特徴とする搬送ロボット。 - 請求項1から請求項8の何れかに記載の駆動源と、
駆動源に備える回動部材に突出して固設する第一駆動アームと、
第一駆動アームと軸方向に異なる位置に回動中心を有する第二駆動アームと、
第一駆動アーム、第二駆動アームと第一従動アーム、第二従動アームとを回動可能にそれぞれ支持するとともに、第一駆動アームの回動を第一従動アームへ伝達しかつ第二駆動アームの回動を第二従動アームへ伝達する回動伝達手段と、
第一従動アームと第二従動アームに回動可能に支持するエンドエフェクタと、
を備えることを特徴とする搬送ロボット。
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