CN1981371A - 驱动源及移动式搬运机器人 - Google Patents

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Abstract

本发明具备用于安装在能够使内部为真空气氛的筐体内的基座构件。在该基座构件上设置隔开大气气氛和真空气氛的隔壁，并且在基座构件上的不同于转动构件的部位设置驱动源的转动部分即转动构件。由于在该隔壁的大气气氛侧设有作为尘埃的产生源的电枢，所以能够确保真空气氛侧的高净化度。另外，通过将该隔壁和转动构件设置在不同的部位，可不考虑隔壁用于支承转动构件的刚性，能够减薄隔壁的厚度。另外，能够减少转动构件的转动造成的振动或惯性所产生的挠曲带来的影响，与现有的结构相比，缩短了从电枢到转动构件所具备的磁铁的间隔。由此，能够获得高的停止位置精度。

Description

驱动源及移动式搬运机器人
技术领域
本发明涉及在真空气氛中利用的驱动源及移动式搬运机器人。更详细地，涉及进行移动及处理时设置于需要高净化的环境这一环境和大气的边界的驱动源及具备该驱动源的衬底等的移动式搬运机器人。
此外，本发明还可适用于任一种在进行移动及处理时需要高净化环境的物品。尤其在以下说明中以作为电子部件的半导体晶片或LCD为例进行说明，但其仅用于例示，并不限定本发明。
背景技术
通常，半导体或LCD等衬底的制造在高净化的环境、即所谓的无尘室中进行。对该无尘室内所具备的半导体晶片等的制造装置而言，有时为了进行多种多样的处理而具有多个处理装置。在这种处理装置中，为了提高产品的成品率(良品率)，可气密地封闭进行各种处理的处理室内，使其内部形成为真空气氛，由此进一步高净化地保持其内部而进行加工处理。进而，各处理装置的处理室与用于在相互的装置间移载产品的移载室连结，移载室自身也能够气密地封闭。另外，通过在移载室设置移动式搬运机器人，能够进行衬底从用于向制造装置内输出输入衬底的装载锁定(loadlock)室向各处理室的移动。为了进行这种高真空状况下的产品的输送，而改良了输送装置(参照专利文献1)。
图10所示的输送装置1A是在作为无尘室内的超真空环境的多室(multi-chamber)内输送晶片等的装置。
输送装置1A设置于在真空室50(筐体)的壁体的一部分上形成的开口部分，输送装置1A具有凸缘部11(基座构件)，该凸缘部11和真空室50的壁体以气密状态安装，以能够承受真空室50内的高真空。
在凸缘部11上朝向真空室50的内部设置有固定轴10(固定轴构件)。在固定轴10的外侧设置有中空构造的工作轴21、22(转动构件)。工作轴21、22与固定轴10呈同轴状，并且保持在上下方向上相互错开的位置，经由轴承转动自如地安装。
在工作轴21、22各自的内侧，在固定轴10的外周设置有电磁式定子S(电枢)，在工作轴21、22的内周设置有使用了永久磁铁的转子R，这些定子S和转子R配置在相互对置的位置，由它们构成了电磁电动机M。定子S收容于在固定轴10上形成的凹部13中，在其外周(凹部13的开口面)焊接有隔壁构件14，由此包括定子S的凹部13内和真空室50内被隔绝。
在工作轴21、22各自的内侧，设置有用于检测工作轴21、22各自的位置的旋转变压器(resolver)式的位置检测器40。位置检测器40与电动机M设置在沿固定轴10的轴向错开的区域。位置检测器40与电动机M同样，具有定子42和转子41，其中，定子42与电动机M同样，收容在固定轴10的凹部13内，并由隔壁构件14密封了外周。
通过以上的凸缘部11或固定轴10、隔壁构件14、工作轴21、22、电动机M、位置检测器40构成了高真空用的驱动源。
在此，输送臂组件30(驱动臂)与工作轴21、22连接。而且，滑轮31与工作轴21连接，臂32与工作轴22连接，它们可经由在输送臂组件30的前端设置的可动机构(省略图示)进行半导体晶片等产品的处理。
通过以上的输送臂组件30和驱动源构成了输送装置1A(移动式搬运机器人)。
专利文献1：特开2000-167792号公报
在所述的输送装置1A中，为了在轴向上夹持与工作轴21、22分别对应的电动机M而配置一对轴承B。因此，工作轴21、22的轴向的长度成为电动机M的轴向长度与轴承B的轴向长度之和。因此，工作轴21、22的轴向的长度变长，在小型化方面成为问题。尤其，当在轴向上排列工作轴21、22时，所述的轴向的长度更加成为问题。
此外，在所述的输送装置1A中，通过旋转变压器式位置检测器40进行工作轴21、22的位置检测。通常，旋转变压器式位置检测器40容易受定子S的影响，从而需要设置在从定子S沿轴向离开的位置。因此，存在输送装置1A整体的轴向的大小(高度)进一步增大的问题。
在所述的输送装置1A中，在固定轴10的凹部13中收容有定子S，在其外侧焊接安装有隔壁构件14。因此，若隔壁构件的厚度加厚，则从定子S到转子R的间隔增大，电动机转矩减小，并且停止位置的精度也降低。
此外，固定轴10和工作轴21、22经由轴承B安装。此时，考虑到工作轴21、22的转动造成的工作轴自身的挠曲或振动等，需要在从隔壁构件14到转子R的距离上设置余量，在这一点上也可能会减小电动机转矩及降低位置精度。
另外，在该输送装置1A中，在臂32内部，通过在工作轴21上安装的滑轮的转动经由带而使输送臂组件130动作。该输送装置1A的臂32处于真空气氛中，未实现用于遮断臂32内部和真空气氛的磁性密封件等所起到的产生灰尘的作用。如果在超高真空(10-6Pa)且高温的环境下使用该输送装置，则带77内含有的有机物等挥发而在真空室50内飘荡，引起污染并产生产品成品率(产品良品率)变差的问题。
发明内容
本发明的驱动源具有：设置于筐体的基座构件；从所述基座构件朝向所述筐体的内侧设置的固定轴；在该固定轴的外侧与所述固定轴同轴状设置的外周构件；与所述固定轴同轴状配置的转动构件；以所述固定轴为中心支承所述转动构件并确保其旋转自如的轴承；与所述固定轴同轴状配置的定子；配置于所述转动构件且与所述定子对置的转子；和隔壁构件，其在所述定子和所述转子之间与所述固定轴同轴状设置，且隔开所述筐体外的大气气氛和所述筐体内的真空气氛，该驱动源的特征在于，所述定子配置于所述固定轴的外周或所述外周构件的内周中的任意一方，所述轴承配置于所述固定轴的外周或所述外周构件的内周中的任意另一方，这些定子及轴承在所述固定轴的轴向的相同区域同轴状配置。
在这种本发明的驱动源中，构成电动机的定子及转子、和轴承同轴配置在转动构件的旋转轴的轴向的相同区域，从而能够抑制作为驱动源的轴向长度。因此，在沿轴向配置多个电动机或转动构件的情况下，也能够防止作为驱动源的轴向的尺寸增大。
在本发明的驱动源中，可构成为：所述基座构件配置于所述筐体的开口部分，所述外周构件和所述固定轴分别设置在所述基座构件的朝向所述筐体内侧的相同侧。
如果形成这种结构，则能够密封筐体的开口部分，在设置于筐体时能够形成最简洁的结构。
在本发明的驱动源中，可构成为：所述基座构件从所述筐体的开口部分向所述筐体的外侧离开而配置，所述基座构件和所述筐体由所述外周构件连结。
如果形成这种结构，则可经由外周构件支承基座部分，以向筐体的外侧伸出的形式设置驱动源。由此，能够避免驱动源占有筐体内的空间。
在本发明的驱动源中，可构成为：所述基座构件从所述筐体的开口部分向所述筐体的内侧离开而配置，所述基座构件和所述筐体由所述固定轴连结。
如果形成这种结构，则可经由固定轴支承基座部分，例如在将可动构件或电动机形成双联结构时，优选形成从筐体的开口部分离开的一侧的结构。
在本发明的驱动源中，可构成为：在沿同一固定轴的轴向错开的位置设置有多组所述转动构件、所述转子、所述定子及所述轴承。
如果形成这种结构，则例如在辙叉引线(frog leg)型移动式搬运机器人那样的需要两个驱动的情况下也能够紧凑地形成。
在所述的具有多组的驱动源中，优选所述轴承之一连结所述转动构件之一和所述固定轴并确保其旋转自如，并且，所述轴承的另一个连结所述转动构件之一和所述转动构件的另一个并确保其旋转自如。
如果形成这种结构，则能够使各组轴承进一步在轴向的相同区域重复，从而能够将驱动源进一步紧凑化。
本发明的驱动源是能够使内部成为真空气氛的筐体所具备的驱动源，其包括：安装于筐体内部的基座构件；在基座构件上隔开大气气氛和真空气氛的隔壁构件；电枢，其环状地邻接设置在作为大气气氛侧的所述隔壁构件的内部；和转动构件，其设置在基座构件上的不同于隔壁构件的部位，并且能够与隔壁构件保持一定距离而转动。
在本发明的驱动源中，可将多个电枢在高度方向上错开而设置，并且具备与各电枢对应的转动构件。
本发明的筐体是进行衬底的各种处理的处理装置的处理室(真空室)或用于通过移动式搬运机器人向该处理室移载衬底等的移载室等。该筐体能够使内部气密，另外，能够通过真空泵形成为以比通常的大气压低的压力的气体充满的状态(以下，称为真空气氛)。
在本发明的驱动源中，优选夹着隔壁构件而对置的所述电枢和所述转动构件之间具有一定距离。
该一定距离具体为0.2mm到1.0mm，优选为0.2mm到0.5mm，更加优选为0.2mm到0.3mm。该一定距离如果在0.2mm以下则更好，但在本发明中，考虑到转动构件旋转时的偏心量或将隔壁构件置于真空气氛中时的微小的膨胀(收缩)，而设为0.2mm以上。例如在隔壁构件是不锈钢时，即使其厚度为0.05mm也能够充分承受由处理装置进行处理时的超高真空。但考虑到批量生产该驱动源时的个体差，而使所述厚度具有一定宽度。
在本发明的驱动源中，在所述隔壁构件的内部设置的位置检测机构可通过在所述转动构件上设置磁铁来进行转动构件的位置检测。
在本发明的驱动源中，优选所述隔壁构件的原材料是镍合金。
在本发明的驱动源中，可在基座构件上的不同于隔壁构件的部位经由轴承构件设置转动构件。
根据这种结构，由于不需要用于支承转动构件并确保其可转动的刚性，所以能够形成为只考虑了能够耐真空这一条件的厚度。另外，与隔壁构件具备转动构件的情况相比，因转动构件的转动而产生的挠曲或振动所导致的转动构件的偏心量减少。根据这些理由，能够将从隔壁构件到转动构件的距离形成得比以往窄。
本发明的隔壁构件是筒形状，且为了其顶部能够耐真空气氛和大气的压力差，也可为顶部的厚度比筒部分即侧部厚的平板或波形状等的板材。另外，该隔壁构件的原材料并不限于不锈钢等金属，也可采用导磁性高的原材料，例如晶体玻璃、镍合金等。
本发明的驱动源还可用于具有辙叉引线形状的连杆型机器人等标量型机器人中的任一种。
本发明的移动式搬运机器人包括：所述的本发明的驱动源；在驱动源所具备的转动构件上突出而固定设置的驱动臂；可转动地设置于所述驱动臂的另一端的从动臂；和可转动地设置于所述从动臂的另一端的手端操作装置，移动式搬运机器人的特征在于，通过所述电枢的工作，驱动臂转动并且从动臂连动，由此能够使手端操作装置进退运动。
在本发明的移动式搬运机器人中，优选在所述转动构件的侧面或上面具备两个驱动臂，并且在该驱动臂的端部附近分别设置从动臂，由此能够使两个手端操作装置进退运动，并且，该手端操作装置的进退方向相同或是在旋转方向上错开的方向。
本发明的移动式搬运机器人可构成为具备：所述的本发明的驱动源；在驱动源所具备的转动构件上突出而固定设置的第一驱动臂；在轴向上不同于第一驱动臂的位置具有转动中心的第二驱动臂；与这些第一驱动臂及第二驱动臂连结的第一从动臂及第二从动臂；转动传递机构，其将来自第一驱动臂及/或第二驱动源的转动传递给第一从动臂及/或第二从动臂；和可转动地支承于第一从动臂和第二从动臂的手端操作装置。
如上所述的本发明的驱动源，通过夹着隔壁在大气侧设置电枢，能够隔离尘埃的产生源。另外，在隔壁的真空气氛侧设置转动构件，并且在不同于隔壁的另外的筐体内部设置支承该转动构件并确保其可旋转的轴承构件。由此，与将转动构件可转动地设于隔壁的情况相比，可以不考虑转动构件的转动所产生的挠曲或振动等，能够缩小从隔壁到可动构件的间隔，不需要隔壁具有用于支承转动构件的刚性，所以能够使隔壁的厚度比以往更加薄。进而，由此能够进一步拉近电枢和转动构件，增加励磁力，并且提高定位精度。
另外，在该驱动源中，将隔壁独立于固定轴构件或转动轴构件而设置于基座构件，所以只要是能够耐超真空环境的厚度即可，从而能够容易地简化构造并确保真空气氛。
在本发明的驱动源中，通过在电枢和传感器之间设置磁性遮断机构，能够在不给传感器的工作带来的影响的情况下缩短电枢和传感器之间的间隔。由此，能够降低驱动源整体的高度，能够节省空间化。
另外，在具备该驱动源的移动式搬运机器人中不采用作为尘埃的产生源的带等，另外，由隔壁构件隔离驱动源的电枢或传感器等，从而能够减少尘埃的产生。
附图说明
图1是表示本发明的第一实施方式的具备一个转动构件的驱动源的纵剖面图；
图2是表示本发明的第二实施方式的具备两个转动构件的驱动源的纵剖面图；
图3是表示图2的驱动源的局部截断的立体图；
图4是表示所述第二实施方式的输送臂的立体图；
图5是表示所述第二实施方式的输送臂的变形的立体图；
图6是表示所述第二实施方式的输送臂的变形的立体图；
图7是表示图6的输送臂的关节部分的局部切开立体图；
图8是表示本发明的第三实施方式的具备两个转动构件的驱动源的纵剖面图；
图9是表示本发明的第四实施方式的具备两个转动构件的驱动源的纵剖面图；
图10是表示现有的驱动源的剖面侧视图。
图中：1-驱动源；2-筐体；3-基座构件；4-O型环；5-隔壁构件；6、6a、6b-电枢(定子)；7a～7h-传感器；8-固定轴构件；9、9a、9b-磁铁(转子)；10、10a、10b-转动构件；11、11a、11b-轴承；12-移动式搬运机器人；13、13a、13b-驱动臂；14、14a～14d-从动臂；15-手端操作装置；16-衬底；17a、17b-支轴；18-钢带；19-转动传递机构；20-筐体。
具体实施方式
[第一实施方式]
图1示出本发明的第一实施方式的驱动源1a。
驱动源1a设置在能够使内部为真空气氛的筐体2的开口部分，对在该筐体2内进行产品输送等的移动式搬运机器人进行驱动。
驱动源1a具有基座构件3，该基座构件3以覆盖所述筐体2的开口部分的方式固定并安装在筐体2上。在基座构件3和筐体2的开口周缘的接触部位设置有O型环4，用于将相互之间维持为气密状态。在基座构件3的中央设置有向筐体2的内部延伸的固定轴构件8。固定轴构件8是中空的，其内部空间与基座构件3连通。其中，在基座构件3的同侧，设置有将固定轴构件8覆盖的有底筒状的隔壁构件5。通过该隔壁构件5将筐体2的内部即真空区域IV与筐体2的外侧即大气区域IA相互隔离为气密状态。
基座构件3向图中下方形成为凸状，其立起部分(外周构件)形成为与隔壁构件5同轴。在该外周构件的内侧设置有二列轴承11，经由该轴承11支承圆筒状的转动构件10并确保其旋转自如。转动构件10以内周相对隔壁构件5的外周留有一定距离的方式被支承。
在转动构件10的内周同轴配置有磁铁9(转子)及传感器7a、7b。在固定轴构件8的外周同轴配置有电枢6(定子)及传感器7e、7f。磁铁9及电枢6夹着隔壁构件5对置配置，传感器7a、7b及传感器7e、7f也夹着隔壁构件5对置配置。这些对置配置的各构件的前端充分接近隔壁构件5而配置，且设定为相互以最小限度的一定间隔而对置。
在这种第一实施方式中，除了作为定子的电枢6及作为转子的磁铁9之外，轴承11也在固定轴构件8的轴向的相同区域同轴状配置。由此，能够缩短作为驱动源1a的轴向的长度。
[第二实施方式]
图2及图3示出在一个固定轴构件8上将两个转动构件10a、10b沿高度方向错开而配置两个的驱动源1b。
驱动源1b设置于能够使内部为真空气氛的筐体2。基座构件3及其外周构件、隔壁构件5、固定轴构件8等的结构与所述第一实施方式相同，省略重复的说明。
在本实施方式中，在一个固定轴构件8上设置有两个转动构件10a、10b。其中，一个转动构件10a如所述第一实施方式所叙述，经由二列轴承11a旋转自如地支承于基座构件3的外周构件。另一个转动构件10b经由二列轴承11b旋转自如地连接于转动构件10a的上缘内侧，并经由转动构件10a支承于基座构件3。在该结构中，基座构件3和转动构件10a旋转自如，转动构件10a、10b相互旋转自如，因此，转动构件10a、10b均相对基座构件3分别旋转自如。
在转动构件10a的内周设置有传感器7e、7f及作为转子的磁铁9a、9b。在固定轴构件8的外周设置有夹着隔壁构件5对置的传感器7a、7b及作为定子的电枢6a、6b。它们相互对置的端部分别接近隔壁构件5，留有细微的一定间隔而对置。
在转动构件10b的内周设置有传感器7g、7h及作为转子的磁铁9c、9d。在固定轴构件8的外周设置有夹着隔壁构件5对置的传感器7c、7d及作为定子的电枢6c、6d。它们的相互面对的端部分别接近隔壁构件5，保持细微的一定间隔而对置。
在这种第二实施方式中，除了作为定子的电枢6a、6b及作为转子的磁铁9a、9b之外，轴承11a、11b也在固定轴构件8的轴向的相同区域同轴状配置。由此，能够缩短作为驱动源1b的轴向的长度。
此外，本实施方式的隔壁构件5具有0.3mm左右的厚度。该厚度为了进行半导体晶片等的处理而在高真空10-1Pa到10-5Pa左右的真空状态或超高真空10-6Pa下也能够不变形或破损地进行动作的程度的厚度。
在本实施方式中，具备与转动构件10a、10b连接的输送臂，构成为在筐体2的内侧输送产品的移动式搬运机器人12a。
图4中，移动式搬运机器人12a以保持衬底16等的手端操作装置的进退方向成为不同于旋转方向的方向的方式设置。该移动式搬运机器人12a在驱动源1b的转动构件10a、10b的侧面及上面向水平面内突出而设置驱动臂13a、13b。在该移动式搬运机器人12a中，根据驱动源1的工作，驱动臂13a、13b进行转动，在驱动臂13a、13b的端部上面支承的从动臂14a、14b随之连动，从而能够使可转动地支承于从动臂14a、14b上的手端操作装置15在水平面内进退运动。
另外，在支承设置于该从动臂14a、14b上的手端操作装置15并确保其可转动的支轴17a、17b的侧面，以在高度方向上错开并卷绕成S字状及反S字状的方式设置有两条钢带18。由此，支轴17a和支轴18b能够相对手端操作装置15在相互相反的方向上转动相同的角度。该转动传递机构是与后述的图7所示的转动传递机构相同的结构。
在图4的移动式搬运机器人12a中，在驱动臂13的端部上面分别具备一个从动臂14。
与此相对，图5所示的移动式搬运机器人12b在驱动臂13的端部上面分别具备两个从动臂14a、14b。在该从动臂14a、14b的端部附近具备手端操作装置15a、15b。由此，可在相差180°的方向上进退运动，如果一方通过驱动源的工作而前进，则另一方随之连动而后退，从而能够进行衬底的交接。
图6的移动式搬运机器人12c包括：图1的驱动源1a；在驱动源1a所具备的转动构件10上突出而固定设置的驱动臂13a；在不同于驱动臂13a的位置具有转动中心的驱动臂13b；转动传递机构19，其分别支承驱动臂13a、13b和从动臂14a、14b并确保其可转动，并且将驱动臂13a、13b的转动传递给从动臂14a、14b；可转动地支承于从动臂14a、14b的手端操作装置15。
图7是表示图6的移动式搬运机器人12c的转动传递机构19的局部切开立体图。该转动传递机构19具有筐体20，该筐体20支承驱动臂13a、13b所具备的支轴17a和从动臂14a、14b所具备的17b并确保其可转动。在该支轴17a和17b的侧部以卷绕成S字状和反S字状的方式设置有两条钢带18。由此，能够将驱动臂13a、13b的转动传递给从动臂14a、14b。
[第三实施方式]
图8示出在一个固定轴构件8上将两个转动构件10a、10b在高度方向上错开而设置两个的驱动源1c。
驱动源1c设置于能够使内部为真空气氛的筐体2。基座构件3及其外周构件3a、隔壁构件5、固定轴构件8等的结构与所述第二实施方式相同，省略重复的说明。此外，在本实施方式中，外周构件3a形成为在轴向上比较长，二组转动构件10a、10b的电枢6a、6b、磁铁9a、9b部分基本上配置在筐体2之外。
在本实施方式中，在固定轴构件8的外周经由4列轴承11a旋转自如地支承有转动构件10b，在其外侧经由2列轴承11b旋转自如地支承有转动构件10a。由此，与所述第二实施方式同样，转动构件10a、10b分别相对基座构件3旋转自如。
在本实施方式中，作为定子的电枢6a、6b和作为转子的磁铁9a、9b的内外与所述第二实施方式相反。
在基座构件3的外周构件3a的内周形成有凹部，在其内部收纳有电枢6a、6b。凹部的开口由隔壁构件5a闭塞。
在转动构件10a、10b的外周配置有与电枢6a、6b对置的磁铁9a、9b，与所述第二实施方式同样，相互以一定间隔接近配置。
此外，对传感器7a～7h而言，其配置也与所述第二实施方式相反。
在这种第三实施方式中也同样，除了作为定子的电枢6a、6b及作为转子的磁铁9a、9b之外，轴承11a、11b也在固定轴构件8的轴向的相同区域同轴状配置。由此，能够缩短作为驱动源1c的轴向的长度。
[第四实施方式]
图9示出在一个固定轴构件8上将四个转动构件10a～10d在高度方向上错开而设置两个的驱动源1d。
驱动源1d设置于能够使内部为真空气氛的筐体2。基座构件3、隔壁构件5、固定轴构件8等的结构与所述第二实施方式相同，省略重复的说明。
在本实施方式中，从基座构件3朝向筐体2的内侧沿轴向立起有圆筒状的外周构件3a。另外，在固定轴构件8的前端固定有前端构件13。前端构件13是与基座构件3相当的圆盘状，在其外周形成有朝向基座构件3立起的外周构件13a。
在外周构件3a的内周经由2列轴承11a旋转自如地支承有转动构件10a，在其内侧经由2列轴承11b旋转自如地支承有转动构件10b。由此，转动构件10a、10b分别相对基座构件3旋转自如。
在外周构件13a的内周经由2列轴承11c旋转自如地支承有转动构件10c，在其内侧经由2列轴承11d旋转自如地支承有转动构件10d。由此，转动构件10c、10d分别相对前端构件13或基座构件3旋转自如。
在各转动构件10a～10d的内周配置有作为转子的磁铁9a～9d，与它们对置地，在固定轴构件8的外周配置有作为定子的电枢6a～6d。在它们之间配置有圆筒状的隔壁构件5b，夹着该隔壁构件5b相互以一定间隔接近配置有与电枢6a～6d对置的磁铁9a～9d。
此外，与各电枢6a～6d及磁铁9a～9d邻接地配置有传感器7a～7p。
在这种第四实施方式中也同样，除了作为定子的电枢6a～6d及作为转子的磁铁9a～9d之外，轴承11a～11d也在固定轴构件8的轴向的相同区域同轴状配置。由此，能够缩短作为驱动源1d的轴向的长度。
此外，本发明并不限定于所述各实施方式，各实施方式中的细部构造等可根据实施而适当设定。
另外，各实施方式中的各功能部件也可分别由同样的部件代替，例如轴承并不限于所谓的滚动轴承，也可为采用了自润滑性合成树脂材料的轴承等。进而，各构件的单元比例或接合构造也为可适当设计的事项，各部分的材质等也可根据必要条件而适当选择。

Claims (14)

1.一种驱动源，其具有：设置于筐体的基座构件；从所述基座构件朝向所述筐体的内侧设置的固定轴；与所述固定轴同轴状配置的转动构件；以所述固定轴为中心支承所述转动构件并确保其旋转自如的轴承；与所述固定轴同轴状配置的定子；配置于所述转动构件且与所述定子对置的转子；和隔壁构件，其在所述定子和所述转子之间与所述固定轴同轴状设置，且隔开所述筐体外的大气气氛和所述筐体内的真空气氛，该驱动源的特征在于，
具有在所述固定轴的外侧与所述固定轴同轴状设置的外周构件，
所述定子配置于所述固定轴的外周或所述外周构件的内周中的任意一方，
所述轴承配置于所述固定轴的外周或所述外周构件的内周中的任意另一方，
这些定子及轴承在所述固定轴的轴向的相同区域同轴状配置。
2.根据权利要求1所述的驱动源，其特征在于，
所述基座构件配置于所述筐体的开口部分，
所述外周构件和所述固定轴分别设置在所述基座构件的朝向所述筐体内侧的相同侧。
3.根据权利要求1所述的驱动源，其特征在于，
所述基座构件从所述筐体的开口部分向所述筐体的外侧离开而配置，
所述基座构件和所述筐体由所述外周构件连结。
4.根据权利要求1所述的驱动源，其特征在于，
所述基座构件从所述筐体的开口部分向所述筐体的内侧离开而配置，
所述基座构件和所述筐体由所述固定轴连结。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的驱动源，其特征在于，
在沿同一固定轴的轴向错开的位置设置有多组所述转动构件、所述转子、所述定子及所述轴承。
6.根据权利要求5所述的驱动源，其特征在于，
所述轴承之一连结所述转动构件之一和所述固定轴并确保其旋转自如，并且，
所述轴承的另一个连结所述转动构件之一和所述转动构件的另一个并确保其旋转自如。
7.一种驱动源，其是能够使内部成为真空气氛的筐体所具备的驱动源，其特征在于，包括：
安装于筐体内部的基座构件；
在基座构件上隔开大气气氛和真空气氛的隔壁构件；
电枢，其环状地邻接设置在作为大气气氛侧的所述隔壁构件的内部；和
转动构件，其设置在基座构件上的不同于隔壁构件的部位，并且能够与隔壁构件保持一定距离而转动。
8.根据权利要求7所述的驱动源，其特征在于，
多个所述电枢在高度方向上错开而设置，并且具备与各电枢对应的转动构件。
9.根据权利要求7所述的驱动源，其特征在于，
夹着所述隔壁构件而对置的所述电枢和所述转动构件之间具有一定距离。
10.根据权利要求1～9中任一项所述的驱动源，其特征在于，
在所述隔壁构件的内部设置的位置检测机构通过在所述转动构件上设置磁铁来进行转动构件的位置检测。
11.根据权利要求1～10中任一项所述的驱动源，其特征在于，
所述隔壁构件的原材料是镍合金。
12.一种移动式搬运机器人，其特征在于，具有：
权利要求1～11中任一项所述的驱动源；
在驱动源所具备的转动构件上突出而固定设置的驱动臂；
与所述驱动臂的另一端转动自如地连结的从动臂；和
与所述从动臂的另一端转动自如地连结的手端操作装置，
通过所述驱动源，驱动臂转动并且从动臂连动，由此能够使手端操作装置进退运动。
13.根据权利要求12所述的移动式搬运机器人，其特征在于，
在所述转动构件的侧面或上面具备两个驱动臂，并且具有与各驱动臂的端部附近连结的两个从动臂、和与各从动臂的端部附近连结的两个手端操作装置，
该手端操作装置的进退方向相同或是在旋转方向上错开的方向。
14.一种移动式搬运机器人，其特征在于，具有：
权利要求1～11中任一项所述的驱动源；
在驱动源所具备的转动构件上突出而固定设置的第一驱动臂；
在不同于第一驱动臂的位置具有转动中心的第二驱动臂；
转动传递机构，其分别支承第一驱动臂、第二驱动臂和第一从动臂、第二从动臂并确保其可转动，并且将来自第一驱动臂及/或第二驱动源的转动传递给第一从动臂及/或第二从动臂；和
可转动地支承于第一从动臂和第二从动臂的手端操作装置。
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