JP2019214788A5 - - Google Patents

Description

本開示の一実施形態は、蒸着マスクを製造するために用いられる金属板であって、前記金属板の長手方向及び前記長手方向に直交する幅方向を有する表面を備え、前記表面に直交する少なくとも１つの平面内において４５°±０．２°の入射角度で前記表面に光を入射させた場合に測定される、前記光の正反射による表面反射率が、８％以上且つ２５％以下である、金属板である。
前記金属板は、前記幅方向における一端から他端に並ぶ第１領域、第２領域及び第３領域であって、各々が前記幅方向において同一の長さを有する第１領域、第２領域及び第３領域を含み、前記第１領域、前記第２領域及び前記第３領域のそれぞれの前記表面において、前記表面反射率が８％以上且つ２５％以下であってもよい。

本開示の一実施形態は、蒸着マスクを製造するために用いられる金属板の検査方法であって、前記金属板は、前記金属板の長手方向及び前記長手方向に直交する幅方向を有する表面を備え、前記検査方法は、光を前記表面に入射させた場合に測定観測される反射光の表面反射率を測定する測定工程と、前記反射光のうち記表面に直交する少なくとも１つの平面内において４５°±０．２°の角度で前記表面から出射する前記反射光の前記表面反射率が８％以上且つ２５％以下である場合に前記金属板を良品と判定する判定工程と、を備える、金属板の検査方法である。
前記金属板は、前記幅方向における一端から他端に並ぶ第１領域、第２領域及び第３領域であって、各々が前記幅方向において同一の長さを有する第１領域、第２領域及び第３領域を含み、前記測定工程は、光を前記第１領域、前記第２領域及び前記第３領域のそれぞれの前記表面に入射させた場合に測定観測される反射光の表面反射率を測定してもよい。

本開示の一実施形態は、蒸着マスクを製造するために用いられる金属板の製造方法であって、前記金属板を圧延法又はめっき法によって得る作製工程を備え、前記金属板は、前記金属板の長手方向及び前記長手方向に直交する幅方向を有する表面を備え、光を前記表面に入射させた場合に観測される反射光のうち、前記表面に直交する少なくとも１つの平面内において４５°±０．２°の角度で前記表面から出射する前記反射光の表面反射率が、８％以上且つ２５％以下である、金属板の製造方法である。
前記金属板は、前記幅方向における一端から他端に並ぶ第１領域、第２領域及び第３領域であって、各々が前記幅方向において同一の長さを有する第１領域、第２領域及び第３領域を含み、前記第１領域、前記第２領域及び前記第３領域のそれぞれの前記表面において、前記表面反射率が８％以上且つ２５％以下であってもよい。

本開示の一実施形態は、蒸着マスクであって、長手方向及び前記長手方向に直交する幅方向を有する表面を含む金属板と、前記金属板に形成された複数の貫通孔と、を備え、光を前記金属板の表面に入射させた場合に観測される反射光のうち、前記表面に直交する少なくとも１つの平面内において４５°±０．２°の角度で前記表面から出射する前記反射光の表面反射率が、８％以上且つ２５％以下である、蒸着マスクである。
前記金属板は、前記幅方向における一端から他端に並ぶ第１領域、第２領域及び第３領域であって、各々が前記幅方向において同一の長さを有する第１領域、第２領域及び第３領域を含み、
前記第１領域、前記第２領域及び前記第３領域のそれぞれの前記表面において、前記表面反射率が８％以上且つ２５％以下であってもよい。

本開示の一実施形態は、長手方向及び前記長手方向に直交する幅方向を有する表面を含む金属板と、前記金属板に形成された複数の貫通孔と、を備える蒸着マスクと、前記蒸着マスクを支持するフレームと、を備え、光を前記金属板の前記表面に入射させた場合に観測される反射光のうち、前記表面に直交する少なくとも１つの平面内において４５°±０．２°の角度で前記表面から出射する前記反射光の表面反射率が、８％以上且つ２５％以下である、蒸着マスク装置である。
前記金属板は、前記幅方向における一端から他端に並ぶ第１領域、第２領域及び第３領域であって、各々が前記幅方向において同一の長さを有する第１領域、第２領域及び第３領域を含み、前記第１領域、前記第２領域及び前記第３領域のそれぞれの前記表面において、前記表面反射率が８％以上且つ２５％以下であってもよい。

本開示の一実施形態は、複数の貫通孔が形成された蒸着マスクを製造する方法であって、長手方向及び前記長手方向に直交する幅方向を有する表面を含む金属板を準備する工程と、前記金属板の前記表面にレジスト膜を設けるレジスト膜形成工程と、前記レジスト膜を加工してレジストパターンを形成する工程と、前記レジストパターンをマスクとして前記金属板をエッチングする工程と、を備え、光を前記金属板の前記表面に入射させた場合に観測される反射光のうち、前記表面に直交する少なくとも１つの平面内において４５°±０．２°の角度で前記表面から出射する前記反射光の表面反射率が、８％以上且つ２５％以下である、蒸着マスクの製造方法である。
前記金属板は、前記幅方向における一端から他端に並ぶ第１領域、第２領域及び第３領域であって、各々が前記幅方向において同一の長さを有する第１領域、第２領域及び第３領域を含み、前記第１領域、前記第２領域及び前記第３領域のそれぞれの前記表面において、前記表面反射率が８％以上且つ２５％以下であってもよい。

Claims (19)

1. 蒸着マスクを製造するために用いられる金属板であって、
   前記金属板の長手方向及び前記長手方向に直交する幅方向を有する表面を備え、
   前記表面に直交する少なくとも１つの平面内において４５°±０．２°の入射角度で前記表面に光を入射させた場合に測定される、前記光の正反射による表面反射率が、８％以上且つ２５％以下であり、
   前記金属板は、前記幅方向における一端から他端に並ぶ第１領域、第２領域及び第３領域であって、各々が前記幅方向において同一の長さを有する第１領域、第２領域及び第３領域を含み、
   前記第１領域、前記第２領域及び前記第３領域のそれぞれの前記表面において、前記表面反射率が８％以上且つ２５％以下である、金属板。
2. 前記表面反射率が、８％以上且つ２０％以下である、請求項１に記載の金属板。
3. 前記表面及び前記長手方向に直交する第１平面内において４５°±０．２°の入射角度で前記表面に前記光を入射させた場合に測定される、前記光の正反射による前記表面反射率を第１反射率と称し、
   前記表面及び前記幅方向に直交する第２平面内において４５°±０．２°の入射角度で前記表面に前記光を入射させた場合に測定される、前記光の正反射による前記表面反射率を第２反射率と称し、
   前記第１反射率及び前記第２反射率の平均値が、８％以上且つ２５％以下である、請求項１又は２に記載の金属板。
4. 前記第１反射率及び前記第２反射率の平均値が、８％以上且つ２０％以下である、請求項３に記載の金属板。
5. 前記第１反射率を前記第２反射率で割った値が、０．７０以上１．３０以下である、請求項３又は４に記載の金属板。
6. 前記金属板の厚みが、１００μｍ以下である、請求項１乃至５のいずれか一項に記載の金属板。
7. 前記金属板が、ニッケルを含む鉄合金からなる、請求項１乃至６のいずれか一項に記載の金属板。
8. 前記金属板の前記表面が、前記長手方向に延びる複数の圧延筋を有する、又は、金属板の前記表面が、前記長手方向に直交する方向を有する複数のオイルピットを有する、請求項１乃至７のいずれか一項に記載の金属板。
9. 前記金属板は、前記金属板の前記表面に貼り付けられたレジスト膜を露光および現像して第１レジストパターンを形成し、前記金属板の前記表面のうち前記第１レジストパターンによって覆われていない領域をエッチングして、前記蒸着マスクを製造するためのものである、請求項１乃至８のいずれか一項に記載の金属板。
10. 前記金属板は、１０００Ｐａ以下の環境下で前記金属板の前記表面に貼り付けられたレジスト膜を露光および現像して第１レジストパターンを形成し、前記金属板の前記表面のうち前記第１レジストパターンによって覆われていない領域をエッチングして、前記蒸着マスクを製造するためのものである、請求項９に記載の金属板。
11. 前記表面反射率は、前記光を検出器に直接入射させた場合に測定される強度に対する比率として算出される、請求項１乃至１０のいずれか一項に記載の金属板。
12. 前記表面反射率は、前記金属板の表面のうち蒸着マスクの有機ＥＬ基板側の面を構成する第１面に光を入射させた場合に観測される反射光に基づく第１面反射率である、請求項１乃至１１のいずれか一項に記載の金属板。
13. 蒸着マスクを製造するために用いられる金属板の検査方法であって、
    前記金属板は、前記金属板の長手方向及び前記長手方向に直交する幅方向を有する表面を備え、
    前記金属板は、前記幅方向における一端から他端に並ぶ第１領域、第２領域及び第３領域であって、各々が前記幅方向において同一の長さを有する第１領域、第２領域及び第３領域を含み、
    前記検査方法は、光を前記第１領域、前記第２領域及び前記第３領域のそれぞれの前記表面に入射させた場合に測定観測される反射光の表面反射率を測定する測定工程と、
    前記反射光のうち前記表面に直交する少なくとも１つの平面内において４５°±０．２°の角度で前記表面から出射する前記反射光の前記表面反射率が８％以上且つ２５％以下である場合に前記金属板を良品と判定する判定工程と、を備える、金属板の検査方法。
14. 蒸着マスクを製造するために用いられる金属板の製造方法であって、
    前記金属板を圧延法又はめっき法によって得る作製工程を備え、
    前記金属板は、前記金属板の長手方向及び前記長手方向に直交する幅方向を有する表面を備え、
    光を前記表面に入射させた場合に観測される反射光のうち、前記表面に直交する少なくとも１つの平面内において４５°±０．２°の角度で前記表面から出射する前記反射光の表面反射率が、８％以上且つ２５％以下であり、
    前記金属板は、前記幅方向における一端から他端に並ぶ第１領域、第２領域及び第３領域であって、各々が前記幅方向において同一の長さを有する第１領域、第２領域及び第３領域を含み、
    前記第１領域、前記第２領域及び前記第３領域のそれぞれの前記表面において、前記表面反射率が８％以上且つ２５％以下である、金属板の製造方法。
15. 前記表面反射率が８％以上且つ２５％以下である前記金属板を選別する選別工程を備える、請求項１４に記載の金属板の製造方法。
16. 蒸着マスクであって、
    長手方向及び前記長手方向に直交する幅方向を有する表面を含む金属板と、
    前記金属板に形成された複数の貫通孔と、を備え、
    光を前記金属板の前記表面に入射させた場合に観測される反射光のうち、前記表面に直交する少なくとも１つの平面内において４５°±０．２°の角度で前記表面から出射する前記反射光の表面反射率が、８％以上且つ２５％以下であり、
    前記金属板は、前記幅方向における一端から他端に並ぶ第１領域、第２領域及び第３領域であって、各々が前記幅方向において同一の長さを有する第１領域、第２領域及び第３領域を含み、
    前記第１領域、前記第２領域及び前記第３領域のそれぞれの前記表面において、前記表面反射率が８％以上且つ２５％以下である、蒸着マスク。
17. 長手方向及び前記長手方向に直交する幅方向を有する表面を含む金属板と、前記金属板に形成された複数の貫通孔と、を備える蒸着マスクと、
    前記蒸着マスクを支持するフレームと、を備え、
    光を前記金属板の前記表面に入射させた場合に観測される反射光のうち、前記表面に直交する少なくとも１つの平面内において４５°±０．２°の角度で前記表面から出射する前記反射光の表面反射率が、８％以上且つ２５％以下であり、
    前記金属板は、前記幅方向における一端から他端に並ぶ第１領域、第２領域及び第３領域であって、各々が前記幅方向において同一の長さを有する第１領域、第２領域及び第３領域を含み、
    前記第１領域、前記第２領域及び前記第３領域のそれぞれの前記表面において、前記表面反射率が８％以上且つ２５％以下である、蒸着マスク装置。
18. 複数の貫通孔が形成された蒸着マスクを製造する方法であって、
    長手方向及び前記長手方向に直交する幅方向を有する表面を含む金属板を準備する工程と、
    前記金属板の前記表面にレジスト膜を設けるレジスト膜形成工程と、
    前記レジスト膜を加工してレジストパターンを形成する工程と、
    前記レジストパターンをマスクとして前記金属板をエッチングする工程と、を備え、
    光を前記金属板の前記表面に入射させた場合に観測される反射光のうち、前記表面に直交する少なくとも１つの平面内において４５°±０．２°の角度で前記表面から出射する前記反射光の表面反射率が、８％以上且つ２５％以下であり、
    前記金属板は、前記幅方向における一端から他端に並ぶ第１領域、第２領域及び第３領域であって、各々が前記幅方向において同一の長さを有する第１領域、第２領域及び第３領域を含み、
    前記第１領域、前記第２領域及び前記第３領域のそれぞれの前記表面において、前記表面反射率が８％以上且つ２５％以下である、蒸着マスクの製造方法。
19. 前記レジスト膜形成工程は、１０００Ｐａ以下の環境下で前記金属板の前記表面にレジスト膜を貼り付ける工程を含む、請求項１８に記載の蒸着マスクの製造方法。