JP6341039B2 - 金属板、金属板の製造方法、および金属板を用いて蒸着マスクを製造する方法 - Google Patents
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Description
前記蒸着マスクの前記貫通孔は、前記金属板をエッチングすることによって形成されるものであり、
前記金属板の製造方法は、
ニッケルおよびクロムを含む鉄合金からなる母材を圧延する圧延工程と、
圧延された前記母材をアニールして前記金属板を得るアニール工程と、を備え、
前記金属板を、その一対の表面から5nm以内の距離に位置する一対の表面層と、前記一対の表面層の間に位置するバルク層と、に区画する場合、以下の条件(1),(2)が満たされている、
(1)前記一対の表面層のうち少なくとも一方の表面層に含まれる鉄、ニッケルおよびクロムの質量の合計を100質量%としたときに、前記少なくとも一方の表面層は、34〜38質量%のニッケルと、0.1質量%以上のクロムと、残部の鉄と、を含む鉄合金からなること;および、
(2)前記バルク層に含まれる各構成元素の質量の合計を100質量%としたときに、前記バルク層は、34〜38質量%のニッケルと、0.1質量%未満のクロムと、残部の鉄および不可避の不純物と、を含む鉄合金からなること;
金属板の製造方法である。
前記マスクの前記貫通孔は、前記金属板をエッチングすることによって形成されるものであり、
前記金属板を、その一対の表面から5nm以内の距離に位置する一対の表面層と、前記一対の表面層の間に位置するバルク層と、に区画する場合、以下の条件(1),(2)が満たされている、
(1)前記一対の表面層のうち少なくとも一方の表面層に含まれる鉄、ニッケルおよびクロムの質量の合計を100質量%としたときに、前記少なくとも一方の表面層は、34〜38質量%のニッケルと、0.1質量%以上のクロムと、残部の鉄と、を含む鉄合金からなること;および、
(2)前記バルク層に含まれる各構成元素の質量の合計を100質量%としたときに、前記バルク層は、34〜38質量%のニッケルと、0.1質量%未満のクロムと、残部の鉄および不可避の不純物と、を含む鉄合金からなること;
金属板である。
金属板を準備する工程と、
前記金属板上にレジストパターンを形成するレジストパターン形成工程と、
前記金属板のうち前記レジストパターンによって覆われていない領域をエッチングし、前記金属板に、前記貫通孔を画成するようになる凹部を形成するエッチング工程と、を備え、
前記金属板を、その一対の表面から5nm以内の距離に位置する一対の表面層と、前記一対の表面層の間に位置するバルク層と、に区画する場合、以下の条件(1),(2)が満たされている、
(1)前記一対の表面層のうち少なくとも一方の表面層に含まれる鉄、ニッケルおよびクロムの質量の合計を100質量%としたときに、前記少なくとも一方の表面層は、34〜38質量%のニッケルと、0.1質量%以上のクロムと、残部の鉄と、を含む鉄合金からなること;および、
(2)前記バルク層に含まれる各構成元素の質量の合計を100質量%としたときに、前記バルク層は、34〜38質量%のニッケルと、0.1質量%未満のクロムと、残部の鉄および不可避の不純物と、を含む鉄合金からなること;
蒸着マスクの製造方法である。
まず、製造方法対象となる蒸着マスクを含む蒸着マスク装置の一例について、主に図1〜図6を参照して説明する。ここで、図1は、蒸着マスクを含む蒸着マスク装置の一例を示す平面図であり、図2は、図1に示す蒸着マスク装置の使用方法を説明するための図である。図3は、蒸着マスクを第1面の側から示す平面図であり、図4〜図6は、図3の各位置における断面図である。
次に、蒸着マスク20について詳細に説明する。図1に示すように、本実施の形態において、蒸着マスク20は、金属板21からなり、平面視において略四角形形状、さらに正確には平面視において略矩形状の輪郭を有している。蒸着マスク20の金属板21は、規則的な配列で貫通孔25が形成された有効領域22と、有効領域22を取り囲む周囲領域23と、を含んでいる。周囲領域23は、有効領域22を支持するための領域であり、基板へ蒸着されることを意図された蒸着材料が通過する領域ではない。例えば、有機EL表示装置用の有機発光材料の蒸着に用いられる蒸着マスク20においては、有効領域22は、有機発光材料が蒸着して画素を形成するようになる基板(ガラス基板92)上の区域、すなわち、作製された有機EL表示装置用基板の表示面をなすようになる基板上の区域に対面する、蒸着マスク20内の領域のことである。ただし、種々の目的から、周囲領域23に貫通孔や凹部が形成されていてもよい。図1に示された例において、各有効領域22は、平面視において略四角形形状、さらに正確には平面視において略矩形状の輪郭を有している。
また上述のように、本実施の形態における貫通孔25の寸法r2は従来よりも小さい。このため、蒸着マスク20の第2面20bから接続部41までの距離r1が寸法r2に比べて比較的に大きいものであると、第2凹部35の壁面36に付着してしまう蒸着材料の比率が高くなってしまうと考えられる。この点を考慮し、本実施の形態において、好ましくは蒸着マスク20の第2面20bから接続部41までの距離r1は、0〜6μmの範囲内に設定される。
これらの点を考慮すると、金属板21を構成する材料として、表面においては錆び45を発生させず、かつ接続部41の近傍(すなわち金属板21の内部)においては群状介在物を発生させないような材料が好ましいことが分かる。そのような材料の組成の詳細については後述する。
はじめに図8(a)(b)および図9を参照して、金属板の製造方法について説明する。図8(a)は、母材を圧延して、所望の厚さを有する金属板を得る工程を示す図であり、図8(b)は、圧延によって得られた金属板をアニールする工程を示す図である。
はじめに図8(a)に示すように、34〜38質量%のニッケルを含む鉄合金から構成された母材55を準備し、この母材55を、一対の圧延ロール56a,56bを含む圧延装置56に向けて、矢印D1で示す搬送方向に沿って搬送する。一対の圧延ロール56a,56bの間に到達した母材55は、一対の圧延ロール56a,56bによって圧延され、この結果、母材55は、その厚みが低減されるとともに、搬送方向に沿って伸ばされる。これによって、厚みt0の長尺金属板64を得ることができる。図8(a)に示すように、長尺金属板64をコア61に巻き取ることによって巻き体62を形成してもよい。厚みt0の具体的な値は、好ましくは上述のように15〜85μmの範囲内となっている。
その後、圧延工程によって得られた長尺金属板64の幅方向における両端をそれぞれ3mm以上かつ5mm以下の範囲にわたって切り落とすスリット工程を実施してもよい。このスリット工程は、圧延に起因して長尺金属板64の両端に生じ得るクラックを除去するために実施される。このようなスリット工程を実施することにより、長尺金属板64が破断してしまう現象、いわゆる板切れが、クラックを起点として生じてしまうことを防ぐことができる。
その後、圧延によって長尺金属板64内に蓄積された残留応力を取り除くため、図8(b)に示すように、アニール装置57を用いて長尺金属板64をアニールする。アニール工程は、図8(b)に示すように、長尺金属板64を搬送方向(長手方向)に引っ張りながら実施されてもよい。すなわち、アニール工程は、いわゆるバッチ式の焼鈍ではなく、搬送しながらの連続焼鈍として実施されてもよい。アニール工程が実施される期間は、長尺金属板64の厚みや圧延率などに応じて適切に設定されるが、例えば500℃で60秒にわたってアニール工程が実施される。なお上記「60秒」は、アニール装置57中の500℃に加熱された空間を長尺金属板64が通過することに要する時間が60秒であることを意味している。
その後、長尺金属板64の幅方向における両端をそれぞれ所定範囲にわたって切り落とし、これによって、長尺金属板64の幅を所望の幅に調整する切断工程を実施する。このようにして、所望の厚みおよび幅を有する長尺金属板64を得ることができる。
その後、得られた長尺金属板64を構成する材料の組成を検査する検査工程を実施する。ここでは、図9に示すように、長尺金属板64を、その厚み方向において、長尺金属板64の一対の表面64a,64bからt2以内の距離に位置する一対の表面層(第1表面層64c,第2表面層64d)と、一対の表面層64c,64dの間に位置するバルク層64eと、に区画した上で、表面層64c,64dおよびバルク層64eに対してそれぞれ別個の手法を用いて組成の分析を実施する場合について説明する。これによって、表面層64c,64dおよびバルク層64eにおける組成をより精密に検査することが可能になる。なお、距離t2 の具体的な値は、蒸着マスク20の形状や金属板21の材料に応じて適切に定められるが、例えば距離t 2は5nmとなっている。
一方、バルク層64eの組成を検査する方法としては、蛍光X線分析法(以下、XRF法とも称する)を用いることができる。XRF法とは、X線を試料に照射することによって試料から放出される蛍光X線の波長やスペクトルを測定し、試料の構成元素の種類や存在量に関する知見を得る方法である。この場合、各構成元素の比率は質量%で算出される。
(1)表面層64c,64dのうち少なくとも一方の表面層に含まれる鉄、ニッケルおよびクロムの質量の合計を100質量%としたときに、少なくとも一方の表面層は、34〜38質量%のニッケルと、0.1質量%以上のクロムと、残部の鉄と、を含む鉄合金からなること。
(2)バルク層64eに含まれる各構成元素の質量の合計を100質量%としたときに、バルク層64eは、34〜38質量%のニッケルと、0.1質量%未満のクロムと、残部の鉄および不可避の不純物と、を含む鉄合金からなること。
以下、上記の条件(1)、(2)についてそれぞれ説明する。
なお、本件発明者らが実験したところ、XPS法においては、長尺金属板64を構成する本来の主成分である鉄やニッケルではなく、長尺金属板64が大気中にさらされたことに起因して長尺金属板64の表面に付着した有機系不純物に含まれる炭素や酸素が多く検出された。従って、炭素や酸素をも考慮してクロムの適切な比率を算出しようとすると、有機系不純物による汚れの程度によって炭素や酸素の比率が変動することにより、クロムの比率も変動してしまい、このため精密な組成調整が困難になることが考えらえる。従って、上記の条件(1)では、炭素や酸素などの汚れ起因の元素を無視して、すなわち鉄、ニッケルおよびクロムの質量の合計を100質量%として、その場合のクロムの質量%を適切に設定することを提案している。
例えば、上述の条件(1),(2)は、アニール温度やアニール時間などの、長尺金属板64を製造するための条件を最適化するために利用されてもよい。具体的には、様々なアニール温度やアニール時間で長尺金属板64を製造し、得られた各長尺金属板64の表面層およびバルク層におけるクロム濃度を分析し、そして分析結果と条件(1),(2)とを照らし合わせることによって、条件(1),(2)を満たし得る適切な製造条件を設定する、という作業のために、条件(1),(2)が利用されてもよい。この場合、実際の製造工程において得られた長尺金属板64の全てに対して、条件(1),(2)に基づく選別を実施する必要はない。例えば、一部の長尺金属板64に対してのみ、条件(1),(2)に関する抜き取り検査を実施してもよい。若しくは、製造条件がいったん設定された後は、条件(1),(2)に関する検査が全く実施されなくてもよい。
次に、上述のようにして選別された長尺金属板64を用いて蒸着マスク20を製造する方法について、主に図10〜図19を参照して説明する。以下に説明する蒸着マスク20の製造方法では、図10に示すように、長尺金属板64が供給され、この長尺金属板64に貫通孔25が形成され、さらに長尺金属板64を断裁することによって枚葉状の金属板21からなる蒸着マスク20が得られる。
なお感光性レジスト材料として、ポジ型のものが用いられてもよい。この場合、露光マスクとして、レジスト膜のうちの除去したい領域に光を透過させるようにした露光マスクが用いられる。
次に、得られた蒸着マスク20を用いてガラス基板92上に蒸着材料を蒸着させる方法について説明する。はじめに図2に示すように、蒸着マスク20を基板92に対して密着させる。この際、図1に示すように、複数の蒸着マスク20をフレーム15に張設することによって、蒸着マスク20の面がガラス基板92の面に平行になるようにする。その後、るつぼ94内の蒸着材料98を加熱することにより、蒸着材料98を気化または昇華させる。気化または昇華した蒸着材料98は、蒸着マスク20の貫通孔25を通ってガラス基板92に付着する。この結果、蒸着マスク20の貫通孔25の位置に対応した所望のパターンで、蒸着材料98がガラス基板92の表面に成膜される。
また本実施の形態によれば、上述の条件(2)により、長尺金属板64のバルク層64eに群状介在物が生じてしまうことを抑制することができる。このため、群状介在物が脱落することによって接続部41やその周辺に欠け41aが生じてしまうことを抑制することができる。このことにより、ガラス基板92に到達する蒸着材料の範囲や厚みの分布が場所によってばらついてしまうことを防ぐことができる。
本実施の形態によれば、これらのことにより、ガラス基板92上に付着される蒸着材料98の位置精度を十分に維持しながら、錆び45によってガラス基板92が傷ついてしまうことを抑制することができる。
はじめに、34〜38質量%のニッケルと、0.1質量%未満のクロムと、残部の鉄および不可避の不純物と、を含む鉄合金から構成された母材を準備した。次に、母材に対して上述の圧延工程、スリット工程、アニール工程および切断工程を実施することにより、長尺金属板が巻き取られた巻き体(第1巻き体)を製造した。
その後、シャーを用いて長尺金属板64を所定の範囲で、例えば30×30mmの範囲で切り出して第1試料を得た。次に、XPS法を用いて、第1試料の表面層の組成を分析した。また、XRF法を用いて、第1試料のバルク層の組成を分析した。
組成分析の条件は以下のとおりである。
試料に入射させたX線の条件:Al mono High Power
測定エリア:1.5mm × 0.1mm
放出された光電子の取込角度:45°
定量方法:感度係数法
表1から明らかなように、表面層のクロム濃度に関する上述の3.99質量%という値は、厚み方向において第1試料をArイオンエッチングによって削り取る工程を行うことなくXPS法を実施することによって得られた値である。
試料に入射させたX線の条件:Rh管球、4.0kW(50kV、80mA)
測定径:20mmφ
測定雰囲気:真空(13Pa)
測定範囲(測定対象元素):5B〜92U
定量方法:ファンダメンタルパラメータ法
ところで、XRF法を用いて試料の組成を分析する場合、試料から放出される蛍光X線を検出可能な範囲は、試料のうち深さが数十μm程度の部分までと言われている。ここで本実施例における第1試料の厚みは、上述のとおり25μmである。従って、XRF法における測定対象は第1試料全体であると言える。すなわち、XRF法によって算出される組成は、厳密にはバルク層の組成ではなく、一対の表面層およびバルク層を含む第1試料全体の組成である。しかしながら、バルク層の厚みは表面層の厚みに比べて著しく大きい。具体的には、バルク層の厚みは、表面層の厚みの1000倍以上である。従って、バルク層の組成は、第1試料全体の組成と実質的に等しいと言える。
上述の第1巻き体の長尺金属板を、シャーを用いて200×200mmの範囲で切り出して、第1サンプルを得た。次に、アルカリ性の脱脂剤を用いて、第1サンプルの表面の脱脂処理を実施した。その後、有機溶剤、例えばn−メチルピロリドンを用いて、第1サンプルの洗浄処理を実施した。次に、実体顕微鏡を用いて、第1サンプルの表面に錆びが生じているかどうかを観察した。実体顕微鏡の倍率は20倍に設定した。この場合、10μmφ以上の寸法を有する錆びを検知可能である。結果、錆びは生じていなかった。
上述の第1巻き体の長尺金属板を用いて、多数の貫通孔25が形成された蒸着マスク20(以下、第1マスクと称する)を製造した。第1マスクの貫通孔25の寸法(平面視の場合の寸法。具体的には、平面視において接続部41によって囲まれた領域の寸法)は、40μm×40μmとした。また、第1マスクの第2面20bから接続部41までの距離は4μm以下であった。
次に観察方向について説明する。ここでは、第1マスクの第2面20bがステージに接するように第1マスクをステージ上に載置した状態で、第1マスクを第1面20a側から観察した。具体的には、第1凹部30の壁面31、第2凹部35の壁面36および接続部41について、群状介在物が生じているかどうか、若しくは、群状介在物が脱落したことに起因する欠け41aが生じているかどうかを観察した。結果、群状介在物および欠け41aは観察されなかった。
なお一般には、蒸着マスク20のうち第2凹部35の壁面36(すなわち第2面20bと接続部41との間の部分)に群状介在物が生じる場合に、群状介在物が脱落して欠け41aが生じやすい。
ところで、壁面36の方向によっては、第1面20a側から壁面36を観察することが難しい場合がある。この場合、第1マスクまたはステージを所定の角度だけ、例えば30度傾けることにより、壁面36を観察した。このような観察工程は、マニュアル操作で実施することもでき、また、自動(電動)ステージおよび画像処理ソフトを組み合わせて自動で実施することもできる。
第1巻き体の場合と同様にして、34〜38質量%のニッケルと、0.1質量%未満のクロムと、残部の鉄および不可避の不純物と、を含む鉄合金から構成された母材を用いて、第2巻き体〜第6巻き体を製造した。さらに、第1巻き体の場合と同様にして、第2巻き体〜第6巻き体に関して、組成の分析、洗浄に対する耐性の評価、および、群状介在物に関する評価を実施した。
母材として、34〜38質量%のニッケルと、0.1質量%以上のクロムと、残部の鉄および不可避の不純物と、を含む鉄合金から構成された母材を用いたこと以外は、第1巻き体の場合と同様にして、第7巻き体〜第9巻き体を製造した。さらに、第1巻き体の場合と同様にして、第7巻き体〜第9巻き体に関して、組成の分析、洗浄に対する耐性の評価、および、群状介在物に関する評価を実施した。
第1巻き体〜第9巻き体の長尺金属板の組成の分析結果を図21に示す。図21に示すように、第1、第4〜第6巻き体においては、上述の条件(1),(2)がいずれも満たされていた。一方、第2,第3,第7〜第9巻き体においては、上述の条件(1)または(2)の少なくとも1つが満たされていなかった。具体的には、第1および第2巻き体においては、上述の条件(1)が満たされていなかった。また、第7〜第9巻き体においては、上述の条件(2)が満たされていなかった。
なお図21においては、クロムの比率と、錆びや群状介在物の評価結果との相関がより直感的に理解され得るようにするため、巻き体の番号にとらわれず、錆びや群状介在物に関する良好な特性が得られた番号の巻き体に関する結果を中央部に記載した。
第1巻き体〜第9巻き体の長尺金属板から切り出したサンプルに対して実施した、上述の洗浄に対する耐性の評価結果を、図21の「錆」の欄に示す。図21の「錆」の欄において、記号「◎」は、50回目の洗浄後の評価においても錆びが観察されなかったことを意味している。また記号「○」は、30回目の洗浄までは錆びが観察されなかったが、31回目〜50回目の洗浄のときに錆びが観察されたことを意味している。また記号「×」は、30回目の洗浄までに錆びが観察されたことを意味している。
図21に示すように、第1巻き体および第4巻き体〜第9巻き体の長尺金属板から切り出されたサンプルについては、30回目の洗浄後にも錆びが観察されなかった。特に、表面層のクロム濃度が1質量%以上であった第1巻き体、第5巻き体および第6巻き体の長尺金属板から切り出されたサンプルについては、50回目の洗浄後の評価においても錆びが観察されなかった。一方、第2および第3巻き体の長尺金属板から切り出されたサンプルについては、30回目の洗浄までに錆びが観察された。これらのことから、表面層のクロム濃度が0.1質量%以上であること、より好ましくは1質量%以上であることは、錆びの発生を抑制する上で有効であると言える。
第1巻き体〜第9巻き体の長尺金属板を用いて作製した蒸着マスクに対して実施した、上述の群状介在物に関する評価結果を、図21の「群状介在物」の欄に示す。図21の「群状介在物」の欄において、記号「◎」は、群状介在物が全く観察されなかったことを意味している。また記号「○」は、1個の群状介在物が観察されたことを意味している。また記号「△」は、2〜3個の群状介在物が観察されたことを意味している。また記号「×」は、4個以上の群状介在物が観察されたことを意味している。なお群状介在物としては、具体的には、クロム、鉄、炭素からなる直径50〜100nm程度の球状の介在物が複数個凝集して形成された群状介在物が観察された。
図21に示すように、バルク層のクロム濃度が0.1質量%未満である第1巻き体〜第6巻き体の長尺金属板を用いて作製した蒸着マスクについては、観察された群状介在物の個数が0個または1個であった。特に、バルク層のクロム濃度が0.05質量%以下であった第1〜3,第5および第6巻き体の長尺金属板から切り出されたサンプルについては、群状介在物が全く観察されなかった。一方、第7巻き体〜第9巻き体の長尺金属板を用いて作製した蒸着マスクについては、2個以上の群状介在物が観察された。特に第9巻き体の長尺金属板を用いて作製した蒸着マスクについては、4個以上の群状介在物が観察された。これらのことから、バルク層のクロム濃度が0.1質量%未満であること、より好ましくは0.05質量%以下であることは、群状介在物の発生を抑制する上で有効であると言える。
21 金属板
21a 金属板の第1面
21b 金属板の第2面
22 有効領域
23 周囲領域
25 貫通孔
30 第1凹部
31 壁面
35 第2凹部
36 壁面
41 接続部
41a 欠け
43 合流部分
45 錆び
55 母材
56 圧延装置
57 アニール装置
61 コア
62 巻き体
64 長尺金属板
64a 長尺金属板の第1面
64b 長尺金属板の第2面
64c 第1表面層
64d 第2表面層
64e バルク層
92 基板(ガラス基板)
Claims (11)
- 複数の貫通孔を形成して有機EL表示装置用の蒸着マスクを製造するために用いられる金属板の製造方法であって、
前記蒸着マスクの前記貫通孔は、前記金属板をエッチングすることによって形成されるものであり、
前記金属板の製造方法は、
ニッケルおよびクロムを含む鉄合金からなる母材を圧延する圧延工程と、
圧延された前記母材をアニールして前記金属板を得るアニール工程と、を備え、
前記金属板を、その一対の表面から5nm以内の距離に位置する一対の表面層と、前記一対の表面層の間に位置するバルク層と、に区画する場合、以下の条件(1),(2)が満たされており、
(1)前記一対の表面層のうち少なくとも一方の表面層に含まれる鉄、ニッケルおよびクロムの質量の合計を100質量%としたときに、前記少なくとも一方の表面層は、34〜38質量%のニッケルと、0.1質量%以上のクロムと、残部の鉄と、を含む鉄合金からなること;および、
(2)前記バルク層に含まれる各構成元素の質量の合計を100質量%としたときに、前記バルク層は、34〜38質量%のニッケルと、0.1質量%未満のクロムと、残部の鉄および不可避の不純物と、を含む鉄合金からなること;
前記金属板の厚みは、25μm以下であり、
前記バルク層の厚みは、前記表面層の厚みの1000倍以上である、金属板の製造方法。 - 前記金属板の厚みは、15〜25μmの範囲内である、請求項1に記載の金属板の製造方法。
- 前記アニール工程は、前記圧延された母材を長手方向に引っ張りながら実施される、請求項1または2に記載の金属板の製造方法。
- 前記アニール工程は、大気環境下よりも低い分圧で存在する酸素ガスと、不活性ガスとを含む雰囲気下で実施される、請求項3に記載の金属板の製造方法。
- 複数の貫通孔を形成して有機EL表示装置用の蒸着マスクを製造するために用いられる金属板であって、
前記マスクの前記貫通孔は、前記金属板をエッチングすることによって形成されるものであり、
前記金属板を、その一対の表面から5nm以内の距離に位置する一対の表面層と、前記一対の表面層の間に位置するバルク層と、に区画する場合、以下の条件(1),(2)が満たされており、
(1)前記一対の表面層のうち少なくとも一方の表面層に含まれる鉄、ニッケルおよびクロムの質量の合計を100質量%としたときに、前記少なくとも一方の表面層は、34〜38質量%のニッケルと、0.1質量%以上のクロムと、残部の鉄と、を含む鉄合金からなること;および、
(2)前記バルク層に含まれる各構成元素の質量の合計を100質量%としたときに、前記バルク層は、34〜38質量%のニッケルと、0.1質量%未満のクロムと、残部の鉄および不可避の不純物と、を含む鉄合金からなること;
前記金属板の厚みは、25μm以下であり、
前記バルク層の厚みは、前記表面層の厚みの1000倍以上である、金属板。 - 前記金属板の厚みは、15〜25μmの範囲内である、請求項5に記載の金属板。
- 複数の貫通孔が形成された有機EL表示装置用の蒸着マスクを製造する方法であって、
25μm以下の厚みを有する金属板を準備する工程と、
前記金属板上にレジストパターンを形成するレジストパターン形成工程と、
前記金属板のうち前記レジストパターンによって覆われていない領域をエッチングし、前記金属板に、前記貫通孔を画成するようになる凹部を形成するエッチング工程と、を備え、
前記金属板を、その一対の表面から5nm以内の距離に位置する一対の表面層と、前記一対の表面層の間に位置するバルク層と、に区画する場合、以下の条件(1),(2)が満たされており、
(1)前記一対の表面層のうち少なくとも一方の表面層に含まれる鉄、ニッケルおよびクロムの質量の合計を100質量%としたときに、前記少なくとも一方の表面層は、34〜38質量%のニッケルと、0.1質量%以上のクロムと、残部の鉄と、を含む鉄合金からなること;および、
(2)前記バルク層に含まれる各構成元素の質量の合計を100質量%としたときに、前記バルク層は、34〜38質量%のニッケルと、0.1質量%未満のクロムと、残部の鉄および不可避の不純物と、を含む鉄合金からなること;
前記バルク層の厚みは、前記表面層の厚みの1000倍以上である、蒸着マスクの製造方法。 - 前記金属板の厚みは、15〜25μmの範囲内である、請求項7に記載の蒸着マスクの製造方法。
- 前記蒸着マスクは、前記蒸着マスクを用いて基板上に蒸着材料を蒸着させる際に、蒸着材料に対面する第1面と、前記基板に対面する第2面と、を有し、
前記金属板の前記一対の表面は、前記蒸着マスクの前記第1面および前記第2面にそれぞれ対応する第1面および第2面からなり、
前記一対の表面層のうち前記金属板の少なくとも前記第2面に対応する表面層において、前記条件(1)が満たされている、請求項7または8に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記レジストパターン形成工程によって形成される前記レジストパターンは、前記金属板の前記第1面上に形成された第1レジストパターンと、前記金属板の前記第2面上に形成された第2レジストパターンと、を含み、
前記エッチング工程によって形成される凹部は、前記金属板の前記第1面のうち前記第1レジストパターンによって覆われていない領域がエッチングされることによって形成される第1凹部と、前記金属板の前記第2面のうち前記第2レジストパターンによって覆われていない領域がエッチングされることによって形成される第2凹部と、を含み、
前記エッチング工程は、前記第1凹部と前記第2凹部とが接続されるよう実施され、
前記蒸着マスクの前記第2面から、前記第1凹部と前記第2凹部とが接続される接続部までの距離が0〜6μmの範囲内である、請求項9に記載の蒸着マスクの製造方法。 - 前記蒸着マスクの前記貫通孔の寸法が20〜50μmの範囲内である、請求項10に記載の蒸着マスクの製造方法。
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