JP2019188416A - 噴流式はんだ付け装置 - Google Patents

Abstract

【課題】溶融はんだの噴流を長期間安定化できる噴流式はんだ付け装置を提供する。【解決手段】対象物に対して溶融はんだを噴流してはんだ付けを行なう噴流式はんだ付け装置は、圧送された溶融はんだを噴流させるためのノズルと、ノズル内に設けられる整流部材とを備える。整流部材は、ノズル内の流路方向である第１方向に平行な少なくとも１つの整流板を含む。少なくとも１つの整流板には複数の孔が形成されている。【選択図】図１

Description

本発明は、噴流式はんだ付け装置に関する。

従来、溶融はんだを噴流させ、プリント基板のはんだ付けを行なう噴流式はんだ付け装置が知られている。噴流式はんだ付け装置では、溶融はんだの噴流を安定化することが望まれている。

国際公開第２００６／１００８９９号（特許文献１）には、インペラポンプとダクトと整流板と一次噴流ノズルとを備えたはんだ槽が開示されている。インペラポンプによってダクトの中を横方に送られた溶融はんだは、流動方向を上方に変え、整流板の多数の孔を通過して整流化される。整流板で整流された溶融はんだは、一次噴流ノズルから噴出する。整流板は、流動方向に垂直に設置される。

実開昭６４−１０３６１号公報（特許文献２）には、ノズルの内側に、断面略コ字状の複数の整流板をノズル内のはんだ流路が蛇行するように組み合わせた設けた噴流式はんだ付け装置が開示されている。

国際公開第２００６／１００８９９号 実開昭６４−１０３６１号公報

上記の従来のはんだ付け装置では、溶融はんだの整流化が十分ではないため、使用中に発生するドロスの量が多く、当該ドロスが整流板およびノズル壁面に付着する。そのため、使用期間が長くなると、噴流が不安定となる。

本開示は、上記の問題点に着目してなされたもので、その目的は、溶融はんだの噴流を長期間安定化できる噴流式はんだ付け装置を提供することである。

本開示の一例では、対象物に対して溶融はんだを噴流してはんだ付けを行なう噴流式はんだ付け装置は、圧送された溶融はんだを噴流させるためのノズルと、ノズル内に設けられる整流部材とを備える。整流部材は、ノズル内の流路方向である第１方向に平行な少なくとも１つの整流板を含む。少なくとも１つの整流板には複数の孔が形成されている。

この開示によれば、少なくとも１つの整流板は、流路方向である第１方向に平行であるため、溶融はんだの流れを流路方向に整えることができる。ただし、壁面近くを流れる流体は、通常、壁面から摩擦抵抗を受けるため、流速が低下する。しかしながら、少なくとも１つの整流板には複数の孔が形成されているため、孔付近に小さな乱流が発生する。この小さな乱流は、転のように作用し、少なくとも１つの整流板による摩擦抵抗を下げる。その結果、溶融はんだの流れが層流化される。以上から、ノズル内の流れが層流化され、溶融はんだの噴流を安定化できる。さらに、溶融はんだの噴流が安定化することにより、溶融はんだに混入する酸素量を低減することができ、ドロスの発生を抑制できる。そのため、溶融はんだの噴流を長期間安定化できる。

本開示の一例では、少なくとも１つの整流板は、第１方向および対象物の進行方向である第２方向に直交する第３方向に交差するとともに、第３方向に沿って間隔を空けて配列される、複数の第１整流板を含む。

この開示によれば、複数の第１整流板は、ノズル内の空間を第３方向に複数の領域に仕切り、ノズル内の溶融はんだの流れの第３方向の成分を小さくすることができる。さらに、複数の第１整流板に孔が形成されているため、複数の第１整流板に沿った溶融はんだの流れと、孔を通る溶融はんだの流れとが接触することにより、小さな乱流が発生する。当該乱流は、転のように作用し、複数の第１整流板による摩擦抵抗を下げる。その結果、複数の第１整流板の近傍を流れる溶融はんだの流速の低下を抑制できる。これらの作用により、溶融はんだの流れが層流化される。

本開示の一例では、少なくとも１つの整流板は、第３方向に平行な少なくとも１つの第２整流板を含む。少なくとも１つの第２整流板は、ノズルの壁面に近接して配置される。

この開示によれば、少なくとも１つの第２整流板に形成された複数の孔により小さな乱流が発生する。当該乱流も、転のように作用し、ノズルの壁面による摩擦抵抗を下げる。その結果、ノズルの壁面の近傍を流れる溶融はんだの流速の低下を抑制でき、ノズル内の溶融はんだの流れがさらに層流化される。

本開示の一例では、複数の孔は、円形状、楕円形状または長丸形状である。この開示によれば、孔に角がないため、溶融はんだの層流化を妨げるような大きな乱流の発生を抑制することができる。

本開示の一例では、複数の孔の径は３〜６ｍｍである。この開示によれば、整流効果を発揮させやすくなるとともに、整流板の強度の低下を抑制できる。

本開示の一例では、複数の孔は千鳥状に形成される。この開示によれば、少なくとも１つの整流板における単位面積当たりの孔の個数を増やすことができる。

本開示の一例では、少なくとも１つの整流板において複数の孔の角部には面取りが施されている。この開示によれば、角部の近傍において、溶融はんだの層流化を妨げるような大きな乱流の発生を抑制することができる。

本開示の一例では、少なくとも１つの整流板の第１方向の端部において、整流板の厚みは、第１方向の端面に向かうにつれて薄くなる。この開示によれば、整流板におけるノズルの流路方向の端部において、溶融はんだの層流化を妨げるような大きな乱流の発生を抑制することができる。

本開示の一例では、ノズルの天板に複数の噴出孔が形成されている。ノズルの天板は、水平面に対して傾斜している。複数の第１整流板の上端面は、ノズルの天板と平行になるように、水平面に対して傾斜している。

この開示によれば、ノズルの天板と複数の第１整流板との距離が一定となり、ノズルによる噴流波高を均一にすることができる。

本開示の一例では、ノズルの天板に複数の噴出孔が形成されている。ノズルの天板は、水平面に対して傾斜している。少なくとも１つの第２整流板は、第２方向に沿って配列される複数の第２整流板を含む。複数の第２整流板の上端面とノズルの天板との距離は一定である。

この開示によれば、ノズルの天板と複数の第２整流板との距離が一定となり、ノズルによる噴流波高を均一にすることができる。

本開示によれば、溶融はんだの噴流を長期間安定化できる。

本実施の形態に係る噴流式はんだ付け装置の要部を示す断面図である。 図１に示す噴流式はんだ付け装置が備える整流部材の一例を示す斜視図である。 噴流式はんだ装置の全体構成の一例を示す平面図である。 図３のＶ−Ｖ線矢視断面図である。 両側に溶融はんだが存在する整流板近傍の溶融はんだの流れを模式的に示す図である。 二次噴流ノズルの壁面に近接する整流板近傍の溶融はんだの流れを模式的に示す図である。 整流板の一例を示す斜視図である。 図７に示す整流板の断面図である。 孔の配置の一例を示す図である。 孔の配置の別の例を示す図である。 整流部材の変形例を示す断面図である。 整流部材が内部に設けられた一次噴流ノズルの一例を示す図である。 ノズルキャップが水平面に対して傾斜しているときの噴流波の一例を示す図である。 一次噴流ノズル内に設けられる整流部材の別の例を示す断面図である。 一次噴流ノズル内に設けられる整流部材のさらに別の例を示す断面図である。 ノズルキャップの噴出孔の配置と整流板との相対位置の一例を示す平面図である。 ノズルキャップの噴出孔の配置と整流板との相対位置の別の例を示す平面図である。

＜適用例＞
図１および図２を参照して、本発明が適用される場面の一例について説明する。図１は、本実施の形態に係る噴流式はんだ付け装置の要部を示す断面図である。図２は、図１に示す噴流式はんだ付け装置が備える整流部材７の一例を示す斜視図である。

図１に示されるように、噴流式はんだ付け装置１は、対象物であるプリント基板Ｗに対してはんだ付けを行なう。噴流式はんだ付け装置１は、一次噴流ノズル５と、二次噴流ノズル６と、二次噴流ノズル６内に設けられる整流部材７と、ダクト４２，４３とを備える。

一次噴流ノズル５および二次噴流ノズル６は、溶融はんだを収容するためのはんだ槽内に設置され、プリント基板Ｗに対して溶融はんだを噴流させる。

一次噴流ノズル５は、波状の噴流を生成する。一次噴流ノズル５は、ノズル本体５１と、ノズルキャップ５２とを含む。

ノズル本体５１は、ダクト４２に連通するように設けられる。ノズル本体５１は、たとえば角筒状であり、下端の流入口５１ａから上端の排出口５１ｂに向いた流路方向Ｄ２が鉛直方向（Ｚ軸方向）と平行になるように設置される。ダクト４２内で圧送された溶融はんだは、ノズル本体５１の流入口５１ａから流入し、流路方向Ｄ２に沿って排出口５１ｂに向かって流動する。

流入口５１ａおよび排出口５１ｂは、プリント基板Ｗの進行方向Ｄ１に直交し、水平面（ＸＹ平面）に平行な方向（Ｙ軸方向）を長手方向とする矩形状である。

ノズルキャップ５２は、ノズル本体５１の排出口５１ｂを覆うように、ノズル本体５１の上端に設けられ、一次噴流ノズル５の天板を構成する。ノズルキャップ５２には複数の噴出孔５２ａが形成される。ノズル本体５１の排出口５１ｂから排出された溶融はんだは、ノズルキャップ５２の複数の噴出孔５２ａから噴出する。そのため、一次噴流ノズル５から噴流した溶融はんだの液面Ｌ１は波状となる。波状の液面Ｌ１の溶融はんだにプリント基板Ｗを接触させることにより、プリント基板Ｗのスルーホールおよび電子部品の隅部に溶融はんだが供給される。

二次噴流ノズル６は、穏やかな噴流を生成する。二次噴流ノズル６は、ノズル本体６１と、フロントガイド板６２と、バックガイド板６３とを含む。

ノズル本体６１は、ダクト４３に連通するように設けられる。ノズル本体６１は、たとえば角筒状であり、下端の流入口６１ａから上端の排出口６１ｂに向いた流路方向Ｄ３が鉛直方向（Ｚ軸方向）と平行になるように設置される。ダクト４３内で圧送された溶融はんだは、ノズル本体６１の流入口６１ａから流入し、流路方向Ｄ３に沿って排出口６１ｂに向かって流動する。

流入口６１ａおよび排出口６１ｂは、プリント基板Ｗの進行方向Ｄ１に直交し、水平面（ＸＹ平面）に平行な方向（Ｙ軸方向）を長手方向とする矩形状である。

フロントガイド板６２は、ノズル本体６１の上端におけるプリント基板Ｗの進行方向Ｄ１の上流側の外面にビス等で固定され、ノズル本体６１から噴流された溶融はんだを案内する。図１に示す例では、フロントガイド板６２は、断面が逆Ｊ字状になるように曲げられている。

バックガイド板６３は、ノズル本体６１の上端におけるプリント基板Ｗの進行方向Ｄ１の下流側の外面にビス等で固定され、ノズル本体６１から噴流された溶融はんだを案内する。

ノズル本体６１内を流路方向Ｄ３に流動した溶融はんだは、ノズル本体６１の排出口６１ｂから噴出し、フロントガイド板６２またはバックガイド板６３に沿って流動する。二次噴流ノズル６の上方における溶融はんだの液面Ｌ２は平面状となる。一次噴流ノズル５の上方の波状の液面Ｌ１の溶融はんだにプリント基板Ｗが接触すると、プリント基板Ｗのはんだ付け部にツララおよびブリッジなどが発生する可能性がある。しかしながら、平面状の液面Ｌ２の溶融はんだにプリント基板Ｗを接触させることにより、プリント基板Ｗのはんだ付け部が整形される。

整流部材７は、二次噴流ノズル６のノズル本体６１内に設置され、溶融はんだの流れを揃える。これにより、二次噴流ノズル６内の溶融はんだの流れが層流化される。

図２に示されるように、整流部材７は、Ｚ軸に垂直な整流板７１ａ，７１ｂ，７２ａ，７２ｂと、Ｚ軸に平行な整流板７３ａ，７３ｂ，７５ａ，７５ｂ，７６ａ，７６ｂ，７７，７８とを含む。整流板７６ａ，７６ｂは、それぞれ複数設けられる。Ｚ軸は、二次噴流ノズル６の流路方向Ｄ３に平行である。

整流板７１ａ，７１ｂは、水平面（ＸＹ平面）に平行な同一面上に配置される。整流板７２ａ，７２ｂは、水平面（ＸＹ平面）に平行な同一面上に配置される。整流板７２ａは、整流板７１ａの上方に配置される。整流板７２ｂは、整流板７１ｂの上方に配置される。

整流板７１ａ，７１ｂ，７２ａ，７２ｂには複数の孔８０が形成される。整流板７１ａ，７１ｂ，７２ａ，７２ｂの下方から上方に向かって流れる溶融はんだは、孔８０を通過する際にある程度整流化される。

整流板７５ａ，７５ｂと複数の整流板７６ａ，７６ｂとは、Ｙ軸に垂直であり（プリント基板Ｗの進行方向Ｄ１に平行であり）、Ｙ軸に沿って間隔を空けて配列される。これにより、二次噴流ノズル６内の空間は、Ｙ軸に沿った複数の領域に仕切られる。その結果、二次噴流ノズル６内の溶融はんだの流れのＹ軸成分が小さくなる。

さらに、整流板７５ａ，７５ｂおよび複数の整流板７６ａ，７６ｂにも、複数の孔８０が形成される。通常、壁面近くを流れる流体は、壁面から摩擦抵抗を受けるため、流速が低下する。しかしながら、整流板７５ａ，７５ｂ，７６ａ，７６ｂに孔８０が形成されているため、孔８０を通る流れの存在によって、壁面近くを流れる溶融はんだの流速の低下を抑制できる。その結果、整流板７５ａ，７５ｂと複数の整流板７６ａ，７６ｂとによって、二次噴流ノズル６内の溶融はんだの流れを層流化することができる。

また、整流板７３ａ，７３ｂは、二次噴流ノズル６のノズル本体６１のＺＸ平面に平行な壁面に近接して配置される。整流板７７，７８は、ノズル本体６１のＹＺ平面に平行な壁面に近接して配置される（図１参照）。上述したように、壁面近くを流れる流体は、壁面から摩擦抵抗を受け、流速が低下する。しかしながら、整流板７３ａ，７３ｂ，７７，７８にも複数の孔８０が形成されることにより、ノズル本体６１の壁面からの摩擦抵抗による流速の低下が抑制される。その結果、二次噴流ノズル６内の溶融はんだの流れを層流化することができる。

以上のように、本実施の形態によれば、二次噴流ノズル６内の流れが層流化され、溶融はんだの噴流を安定化できる。さらに、溶融はんだの噴流が安定化することにより、溶融はんだに混入する酸素量を低減することができ、ドロスの発生を抑制できる。そのため、溶融はんだの噴流を長期間安定化できる。

＜具体例＞
（噴流式はんだ付け装置の全体構成）
図３および図４を参照して、本実施の形態に係る噴流式はんだ付け装置１の具体例の全体構成について説明する。図３は、噴流式はんだ装置の全体構成の一例を示す平面図である。図４は、図３のＶ−Ｖ線矢視断面図である。

図３に示されるように、噴流式はんだ付け装置１は、上述した、一次噴流ノズル５、二次噴流ノズル６、整流部材７およびダクト４２，４３の他に、搬送装置１０，１１，１２，１３と、フラクサー装置２０と、予熱装置３０と、はんだ槽４０と、ポンプ５０，６０とを備える。

搬送装置１０，１１，１２，１３は、はんだ付けの対象物であるプリント基板Ｗを進行方向Ｄ１に沿って搬送する。搬送装置１０，１１，１２，１３は、たとえば搬送ベルトによって構成される。

搬送装置１０は、フラクサー装置２０の前段に配置され、作業者Ｈによって載置されたプリント基板Ｗを搬送装置１１に搬送する。搬送装置１１は、フラクサー装置２０の上方に配置され、フラクサー装置２０によって処理されたプリント基板Ｗを搬送装置１２に搬送する。搬送装置１２は、フラクサー装置２０とはんだ槽４０との間に配置され、プリント基板Ｗを搬送装置１３に搬送する。搬送装置１３は、予熱装置３０内、一次噴流ノズル５の上方、および二次噴流ノズル６の上方に配置される。プリント基板Ｗは、搬送装置１３によって、予熱装置３０内、一次噴流ノズル５の上方、および二次噴流ノズル６の上方を順に通過する。搬送装置１３は、プリント基板Ｗが一次噴流ノズル５および二次噴流ノズル６の上方を約５秒かけて通過するように、プリント基板Ｗを搬送する。

フラクサー装置２０は、搬送装置１２によって搬送されているプリント基板Ｗにフラックスを塗布する。フラクサー装置２０は、噴霧ノズル２１を有し、噴霧ノズル２１から霧状のフラックスをプリント基板Ｗに噴射する。予熱装置３０は、搬送装置１２によって搬送されているプリント基板Ｗを予熱する。

はんだ槽４０は、溶融はんだ４１を収容する。ダクト４２，４３は、はんだ槽４０内に設置される。ポンプ５０は、ダクト４２内に設置され、ダクト４２内で溶融はんだ４１を圧送する。ポンプ６０は、ダクト４３内に設置され、ダクト４３内で溶融はんだ４１を圧送する。ポンプ５０，６０は、たとえば羽根車によって構成され、図示しないモータによって回転することにより、溶融はんだ４１を圧送する。

ダクト４３の底には、ポンプ６０の下方において孔４３ａが形成されている（図４参照）。ポンプ６０が動作すると、溶融はんだ４１が孔４３ａを通ってダクト４３内に流れ込み、ダクト４３に沿って水平方向に流れる。同様に、ダクト４２の底にも溶融はんだ４１を通すための孔が形成されている。

一次噴流ノズル５はダクト４２に接続される。二次噴流ノズル６はダクト４３に接続される。一次噴流ノズル５は、ダクト４２内で圧送された溶融はんだの流れを鉛直方向上向きに変える。二次噴流ノズル６は、ダクト４３内で圧送された溶融はんだの流れを鉛直方向上向きに変える。一次噴流ノズル５および二次噴流ノズル６の構成の概要については上述した通りである。

（整流部材）
図１，２，４を参照して、整流部材７の一例の詳細について説明する。上述したように、整流部材７は、複数の孔８０が形成された整流板７１ａ，７１ｂ，７２ａ，７２ｂ，７３ａ，７３ｂ，７５ａ，７５ｂ，７６ａ，７６ｂ，７７，７８を含む。整流板７１ａ，７１ｂ，７２ａ，７２ｂ，７３ａ，７３ｂ，７５ａ，７５ｂ，７６ａ，７６ｂ，７７，７８は、たとえば矩形状のステンレス鋼によって構成される。整流板７１ａ，７１ｂ，７２ａ，７２ｂ，７３ａ，７３ｂ，７５ａ，７５ｂ，７６ａ，７６ｂ，７７，７８の厚みは、たとえば１．５〜２．０ｍｍである。なお、本明細書において「Ａ〜Ｂ」という形式の表記は、範囲の上限下限（すなわちＡ以上Ｂ以下）を意味し、Ａにおいて単位の記載がなく、Ｂにおいてのみ単位が記載されている場合、Ａの単位とＢの単位とは同じである。

図２に示されるように、整流板７３ａと整流板７５ａとは、ＺＸ平面に平行であり、互いに対向するように配置される。矩形状の整流板７１ａは、ＸＹ平面に平行であり、かつ、長手方向がＹ軸に平行になるように配置される。整流板７１ａの長手方向の一端は、整流板７３ａの下端に溶接され、整流板７１ａの長手方向の他端は、整流板７５ａの下端に溶接される。

整流板７２ａは、整流板７１ａと同形状であり、整流板７１ａの上方、かつ、整流板７３ａと整流板７５ａとの間に配置される。矩形状の整流板７２ａの長手方向の一端は、整流板７３ａに溶接され、整流板７２ａの長手方向の他端は、整流板７５ａに溶接される。

複数の整流板７６ａは、ＺＸ平面に平行であり、整流板７３ａと整流板７５ａとの間に、Ｙ軸に沿って間隔を空けて配置される。複数の整流板７６ａは、互いに平行であることが好ましい。複数の整流板７６ａは、一定間隔を空けて配置されてもよいし、不等間隔を空けて配置されてもよい。隣り合う２つの整流板７６ａの間隔は、２０〜３０ｍｍであることが好ましい。整流板７６ａの下端は、整流板７２ａの上面に溶接される。

整流板７３ｂと整流板７５ｂとは、ＺＸ平面に平行であり、互いに対向するように配置される。矩形状の整流板７１ｂは、ＸＹ平面に平行であり、かつ、長手方向がＹ軸に平行になるように配置される。整流板７１ｂの長手方向の一端は、整流板７３ｂの下端に溶接され、整流板７１ｂの長手方向の他端は、整流板７５ｂの下端に溶接される。

整流板７２ｂは、整流板７１ｂと同形状であり、整流板７１ｂの上方、かつ、整流板７３ｂと整流板７５ｂとの間に配置される。整流板７２ｂの長手方向の一端は、整流板７３ｂに溶接され、整流板７２ｂの長手方向の他端は、整流板７５ｂに溶接される。

複数の整流板７６ｂは、ＺＸ平面に平行であり、整流板７３ｂと整流板７５ｂとの間に、Ｙ軸に沿って間隔を空けて配置される。複数の整流板７６ｂは、一定間隔を空けて配置されてもよいし、不等間隔を空けて配置されてもよい。整流板７６ｂの下端は、整流板７２ｂの上面に溶接される。

矩形状の整流板７７，７８は、ＹＺ平面に平行であり、かつ、長手方向がＹ軸に平行になるように配置される。図２に示されるように、整流板７７は、整流板７３ａ，７３ｂ，７５ａ，７５ｂ，７６ａ，７６ｂにおける進行方向Ｄ１の上流側の側端面に溶接される。整流板７８は、整流板７３ａ，７３ｂ，７５ａ，７５ｂ，７６ａ，７６ｂにおける進行方向Ｄ１の下流側の側端面に溶接される。これにより、整流板７１ａ，７１ｂ，７２ａ，７２ｂ，７３ａ，７３ｂ，７５ａ，７５ｂ，７６ａ，７６ｂ，７７，７８は一体化される。

整流板７３ａの上端には、整流板７５ａと反対側に突き出したフランジ７４ａが溶接されている。整流板７３ｂの上端には、整流板７５ｂと反対側に突き出したフランジ７４ｂが溶接されている。図４に示されるように、二次噴流ノズル６のノズル本体６１の上端面にフランジ７４ａ，７４ｂを係合することにより、整流部材７は、二次噴流ノズル６内に取り付けられる。

以下では、整流板７３ａ，７３ｂを特に区別しない場合、整流板７３ａ，７３ｂの各々を「整流板７３」という。整流板７５ａ，７５ｂを特に区別しない場合、整流板７５ａ，７５ｂの各々を「整流板７５」という。整流板７６ａ，７６ｂを特に区別しない場合、整流板７６ａ，７６ｂの各々を「整流板７６」という。

（整流メカニズム）
次に、整流板７３，７５，７６，７７，７８による整流メカニズムについて説明する。図４に示されるように、ポンプ６０によって圧送された溶融はんだは、ダクト４３内でＹ軸方向に流動した後に、二次噴流ノズル６内でＺ軸に平行な流路方向Ｄ３（鉛直方向上向き）に流動する。そのため、二次噴流ノズル６内における溶融はんだの流れは、主としてＺ軸成分であるが、Ｙ軸成分も含まれる。しかしながら、図２および図４に示されるように、整流板７５ａ，７５ｂ，７６ａ，７６ｂは、Ｙ軸方向に沿って間隔を空けて配列され、二次噴流ノズル６内の空間を複数の領域に仕切る。これにより、二次噴流ノズル６内の溶融はんだの流れのＹ軸成分を小さくすることができる。

ただし、通常、壁面近くを流れる流体は、壁面から摩擦抵抗を受けるため、流速が低下する。しかしながら、整流板７５ａ，７５ｂ，７６ａ，７６ｂには複数の孔８０が形成されているため、整流板７５ａ，７５ｂ，７６ａ，７６ｂの近くを流れる溶融はんだの流速の低下を抑制できる。

図５は、両側に溶融はんだが存在する整流板７５，７６近傍の溶融はんだの流れを模式的に示す図である。整流板７５，７６に孔８０が形成されているため、整流板７５，７６に沿った溶融はんだの流れＦ１と、孔８０を通る溶融はんだの流れＦ２とが接触することにより、小さな乱流（渦流）Ｆ３が発生する。乱流Ｆ３は、転のように作用し、整流板７５，７６による摩擦抵抗を下げる。その結果、整流板７５，７６の近傍を流れる溶融はんだの流速の低下を抑制できる。

このように、整流板７５，７６によって、二次噴流ノズル６内の溶融はんだの流れが層流化される。

図６は、二次噴流ノズルの壁面に近接する整流板近傍の溶融はんだの流れを模式的に示す図である。図６に示されるように、整流板７３，７７，７８に形成された複数の孔８０により小さな乱流（渦流）Ｆ４が発生する。乱流Ｆ４も、転のように作用し、二次噴流ノズル６の壁面による摩擦抵抗を下げる。その結果、整流板７３，７７，７８の近傍を流れる溶融はんだの流速の低下を抑制できる。

このように、整流板７３，７７，７８によって、二次噴流ノズル６内の溶融はんだの流れがさらに層流化される。

（整流板の好ましい形態）
図７は、整流板の一例を示す斜視図である。図８は、図７に示す整流板を示す断面図である。図７，８に示されるように、整流板７６の厚みは、Ｚ軸方向の上端部７６１において、Ｚ軸方向の上端面７６３に向かうにつれて薄くなることが好ましい。同様に、整流板７６の厚みは、Ｚ軸方向の下端部７６２において、Ｚ軸方向の下端面７６４に向かうにつれて薄くなることが好ましい。整流板７６の中央部の厚みＴ１は、たとえば２ｍｍであり、上端部７６１および下端部７６２の先端付近の厚みＴ２は、たとえば０．８ｍｍである。

これにより、整流板７６の上端部７６１および下端部７６２の近傍において、溶融はんだの層流化を妨げるような大きな乱流の発生を抑制することができる。

なお、図７および図８に示す例では、整流板７６の上端部７６１および下端部７６２の両方において、端面に向かうにつれて整流板７６の厚みが薄くなるものとした。しかしながら、整流板７６の上端部７６１のみにおいて、上端面７６３に向かうにつれて整流板７６の厚みが薄くなるように設計してもよい。もしくは、整流板７６の下端部７６２のみにおいて、下端面７６４に向かうにつれて整流板７６の厚みが薄くなるように設計してもよい。

図８に示されるように、整流板７６に形成される孔８０の角部８１には面取りが施されていることが好ましい。たとえば、角部８１に対して、４５°の面取りが施される。このとき、断面の２辺が０．５〜１．０ｍｍの直角二等辺三角形だけ切り取るように（Ｃ０．５〜Ｃ１．０）、面取りを施すことが好ましい。孔８０の角部８１とは、孔８０の内周面と整流板７６の主面とが交わる部分である。整流板７６の主面とは、整流板７６の表面のうち、最も面積の大きい面である。

孔８０の角部８１に面取りが施されることにより、当該角部８１の近傍において、溶融はんだの層流化を妨げるような大きな乱流の発生を抑制することができる。

Ｚ軸方向の上端部および下端部の少なくとも一方において、端面に向かうにつれて整流板の厚みを薄くする構成、および、孔８０の角部８１に面取りが施される構成は、別の整流板７３，７５，７７，７８についても適用されることが好ましい。

また、端面に向かうにつれて整流板の厚みを薄くする構成、および、孔８０の角部８１に面取りが施される構成のうちの少なくとも一方の構成のみが、整流板７３，７５，７６，７７，７８について適用されてもよい。

図９は、孔８０の配置の一例を示す図である。図１０は、孔８０の配置の別の例を示す図である。図９に示されるように、整流板７６において複数の孔８０は、格子状に形成され配置されてもよい。もしくは、図１０に示されるに、整流板７６において複数の孔８０は、千鳥状に形成されてもよい。ただし、整流板７６における単位面積当たりの孔８０の個数を増やすためには、複数の孔８０を千鳥状に形成することが好ましい。

孔８０は、図９および図１０に示されるような円形状であってもよいし、楕円形状または長丸形状であってもよい。孔８０に角がないため、溶融はんだの層流化を妨げるような大きな乱流の発生を抑制することができる。孔８０の径ｄ１は、３〜６ｍｍであることが好ましい。孔８０を楕円形状または長丸形状とする場合、孔８０の径ｄ１は、長径である。孔８０の径ｄ１を３ｍｍ以上とすることにより、上記の整流メカニズムによる整流効果を発揮させやすくなる。孔８０の径ｄ１を６ｍｍ以下とすることにより、整流板７６の強度の低下を抑制できる。

図１０に示すように孔８０を千鳥状に形成する場合、隣接する２つの孔８０間の最短距離ｄ２は、０．５〜２ｍｍであることが好ましい。これにより、整流板７６の強度を確保できるとともに、層流化の効果を発揮しやすくなる。また、隣接する２つの孔８０間の最長距離ｄ３は、３〜５ｍｍであることが好ましい。これにより、整流板７６の強度を確保できるとともに、層流化の効果を発揮しやすくなる。

孔８０の配置、孔８０の径ｄ１の好ましい範囲、ならびに孔８０間の最短距離ｄ２および最長距離ｄ３の好ましい範囲は、別の整流板７３，７５，７７，７８についても適用される。

（変形例）
（整流部材の変形例）
整流部材７は、図２に示す形状に限定されず、二次噴流ノズル６の形状に応じた形状に適宜設計される。

図１１は、整流部材の変形例を示す断面図である。図１１に示す例では、バックガイド板６３は、ノズル本体６１の排出口６１ｂの一部を覆うように取り付けられる。バックガイド板６３は、排出口６１ｂの上方において、進行方向Ｄ１の上流側から下流側に向かうにつれて低くなるように傾斜している。バックガイド板６３の下方におけるノズル本体６１内の流路方向は、バックガイド板６３の傾斜に沿った方向となる。

図１１に示す例では、整流部材７の整流板７６は、バックガイド板６３の傾斜に応じた傾斜端面７６５を有する。さらに整流部材７の整流板７８は、整流板７６の傾斜端面７６５に溶接され、バックガイド板６３に近接して配置される。整流板７８は、バックガイド板６３と同様に水平面に対して傾斜しており、バックガイド板６３の下方における溶融はんだの流路方向に平行である。

整流板７８に孔８０が形成されているため、孔８０の近傍に小さな乱流Ｆ５が発生する。乱流Ｆ５は、転のように作用し、摩擦抵抗を下げる。その結果、整流板７８の近傍を流れる溶融はんだの流速の低下を抑制できる。

上記の説明では、整流板７５，７６は、プリント基板Ｗの進行方向Ｄ１に平行であるとした。しかしながら、整流板７５，７６は、プリント基板Ｗの進行方向Ｄ１に直交するＹ軸方向に交差すればよく、進行方向Ｄ１から傾斜していてもよい。

整流板７７と整流板７８との間に、整流板７７，７８に平行な別の整流板を設けてもよい。

（一次噴流ノズル）
上記では、二次噴流ノズル６に整流部材７を設ける例について説明した。しかしながら、整流部材７は、一次噴流ノズル５にのみ設けられてもよい。もしくは、整流部材７は、一次噴流ノズル５および二次噴流ノズル６の両方に設けられてもよい。これにより、一次噴流ノズル５内の溶融はんだの流れが層流化され、波状の液面Ｌ１（図１参照）の高さ（噴流波高）を安定化させることができる。

図１２は、整流部材が内部に設けられた一次噴流ノズルの一例を示す図である。一次噴流ノズル５は、上述したように、複数の噴出孔が形成されたノズルキャップ５２を有し、波状の液面Ｌ１となるように溶融はんだを噴流させる。プリント基板Ｗへのはんだ付け不良を抑制するためには、噴流波高を均一にすることが必要となる。そのため、ノズルキャップ５２の近傍において溶融はんだの流れが層流化されていることが好ましい。図１２に示す例では、整流部材７において、Ｙ軸方向に平行な整流板７７，７８の上端面は、整流板７６の上端面と同じ高さに設定されている。

ノズルキャップ５２は、水平面に対して傾斜するように配置されてもよい。図１３は、ノズルキャップが水平面に対して傾斜しているときの噴流波の一例を示す図である。図１３には、整流部材７の整流板７６，７７，７８の上端面７６３，７７３，７８３の高さが同一であるときの状態が示される。

図１３に示されるように、ノズルキャップ５２は、進行方向Ｄ１の下流側が上流側よりも高くなるように水平面（ＸＹ平面）に対して傾斜している。そのため、整流部材７の上端が水平面に平行である場合、ノズルキャップ５２と整流部材７との距離は、進行方向Ｄ１の上流側よりも下流側において長くなる。ノズルキャップ５２と整流部材７との距離が長くなると、大きな乱流Ｆ６が発生しやすくなる。乱流Ｆ６が発生している箇所では、噴流波高が低くなる。その結果、噴流波高が不均一となる。したがって、ノズルキャップ５２の傾斜に合わせて、整流部材７の形状を変更することが好ましい。

図１４は、一次噴流ノズル内に設けられる整流部材の別の例を示す断面図である。図１４に示す例の整流部材７では、整流板７７の上端面７７３とノズルキャップ５２との距離と、整流板７８の上端面７８３とノズルキャップ５２との距離とが一定となるように、整流板７７，７８の高さが調整される。整流板７７，７８の上端面７７３，７８３とノズルキャップ５２との距離は、たとえば５ｍｍである。整流板７７，７８のＺ軸方向の長さ（短辺長）は、たとえば２０ｍｍ以上である。これにより、図１３に示されるような大きな乱流Ｆ６の発生が抑制され、噴流波高を均一にすることができる。

図１５は、一次噴流ノズル内に設けられる整流部材のさらに別の例を示す断面図である。図１５に示す例の整流部材７では、整流板７６における上端面７６３は、ノズルキャップ５２と平行になるように、水平面に対して傾斜している。図１５には示していないが、他の整流板７３，７５における上端面も、ノズルキャップ５２と平行になるように、水平面に対して傾斜している。これにより、図１３に示されるような大きな乱流Ｆ６の発生が抑制され、噴流波高を均一にすることができる。

さらに、一次噴流ノズル５内に整流部材７を設ける場合、整流部材７の整流板７６は、一次噴流ノズル５のノズルキャップ５２に形成された噴出孔５２ａの配列方向に平行であることが好ましい。

図１６は、ノズルキャップの噴出孔の配置と整流板との相対位置の一例を示す平面図である。図１７は、ノズルキャップの噴出孔の配置と整流板との相対位置の別の例を示す平面図である。

図１６に示されるように、ノズルキャップ５２の噴出孔５２ａがＸ軸方向に沿って配列されている場合、整流板７６は、Ｘ軸方向に平行に配置される。図１７に示されるように、ノズルキャップ５２の噴出孔５２ａがＸ軸に対して傾斜して配列されている場合、整流板７６は、噴出孔５２ａの配列方向と平行になるように、Ｘ軸に対して傾斜して配置される。これにより、噴流波高を均一にすることができる。

（整流部材の評価結果）
一次噴流ノズルおよび二次噴流ノズル内に整流部材７を設けた実施例に係る噴流式はんだ付け装置と、一次噴流ノズルおよび二次噴流ノズル内に整流部材７を設けない比較例に係る噴流式はんだ付け装置とについて、噴流の安定性およびドロスの発生量を評価した。はんだ槽に投入したはんだ全量は、４００ｋｇである。

比較例では、使用開始当初から、一次噴流ノズルによる噴流波高にばらつきが確認された。さらに、二次噴流ノズルからの噴流量は、中央付近で多く、Ｙ軸方向の両端で少なかった。

これに対し、実施例では、一次噴流ノズルによる噴流波高が均一であり、二次噴流ノズルからの噴流量も均一であった。実施例では６時間連続して稼働した場合でも、一次噴流ノズルによる噴流波高および二次噴流ノズルからの噴流量に大きな変化は見られなかった。

噴流式はんだ付け装置を１時間稼働したときのドロスの発生量（１時間当たりのドロスの発生量）は、比較例では１．４５ｋｇであるのに対し、実施例では０．７２ｋｇとなった。

ドロスの成分を確認したところ、実施例では、炭化物が主であり、比較例と比べて酸化錫の量が激減していることが確認された。これは、噴流ノズル内の溶融はんだの流れが層流化されることにより、以下の（１）〜（３）の作用によるものと考えられる。
（１）一次噴流ノズルによる噴流波の表面積が小さくなる。
（２）一次噴流ノズルによる噴流波の崩壊時の跳ね上がりが抑制され、溶融はんだ内への空気の取り込み量が低減する。
（３）二次噴流ノズルによる噴流が緩やかな流れとなり、噴流落下時の空気の取り込み量が低減する。

さらに、日本アルミット株式会社製のソルダペースト（品番：LFM-48W TM-HP）１ｋｇをはんだ槽に投入して、一次噴流ノズルによる噴流波高、二次噴流ノズルからの噴流量およびドロスの発生量を評価した。はんだ槽内のフラックス量が通常よりも多いため、はんだ槽内の環境は、ドロスが発生しやすい劣悪な状態である。

フラックスによる汚れのため、比較例では、一次噴流ノズルによる噴流波高がさらに不均一となるとともに、二次噴流ノズルからの噴流量もさらに不均一となった。しかしながら、実施例では６時間連続して稼働した場合でも、一次噴流ノズルによる噴流波高および二次噴流ノズルからの噴流量が均一であった。

ソルダペースト１ｋｇを投入した場合の１時間当たりのドロスの発生量は、比較例では１．５８ｋｇであるのに対し、実施例では０．６８ｋｇとなった。このように、劣悪な環境下であっても、実施例に係る噴流式はんだ付け装置では、ドロスの発生量を抑制できることが確認された。

＜作用・効果＞
以上のように、本実施の形態に係る噴流式はんだ付け装置１は、圧送された溶融はんだを噴流させるための一次噴流ノズル５および二次噴流ノズル６と、一次噴流ノズル５および二次噴流ノズル６の少なくとも一方に設けられる整流部材７とを備える。整流部材７は、ノズル内の流路方向に平行な整流板７３，７５，７６，７７，７８を含む。整流板７３，７５，７６，７７，７８には複数の孔８０が形成されている。

整流板７３，７５，７６，７７，７８は、流路方向に平行であるため、溶融はんだの流れを流路方向に整えることができる。ただし、壁面近くを流れる流体は、通常、壁面から摩擦抵抗を受けるため、流速が低下する。しかしながら、整流板７３，７５，７６，７７，７８には複数の孔８０が形成されているため、孔８０付近に小さな乱流が発生する。この小さな乱流は、転のように作用し、整流板７３，７５，７６，７７，７８による摩擦抵抗を下げる。その結果、溶融はんだの流れがさらに層流化される。

このように、本実施の形態によれば、ノズル内の流れが層流化され、溶融はんだの噴流を安定化できる。さらに、溶融はんだの噴流が安定化することにより、溶融はんだに混入する酸素量を低減することができ、ドロスの発生を抑制できる。そのため、溶融はんだの噴流を長期間安定化できる。

整流板７５，７６は、流路方向およびプリント基板Ｗの進行方向Ｄ１に直交するＹ軸方向に交差するとともに、Ｙ軸方向に沿って間隔を空けて配列される。整流板７５，７６は、たとえばプリント基板Ｗの進行方向Ｄ１に平行である。

これにより、整流板７５，７６は、ノズル内の空間をＹ軸方向に複数の領域に仕切り、ノズル内の溶融はんだの流れのＹ軸成分の乱れを抑制することができる。さらに、整流板７５，７６に孔８０が形成されているため、整流板７５，７６に沿った溶融はんだの流れと、孔８０を通る溶融はんだの流れとが接触することにより、小さな乱流が発生する。当該乱流は、転のように作用し、整流板７５，７６による摩擦抵抗を下げる。その結果、整流板７５，７６の近傍を流れる溶融はんだの流速の低下を抑制できる。これらの作用により、溶融はんだの流れが層流化される。

整流板７７，７８は、Ｙ軸方向に平行であり、ノズルの壁面に近接して配置される。整流板７７，７８に形成された複数の孔８０により小さな乱流が発生する。当該乱流も、転のように作用し、ノズルの壁面による摩擦抵抗を下げる。その結果、整流板７７，７８の近傍を流れる溶融はんだの流速の低下を抑制できる。整流板７７，７８の当該作用によって、ノズル内の溶融はんだの流れがさらに層流化される。

孔８０は、たとえば、円形状、楕円形状または長丸形状であることが好ましい。孔８０に角がないため、溶融はんだの層流化を妨げるような大きな乱流の発生を抑制することができる。

孔８０の径は３〜６ｍｍであることが好ましい。これにより、整流効果を発揮させやすくなるとともに、整流板７５，７６，７７，７８の強度の低下を抑制できる。

複数の孔８０は千鳥状に形成されることが好ましい。これにより、整流板７５，７６，７７，７８における単位面積当たりの孔８０の個数を増やすことができる。

整流板７５，７６，７７，７８において孔８０の角部８１には面取りが施されていることが好ましい。これにより、角部８１の近傍において、溶融はんだの層流化を妨げるような大きな乱流の発生を抑制することができる。

整流板７５，７６，７７，７８におけるノズルの流路方向の端部において、整流板７５，７６，７７，７８の厚みは、当該流路方向の端面に向かうにつれて薄くなることが好ましい。これにより、整流板７５，７６，７７，７８におけるノズルの流路方向の端部において、溶融はんだの層流化を妨げるような大きな乱流の発生を抑制することができる。

一次噴流ノズル５の上面を構成するノズルキャップ５２に複数の噴出孔５２ａが形成される。ノズルキャップ５２は、水平面に対して傾斜していてもよい。この場合、整流板７６の上端面７６３は、ノズルキャップ５２と平行になるように、水平面に対して傾斜していることが好ましい。これにより、ノズルキャップ５２と整流板７６との距離が一定となり、一次噴流ノズル５による噴流波高を均一にすることができる。

もしくは、整流板７７，７８の上端面とノズルキャップ５２との距離は一定であってもよい。これによっても、ノズルキャップ５２と整流板７７，７８との距離が一定となり、一次噴流ノズル５による噴流波高を均一にすることができる。

＜付記＞
以下のように、本実施の形態は、以下のような開示を含む。

（構成１）
対象物（Ｗ）に対して溶融はんだ（４１）を噴流してはんだ付けを行なう噴流式はんだ付け装置（１）であって、
圧送された前記溶融はんだ（４１）を噴流させるためのノズル（５，６）と、
前記ノズル（５，６）内に設けられる整流部材（７）とを備え、
前記整流部材（７）は、前記ノズル（５，６）内の流路方向である第１方向（Ｄ２、Ｄ３）に平行な少なくとも１つの整流板（７３ａ，７３ｂ，７５ａ，７５ｂ，７６ａ，７６ｂ，７７，７８）を含み、
前記少なくとも１つの整流板（７３ａ，７３ｂ，７５ａ，７５ｂ，７６ａ，７６ｂ，７７，７８）には複数の孔（８０）が形成されている、噴流式はんだ付け装置（１）。

（構成２）
前記少なくとも１つの整流板（７３ａ，７３ｂ，７５ａ，７５ｂ，７６ａ，７６ｂ，７７，７８）は、前記第１方向（Ｄ２、Ｄ３）および前記対象物（Ｗ）の進行方向である第２方向（Ｄ１）に直交する第３方向に交差するとともに、前記第３方向に沿って間隔を空けて配列される、複数の第１整流板（７３ａ，７３ｂ，７５ａ，７５ｂ，７６ａ，７６ｂ）を含む、構成１に記載の噴流式はんだ付け装置（１）。

（構成３）
前記少なくとも１つの整流板（７３ａ，７３ｂ，７５ａ，７５ｂ，７６ａ，７６ｂ，７７，７８）は、前記第３方向に平行な少なくとも１つの第２整流板（７７，７８）を含み、
前記少なくとも１つの第２整流板（７７，７８）は、前記ノズル（５，６）の壁面に近接して配置される、構成２に記載の噴流式はんだ付け装置（１）。

（構成４）
前記複数の孔（８０）は、円形状、楕円形状または長丸形状である、構成１から３のいずれかに記載の噴流式はんだ付け装置（１）。

（構成５）
前記複数の孔（８０）の径は３〜６ｍｍである、構成４に記載の噴流式はんだ付け装置（１）。

（構成６）
前記複数の孔（８０）は千鳥状に形成される、構成１から５のいずれかに記載の噴流式はんだ付け装置（１）。

（構成７）
前記少なくとも１つの整流板（７３ａ，７３ｂ，７５ａ，７５ｂ，７６ａ，７６ｂ，７７，７８）において前記複数の孔（８０）の角部（８１）には面取りが施されている、構成１から６のいずれかに記載の噴流式はんだ付け装置（１）。

（構成８）
前記少なくとも１つの整流板（７３ａ，７３ｂ，７５ａ，７５ｂ，７６ａ，７６ｂ，７７，７８）の前記第１方向（Ｄ２，Ｄ３）の端部において、前記少なくとも１つの整流板（７３ａ，７３ｂ，７５ａ，７５ｂ，７６ａ，７６ｂ，７７，７８）の厚みは、前記第１方向（Ｄ２，Ｄ３）の端面に向かうにつれて薄くなる、構成１から８のいずれかに記載の噴流式はんだ付け装置（１）。

（構成９）
前記ノズル（５）の天板（５２）に複数の噴出孔（５２ａ）が形成されており、
前記ノズル（５）の前記天板（５２）は、水平面に対して傾斜しており、
前記複数の第１整流板（７３ａ，７３ｂ，７５ａ，７５ｂ，７６ａ，７６ｂ）の上端面（７６３）は、前記ノズル（５，６）の前記天板（５２）と平行になるように、水平面に対して傾斜している、構成２に記載の噴流式はんだ付け装置（１）。

（構成１０）
前記ノズル（５）の天板（５２）に複数の噴出孔（５２ａ）が形成されており、
前記ノズル（５）の前記天板（５２）は、水平面に対して傾斜しており、
前記少なくとも１つの第２整流板（７７，７８）は、前記第２方向に沿って配列される複数の第２整流板（７７，７８）を含み、
前記複数の第２整流板（７７，７８）の上端面（７７３，７８３）と前記ノズル（５）の前記天板（５２）との距離は一定である、構成３に記載の噴流式はんだ付け装置（１）。

本発明の実施の形態について説明したが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

１ 噴流式はんだ付け装置、５ 一次噴流ノズル、６ 二次噴流ノズル、７ 整流部材、１０〜１３ 搬送装置、２０ フラクサー装置、２１ 噴霧ノズル、３０ 予熱装置、４０ はんだ槽、４１ 溶融はんだ、４２，４３ ダクト、４３ａ 孔、５０，６０ ポンプ、５１，６１ ノズル本体、５１ａ，６１ａ 流入口、５１ｂ，６１ｂ 排出口、５２ ノズルキャップ、５２ａ 噴出孔、６２ フロントガイド板、６３ バックガイド板、７１ａ，７１ｂ，７２ａ，７２ｂ，７３，７３ａ，７３ｂ，７５，７５ａ，７５ｂ，７６，７６ａ，７６ｂ，７７，７８ 整流板、７４ａ，７４ｂ フランジ、８０ 孔、８１ 角部、７６１ 上端部、７６２ 下端部、７６３，７７３，７８３ 上端面、７６４ 下端面、７６５ 傾斜端面、Ｄ１ 進行方向、Ｄ２，Ｄ３ 流路方向、Ｈ 作業者、Ｌ１，Ｌ２ 液面、Ｗ プリント基板。

Claims (10)

1. 対象物に対して溶融はんだを噴流してはんだ付けを行なう噴流式はんだ付け装置であって、
   圧送された前記溶融はんだを噴流させるためのノズルと、
   前記ノズル内に設けられる整流部材とを備え、
   前記整流部材は、前記ノズル内の流路方向である第１方向に平行な少なくとも１つの整流板を含み、
   前記少なくとも１つの整流板には複数の孔が形成されている、噴流式はんだ付け装置。
2. 前記少なくとも１つの整流板は、前記第１方向および前記対象物の進行方向である第２方向に直交する第３方向に交差するとともに、前記第３方向に沿って間隔を空けて配列される、複数の第１整流板を含む、請求項１に記載の噴流式はんだ付け装置。
3. 前記少なくとも１つの整流板は、前記第３方向に平行な少なくとも１つの第２整流板を含み、
   前記少なくとも１つの第２整流板は、前記ノズルの壁面に近接して配置される、請求項２に記載の噴流式はんだ付け装置。
4. 前記複数の孔は、円形状、楕円形状または長丸形状である、請求項１から３のいずれか１項に記載の噴流式はんだ付け装置。
5. 前記複数の孔の径は３〜６ｍｍである、請求項４に記載の噴流式はんだ付け装置。
6. 前記複数の孔は千鳥状に形成される、請求項１から５のいずれか１項に記載の噴流式はんだ付け装置。
7. 前記少なくとも１つの整流板において前記複数の孔の角部には面取りが施されている、請求項１から６のいずれか１項に記載の噴流式はんだ付け装置。
8. 前記少なくとも１つの整流板の前記第１方向の端部において、前記少なくとも１つの整流板の厚みは、前記第１方向の端面に向かうにつれて薄くなる、請求項１から７のいずれか１項に記載の噴流式はんだ付け装置。
9. 前記ノズルの天板に複数の噴出孔が形成されており、
   前記ノズルの前記天板は、水平面に対して傾斜しており、
   前記複数の第１整流板の上端面は、前記ノズルの前記天板と平行になるように、水平面に対して傾斜している、請求項２に記載の噴流式はんだ付け装置。
10. 前記ノズルの天板に複数の噴出孔が形成されており、
    前記ノズルの前記天板は、水平面に対して傾斜しており、
    前記少なくとも１つの第２整流板は、前記第２方向に沿って配列される複数の第２整流板を含み、
    前記複数の第２整流板の上端面と前記ノズルの前記天板との距離は一定である、請求項３に記載の噴流式はんだ付け装置。

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