JP2019188417A - 噴流式はんだ付け装置 - Google Patents

Abstract

【課題】噴流幅の調整が可能であるとともに、噴流を安定化できる噴流式はんだ付け装置を提供する。【解決手段】ノズルは、筒状のノズル本体と、ノズルの噴流幅を調整するための調整板と、調整板に固定された整流板とを含む。調整板の下端は、対象物の進行方向に垂直であり、かつ水平面に平行な軸を支軸として、ノズル本体における支軸に平行な内壁面に回動可能に軸支される。ノズルは、調整板を回動させる第１機構をさらに含む。整流板は、調整板における内壁面とは反対側の面に固定され、かつ、ノズルの流路方向に平行である。整流板には複数の孔が形成されている。【選択図】図１

Description

本発明は、噴流式はんだ付け装置に関する。

近年、環境への影響を配慮して、鉛フリーはんだが使用されている。鉛フリーはんだは融点が高いことから、基板および実装部品に対する熱影響が高く、はんだと基板との接触時間が所定時間を超えないように管理する必要がある。噴流式はんだ付け装置では、一次噴流と二次噴流とによってはんだ付けが行なわれる。そのため、一次噴流と基板との接触時間（以下、一次噴流接触時間という）と、二次噴流と基板との接触時間（以下、二次噴流接触時間という）との合計時間を所定時間内にしなければいけない。

一方、基板の多層化による厚みの増加および部品の大型化により、熱容量が高まっている。基板および部品の熱容量が大きくなった場合でも良好なはんだ付けを行なうためには、一次噴流接触時間を長くすることが好ましい。しかしながら、基板の搬送速度を遅くして一次噴流接触時間を長くすると、二次噴流接触時間も長くなり、合計時間が所定時間を超えてしまう。そのため、噴流ノズルの噴流幅を可変にし、一次噴流接触時間と二次噴流接触時間との割合を調整する技術が開発されている。

国際公開第２０１５／０４０６９１号（特許文献１）には、噴流有効幅を調整する幅調整部を有する噴流ノズルが開示されている。幅調整部は、ノズル本体部の排出口の両側に設けられる。

実開昭６３−０２９６６２号公報（特許文献２）には、ノズル側板間に一対の回動軸が設けられ、一対の回動軸の各々にノズルが取り付けられた噴流式はんだ槽が開示されている。回動軸を回動することにより、ノズルの開口幅が調整される。

国際公開第２０１５／０４０６９１号 実開昭６３−０２９６６２号公報

国際公開第２０１５／０４０６９１号に記載の噴流ノズルでは、幅調整部がノズル本体部の排出口の一部を覆うことにより、噴流有効幅が調整される。そのため、幅調整部の下方において乱流が発生しやすい。

実開昭６３−０２９６６２号公報に記載の噴流式はんだ槽では、ノズル側板とノズルとの隙間から溶融はんだが漏れることにより、乱流が発生しやすい。

このように、上記の従来の噴流式はんだ付け装置では、噴流幅が調整可能であるが、乱流が発生しやすく、噴流が不安定となる。

本開示は、上記の問題点に着目してなされたもので、その目的は、噴流幅の調整が可能であるとともに、噴流を安定化できる噴流式はんだ付け装置を提供することである。

本開示の一例では、対象物に対して溶融はんだを噴流してはんだ付けを行なう噴流式はんだ付け装置は、一次噴流ノズルと、二次噴流ノズルとを備える。一次噴流ノズルと二次噴流ノズルとの少なくとも一方のノズルは、筒状のノズル本体と、少なくとも一方のノズルの噴流幅を調整するための調整板と、調整板に固定された少なくとも１つの整流板とを含む。調整板の下端は、対象物の進行方向に垂直であり、かつ水平面に平行な軸を支軸として、ノズル本体における支軸に平行な内壁面に回動可能に軸支される。少なくとも一方のノズルは、調整板を回動させる第１機構をさらに含む。少なくとも１つの整流板は、調整板における内壁面とは反対側の面に固定され、かつ、少なくとも一方のノズルの流路方向に平行である。少なくとも１つの整流板には複数の孔が形成されている。

この開示によれば、一次噴流ノズルおよび二次噴流ノズルの少なくとも一方の噴流幅を容易に調整することができる。その結果、一次噴流接触時間と二次噴流接触時間との割合を適宜調整することができる。さらに、調整板を回動させることにより、調整板とノズル本体との間の流路の断面積は、徐々に変化する。そのため、乱流の発生を抑制できる。さらに、調整板は、ノズル本体の内壁面に軸支される。そのため、調整板とノズル本体との隙間を通る溶融はんだの流量が少なく、当該隙間に起因する乱流の発生も抑制できる。

さらに、調整板には、複数の孔が形成された整流板が固定される。孔を通る流れの存在によって、調整板の近傍を流れる溶融はんだの流速の低下を抑制できる。その結果、整流板によって、溶融はんだの流れを層流化することができる。以上から、噴流幅の調整が可能であるとともに、噴流を安定化できる。

本開示の一例では、内壁面は、ノズル本体における対象物の進行方向の下流側に位置する。少なくとも一方のノズルは、ノズル本体における対象物の進行方向の下流側に設けられ、噴流された溶融はんだを案内するためのガイド板をさらに含む。調整板の上端部は、ガイド板に向かって湾曲している。

この開示によれば、噴流された溶融はんだは、調整板の上端部を超えて、ガイド板にスムーズに流れることができる。

本開示の一例では、少なくとも一方のノズルは、ガイド板の長さを変更するための第２機構をさらに含む。

この開示によれば、調整板の位置に応じて、ガイド板の長さを調整することができる。その結果、調整板の上端部を超えて流れ出した溶融はんだをガイド板によってスムーズに案内することができる。

本開示の一例では、少なくとも一方のノズルは、ガイド板の水平面に対する傾斜角度を変更するための第３機構をさらに含む。

この開示によれば、対象物と溶融はんだとのピールバックを調整することができる。その結果、はんだ形状の不良を抑制できる。

本開示の一例では、少なくとも１つの整流板は、対象物の進行方向に平行であり、流路方向および対象物の進行方向に直交する方向に沿って間隔を空けて配列される、複数の整流板を含む。

この開示によれば、複数の整流板は、調整板とノズル本体との間の空間を流れる溶融はんだの流れにおける、流路方向および対象物の進行方向に直交する方向の成分を抑制し、溶融はんだの流れを層流化することができる。

本開示の一例では、複数の孔は、円形状、楕円形状または長丸形状である。この開示によれば、孔に角がないため、溶融はんだの層流化を妨げるような大きな乱流の発生を抑制することができる。

本開示の一例では、複数の孔の径は３〜６ｍｍである。この開示によれば、整流効果を発揮させやすくなるとともに、整流板の強度の低下を抑制できる。

本開示の一例では、複数の孔は千鳥状に形成される。この開示によれば、整流板における単位面積当たりの孔の個数を増やすことができる。その結果、整流効果が向上する。

本開示の一例では、少なくとも１つの整流板において複数の孔の角部には面取りが施されている。この開示によれば、角部の近傍において、溶融はんだの層流化を妨げるような大きな乱流の発生を抑制することができる。

本開示の一例では、少なくとも１つの整流板の厚みは、流路方向の端部において、流路方向の端面に向かうにつれて薄くなる。この開示によれば、整流板におけるノズルの流路方向の端部において、溶融はんだの層流化を妨げるような大きな乱流の発生を抑制することができる。

本開示によれば、噴流幅の調整が可能であるとともに、噴流を安定化できる。

本実施形態に係る噴流式はんだ付け装置の要部を示す断面図である。 噴流幅が最大となるように調整された二次噴流ノズルの一例を示す断面図である。 実施の形態に係る噴流式はんだ装置の一例を示す平面図である。 図３のＶ−Ｖ線矢視断面図である。 二次噴流ノズルの一例を示す平面図である。 図５のＶ−Ｖ線矢視断面図である。 幅調整機構、長さ調整機構および傾き調整機構の相対位置関係の一例を示す図である。 幅調整機構、長さ調整機構および傾き調整機構の相対位置関係の別の例を示す図である。 調整板の回動可能範囲を示す図である。 幅調整機構、長さ調整機構および傾き調整機構の相対位置関係のさらに別の例を示す図である。 二次噴流ノズルの参考例を示す断面図である。 二次噴流ノズルの別の参考例を示す断面図である。 図１２に示す二次噴流ノズルのＶ−Ｖ線矢視断面図である。 整流板近傍の溶融はんだの流れを模式的に示す図である。 整流板の一例を示す斜視図である。 図１５に示す整流板を示す断面図である。 孔の配置の一例を示す図である。 孔の配置の別の例を示す図である。 噴流形状の評価項目の一部を示す図である。 噴流形状の評価項目の残りを示す図である。 フロントガイド板の一例を示す断面図である。 フロントガイド板の別の例を示す断面図である。

＜適用例＞
図１および図２を参照して、本発明が適用される場面の一例について説明する。図１は、本実施形態に係る噴流式はんだ付け装置の要部を示す断面図である。図１には、二次噴流ノズルの噴流幅が最小となるように調整されたときの噴流式はんだ付け装置が示される。図２は、噴流幅が最大となるように調整された二次噴流ノズルの一例を示す断面図である。

図１に示されるように、噴流式はんだ付け装置１は、対象物であるプリント基板１００に対してはんだ付けを行なう。噴流式はんだ付け装置１は、一次噴流ノズル５と、二次噴流ノズル６と、ダクト４２，４３とを備える。一次噴流ノズル５および二次噴流ノズル６は、溶融はんだを収容するためのはんだ槽内に設置され、プリント基板１００に対して溶融はんだを噴流させる。

一次噴流ノズル５は、波状の噴流を生成する。一次噴流ノズル５は、ノズル本体５１と、ノズルキャップ５２と、整流部材５３とを含む。

ノズル本体５１は、ダクト４２に連通するように設けられる。ノズル本体５１は、たとえば角筒状であり、下端の流入口５１ａから上端の排出口５１ｂに向いた流路方向Ｄ２が鉛直方向（Ｚ軸方向）と平行になるように設置される。ダクト４２内で圧送された溶融はんだは、ノズル本体５１の流入口５１ａから流入し、流路方向Ｄ２に沿って排出口５１ｂに向かって流動する。

流入口５１ａおよび排出口５１ｂは、プリント基板１００の進行方向Ｄ１に直交し、水平面（ＸＹ平面）に平行な方向（Ｙ軸方向）を長手方向とする矩形状である。

整流部材５３は、ノズル本体５１の流入口５１ａの近傍に配置される。整流部材５３は、板状であり、流路方向Ｄ２に直交するように配置される。整流部材５３には複数の孔５３ａが形成されている。整流部材５３は、ダクト４２からノズル本体５１に流れ込んだ溶融はんだを整流する。

ノズルキャップ５２は、ノズル本体５１の排出口５１ｂを覆うように、ノズル本体５１の上端に設けられ、一次噴流ノズル５の天板を構成する。ノズルキャップ５２には複数の噴出孔５２ａが形成される。ノズル本体５１の排出口５１ｂから排出した溶融はんだは、ノズルキャップ５２の複数の噴出孔５２ａから噴出する。そのため、一次噴流ノズル５から噴流した溶融はんだの液面Ｌ１は波状となる。波状の液面Ｌ１の溶融はんだにプリント基板１００を接触させることにより、プリント基板１００のスルーホールおよび電子部品の隅部に溶融はんだが供給される。

一次噴流ノズル５の噴流幅Ｗ１は、ノズルキャップ５２における噴出孔５２ａが形成された領域の幅に相当する。噴流幅Ｗ１は、プリント基板１００の進行方向Ｄ１を水平面（ＸＹ平面）に投影した方向（Ｘ軸方向）の噴流長さである。

二次噴流ノズル６は、穏やかな噴流を生成する。二次噴流ノズル６は、ノズル本体６１と、整流部材６２と、調整板６３と、整流板６４と、フロントガイド板６５と、バックガイド板６６と、幅調整機構７０と、長さ調整機構８０と、傾き調整機構９０とを含む。

ノズル本体６１は、ダクト４３に連通するように設けられる。ノズル本体６１は、たとえば角筒状であり、下端の流入口６１ａから上端の排出口６１ｂに向いた流路方向Ｄ３が鉛直方向（Ｚ軸方向）と平行になるように設置される。ダクト４３内で圧送された溶融はんだは、ノズル本体６１の流入口６１ａから流入し、流路方向Ｄ３に沿って排出口６１ｂに向かって流動する。

流入口６１ａおよび排出口６１ｂは、プリント基板１００の進行方向Ｄ１に直交し、水平面（ＸＹ平面）に平行な方向（Ｙ軸方向）を長手方向とする矩形状である。

整流部材６２は、ノズル本体６１の流入口６１ａの近傍に配置される。整流部材６２は、板状であり、流路方向Ｄ３に直交するように配置される。整流部材６２には複数の孔６２ａが形成されている。整流部材６２は、ダクト４３からノズル本体６１に流れ込んだ溶融はんだを整流する。

フロントガイド板６５は、ノズル本体６１の上端におけるプリント基板１００の進行方向Ｄ１の上流側の外面にビス６７により固定され、ノズル本体６１から噴流された溶融はんだを案内する。図１に示す例では、フロントガイド板６５は、断面が逆Ｊ字状になるように曲げられている。

バックガイド板６６は、ノズル本体６１の上端におけるプリント基板１００の進行方向Ｄ１の下流側に取り付けられ、ノズル本体６１から噴流された溶融はんだを案内する。

ノズル本体６１内を流路方向Ｄ３に流動した溶融はんだは、ノズル本体６１の排出口６１ｂから噴出し、フロントガイド板６５またはバックガイド板６６に沿って流動する。二次噴流ノズル６の上方における溶融はんだの液面Ｌ２は平面状となる。一次噴流ノズル５の上方の波状の液面Ｌ１の溶融はんだにプリント基板１００が接触すると、プリント基板１００のはんだ付け部にツララおよびブリッジなどが発生する可能性がある。しかしながら、平面状の液面Ｌ２の溶融はんだにプリント基板１００を接触させることにより、プリント基板１００のはんだ付け部が整形される。

調整板６３は、たとえばステンレス鋼によって構成され、二次噴流ノズル６の噴流幅Ｗ２を調整する。噴流幅Ｗ２は、プリント基板１００の進行方向Ｄ１を水平面（ＸＹ平面）に投影した方向（Ｘ軸方向）の噴流長さである。

調整板６３の下端は、プリント基板１００の進行方向Ｄ１に垂直であり、かつ水平面に平行な軸（Ｙ軸方向に平行な軸）を支軸として、ノズル本体の内壁面６１ｃに、蝶番６８によって回動可能に軸支される。内壁面６１ｃは、Ｙ軸に平行な側壁の内面であり、ノズル本体６１におけるプリント基板１００の進行方向Ｄ１の下流側の面である。調整板６３は、内壁面６１ｃに平行な状態（図２参照）から内壁面６１ｄに近づくように傾斜した状態（図１参照）までの取り得る。内壁面６１ｄは、Ｙ軸に平行な側壁の内面であり、ノズル本体６１におけるプリント基板１００の進行方向Ｄ１の上流側の面である。

調整板６３が回動することにより、調整板６３の上端部６３ａとフロントガイド板６５との間の距離が変化する。ノズル本体６１の流入口６１ａから流入した溶融はんだは、調整板６３と、ノズル本体６１の内壁面６１ｄとの間の空間を鉛直方向上向きに流動し、調整板６３の上端部６３ａとフロントガイド板６５との間から噴流する。そのため、調整板６３の上端部６３ａとフロントガイド板６５との間の距離が変化することにより、噴流幅Ｗ２が変化する。

調整板６３の上端部６３ａは、バックガイド板６６に向かって湾曲している。これにより、調整板６３の上端部６３ａとフロントガイド板６５との間から噴流した溶融はんだの一部は、バックガイド板６６にスムーズに流れ出す。

整流板６４は、調整板６３における内壁面６１ｃとは反対側の面６３ｂに固定される。整流板６４は、ノズル本体６１の流路方向Ｄ３に平行である。整流板６４には、複数の孔６４ａが形成されている。

幅調整機構７０は、調整板６３を回動させることにより、二次噴流ノズル６の噴流幅Ｗ２を調整する。幅調整機構７０は、作業者の操作に応じて、二次噴流ノズル６の噴流幅Ｗ２を、図１に示す最小幅から図２に示す最大幅までの間のいずれかの幅に調整する。

長さ調整機構８０は、バックガイド板６６のＸ軸方向の長さを調整する。長さ調整機構８０は、作業者の操作に応じて、バックガイド板６６の長さを、図１に示す最大長から図２に示す最小長までの間のいずれかの長さに調整する。図１に示されるように、調整板６３がバックガイド板６６から遠ざかる方向に回動されると、長さ調整機構８０は、バックガイド板６６を長くする。図２に示されるように、調整板６３がバックガイド板６６に近づく方向に回動されると、長さ調整機構８０は、バックガイド板６６を短くする。

傾き調整機構９０は、バックガイド板６６の水平面（ＸＹ平面）に対する傾斜角度を調整する。傾き調整機構９０は、作業者の操作に応じて、バックガイド板６６の傾斜角度を、図１に示す角度から図２に示す角度（＝０°）までの間のいずれかの角度に調整する。

上記のように、噴流式はんだ付け装置１の二次噴流ノズル６は、調整板６３を回動させることにより、噴流幅Ｗ２を調整する幅調整機構７０を備える。これにより、二次噴流ノズル６の噴流幅Ｗ２を容易に調整することができる。その結果、一次噴流接触時間と二次噴流接触時間の合計時間が所定時間内となるようにプリント基板１００の搬送速度を適宜調整しながら、一次噴流ノズル５の噴流幅Ｗ１と二次噴流ノズル６の噴流幅Ｗ２との割合を適宜調整することができる。

さらに、調整板６３を回動させることにより、調整板６３とノズル本体６１の内壁面６１ｄとの間の流路の断面積は、徐々に変化する。そのため、乱流の発生を抑制できる。

さらに、調整板６３は、ノズル本体６１の内部に設置される。そのため、調整板６３とノズル本体６１の内壁面との隙間を通る溶融はんだの流量が少なく、当該隙間に起因する乱流の発生も抑制できる。

調整板６３における内壁面６１ｄ側の面６３ｂには、整流板６４が固定される。整流板６４には、複数の孔６４ａが形成される。通常、壁面近くを流れる流体は、壁面から摩擦抵抗を受けるため、流速が低下する。そのため、調整板６３の近傍において溶融はんだの流速が低下しやすい。しかしながら、調整板６３に固定された整流板６４に複数の孔６４ａが形成されており、孔６４ａを通る流れの存在によって、調整板６３の近傍を流れる溶融はんだの流速の低下を抑制できる。その結果、整流板６４によって、二次噴流ノズル６内の溶融はんだの流れを層流化することができる。

以上のように、本実施の形態によれば、噴流幅の調整が可能であるとともに、噴流を安定化できる。

＜具体例＞
（噴流式はんだ付け装置の全体構成）
図３および図４を参照して、本実施の形態に係る噴流式はんだ付け装置１の具体例について説明する。図３は、実施の形態に係る噴流式はんだ装置の一例を示す平面図である。図４は、図３のＶ−Ｖ線矢視断面図である。

図３に示されるように、噴流式はんだ付け装置１は、上述した、一次噴流ノズル５、二次噴流ノズル６およびダクト４２，４３の他に、搬送装置１０，１１，１２，１３と、フラクサー装置２０と、予熱装置３０と、はんだ槽４０と、ポンプ５０，６０とを備える。

搬送装置１０，１１，１２，１３は、はんだ付けの対象物であるプリント基板１００を進行方向Ｄ１に沿って搬送する。搬送装置１０，１１，１２，１３は、たとえば搬送ベルトによって構成される。

搬送装置１０は、フラクサー装置２０の前段に配置され、作業者Ｈによって載置されたプリント基板１００を搬送装置１１に搬送する。搬送装置１１は、フラクサー装置２０の上方に配置され、フラクサー装置２０によって処理されたプリント基板１００を搬送装置１２に搬送する。搬送装置１２は、フラクサー装置２０とはんだ槽４０との間に配置され、プリント基板１００を搬送装置１３に搬送する。搬送装置１３は、予熱装置３０内、一次噴流ノズル５の上方、および二次噴流ノズル６の上方に配置される。プリント基板１００は、搬送装置１３によって、予熱装置３０内、一次噴流ノズル５の上方、および二次噴流ノズル６の上方を順に通過する。搬送装置１３は、プリント基板１００が一次噴流ノズル５および二次噴流ノズル６の上方を約５秒かけて通過するように、プリント基板１００を搬送する。

フラクサー装置２０は、搬送装置１２によって搬送されているプリント基板１００にフラックスを塗布する。フラクサー装置２０は、噴霧ノズル２１を有し、噴霧ノズル２１から霧状のフラックスをプリント基板１００に噴射する。予熱装置３０は、搬送装置１２によって搬送されているプリント基板１００を予熱する。

はんだ槽４０は、溶融はんだ４１を収容する。ダクト４２，４３は、はんだ槽４０内に設置される。ポンプ５０は、ダクト４２内に設置され、ダクト４２内で溶融はんだ４１を圧送する。ポンプ６０は、ダクト４３内に設置され、ダクト４３内で溶融はんだ４１を圧送する。ポンプ５０，６０は、たとえば羽根車によって構成され、図示しないモータによって回転することにより、溶融はんだ４１を圧送する。

ダクト４３の底には、ポンプ６０の下方において孔４３ａが形成されている（図４参照）。ポンプ６０が動作すると、溶融はんだ４１が孔４３ａを通ってダクト４３内に流れ込み、ダクト４３に沿って水平方向に流れる。同様に、ダクト４２の底にも溶融はんだ４１を通すための孔が形成されている。

一次噴流ノズル５はダクト４２に接続される。二次噴流ノズル６はダクト４３に接続される。一次噴流ノズル５は、ダクト４２内で圧送された溶融はんだ４１の流れを鉛直方向上向きに変える。二次噴流ノズル６は、ダクト４３内で圧送された溶融はんだ４１の流れを鉛直方向上向きに変える。

（幅調整機構、長さ調整機構および傾き調整機構の構成）
次に、図５〜図７を参照して、幅調整機構７０、長さ調整機構８０および傾き調整機構９０の構成について説明する。図５は、二次噴流ノズルの一例を示す平面図である。図６は、図５のＶ−Ｖ線矢視断面図である。ただし、図６では、バックガイド板６６の図示を省略している。図７は、幅調整機構、長さ調整機構および傾き調整機構の相対位置関係の一例を示す図である。図７には、二次噴流ノズル６の噴流幅Ｗ２が最大であり、バックガイド板６６の長さが最小であり、バックガイド板６６の水平面に対する傾斜角度が最小である状態が示される。

幅調整機構７０は、固定板７１と、２つの案内部材７２と、２つの可動板７３と、２つの歯車７４と、軸７５と、レバー７６とを有する。

固定板７１は、水平面（ＸＹ平面）に平行となるように、ノズル本体６１の外面に固定されている（図７参照）。固定板７１は、ノズル本体６１における、プリント基板１００の進行方向Ｄ１の下流側の外面に固定される。

２つの案内部材７２は、固定板７１の下面に取り付けられる。２つの案内部材７２は、Ｙ軸方向に沿って配列される。２つの案内部材７２の各々は、フレーム７７と一対の支持部材７８とを有する。

フレーム７７は、ビスによって固定板７１に取り付けられる。一対の支持部材７８は、Ｙ軸方向に所定距離だけ離れた状態でフレーム７７にビスによって固定される。一対の支持部材７８の一方における他方に対向する面、および、他方における一方に対向する面には、溝７８ａが形成される。

２つの可動板７３の一方は、２つの案内部材７２の一方に対応して配置され、２つの可動板７３の他方は、２つの案内部材７２の他方に対応して配置される。可動板７３は、対応する案内部材７２の一対の支持部材７８に形成された溝７８ａに差し込まれ、溝７８ａに沿ってＸ軸方向に沿ってスライド可能である。

可動板７３における調整板６３側の端部は、ノズル本体６１に形成された孔６１ｅおよび調整板６３に形成された孔６３ｃを貫通している（図７参照）。可動板７３における調整板６３側の先端には棒状部材７３ａが取り付けられている。棒状部材７３ａの径は、ノズル本体６１の孔６１ｅおよび調整板６３の孔６３ｃの内径よりも大きい。調整板６３の面６３ｂには、棒状部材７３ａを覆うカバー６３ｄが取り付けられている。棒状部材７３ａは、カバー６３ｄと調整板６３との間の空間に収容される。

可動板７３における調整板６３とは反対側の端部近傍の下面には、ラック歯７３ｂが形成されている。

２つの歯車７４の一方は、２つの案内部材７２の一方に対応して配置され、２つの歯車７４の他方は、２つの案内部材７２の他方に対応して配置される。歯車７４は、対応する案内部材７２の一対の支持部材７８の間に挿入される。歯車７４は、対応する案内部材７２によってスライド可能に支持される可動板７３に形成されたラック歯７３ｂと噛み合う。

軸７５は、２つの歯車７４の中心軸であり、Ｙ軸方向に伸びる。軸７５が回転することにより、２つの歯車７４も回転する。

レバー７６は、軸７５の一方端に接続し、軸７５に直交し、溶融はんだの液面Ｌから上方に突出する（図７参照）。なお、図７には、ポンプ５０，６０が非稼働時における溶融はんだの液面Ｌが示されている。

図５および図７に示されるように、バックガイド板６６は、回動板６６ａと、スライド板６６ｂとを有する。

回動板６６ａにおけるノズル本体６１側の端部は、ノズル本体６１の外面に、蝶番６９によって回動可能に軸支される（図７参照）。蝶番６９の軸は、プリント基板１００の進行方向Ｄ１に垂直であり、かつ水平面に平行な軸（Ｙ軸方向に平行な軸）である。

スライド板６６ｂは、回動板６６ａの上面に沿ってスライド可能である。スライド板６６ｂには、Ｘ軸方向を長手方向とする２つの長穴６６ｃが形成されている（図５参照）。

長さ調整機構８０は、２つのネジ８１（図５参照）によって構成される。２つのネジ８１の一方は、スライド板６６ｂに形成された２つの長穴６６ｃの一方に対応し、２つのネジ８１の他方は、２つの長穴６６ｃの他方に対応する。ネジ８１は、対応する長穴６６ｃを貫通して、回動板６６ａに形成された雌ネジに螺合される。ネジ８１を締め付けることにより、スライド板６６ｂと回動板６６ａとの相対位置は固定される。ネジ８１を緩めることにより、スライド板６６ｂは、回動板６６ａ上をスライド可能となる。

傾き調整機構９０は、ネジ９１によって構成される。ネジ９１の外周面には、螺旋溝が形成されている。バックガイド板６６の回動板６６ａにおけるノズル本体６１とは反対側の端部には、ネジ９１の螺旋溝と螺合可能なネジ穴６６ｄ（図７参照）が形成される。ネジ９１の螺旋溝とネジ穴６６ｄとが螺合した状態で、ネジ９１の下端は、固定板７１に回転可能に支持される。ネジ９１を回転させることにより、回動板６６ａが回動する。

（幅調整、長さ調整および傾き調整の方法）
次に、図７〜図１０を参照して、二次噴流ノズル６の噴流幅の調整、バックガイド板６６の長さ調整、およびバックガイド板６６の傾き調整の方法について説明する。図８は、幅調整機構、長さ調整機構および傾き調整機構の相対位置関係の別の例を示す図である。図８には、二次噴流ノズル６の噴流幅が最小であり、バックガイド板６６の長さが最大であり、バックガイド板６６の水平面に対する傾斜角度が最小である状態が示される。図９は、調整板の回動可能範囲を示す図である。図１０は、幅調整機構、長さ調整機構および傾き調整機構の相対位置関係のさらに別の例を示す図である。図１０には、二次噴流ノズル６の噴流幅が最小であり、バックガイド板６６の長さが最大であり、バックガイド板６６の水平面に対する傾斜角度が最大である状態が示される。

図７に示される状態において、レバー７６を矢印Ｄ４の方向に回転させると、歯車７４は矢印Ｄ５の方向に回転する。歯車７４の回転に応じて、歯車７４と噛み合うラック歯７３ｂが形成された可動板７３は、矢印Ｄ６の方向に直線移動する。可動板７３の直線移動に応じて、可動板７３の先端に取り付けられた棒状部材７３ａは、調整板６３に取り付けられたカバ−６３ｄを矢印Ｄ６の方向に押す。その結果、調整板６３は、矢印Ｄ７の方向に回動する。図８には、レバー７６を矢印Ｄ４の方向（図７参照）に限界まで回転させたときの状態が示される。

図８に示される状態において、レバー７６を矢印Ｄ８の方向に回転させると、歯車７４は矢印Ｄ９の方向に回転する。歯車７４の回転に応じて、歯車７４と噛み合うラック歯７３ｂが形成された可動板７３は、矢印Ｄ１０の方向に直線移動する。可動板７３の直線移動に応じて、可動板７３の先端に取り付けられた棒状部材７３ａは、調整板６３を矢印Ｄ１０の方向に押す。その結果、調整板６３は、矢印Ｄ１１の方向に回動する。その結果、図７に示す状態に戻される。

図９に示されるように、調整板６３は、Ｚ軸に平行な実線の状態（図７に示す状態）から、Ｚ軸に対して角度θ１だけ回動した破線の状態（図８に示す状態）まで回動可能である。θ１はたとえば２０°である。

図７に示される状態において、ネジ８１を緩め、スライド板６６ｂを調整板６３に近づくようにスライドさせ、ネジ８１を締め付けることにより、バックガイド板６６のＸ軸方向の長さを長くすることができる（図８参照）。

図８に示される状態において、ネジ８１を緩め、スライド板６６ｂを調整板６３から遠ざかるようにスライドさせ、ネジ８１を締め付けることにより、バックガイド板６６のＸ軸方向の長さを短くすることができる（図７参照）。

このように、調整板６３の位置に応じて、バックガイド板６６のＸ軸方向の長さを調整することができる。これにより、調整板６３の上端部６３ａから流れ出した溶融はんだをバックガイド板６６によって案内することができる。

図８に示される状態において、ネジ９１を回転させることにより、回動板６６ａは、蝶番６９を軸として回動する。その結果、バックガイド板６６の水平面に対する傾斜角度を大きくすることができる。図１０には、バックガイド板６６の水平面に対する傾斜角度θ２が最大（たとえば１０°）のときの状態が示される。

図１０に示される状態において、ネジ９１を反対に回転させることにより、回動板６６ａは、蝶番６９を軸として反対方向に回動する。その結果、バックガイド板６６の水平面に対する傾斜角度θ２を小さくすることができる（図８参照）。

バックガイド板６６の水平面に対する傾斜角度は、図８に示す状態（たとえば０°）から図１０に示す状態（たとえば１０°）までの範囲で適宜調整される。バックガイド板６６の水平面に対する傾斜角度を調整することにより、プリント基板１００と溶融はんだとの最適なピールバックのポイントを得ることができる。その結果、はんだ形状の不良を抑制できる。

なお、ポンプ６０を停止し、二次噴流ノズル６からの溶融はんだの噴流がない場合、図７，図８および図１０に示されるように、溶融はんだの液面Ｌは、ネジ８１およびネジ９１よりも低い。そのため、作業者は、ポンプ６０を停止することにより、ネジ８１およびネジ９１を操作することができる。

（調整板による乱流の発生の抑制効果）
図１１は、二次噴流ノズルの参考例を示す断面図である。図１１に示す参考例の二次噴流ノズル１０６は、角筒状のノズル本体１６１と調整板１６３とを含む。調整板１６３は、Ｘ軸方向に沿ってスライド可能であり、ノズル本体１６１の上端の排出口１６１ｂの一部を覆うことにより、二次噴流ノズル１０６の噴流幅Ｗ２が調整される。図１１（ａ）には、噴流幅Ｗ２が最大であるときの二次噴流ノズル１０６が示され、図１１（ｂ）には、噴流幅Ｗ２が最小であるときの二次噴流ノズル１０６が示される。

図１１（ｂ）に示されるように、調整板１６３がノズル本体１６１の排出口１６１ｂの一部を覆うため、調整板１６３の下方において乱流Ｆ１が発生しやすくなる。

図１２は、二次噴流ノズルの別の参考例を示す断面図である。図１３は、図１２に示す二次噴流ノズルのＶ−Ｖ線矢視断面図である。図１２および図１３に示す参考例の二次噴流ノズル２０６は、固定壁２６１と、可変壁２６２と、蝶番２６３とを含む。

固定壁２６１および可変壁２６２により角筒状のノズル本体が構成される。固定壁２６１は、−Ｘ方向，＋Ｙ方向および−Ｙ方向の３方向を取り囲む壁であり、＋Ｘ方向に開いている。可変壁２６２は、固定壁２６１の開いた方向（＋Ｘ方向）を覆う壁である。可変壁２６２は、固定壁２６１に蝶番２６３によって回動可能に軸支される。蝶番２６３は、可変壁２６２の下端と固定壁２６１とを接続する。蝶番２６３の軸は、Ｙ方向に平行である。可変壁２６２を回動させることにより、可変壁２６２の上端と、固定壁２６１における可変壁２６２に対向する壁面との距離が変化する。これにより、二次噴流ノズル２０６の噴流幅Ｗ２が調整される。図１２（ａ）および図１３（ａ）には、噴流幅Ｗ２が最大であるときの二次噴流ノズル２０６が示され、図１２（ｂ）および図１３（ｂ）には、噴流幅Ｗ２が最小であるときの二次噴流ノズル２０６が示される。

二次噴流ノズル２０６では、ノズル本体の排出口が板によって覆われることがない。そのため、図１１に示されるような乱流Ｆ１の発生が抑制される。しかしながら、二次噴流ノズル２０６では、図１３（ｂ）に示されるように、可変壁２６２と固定壁２６１との隙間を通る溶融はんだの流れＦ２が発生する。当該流れＦ２によって、二次噴流ノズル２０６内に流路方向Ｄ３（図１２参照）とは異なる方向の乱流が発生しやすくなる。

本実施の形態に係る二次噴流ノズル６では、このような乱流の発生を抑制できる。二次噴流ノズル６では、下端がノズル本体６１に軸支された調整板６３を回動させることにより、噴流幅が調整される。そのため、ノズル本体６１の排出口６１ｂが板によって覆われることがなく、図１１に示されるような乱流Ｆ１の発生が抑制される。

さらに、調整板６３は、ノズル本体６１内に設けられる。図１に示されるように、ノズル本体６１内の空間は、調整板６３によって、調整板６３とノズル本体６１の内壁面６１ｃとの間の空間と、調整板６３とノズル本体６１の内壁面６１ｄとの間の空間とに仕切られる。調整板６３とノズル本体６１の内壁面６１ｄとの間の空間にポンプ６０によって圧送された溶融はんだが流れ込む。このとき、調整板６３とノズル本体６１との隙間を通る流れが生じ得る。しかしながら、当該流れの向かう先の空間は、調整板６３およびノズル本体６１の内壁面によって囲まれている。そのため、流量はわずかであり、図１２および図１３に示される参考例の二次噴流ノズル２０６と比べて、乱流の発生が抑制される。

このように、二次噴流ノズル６は、噴流幅Ｗ２が可変でありながら、乱流の発生を抑制することができる。

（整流板）
上記のように、二次噴流ノズル６は、調整板６３を備えることにより、噴流幅Ｗ２が可変でありながら、乱流の発生を抑制することができる。ただし、噴流幅Ｗ２を小さく調整する場合、調整板６３とノズル本体６１の内壁面６１ｄとの距離は、ノズル本体６１の流入口６１ａから排出口６１ｂに向かうにつれ徐々に小さくなる。つまり、溶融はんだの流路の断面積が徐々に小さくなる。そのため、図１１に示すような大きな乱流Ｆ１の発生は抑制されるが、流路の断面積の変化による乱流が発生する可能性がある。

さらに、通常、壁面近くを流れる流体は、壁面から摩擦抵抗を受けるため、流速が低下する。そのため、調整板６３近傍の流速の低下によって、乱流が発生する可能性がある。

本実施の形態では、このような乱流の発生をさらに抑制するために、調整板６３における内壁面６１ｄ側の面６３ｂに整流板６４が固定されている（図１、図２および図４参照）。

複数の整流板６４は、たとえばステンレス鋼によって構成され、調整板６３の面６３ｂに溶接される。整流板６４の厚みは、たとえば１．５〜２．０ｍｍである。なお、本明細書において「Ｍ〜Ｎ」という形式の表記は、範囲の上限下限（すなわちＭ以上Ｎ以下）を意味し、Ｍにおいて単位の記載がなく、Ｎにおいてのみ単位が記載されている場合、Ｍの単位とＮの単位とは同じである。

整流板６４は、ノズル本体６１の流路方向Ｄ３に平行である。そのため、整流板６４は、溶融はんだの流れを流路方向Ｄ３に層流化する。

複数の整流板６４は、プリント基板１００の進行方向Ｄ１に平行であり、Ｙ軸方向に沿って間隔を空けて配置される。そのため、整流板６４は、調整板６３とノズル本体６１の内壁面６１ｄとの間の空間を流れる溶融はんだの流れのＹ軸方向成分を抑制し、溶融はんだの流れを層流化することができる。

複数の整流板６４は、互いに平行であることが好ましい。複数の整流板６４は、一定間隔を空けて配置されてもよいし、不等間隔を空けて配置されてもよい。隣り合う２つの整流板６４の間隔は、２０〜３０ｍｍであることが好ましい。

さらに、整流板６４には複数の孔６４ａが形成される。図１４は、整流板６４近傍の溶融はんだの流れを模式的に示す図である。整流板６４に孔６４ａが形成されているため、整流板６４に沿った溶融はんだの流れＦ３と、孔６４ａを通る溶融はんだの流れＦ４とが接触することにより、小さな乱流（渦流）Ｆ５が発生する。小さな乱流Ｆ５は、転のように作用し、整流板６４による摩擦抵抗を下げる。その結果、調整板６３および整流板６４の近傍を流れる溶融はんだの流速の低下を抑制できる。

以上から、整流板６４によって、二次噴流ノズル６内の溶融はんだの流れを層流化することができる。

図１５は、整流板の一例を示す斜視図である。図１６は、図１５に示す整流板を示す断面図である。図１５および図１６に示されるように、整流板６４の厚みは、Ｚ軸方向の上端部６４ｂにおいて、Ｚ軸方向の上端面６４ｃに向かうにつれて薄くなることが好ましい。同様に、整流板６４の厚みは、Ｚ軸方向の下端部６４ｄにおいて、Ｚ軸方向の下端面６４ｅに向かうにつれて薄くなることが好ましい。整流板６４の中央部の厚みＴ１は、たとえば２ｍｍであり、上端部６４ｂおよび下端部６４ｄの先端付近の厚みＴ２は、たとえば０．８ｍｍである。

これにより、整流板６４の上端部６４ｂおよび下端部６４ｄの近傍において、溶融はんだの層流化を妨げるような大きな乱流の発生を抑制することができる。

また、図１６に示されるように、整流板６４に形成される孔６４ａの角部６４ｆには面取りが施されていることが好ましい。たとえば、角部６４ｆに対して、４５°の面取りが施される。このとき、断面の２辺が０．５〜１．０ｍｍの直角二等辺三角形だけ切り取るように（Ｃ０．５〜Ｃ１．０）、面取りを施すことが好ましい。孔６４ａの角部６４ｆとは、孔６４ａの内周面と整流板６４の主面とが交わる部分である。なお、整流板６４の主面とは、整流板６４の表面のうち、最も面積の大きい面である。

孔６４ａの角部６４ｆに面取りが施されることにより、当該角部６４ｆの近傍において、溶融はんだの層流化を妨げるような大きな乱流の発生を抑制することができる。

図１７は、孔６４ａの配置の一例を示す図である。図１８は、孔６４ａの配置の別の例を示す図である。図１７に示されるように、整流板６４において複数の孔６４ａは、格子状に形成され配置されてもよい。もしくは、図１８に示されるに、整流板６４において複数の孔６４ａは、千鳥状に形成されてもよい。ただし、整流板６４における単位面積当たりの孔６４ａの個数を増やすためには、複数の孔６４ａを千鳥状に形成することが好ましい。

孔６４ａは、図１７および図１８に示されるような円形状であってもよいし、楕円形状または長丸形状であってもよい。孔６４ａに角がないため、溶融はんだの層流化を妨げるような大きな乱流の発生を抑制することができる。孔６４ａの径ｄ１は、３〜６ｍｍであることが好ましい。なお、孔６４ａを楕円形状または長丸形状とする場合、孔６４ａの径ｄ１は、長径である。孔６４ａの径ｄ１を３ｍｍ以上とすることにより、溶融はんだの層流化の効果を発揮させやすくなる。孔６４ａの径ｄ１を６ｍｍ以下とすることにより、整流板６４の強度の低下を抑制できる。

図１８に示すように孔６４ａを千鳥状に形成する場合、隣接する２つの孔６４ａ間の最短距離ｄ２は、０．５〜２ｍｍであることが好ましい。これにより、整流板６４の強度を確保できるとともに、層流化の効果を発揮しやすくなる。また、隣接する２つの孔６４ａ間の最長距離ｄ３は、３〜５ｍｍであることが好ましい。これにより、整流板６４の強度を確保できるとともに、層流化の効果を発揮しやすくなる。

（整流板の効果の評価結果）
調整板６３に整流板６４を固定した実施例と、調整板６３に整流板６４を固定していない比較例とについて、噴流形状の評価を行なった。

図１９は、噴流形状の評価項目の一部を示す図である。図２０は、噴流形状の評価項目の残りを示す図である。図１９および図２０には、プリント基板の進行方向の下流側から見たときの二次噴流ノズルの噴流形状の一例が示される。図１９に示されるように、溶融はんだ４１の液面Ｌ２は、ノズル本体６１のＹ軸方向両端の側壁６１ｆ、６１ｇの近傍において水平面に対して傾斜する。具体的には、側壁６１ｆ，６１ｇに近づくにつれ、溶融はんだ４１の液面Ｌ２が低くなる。寸法Ａは、当該傾斜面の高低差を示す。寸法Ｃ，Ｄは、当該傾斜面のＹ軸方向の長さを示す。さらに、噴流高さＦは、調整板６３の上端からの噴流の高さである。

図２０に示されるように、噴流が安定しない場合、溶融はんだ４１の液面Ｌ２の矢印で示される位置に凹部が生じる。寸法Ｂは、当該凹部の深さを示す。寸法Ｅは、当該凹部のＹ軸方向の長さを示す。凹部が複数確認される場合には、複数の凹部の各々の深さの最大値を寸法Ｂとし、複数の凹部のＹ軸方向の長さの最大値を寸法Ｅとする。

ポンプ６０の運転条件を一定としたときの、実施例および比較例における寸法Ａ〜Ｅの測定結果を表１に示す。表１には、噴流幅を最大値としたときと、噴流幅を中間値としたときと、噴流幅を最小値としたときとの測定結果が示される。中間値は、噴流幅の最大値と最小値との真ん中の値である。

表１に示されるように、噴流幅を中間値または最小値とする場合、実施例における寸法Ａ〜Ｅは、比較例における寸法Ａ〜Ｅよりもそれぞれ小さい。プリント基板に対して良好にはんだ付けを行なうには、寸法Ｂは、プリント基板の厚み（標準では１．６ｍｍ）の２／３以下であることが好ましい。噴流幅が中間値および最小値であるとき、比較例における寸法Ｂは、標準のプリント基板の厚み１．６ｍｍの２／３を超える。これに対し、実施例における寸法Ｂは、噴流幅が最小値であっても、標準のプリント基板の厚み１．６ｍｍの２／３以下となった。

さらに、実施例および比較例について、調整板６３に対する噴流高さＦを測定した。ただし、二次噴流ノズル用のポンプの周波数を、寸法Ｂが標準のプリント基板の厚み１．６ｍｍの２／３以下となる範囲の最大値に調整した。測定結果を表２に示す。

表２に示されるように、比較例では、標準のプリント基板の厚み１．６ｍｍの２／３以下に寸法Ｂを抑えるために、噴流幅が小さくなるにつれて、ポンプの周波数を下げる必要がある。そのため、噴流幅を中間値および最小値に調整する場合、フロントガイド板６５に対する噴流高さが低くなる。これに対し、実施例では、乱流の発生が抑制されているため、ポンプの周波数を下げ幅が小さくて済む。そのため、フロントガイド板６５に対する噴流高さＦの低下を抑制できる。その結果、実施例では、ポンプの運転条件の選択の幅が広がる。

さらに、実施例および比較例について、ピールバックが最適となるときの、バックガイド板６６の水平面に対する傾斜角度（図１０に示すθ２）とポンプ６０の周波数との条件について確認した。確認結果を表３に示す。

表３に示されるように、比較例では、噴流の流速の乱れが大きいため、ポンプ６０の周波数を低く抑える必要があり、バックガイド板６６の傾斜角度を大きくすることができない。これに対し、実施例では、噴流の流速の乱れが小さいため、ポンプ６０の周波数を低く抑える必要がなく、バックガイド板６６の傾斜角度を大きくすることが可能である。そのため、ピールバックを最適にするためのポンプの運転条件およびバックガイド板６６の傾斜角度の条件の選択の幅が広がる。

＜作用・効果＞
以上のように、本実施の形態に係る噴流式はんだ付け装置１の二次噴流ノズル６は、ノズル本体６１と、二次噴流ノズル６の噴流幅Ｗ２を調整するための調整板６３と、調整板６３に固定された整流板６４とを含む。調整板６３の下端は、プリント基板１００の進行方向Ｄ１に垂直であり、かつ水平面に平行な軸を支軸として、ノズル本体６１における支軸に平行な内壁面に回動可能に軸支される。二次噴流ノズル６は、調整板６３を回動させる幅調整機構７０を含む。

これにより、上記の（調整板による乱流の発生の抑制効果）で説明したように、乱流の発生を抑制しながら、噴流幅Ｗ２を変更することができる。

さらに、整流板６４は、調整板６３における内壁面６１ｃとは反対側の面６３ｂに固定され、かつ、二次噴流ノズル６の流路方向Ｄ３に平行である。整流板６４には複数の孔６４ａが形成されている。これにより、上記の（整流板の効果の評価結果）で説明したように、二次噴流ノズル６内の溶融はんだの流れを層流化することができ、噴流を安定化することができる。

内壁面６１ｃは、ノズル本体６１におけるプリント基板１００の進行方向Ｄ１の下流側に位置する。二次噴流ノズル６は、ノズル本体６１におけるプリント基板１００の進行方向Ｄ１の下流側に設けられ、噴流された溶融はんだを案内するためのバックガイド板６６をさらに含む。調整板６３の上端部６３ａは、バックガイド板６６に向かって湾曲している。これにより、噴流された溶融はんだは、調整板６３の上端部６３ａを超えて、バックガイド板６６にスムーズに流れることができる。

二次噴流ノズル６は、バックガイド板６６の長さを変更するための長さ調整機構８０をさらに含む。これにより、調整板６３の位置に応じて、バックガイド板６６の長さを調整することができる。その結果、調整板６３の上端部６３ａを超えて流れ出した溶融はんだをバックガイド板６６によってスムーズに案内することができる。

二次噴流ノズル６は、バックガイド板６６の水平面に対する傾斜角度を変更するための傾き調整機構９０をさらに含む。これにより、プリント基板１００と溶融はんだとのピールバックを調整することができる。その結果、はんだ形状の不良を抑制できる。

複数の整流板６４は、プリント基板１００の進行方向Ｄ１に平行であり、流路方向Ｄ３およびプリント基板１００の進行方向Ｄ１に直交する方向（Ｙ軸方向）に沿って間隔を空けて配列される。これにより、整流板６４は、調整板６３とノズル本体６１の内壁面６１ｄとの間の空間を流れる溶融はんだの流れのＹ軸方向成分を抑制し、溶融はんだの流れを層流化することができる。

複数の孔６４ａは、円形状、楕円形状または長丸形状である。孔６４ａに角がないため、溶融はんだの層流化を妨げるような大きな乱流の発生を抑制することができる。

複数の孔６４ａの径は３〜６ｍｍであることが好ましい。これにより、整流効果を発揮させやすくなるとともに、整流板６４の強度の低下を抑制できる。

複数の孔６４ａは千鳥状に形成されることが好ましい。これにより、整流板６４における単位面積当たりの孔６４ａの個数を増やすことができる。

整流板６４において複数の孔６４ａの角部６４ｆには面取りが施されていることが好ましい。これにより、角部６４ｆの近傍において、溶融はんだの層流化を妨げるような大きな乱流の発生を抑制することができる。

整流板６４の厚みは、流路方向Ｄ３の端部において、当該流路方向Ｄ３の端面に向かうにつれて薄くなることが好ましい。これにより、整流板６４における二次噴流ノズル６の流路方向Ｄ３の端部において、溶融はんだの層流化を妨げるような大きな乱流の発生を抑制することができる。

＜変形例＞
二次噴流ノズル６において、フロントガイド板は、ノズル本体６１に対して着脱可能である。二次噴流ノズル６の噴流幅Ｗ２は、フロントガイド板の形状にも依存する。そのため、二次噴流ノズル６の噴流幅Ｗ２に適した形状を有するフロントガイド板がノズル本体６１に適宜装着される。

図２１は、フロントガイド板の一例を示す断面図である。図２２は、フロントガイド板の別の例を示す断面図である。図１に示すフロントガイド板６５を図２１に示すフロントガイド板６５ａに置き換えることにより、噴流幅Ｗ２を小さくすることができる。さらに、図２１に示すフロントガイド板６５ａを図２２に示すフロントガイド板６５ｂに置き換えることにより、噴流幅Ｗ２をさらに小さくすることができる。フロントガイド板６５，６５ａ，６５ｂは、ビス６７によってノズル本体６１に着脱される。

二次噴流ノズル６の代わりに一次噴流ノズル５が、調整板６３、整流板６４、幅調整機構７０を含んでもよい。この場合、一次噴流ノズル５の噴流幅Ｗ１が調整可能となり、一次噴流接触時間と二次噴流接触時間との割合を調整することができる。もしくは、一次噴流ノズル５および二次噴流ノズル６の両方が、調整板６３、整流板６４、幅調整機構７０を含んでもよい。

上記の説明では、二次噴流ノズル６は、幅調整機構７０、長さ調整機構８０および傾き調整機構９０の全てを備えるものとした。しかしながら、二次噴流ノズル６は、幅調整機構７０、長さ調整機構８０および傾き調整機構９０のうち少なくとも幅調整機構７０を備えていればよい。すなわち、二次噴流ノズル６は、幅調整機構７０、長さ調整機構８０および傾き調整機構９０のうち幅調整機構７０のみを備えていてもよいし、幅調整機構７０と長さ調整機構８０および傾き調整機構９０の一方とを備えていてもよい。

さらに、幅調整機構７０は、上記の構成に限定されるものではなく、調整板６３を回動させる機構であればよい。長さ調整機構８０は、上記の構成に限定されるものではなく、バックガイド板６６の長さを変更する機構であればよい。傾き調整機構９０は、上記の構成に限定されるものではなく、バックガイド板６６の水平面に対する傾斜角度を変更する機構であればよい。

上記の説明では、調整板６３には複数の整流板６４が固定される。しかしながら、調整板６３のＹ軸方向の長さが比較的短い場合には、調整板６３に１つの整流板６４が固定されてもよい。

＜付記＞
以下のように、本実施の形態は、以下のような開示を含む。

（構成１）
対象物（１００）に対して溶融はんだ（４１）を噴流してはんだ付けを行なう噴流式はんだ付け装置（１）であって、
一次噴流ノズル（５）と、
二次噴流ノズル（６）とを備え、
前記一次噴流ノズル（５）と前記二次噴流ノズル（６）との少なくとも一方のノズルは、
筒状のノズル本体（５１，６１）と、
前記少なくとも一方のノズルの噴流幅を調整するための調整板（６３）と、
前記調整板に固定された少なくとも１つの整流板（６４）とを含み、
前記調整板（６３）の下端は、前記対象物（１００）の進行方向に垂直であり、かつ水平面に平行な軸を支軸として、前記ノズル本体（５１，６１）における前記支軸に平行な内壁面（６１ｃ）に回動可能に軸支され、
前記少なくとも一方のノズルは、前記調整板（６３）を回動させる第１機構（７０）をさらに含み、
前記少なくとも１つの整流板（６４）は、前記調整板（６３）における前記内壁面（６１ｃ）とは反対側の面（６３ｂ）に固定され、かつ、前記少なくとも一方のノズルの流路方向に平行であり、
前記少なくとも１つの整流板（６４）には複数の孔（６４ａ）が形成されている、噴流式はんだ付け装置（１）。

（構成２）
前記内壁面（６１ｃ）は、前記ノズル本体（５１，６１）における前記対象物（１００）の前記進行方向の下流側に位置し、
前記少なくとも一方のノズルは、前記ノズル本体（５１，６１）における前記対象物（１００）の前記進行方向の下流側に設けられ、噴流された溶融はんだ（４１）を案内するためのガイド板（６６）をさらに含み、
前記調整板（６６）の上端部（６６ａ）は、前記ガイド板（６６）に向かって湾曲している、構成１に記載の噴流式はんだ付け装置（１）。

（構成３）
前記少なくとも一方のノズルは、前記ガイド板（６６）の長さを変更するための第２機構（８０）をさらに含む、構成２に記載の噴流式はんだ付け装置（１）。

（構成４）
前記少なくとも一方のノズルは、前記ガイド板（６６）の水平面に対する傾斜角度を変更するための第３機構（９０）をさらに含む、構成２または３に記載の噴流式はんだ付け装置（１）。

（構成５）
前記少なくとも１つの整流板（６４）は、前記対象物（１００）の前記進行方向に平行であり、前記流路方向および前記対象物（１００）の前記進行方向に直交する方向に沿って間隔を空けて配列される、複数の整流板（６４）を含む、構成１から４のいずれかに記載の噴流式はんだ付け装置（１）。

（構成６）
前記複数の孔（６４ａ）は、円形状、楕円形状または長丸形状である、構成１から５のいずれかに記載の噴流式はんだ付け装置（１）。

（構成７）
前記複数の孔（６４ａ）の径は３〜６ｍｍである、構成６に記載の噴流式はんだ付け装置（１）。

（構成８）
前記複数の孔（６４ａ）は千鳥状に形成される、構成１から７のいずれかに記載の噴流式はんだ付け装置（１）。

（構成９）
前記少なくとも１つの整流板（６４）において前記複数の孔（６４ａ）の角部（６４ｆ）には面取りが施されている、構成１から８のいずれかに記載の噴流式はんだ付け装置（１）。

（構成１０）
前記少なくとも１つの整流板（６４）の厚みは、前記流路方向の端部（６４ｂ，６４ｄ）において、前記流路方向の端面（６４ｃ，６４ｅ）に向かうにつれて薄くなる、構成１から９のいずれかに記載の噴流式はんだ付け装置（１）。

本発明の実施の形態について説明したが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

１ 噴流式はんだ付け装置、５ 一次噴流ノズル、６，１０６，２０６ 二次噴流ノズル、１０，１１，１２，１３ 搬送装置、２０ フラクサー装置、２１ 噴霧ノズル、３０ 予熱装置、４０ はんだ槽、４１ 溶融はんだ、４２，４３ ダクト、４３ａ，５３ａ，６１ｅ，６２ａ，６３ｃ，６４ａ 孔、５０，６０ ポンプ、５１，６１，１６１ ノズル本体、５１ａ，６１ａ 流入口、５１ｂ，６１ｂ，１６１ｂ 排出口、５２ ノズルキャップ、５２ａ 噴出孔、５３，６２ 整流部材、６１ｃ，６１ｄ 内壁面、６１ｆ，６１ｇ 側壁、６３，１６３ 調整板、６３ａ，６４ｂ 上端部、６３ｂ 面、６３ｄ カバー、６４ 整流板、６４ｃ 上端面、６４ｄ 下端部、６４ｅ 下端面、６４ｆ 角部、６５，６５ａ，６５ｂ フロントガイド板、６６ バックガイド板、６６ａ 回動板、６６ｂ スライド板、６６ｃ 長穴、６６ｄ ネジ穴、６７ ビス、６８，６９，２６３ 蝶番、７０ 幅調整機構、７１ 固定板、７２ 案内部材、７３ 可動板、７３ａ 棒状部材、７３ｂ ラック歯、７４ 歯車、７５ 軸、７６ レバー、７７ フレーム、７８ 支持部材、７８ａ 溝、８０ 長さ調整機構、８１，９１ ネジ、９０ 傾き調整機構、１００ プリント基板、２６１ 固定壁、２６２ 可変壁、Ｈ 作業者、Ｌ，Ｌ１，Ｌ２ 液面。

Claims (10)

1. 対象物に対して溶融はんだを噴流してはんだ付けを行なう噴流式はんだ付け装置であって、
   一次噴流ノズルと、
   二次噴流ノズルとを備え、
   前記一次噴流ノズルと前記二次噴流ノズルとの少なくとも一方のノズルは、
   筒状のノズル本体と、
   前記少なくとも一方のノズルの噴流幅を調整するための調整板と、
   前記調整板に固定された少なくとも１つの整流板とを含み、
   前記調整板の下端は、前記対象物の進行方向に垂直であり、かつ水平面に平行な軸を支軸として、前記ノズル本体における前記支軸に平行な内壁面に回動可能に軸支され、
   前記少なくとも一方のノズルは、前記調整板を回動させる第１機構をさらに含み、
   前記少なくとも１つの整流板は、前記調整板における前記内壁面とは反対側の面に固定され、かつ、前記少なくとも一方のノズルの流路方向に平行であり、
   前記少なくとも１つの整流板には複数の孔が形成されている、噴流式はんだ付け装置。
2. 前記内壁面は、前記ノズル本体における前記対象物の前記進行方向の下流側に位置し、
   前記少なくとも一方のノズルは、前記ノズル本体における前記対象物の前記進行方向の下流側に設けられ、噴流された溶融はんだを案内するためのガイド板をさらに含み、
   前記調整板の上端部は、前記ガイド板に向かって湾曲している、請求項１に記載の噴流式はんだ付け装置。
3. 前記少なくとも一方のノズルは、前記ガイド板の長さを変更するための第２機構をさらに含む、請求項２に記載の噴流式はんだ付け装置。
4. 前記少なくとも一方のノズルは、前記ガイド板の水平面に対する傾斜角度を変更するための第３機構をさらに含む、請求項２または３に記載の噴流式はんだ付け装置。
5. 前記少なくとも１つの整流板は、前記対象物の前記進行方向に平行であり、前記流路方向および前記対象物の前記進行方向に直交する方向に沿って間隔を空けて配列される、複数の整流板を含む、請求項１から４のいずれか１項に記載の噴流式はんだ付け装置。
6. 前記複数の孔は、円形状、楕円形状または長丸形状である、請求項１から５のいずれか１項に記載の噴流式はんだ付け装置。
7. 前記複数の孔の径は３〜６ｍｍである、請求項６に記載の噴流式はんだ付け装置。
8. 前記複数の孔は千鳥状に形成される、請求項１から７のいずれか１項に記載の噴流式はんだ付け装置。
9. 前記少なくとも１つの整流板において前記複数の孔の角部には面取りが施されている、請求項１から８のいずれか１項に記載の噴流式はんだ付け装置。
10. 前記少なくとも１つの整流板の厚みは、前記流路方向の端部において、前記流路方向の端面に向かうにつれて薄くなる、請求項１から９のいずれか１項に記載の噴流式はんだ付け装置。

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