JP2018201015A - 固体撮像装置、及び電子機器 - Google Patents
固体撮像装置、及び電子機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018201015A JP2018201015A JP2018095949A JP2018095949A JP2018201015A JP 2018201015 A JP2018201015 A JP 2018201015A JP 2018095949 A JP2018095949 A JP 2018095949A JP 2018095949 A JP2018095949 A JP 2018095949A JP 2018201015 A JP2018201015 A JP 2018201015A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pixel
- photoelectric conversion
- pixels
- inter
- solid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000007787 solid Substances 0.000 title abstract description 7
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 434
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims abstract description 217
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 94
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 201
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 60
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 21
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 24
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 6
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 140
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 97
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 77
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 77
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 77
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 47
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 46
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 35
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 32
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 32
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 25
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 17
- 230000006870 function Effects 0.000 description 17
- 239000004038 photonic crystal Substances 0.000 description 15
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 14
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 12
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 12
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 12
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 12
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 11
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 11
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 10
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 10
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 10
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 9
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 9
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 8
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 8
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 8
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 7
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 7
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- -1 for example Substances 0.000 description 6
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 6
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 5
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 5
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 5
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 5
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 5
- CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N hafnium(iv) oxide Chemical compound O=[Hf]=O CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 description 3
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 3
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- 241000519995 Stachys sylvatica Species 0.000 description 2
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 230000003796 beauty Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 210000004204 blood vessel Anatomy 0.000 description 1
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 1
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000036541 health Effects 0.000 description 1
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 230000000116 mitigating effect Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000011514 reflex Effects 0.000 description 1
- 230000027756 respiratory electron transport chain Effects 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 210000004761 scalp Anatomy 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14609—Pixel-elements with integrated switching, control, storage or amplification elements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14603—Special geometry or disposition of pixel-elements, address-lines or gate-electrodes
- H01L27/14607—Geometry of the photosensitive area
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14603—Special geometry or disposition of pixel-elements, address-lines or gate-electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B60—VEHICLES IN GENERAL
- B60R—VEHICLES, VEHICLE FITTINGS, OR VEHICLE PARTS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B60R11/00—Arrangements for holding or mounting articles, not otherwise provided for
- B60R11/04—Mounting of cameras operative during drive; Arrangement of controls thereof relative to the vehicle
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/28—Systems for automatic generation of focusing signals
- G02B7/34—Systems for automatic generation of focusing signals using different areas in a pupil plane
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14609—Pixel-elements with integrated switching, control, storage or amplification elements
- H01L27/14612—Pixel-elements with integrated switching, control, storage or amplification elements involving a transistor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/1462—Coatings
- H01L27/14621—Colour filter arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14625—Optical elements or arrangements associated with the device
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14625—Optical elements or arrangements associated with the device
- H01L27/14627—Microlenses
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/1463—Pixel isolation structures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14643—Photodiode arrays; MOS imagers
- H01L27/14645—Colour imagers
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/70—SSIS architectures; Circuits associated therewith
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Element Separation (AREA)
Abstract
Description
2.前提となる技術
3.本技術の実施の形態
(1)第1の実施の形態:画素間Si分離での突起部を設けた構造(基本構造)
(2)第2の実施の形態:画素間遮光での突起部を設けた構造
(3)第3の実施の形態:画素間Si分離と画素間遮光での突起部を設けた構造
(4)第4の実施の形態:R,G,B画素ごとに突起部を形成した構造
(5)第5の実施の形態:突起部の長さを調整した構造
(6)第6の実施の形態:画素ごとに突起部の長さを調整した構造
(7)第7の実施の形態:楕円型オンチップレンズを用いた構造
(8)第8の実施の形態:単一オンチップレンズに複数画素を配置した構造
(9)第9の実施の形態:光の入射側の反対側の面から物理分離した構造
(10)第10の実施の形態:PDの中央部分とその他の部分とで固定電荷量を変えた構造
(11)第11の実施の形態:同色のPDの中央部分を低屈折の領域とし、異色のPDの中央部分を金属の領域とした構造
(12)第12の実施の形態:OCLを複数種類の屈折率の異なる物質で構成した構造
(13)第13の実施の形態:同色のPDの中央部分に縦型トランジスタを形成した構造
4.画素の回路構成
5.変形例
6.電子機器の構成
7.固体撮像装置の使用例
8.本開示に係る技術を適用し得る積層型の固体撮像装置の構成例
9.移動体への応用例
図1は、本技術を適用した固体撮像装置の一実施の形態の構成例を示す図である。
図2は、1つのオンチップレンズ711の直下に2つの光電変換素子713A,713Bを有する画素700の構造を示す断面図である。なお、画素700は、オンチップレンズ711と光電変換素子713A,713Bのほかに、カラーフィルタ712、画素間遮光部714、画素間分離部715、及び転送ゲート151A,151Bを含んで構成される。
まず、図6ないし図8を参照しながら、一般的な画素900の構造を説明する。図6は、一般的な画素900の平面レイアウトを示す図である。なお、画素900は、オンチップレンズ911、カラーフィルタ912、光電変換素子913A,913B、画素間遮光部914、画素間分離部915、及び転送ゲート951A,951Bを含んで構成される。
図9は、第1の実施の形態の画素100の平面レイアウトを示す図である。
図14は、第1の実施の形態の画素100の立体的な構造を示す3次元の図である。
図15は、第2の実施の形態の画素100の立体的な構造を示す3次元の図である。
図16は、第3の実施の形態の画素100の立体的な構造を示す3次元の図である。
図17は、第4の実施の形態の画素100の構造を示す平面図である。
図18は、第4の実施の形態の画素100の構造の第1の変形例を示す平面図である。
図19は、第4の実施の形態の画素100の構造の第2の変形例を示す平面図である。
図20は、第4の実施の形態の画素100の構造の第3の変形例を示す平面図である。
図21は、第4の実施の形態の画素100の構造の第4の変形例を示す平面図である。
図22は、第5の実施の形態の画素100の構造を示す平面図である。
図24は、第6の実施の形態の画素100の構造を示す平面図である。
図25は、第7の実施の形態の画素100の構造を示す平面図である。
図26は、第7の実施の形態の画素100の構造の変形例を示す平面図である。
図27は、第8の実施の形態の画素100の構造を示す平面図である。
図28は、第9の実施の形態の画素100の平面レイアウトを示す図である。
図31は、第10の実施の形態の画素の構造の第1の例を示す断面図である。
図32は、第10の実施の形態の画素の構造の第2の例を示す断面図である。
図33は、第10の実施の形態の画素の構造の第3の例を示す断面図である。
図34は、第10の実施の形態の画素の構造の第4の例を示す断面図である。
図35は、第10の実施の形態の画素の構造の第5の例を示す断面図である。
図36は、第10の実施の形態の画素の構造の第6の例を示す断面図である。
図37は、第10の実施の形態の画素の構造の第7の例を示す断面図である。
図38は、第10の実施の形態の画素の構造の第8の例を示す断面図である。
図39は、第10の実施の形態の画素の構造の第9の例を示す断面図である。
図40は、第10の実施の形態の画素の構造の第10の例を示す断面図である。
図41は、第10の実施の形態の画素の構造の第11の例を示す断面図である。
図42は、第10の実施の形態の画素の電位分布を模式的に表した図である。
図43は、第11の実施の形態の画素の構造の第1の例を示す断面図である。
図44は、第11の実施の形態の画素の構造の第2の例を示す断面図である。
図45は、第11の実施の形態の画素の構造の第3の例を示す断面図である。
図46は、第11の実施の形態の画素の構造の第4の例を示す平面図である。
図47は、第11の実施の形態の画素の構造の第5の例を示す平面図である。
図48は、第11の実施の形態の画素の構造の第6の例を示す断面図である。
図49は、第12の実施の形態の画素の構造の第1の例を示す断面図である。
図51は、第12の実施の形態の画素の構造の第2の例を示す断面図である。
図52は、第12の実施の形態の画素の構造の第3の例を示す断面図である。
図53は、第12の実施の形態の画素の構造の第4の例を示す断面図である。
図54は、第12の実施の形態の画素の構造の第5の例を示す断面図である。
図55は、第12の実施の形態の画素の構造の第6の例を示す平面図である。
図56は、第12の実施の形態の画素の構造の第7の例を示す平面図である。
図59は、第13の実施の形態の画素の構造の第1の例を示す断面図である。
図60は、第13の実施の形態の画素の構造の第2の例を示す断面図である。
図61は、第13の実施の形態の画素の構造の第3の例を示す断面図である。
上述した9つの実施の形態は、それぞれが単独の実施の形態として成立することは勿論、複数の実施の形態の全て又は一部を可能な範囲で組み合わせた形態を採用するようにしてもよい。
また、上述した実施の形態では、画素が2次元状に配列されてなるCMOSイメージセンサに適用した場合を例に挙げて説明したが、本技術はCMOSイメージセンサへの適用に限られるものではない。すなわち、本技術は、例えば、CCD(Charge Coupled Device)イメージセンサなど、画素が2次元配列されてなるX−Yアドレス方式の固体撮像装置全般に対して適用可能である。
1つのオンチップレンズに対して複数の光電変換素子を形成した画素を含む複数の画素を2次元状に配列した画素アレイ部を備え、
前記画素の間に形成される画素間分離部及び画素間遮光部の少なくとも一方は、その一部が、前記画素の中心に向けて突起状にせり出して、突起部を形成している
固体撮像装置。
(2)
前記画素は、正方単位の画素であり、
前記突起部は、前記正方単位の画素の中心に向けて形成される
前記(1)に記載の固体撮像装置。
(3)
前記画素間分離部は、前記複数の光電変換素子が形成される半導体層内に、正方格子状に掘り込まれた溝部に埋め込まれた物質によって、隣り合う画素の間を物理的に分離し、
前記画素間分離部の一部が、前記正方単位の画素の中心に向けて突起状にせり出し、前記突起部を形成している
前記(2)に記載の固体撮像装置。
(4)
前記画素間遮光部は、前記オンチップレンズと前記複数の光電変換素子が形成される半導体層との間の領域に、正方格子状に形成された物質によって、隣り合う画素の間を遮光し、
前記画素間遮光部の一部が、前記正方単位の画素の中心に向けて突起状にせり出し、前記突起部を形成している
前記(2)に記載の固体撮像装置。
(5)
前記画素間分離部は、前記複数の光電変換素子が形成される半導体層内に、正方格子状に掘り込まれた溝部に埋め込まれた物質によって、隣り合う画素の間を物理的に分離し、
前記画素間遮光部は、前記オンチップレンズと前記複数の光電変換素子が形成される半導体層との間の領域に、正方格子状に形成された物質によって、隣り合う画素の間を遮光し、
前記画素間分離部及び前記画素間遮光部の双方の一部が、前記正方単位の画素の中心に向けて突起状にせり出し、前記突起部を形成している
前記(2)に記載の固体撮像装置。
(6)
前記正方単位の画素は、前記オンチップレンズの直下に配置される、赤(R)、緑(G)、又は青(B)のカラーフィルタに応じて、R画素、G画素、又はB画素として構成され、
前記画素アレイ部に配列された複数の画素のうち、前記R画素、前記G画素、及び前記B画素の少なくとも1つの画素に対し、前記突起部が形成される
前記(1)ないし(5)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(7)
前記R画素にのみ、前記G画素にのみ、又は前記B画素にのみに、前記突起部が形成される
前記(6)に記載の固体撮像装置。
(8)
前記R画素、前記G画素、及び前記B画素のすべての画素に、前記突起部が形成される
前記(6)に記載の固体撮像装置。
(9)
前記R画素、前記G画素、及び前記B画素のうち、組み合わされた2つの画素に、前記突起部が形成される
前記(6)に記載の固体撮像装置。
(10)
前記R画素、前記G画素、及び前記B画素を含む画素ごとに、前記突起部のせり出している部分の長さが異なる
前記(6)ないし(9)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(11)
前記突起部のせり出している部分の長さは、前記オンチップレンズによる集光スポット径に応じて決定される
前記(2)ないし(10)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(12)
前記突起部のせり出している部分の長さは、前記オンチップレンズのピッチの一辺の1/7から1/4の長さに対応している
前記(11)に記載の固体撮像装置。
(13)
光の入射側の面に対する前記突起部の断面は、突起状にせり出している部分ごとにその深さが異なっている
前記(2)ないし(12)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(14)
前記溝部は、光の入射側の面である第1の面、又は光の入射側の反対側の面である第2の面から掘り込まれる
前記(3)又は(5)に記載の固体撮像装置。
(15)
前記正方単位の画素において、半導体層内に形成される前記複数の光電変換素子の間は、不純物によって分離されている
前記(2)ないし(14)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(16)
前記複数の光電変換素子の出力は、位相差検出に用いられる
前記(2)ないし(15)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(17)
1つの光電変換素子を形成した画素を含む複数の画素を2次元状に配列した画素アレイ部を備え、
前記画素アレイ部は、1つのオンチップレンズに対して配置された複数の画素を含み、
前記複数の画素を構成する画素の間に形成される画素間分離部及び画素間遮光部の少なくとも一方は、その一部が、前記複数の画素の中心に向けて突起状にせり出して、突起部を形成している
固体撮像装置。
(18)
前記オンチップレンズは、行方向又は列方向に連続する2つの画素に跨がった楕円型の形状からなり、
前記画素間分離部及び画素間遮光部の少なくとも一方は、その一部が、前記2つの画素の間にせり出し、前記突起部を形成している
前記(17)に記載の固体撮像装置。
(19)
前記オンチップレンズは、2行2列の4つの画素に跨がった円型の形状からなり、
前記画素間分離部及び画素間遮光部の少なくとも一方は、その一部が、前記4つの画素の中心に向けてせり出し、前記突起部を形成している
前記(17)に記載の固体撮像装置。
(20)
1つのオンチップレンズに対して複数の光電変換素子を形成した画素を含む複数の画素を2次元状に配列した画素アレイ部を有し、
前記画素の間に形成される画素間分離部及び画素間遮光部の少なくとも一方は、その一部が、前記画素の中心に向けて突起状にせり出して、突起部を形成している
固体撮像装置
が搭載された電子機器。
(21)
1つのオンチップレンズに対して複数の光電変換素子を形成した画素を含む複数の画素を2次元状に配列した画素アレイ部を備え、
前記複数の光電変換素子を形成した半導体層における光の入射面側の界面又はその近傍において、前記複数の光電変換素子の間の第1の領域と、前記第1の領域を除いた第2の領域とは、固定電荷量が異なる
固体撮像装置。
(22)
前記第1の領域における固定電荷量は、前記第2の領域における固定電荷量よりも多くなる
前記(21)に記載の固体撮像装置。
(23)
前記半導体層上に形成される絶縁層は、酸化膜とともに、前記第1の領域に対応した部分の第1の膜と、前記第2の領域に対応した部分の第2の膜とを含み、
前記第1の膜、及び前記第2の膜は、異なる高誘電率膜により形成される
前記(21)又は(22)に記載の固体撮像装置。
(24)
前記第1の膜、及び前記第2の膜の少なくとも一方の膜は、2以上の異なる高誘電率膜が積層されている
前記(23)に記載の固体撮像装置。
(25)
前記第1の膜は、前記第2の膜よりも積層数が多い
前記(24)に記載の固体撮像装置。
(26)
前記半導体層上に形成される絶縁層は、酸化膜及び高誘電率膜を含み、
前記絶縁層において、前記第1の領域に対応した部分と、前記第2の領域に対応した部分とは、前記酸化膜の厚みが異なる
前記(21)又は(22)に記載の固体撮像装置。
(27)
前記画素は、前記オンチップレンズの直下に配置されるカラーフィルタに応じた色の画素として構成される
前記(21)ないし(26)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(28)
第1の色に応じた画素に形成される第1の光電変換素子と、前記第1の色と異なる第2の色に応じた画素に形成される第2の光電変換素子との間は、不純物により分離される
前記(27)に記載の固体撮像装置。
(29)
第1の色に応じた画素に形成される第1の光電変換素子と、前記第1の色と異なる第2の色に応じた画素に形成される第2の光電変換素子との間は、酸化膜又は金属を含む画素間分離部により分離される
前記(27)に記載の固体撮像装置。
(30)
特定の色に応じた画素に形成される前記複数の光電変換素子の間に、透明電極を形成している
前記(27)に記載の固体撮像装置。
(31)
前記画素は、R画素、G画素、及びB画素を含む
前記(27)ないし(30)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(32)
1つのオンチップレンズに対して複数の光電変換素子を形成した画素を含む複数の画素を2次元状に配列した画素アレイ部を備え、
前記複数の光電変換素子を形成した半導体層における光の入射面側の界面又はその近傍において、前記複数の光電変換素子の間の第1の領域と、前記第1の領域を除いた第2の領域とは、固定電荷量が異なる
固体撮像装置
が搭載された電子機器。
(33)
1つのオンチップレンズに対して複数の光電変換素子を形成した画素を含む複数の画素を2次元状に配列した画素アレイ部を備え、
特定の色に応じた画素に形成される前記複数の光電変換素子の間に、低屈折材を含む第1の埋め込み素子を埋め込んだ第1の分離領域を形成し、
第1の色に応じた画素に形成される第1の光電変換素子と、前記第1の色と異なる第2の色に応じた画素に形成される第2の光電変換素子との間に、金属を含む第2の埋め込み素子を埋め込んだ第2の分離領域を形成している
固体撮像装置。
(34)
前記第1の分離領域の断面は、光の入射側の面に近づくにつれて幅が広がるテーパー形状とされる
前記(33)に記載の固体撮像装置。
(35)
前記第1の分離領域の断面は、三角形状とされる
前記(34)に記載の固体撮像装置。
(36)
前記第1の分離領域の断面は、光の入射側の面から所定の深さで前記第1の埋め込み素子がなくなり、
前記第1の分離領域の下側の領域は、不純物によって分離される
前記(35)に記載の固体撮像装置。
(37)
前記第1の分離領域の断面は、光の入射側の面から所定の深さまでは三角形状とされ、前記所定の深さを超えると長方形の形状とされる
前記(34)に記載の固体撮像装置。
(38)
前記第1の分離領域の断面は、光の入射側の面から、光の入射側の反対側の面まで、テーパーがついた台形状の形状とされる
前記(34)に記載の固体撮像装置。
(39)
前記第1の分離領域の平面は、光の入射側の面から見た場合に、長方形の形状とされる
前記(33)ないし(38)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(40)
前記第1の分離領域の平面は、光の入射側の面から見た場合に、菱形の形状とされる
前記(33)ないし(38)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(41)
前記第2の埋め込み素子は、低屈折材をさらに含み、
前記第2の分離領域の断面は、光の入射側の面から所定の深さまで前記金属が埋め込まれるとともに、光の入射側の反対側の面から所定の深さまで前記低屈折材が埋め込まれる
前記(33)ないし(40)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(42)
前記第2の分離領域の側壁に、固定電荷膜を形成している
前記(33)ないし(41)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(43)
前記画素は、前記オンチップレンズの直下に配置されるカラーフィルタに応じた色の画素として構成される
前記(33)ないし(42)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(44)
前記画素は、R画素、G画素、及びB画素を含む
前記(43)に記載の固体撮像装置。
(45)
1つのオンチップレンズに対して複数の光電変換素子を形成した画素を含む複数の画素を2次元状に配列した画素アレイ部を備え、
特定の色に応じた画素に形成される前記複数の光電変換素子の間に、低屈折材を含む第1の埋め込み素子を埋め込んだ第1の分離領域を形成し、
第1の色に応じた画素に形成される第1の光電変換素子と、前記第1の色と異なる第2の色に応じた画素に形成される第2の光電変換素子との間に、金属を含む第2の埋め込み素子を埋め込んだ第2の分離領域を形成している
固体撮像装置
が搭載された電子機器。
(46)
1つのオンチップレンズに対して複数の光電変換素子を形成した画素を含む複数の画素を2次元状に配列した画素アレイ部を備え、
前記オンチップレンズは、複数種類の物質により形成される
固体撮像装置。
(47)
前記オンチップレンズは、屈折率の異なる2種類の物質により形成される
前記(46)に記載の固体撮像装置。
(48)
前記オンチップレンズは、第1の屈折率を有する第1の部材と、前記第1の屈折率よりも低い第2の屈折率を有する第2の部材から構成され、
前記第1の部材は、光が入射される曲面と、前記第2の部材のV字型の形状からなる部分に対応した部分を含み、
前記第2の部材は、光が入射される曲面と反対側の面と、V字型の形状からなる部分を含む
前記(47)に記載の固体撮像装置。
(49)
前記オンチップレンズは、屈折率の異なる3種類の物質により形成される
前記(46)に記載の固体撮像装置。
(50)
前記オンチップレンズは、第1の屈折率を有する第1の部材と、第2の屈折率を有する第2の部材と、第3の屈折率を有する第3の部材から構成され、
前記画素に形成される前記複数の光電変換素子の間は、素子間分離部により物理的に分離されており、
前記第1の部材は、光が入射される曲面と、前記第2の部材のV字型の形状からなる部分に対応した部分を含み、
前記第2の部材は、光が入射される曲面と反対側の面と、V字型の形状からなる部分を含み、
前記第3の部材は、前記素子間分離部に対応した領域に形成される
前記(49)に記載の固体撮像装置。
(51)
前記画素は、特定の色に応じた画素として構成され、
特定の色ごとに、前記画素における前記オンチップレンズの高さが異なる
前記(49)に記載の固体撮像装置。
(52)
前記画素は、R画素、G画素、及びB画素を含み、
前記R画素、前記G画素、前記B画素の順に、前記オンチップレンズの高さが低くなる
前記(51)に記載の固体撮像装置。
(53)
前記画素は、特定の色に応じた画素として構成され、
特定の色ごとに、前記画素における前記オンチップレンズの曲率半径が異なる
前記(49)に記載の固体撮像装置。
(54)
前記画素は、R画素、G画素、及びB画素を含み、
前記R画素、前記G画素、前記B画素の順に、前記オンチップレンズの曲率半径が小さくなる
前記(53)に記載の固体撮像装置。
(55)
前記画素は、前記オンチップレンズの直下に配置されるカラーフィルタに応じた色の画素として構成される
前記(46)ないし(54)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(56)
前記オンチップレンズを形成する部材に対し、光の入射角度依存を制御する制御部材を形成する
前記(46)に記載の固体撮像装置。
(57)
前記オンチップレンズは、第1の屈折率を有する第1の部材と、前記第1の屈折率よりも低い第2の屈折率を有する第2の部材から構成され、
前記第1の部材は、光が入射される曲面と、前記第2の部材のV字型の形状からなる部分に対応した部分を含み、
前記第2の部材は、光が入射される曲面と反対側の面と、V字型の形状からなる部分を含み、
前記制御部材は、前記第1の部材と前記第2の部材との間に形成される
前記(56)に記載の固体撮像装置。
(58)
前記制御部材は、フォトニック結晶である
前記(56)又は(57)に記載の固体撮像装置。
(59)
前記画素は、前記制御部材による分光に応じた色の画素として構成される
前記(56)ないし(58)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(60)
前記画素は、R画素、G画素、及びB画素を含む
前記(59)に記載の固体撮像装置。
(61)
1つのオンチップレンズに対して複数の光電変換素子を形成した画素を含む複数の画素を2次元状に配列した画素アレイ部を備え、
前記オンチップレンズは、複数種類の物質により形成される
固体撮像装置
が搭載された電子機器。
(62)
1つのオンチップレンズに対して複数の光電変換素子を形成した画素を含む複数の画素を2次元状に配列した画素アレイ部を備え、
特定の色に応じた画素に形成される前記複数の光電変換素子の間に、光の入射側の反対側の面から、第1の縦型トランジスタを形成している
固体撮像装置。
(63)
前記第1の縦型トランジスタに電圧を印加して、前記複数の光電変換素子の間に、ブルーミングパスを生成する
前記(62)に記載の固体撮像装置。
(64)
第1の色に応じた画素に形成される第1の光電変換素子と、前記第1の色と異なる第2の色に応じた画素に形成される第2の光電変換素子との間に、光の入射側の反対側の面から、第2の縦型トランジスタを形成している
前記(62)又は(63)に記載の固体撮像装置。
(65)
前記第2の縦型トランジスタに電圧を印加して、電荷を発生させる
前記(64)に記載の固体撮像装置。
(66)
前記第1の光電変換素子と前記第2の光電変換素子との間に、光の入射側の面から、画素間分離部を形成している
前記(64)又は(65)に記載の固体撮像装置。
(67)
前記画素は、前記オンチップレンズの直下に配置されるカラーフィルタに応じた色の画素として構成される
前記(62)ないし(66)のいずれかに記載の固体撮像装置。
(68)
前記画素は、R画素、G画素、及びB画素を含む
前記(67)に記載の固体撮像装置。
(69)
1つのオンチップレンズに対して複数の光電変換素子を形成した画素を含む複数の画素を2次元状に配列した画素アレイ部を備え、
特定の色に応じた画素に形成される前記複数の光電変換素子の間に、光の入射側の反対側の面から第1の縦型トランジスタを形成している
固体撮像装置
が搭載された電子機器。
Claims (20)
- 1つのオンチップレンズに対して複数の光電変換素子を形成した画素を含む複数の画素を2次元状に配列した画素アレイ部を備え、
前記画素の間に形成される画素間分離部及び画素間遮光部の少なくとも一方は、その一部が、前記画素の中心に向けて突起状にせり出して、突起部を形成している
固体撮像装置。 - 前記画素は、正方単位の画素であり、
前記突起部は、前記正方単位の画素の中心に向けて形成される
請求項1に記載の固体撮像装置。 - 前記画素間分離部は、前記複数の光電変換素子が形成される半導体層内に、正方格子状に掘り込まれた溝部に埋め込まれた物質によって、隣り合う画素の間を物理的に分離し、
前記画素間分離部の一部が、前記正方単位の画素の中心に向けて突起状にせり出し、前記突起部を形成している
請求項2に記載の固体撮像装置。 - 前記画素間遮光部は、前記オンチップレンズと前記複数の光電変換素子が形成される半導体層との間の領域に、正方格子状に形成された物質によって、隣り合う画素の間を遮光し、
前記画素間遮光部の一部が、前記正方単位の画素の中心に向けて突起状にせり出し、前記突起部を形成している
請求項2に記載の固体撮像装置。 - 前記画素間分離部は、前記複数の光電変換素子が形成される半導体層内に、正方格子状に掘り込まれた溝部に埋め込まれた物質によって、隣り合う画素の間を物理的に分離し、
前記画素間遮光部は、前記オンチップレンズと前記複数の光電変換素子が形成される半導体層との間の領域に、正方格子状に形成された物質によって、隣り合う画素の間を遮光し、
前記画素間分離部及び前記画素間遮光部の双方の一部が、前記正方単位の画素の中心に向けて突起状にせり出し、前記突起部を形成している
請求項2に記載の固体撮像装置。 - 前記正方単位の画素は、前記オンチップレンズの直下に配置される、赤(R)、緑(G)、又は青(B)のカラーフィルタに応じて、R画素、G画素、又はB画素として構成され、
前記画素アレイ部に配列された複数の画素のうち、前記R画素、前記G画素、及び前記B画素の少なくとも1つの画素に対し、前記突起部が形成される
請求項2に記載の固体撮像装置。 - 前記R画素にのみ、前記G画素にのみ、又は前記B画素にのみに、前記突起部が形成される
請求項6に記載の固体撮像装置。 - 前記R画素、前記G画素、及び前記B画素のすべての画素に、前記突起部が形成される
請求項6に記載の固体撮像装置。 - 前記R画素、前記G画素、及び前記B画素のうち、組み合わされた2つの画素に、前記突起部が形成される
請求項6に記載の固体撮像装置。 - 前記R画素、前記G画素、及び前記B画素を含む画素ごとに、前記突起部のせり出している部分の長さが異なる
請求項6に記載の固体撮像装置。 - 前記突起部のせり出している部分の長さは、前記オンチップレンズによる集光スポット径に応じて決定される
請求項2に記載の固体撮像装置。 - 前記突起部のせり出している部分の長さは、前記オンチップレンズのピッチの一辺の1/7から1/4の長さに対応している
請求項11に記載の固体撮像装置。 - 光の入射側の面に対する前記突起部の断面は、突起状にせり出している部分ごとにその深さが異なっている
請求項2に記載の固体撮像装置。 - 前記溝部は、光の入射側の面である第1の面、又は光の入射側の反対側の面である第2の面から掘り込まれる
請求項3に記載の固体撮像装置。 - 前記正方単位の画素において、半導体層内に形成される前記複数の光電変換素子の間は、不純物によって分離されている
請求項2に記載の固体撮像装置。 - 前記複数の光電変換素子の出力は、位相差検出に用いられる
請求項2に記載の固体撮像装置。 - 1つの光電変換素子を形成した画素を含む複数の画素を2次元状に配列した画素アレイ部を備え、
前記画素アレイ部は、1つのオンチップレンズに対して配置された複数の画素を含み、
前記複数の画素を構成する画素の間に形成される画素間分離部及び画素間遮光部の少なくとも一方は、その一部が、前記複数の画素の中心に向けて突起状にせり出して、突起部を形成している
固体撮像装置。 - 前記オンチップレンズは、行方向又は列方向に連続する2つの画素に跨がった楕円型の形状からなり、
前記画素間分離部及び画素間遮光部の少なくとも一方は、その一部が、前記2つの画素の間にせり出し、前記突起部を形成している
請求項17に記載の固体撮像装置。 - 前記オンチップレンズは、2行2列の4つの画素に跨がった円型の形状からなり、
前記画素間分離部及び画素間遮光部の少なくとも一方は、その一部が、前記4つの画素の中心に向けてせり出し、前記突起部を形成している
請求項17に記載の固体撮像装置。 - 1つのオンチップレンズに対して複数の光電変換素子を形成した画素を含む複数の画素を2次元状に配列した画素アレイ部を有し、
前記画素の間に形成される画素間分離部及び画素間遮光部の少なくとも一方は、その一部が、前記画素の中心に向けて突起状にせり出して、突起部を形成している
固体撮像装置
が搭載された電子機器。
Priority Applications (14)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201880014245.6A CN110383479A (zh) | 2017-05-29 | 2018-05-28 | 固态摄像装置和电子设备 |
US16/486,936 US11075236B2 (en) | 2017-05-29 | 2018-05-28 | Solid-state imaging device and electronic apparatus |
KR1020197023182A KR102554501B1 (ko) | 2017-05-29 | 2018-05-28 | 고체 촬상 장치 및 전자 기기 |
CN202010330788.8A CN111477645B (zh) | 2017-05-29 | 2018-05-28 | 固态摄像装置和电子设备 |
CN202310361423.5A CN116598325A (zh) | 2017-05-29 | 2018-05-28 | 摄像装置 |
DE112018002728.7T DE112018002728T5 (de) | 2017-05-29 | 2018-05-28 | Festkörperbildgebungsvorrichtung und elektronische vorrichtung |
KR1020247002711A KR20240016450A (ko) | 2017-05-29 | 2018-05-28 | 고체 촬상 장치 및 전자 기기 |
CN202311387838.6A CN117577654A (zh) | 2017-05-29 | 2018-05-28 | 固态摄像装置和电子设备 |
PCT/JP2018/020309 WO2018221443A1 (ja) | 2017-05-29 | 2018-05-28 | 固体撮像装置、及び電子機器 |
KR1020237015984A KR102630866B1 (ko) | 2017-05-29 | 2018-05-28 | 고체 촬상 장치 및 전자 기기 |
US17/354,191 US11688747B2 (en) | 2017-05-29 | 2021-06-22 | Solid-state imaging device and electronic apparatus |
US18/129,383 US12027540B2 (en) | 2017-05-29 | 2023-03-31 | Solid-state imaging device and electronic apparatus |
JP2023116664A JP2023133370A (ja) | 2017-05-29 | 2023-07-18 | 固体撮像装置、及び電子機器 |
US18/378,496 US20240038791A1 (en) | 2017-05-29 | 2023-10-10 | Solid-state imaging device and electronic apparatus |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017105715 | 2017-05-29 | ||
JP2017105715 | 2017-05-29 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023116664A Division JP2023133370A (ja) | 2017-05-29 | 2023-07-18 | 固体撮像装置、及び電子機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018201015A true JP2018201015A (ja) | 2018-12-20 |
JP7316764B2 JP7316764B2 (ja) | 2023-07-28 |
Family
ID=64667350
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018095949A Active JP7316764B2 (ja) | 2017-05-29 | 2018-05-18 | 固体撮像装置、及び電子機器 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US11075236B2 (ja) |
JP (1) | JP7316764B2 (ja) |
KR (1) | KR102554501B1 (ja) |
CN (1) | CN110383479A (ja) |
DE (1) | DE112018002728T5 (ja) |
Cited By (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021068788A (ja) * | 2019-10-21 | 2021-04-30 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置、光電変換装置の製造方法、および撮像システム |
WO2021131318A1 (ja) * | 2019-12-24 | 2021-07-01 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像装置及び電子機器 |
WO2021166689A1 (ja) * | 2020-02-18 | 2021-08-26 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 受光装置、受光装置の製造方法、および、測距モジュール |
WO2021193254A1 (ja) * | 2020-03-27 | 2021-09-30 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像装置及び電子機器 |
WO2021193915A1 (ja) * | 2020-03-27 | 2021-09-30 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像装置及び電子機器 |
WO2021256086A1 (ja) * | 2020-06-16 | 2021-12-23 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像装置及び電子機器 |
WO2022080124A1 (ja) * | 2020-10-12 | 2022-04-21 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像装置および撮像装置の製造方法 |
EP3968377A4 (en) * | 2019-05-10 | 2022-07-20 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | IMAGING ELEMENT AND ELECTRONICS |
WO2022163351A1 (ja) * | 2021-01-26 | 2022-08-04 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像装置 |
WO2022163296A1 (ja) * | 2021-01-26 | 2022-08-04 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像装置 |
WO2022185785A1 (ja) * | 2021-03-04 | 2022-09-09 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像素子および電子機器 |
JPWO2022209681A1 (ja) * | 2021-03-31 | 2022-10-06 | ||
WO2022209366A1 (ja) * | 2021-03-30 | 2022-10-06 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像素子および電子機器 |
WO2022270110A1 (ja) * | 2021-06-25 | 2022-12-29 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像装置および電子機器 |
WO2023276240A1 (ja) * | 2021-06-30 | 2023-01-05 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像素子、電子機器 |
WO2023047632A1 (ja) * | 2021-09-24 | 2023-03-30 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像装置及び電子機器 |
WO2023058556A1 (ja) * | 2021-10-05 | 2023-04-13 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 光検出装置及び電子機器 |
KR20230071123A (ko) | 2020-09-25 | 2023-05-23 | 소니 세미컨덕터 솔루션즈 가부시키가이샤 | 고체 촬상 장치 및 전자 기기 |
WO2023188899A1 (ja) * | 2022-03-29 | 2023-10-05 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 光検出装置及び電子機器 |
WO2023233872A1 (ja) * | 2022-06-02 | 2023-12-07 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 光検出装置及び電子機器 |
WO2023243429A1 (ja) * | 2022-06-13 | 2023-12-21 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像素子および電子機器 |
JP7404447B1 (ja) | 2022-06-22 | 2023-12-25 | ゼタテクノロジーズ株式会社 | 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法、および電子機器 |
JP7455945B1 (ja) | 2022-12-21 | 2024-03-26 | ゼタテクノロジーズ株式会社 | 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法、および電子機器 |
US11942499B2 (en) | 2020-08-10 | 2024-03-26 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Image sensor |
WO2024135057A1 (ja) * | 2022-12-21 | 2024-06-27 | ゼタテクノロジーズ株式会社 | 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法、および電子機器 |
US12034026B2 (en) | 2020-12-16 | 2024-07-09 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Image sensor and method of manufacturing the same |
JP7557172B2 (ja) | 2020-03-06 | 2024-09-27 | Gpixel Japan株式会社 | 固体撮像装置用画素 |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7316764B2 (ja) | 2017-05-29 | 2023-07-28 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像装置、及び電子機器 |
WO2018221443A1 (ja) | 2017-05-29 | 2018-12-06 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像装置、及び電子機器 |
KR102375989B1 (ko) * | 2017-08-10 | 2022-03-18 | 삼성전자주식회사 | 화소 사이의 신호 차이를 보상하는 이미지 센서 |
EP3674973A1 (en) * | 2018-12-28 | 2020-07-01 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method and apparatus with liveness detection and object recognition |
TWI818256B (zh) * | 2020-05-28 | 2023-10-11 | 台灣積體電路製造股份有限公司 | 影像感測器的透明折射結構及其形成方法 |
US11749700B2 (en) | 2020-05-28 | 2023-09-05 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited | Transparent refraction structure for an image sensor and methods of forming the same |
US11201993B1 (en) * | 2020-06-15 | 2021-12-14 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Multi-camera on a chip and camera module design |
KR20220050385A (ko) * | 2020-10-16 | 2022-04-25 | 삼성전자주식회사 | 이미지 센서 |
KR20220108918A (ko) * | 2021-01-28 | 2022-08-04 | 삼성전자주식회사 | 이미지 센서 |
TWI798834B (zh) * | 2021-03-18 | 2023-04-11 | 神盾股份有限公司 | 光感測陣列模組與光收發裝置 |
KR20220144549A (ko) * | 2021-04-20 | 2022-10-27 | 삼성전자주식회사 | 이미지 센서 |
US20220344382A1 (en) * | 2021-04-22 | 2022-10-27 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Deep trench isolation structure in a pixel sensor |
KR20220146117A (ko) * | 2021-04-23 | 2022-11-01 | 삼성전자주식회사 | 이미지 센서 |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007158109A (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-21 | Nikon Corp | 焦点検出用信号の生成機能を有する固体撮像装置、および電子カメラ |
JP2008071920A (ja) * | 2006-09-14 | 2008-03-27 | Sony Corp | 撮像素子および撮像装置 |
WO2011142065A1 (ja) * | 2010-05-14 | 2011-11-17 | パナソニック株式会社 | 固体撮像装置及びその製造方法 |
WO2012042963A1 (ja) * | 2010-09-29 | 2012-04-05 | 富士フイルム株式会社 | 固体撮像素子及び撮像装置 |
JP2013084742A (ja) * | 2011-10-07 | 2013-05-09 | Canon Inc | 光電変換装置および撮像システム |
JP2013149743A (ja) * | 2012-01-18 | 2013-08-01 | Canon Inc | 撮像装置および撮像システム |
JP2014090214A (ja) * | 2014-02-06 | 2014-05-15 | Sony Corp | 固体撮像素子及びカメラ |
JP2014204043A (ja) * | 2013-04-08 | 2014-10-27 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置および撮像システム |
WO2016002574A1 (ja) * | 2014-07-03 | 2016-01-07 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子および電子機器 |
WO2016098640A1 (ja) * | 2014-12-18 | 2016-06-23 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子、および電子装置 |
US20170047363A1 (en) * | 2015-08-11 | 2017-02-16 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Auto-focus image sensor |
JP2017212351A (ja) * | 2016-05-26 | 2017-11-30 | キヤノン株式会社 | 撮像装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4500434B2 (ja) | 2000-11-28 | 2010-07-14 | キヤノン株式会社 | 撮像装置及び撮像システム、並びに撮像方法 |
JP2012238648A (ja) | 2011-05-10 | 2012-12-06 | Sony Corp | 固体撮像装置及び電子機器 |
JP6303803B2 (ja) | 2013-07-03 | 2018-04-04 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置およびその製造方法 |
CN109155323A (zh) * | 2016-03-31 | 2019-01-04 | 株式会社尼康 | 拍摄元件以及拍摄装置 |
JP7316764B2 (ja) | 2017-05-29 | 2023-07-28 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像装置、及び電子機器 |
-
2018
- 2018-05-18 JP JP2018095949A patent/JP7316764B2/ja active Active
- 2018-05-28 CN CN201880014245.6A patent/CN110383479A/zh active Pending
- 2018-05-28 KR KR1020197023182A patent/KR102554501B1/ko active Application Filing
- 2018-05-28 DE DE112018002728.7T patent/DE112018002728T5/de active Pending
- 2018-05-28 US US16/486,936 patent/US11075236B2/en active Active
-
2021
- 2021-06-22 US US17/354,191 patent/US11688747B2/en active Active
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007158109A (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-21 | Nikon Corp | 焦点検出用信号の生成機能を有する固体撮像装置、および電子カメラ |
JP2008071920A (ja) * | 2006-09-14 | 2008-03-27 | Sony Corp | 撮像素子および撮像装置 |
WO2011142065A1 (ja) * | 2010-05-14 | 2011-11-17 | パナソニック株式会社 | 固体撮像装置及びその製造方法 |
WO2012042963A1 (ja) * | 2010-09-29 | 2012-04-05 | 富士フイルム株式会社 | 固体撮像素子及び撮像装置 |
JP2013084742A (ja) * | 2011-10-07 | 2013-05-09 | Canon Inc | 光電変換装置および撮像システム |
JP2013149743A (ja) * | 2012-01-18 | 2013-08-01 | Canon Inc | 撮像装置および撮像システム |
JP2014204043A (ja) * | 2013-04-08 | 2014-10-27 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置および撮像システム |
JP2014090214A (ja) * | 2014-02-06 | 2014-05-15 | Sony Corp | 固体撮像素子及びカメラ |
WO2016002574A1 (ja) * | 2014-07-03 | 2016-01-07 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子および電子機器 |
WO2016098640A1 (ja) * | 2014-12-18 | 2016-06-23 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子、および電子装置 |
US20170047363A1 (en) * | 2015-08-11 | 2017-02-16 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Auto-focus image sensor |
JP2017212351A (ja) * | 2016-05-26 | 2017-11-30 | キヤノン株式会社 | 撮像装置 |
Cited By (36)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3968377A4 (en) * | 2019-05-10 | 2022-07-20 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | IMAGING ELEMENT AND ELECTRONICS |
US11930287B2 (en) | 2019-05-10 | 2024-03-12 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Imaging element and electronic device |
JP2021068788A (ja) * | 2019-10-21 | 2021-04-30 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置、光電変換装置の製造方法、および撮像システム |
US11990485B2 (en) | 2019-10-21 | 2024-05-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Photoelectric conversion device having a semiconductor substrate with first, second and third photoelectric conversion portions |
WO2021131318A1 (ja) * | 2019-12-24 | 2021-07-01 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像装置及び電子機器 |
WO2021166689A1 (ja) * | 2020-02-18 | 2021-08-26 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 受光装置、受光装置の製造方法、および、測距モジュール |
JP7557172B2 (ja) | 2020-03-06 | 2024-09-27 | Gpixel Japan株式会社 | 固体撮像装置用画素 |
WO2021193254A1 (ja) * | 2020-03-27 | 2021-09-30 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像装置及び電子機器 |
WO2021193915A1 (ja) * | 2020-03-27 | 2021-09-30 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像装置及び電子機器 |
EP4131429A4 (en) * | 2020-03-27 | 2023-10-11 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | IMAGING DEVICE AND ELECTRONIC DEVICE |
WO2021256086A1 (ja) * | 2020-06-16 | 2021-12-23 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像装置及び電子機器 |
US11942499B2 (en) | 2020-08-10 | 2024-03-26 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Image sensor |
KR20230071123A (ko) | 2020-09-25 | 2023-05-23 | 소니 세미컨덕터 솔루션즈 가부시키가이샤 | 고체 촬상 장치 및 전자 기기 |
DE112021005005T5 (de) | 2020-09-25 | 2023-08-17 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Festkörperbildaufnahmevorrichtung und elektronisches gerät |
WO2022080124A1 (ja) * | 2020-10-12 | 2022-04-21 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像装置および撮像装置の製造方法 |
US12034026B2 (en) | 2020-12-16 | 2024-07-09 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Image sensor and method of manufacturing the same |
WO2022163296A1 (ja) * | 2021-01-26 | 2022-08-04 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像装置 |
WO2022163351A1 (ja) * | 2021-01-26 | 2022-08-04 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像装置 |
WO2022185785A1 (ja) * | 2021-03-04 | 2022-09-09 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像素子および電子機器 |
WO2022209366A1 (ja) * | 2021-03-30 | 2022-10-06 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像素子および電子機器 |
JPWO2022209681A1 (ja) * | 2021-03-31 | 2022-10-06 | ||
WO2022209681A1 (ja) * | 2021-03-31 | 2022-10-06 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 光検出装置及び電子機器 |
JP7422943B2 (ja) | 2021-03-31 | 2024-01-26 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 光検出装置 |
WO2022270110A1 (ja) * | 2021-06-25 | 2022-12-29 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像装置および電子機器 |
WO2023276240A1 (ja) * | 2021-06-30 | 2023-01-05 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像素子、電子機器 |
WO2023047632A1 (ja) * | 2021-09-24 | 2023-03-30 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像装置及び電子機器 |
WO2023058556A1 (ja) * | 2021-10-05 | 2023-04-13 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 光検出装置及び電子機器 |
WO2023188899A1 (ja) * | 2022-03-29 | 2023-10-05 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 光検出装置及び電子機器 |
WO2023233872A1 (ja) * | 2022-06-02 | 2023-12-07 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 光検出装置及び電子機器 |
WO2023243429A1 (ja) * | 2022-06-13 | 2023-12-21 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像素子および電子機器 |
JP2024001490A (ja) * | 2022-06-22 | 2024-01-10 | ゼタテクノロジーズ株式会社 | 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法、および電子機器 |
JP7404447B1 (ja) | 2022-06-22 | 2023-12-25 | ゼタテクノロジーズ株式会社 | 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法、および電子機器 |
JP7455945B1 (ja) | 2022-12-21 | 2024-03-26 | ゼタテクノロジーズ株式会社 | 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法、および電子機器 |
WO2024135057A1 (ja) * | 2022-12-21 | 2024-06-27 | ゼタテクノロジーズ株式会社 | 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法、および電子機器 |
WO2024135058A1 (ja) * | 2022-12-21 | 2024-06-27 | ゼタテクノロジーズ株式会社 | 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法、および電子機器 |
JP7525586B2 (ja) | 2022-12-21 | 2024-07-30 | ゼタテクノロジーズ株式会社 | 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法、および電子機器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11075236B2 (en) | 2021-07-27 |
JP7316764B2 (ja) | 2023-07-28 |
CN110383479A (zh) | 2019-10-25 |
US20200235149A1 (en) | 2020-07-23 |
US11688747B2 (en) | 2023-06-27 |
US20210313362A1 (en) | 2021-10-07 |
KR102554501B1 (ko) | 2023-07-12 |
KR20200014722A (ko) | 2020-02-11 |
DE112018002728T5 (de) | 2020-02-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7316764B2 (ja) | 固体撮像装置、及び電子機器 | |
WO2018221443A1 (ja) | 固体撮像装置、及び電子機器 | |
US11101305B2 (en) | Imaging element and electronic device | |
US11336860B2 (en) | Solid-state image capturing device, method of driving solid-state image capturing device, and electronic apparatus | |
TWI822909B (zh) | 固態攝像裝置及電子機器 | |
US20200219921A1 (en) | Imaging element and imaging device | |
WO2019093150A1 (ja) | 撮像素子、電子機器 | |
KR102590054B1 (ko) | 고체 촬상 장치 및 전자 기기 | |
US20180376089A1 (en) | Image sensing device | |
WO2019188043A1 (ja) | 撮像装置および撮像装置の製造方法 | |
US20240145507A1 (en) | Imaging device | |
JPWO2019078291A1 (ja) | 撮像装置 | |
WO2022270371A1 (ja) | 固体撮像装置および電子機器 | |
US12003878B2 (en) | Imaging device | |
WO2023079840A1 (ja) | 撮像装置および電子機器 | |
WO2023080197A1 (ja) | 撮像素子、電子機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210401 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220628 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220818 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20221227 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230220 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230620 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230718 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7316764 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |