WO2023243429A1 - 固体撮像素子および電子機器 - Google Patents

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WO2023243429A1
WO2023243429A1 PCT/JP2023/020591 JP2023020591W WO2023243429A1 WO 2023243429 A1 WO2023243429 A1 WO 2023243429A1 JP 2023020591 W JP2023020591 W JP 2023020591W WO 2023243429 A1 WO2023243429 A1 WO 2023243429A1
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WO
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pixel
pixels
image sensor
pixel block
semiconductor substrate
Prior art date
Application number
PCT/JP2023/020591
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
雅司 尾崎
竜太 渡辺
亮太 長谷川
真明 柳田
利央 深井
麻理子 三浦
和弘 米田
恭佑 伊東
Original Assignee
ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
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Publication of WO2023243429A1 publication Critical patent/WO2023243429A1/ja

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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144—Devices controlled by radiation
    • H01L27/146—Imager structures
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/70—SSIS architectures; Circuits associated therewith

Definitions

  • the present disclosure relates to a solid-state image sensor and an electronic device, and particularly relates to a solid-state image sensor and an electronic device that can improve pixel characteristics.
  • CMOS Complementary Metal Oxide Semiconductor
  • Patent Document 1 describes a first separation area that separates photodiodes into which light is incident through the same on-chip lens, and a first separation area which separates photodiodes into which light is incident through different on-chip lenses.
  • a solid-state imaging device is disclosed in which two separation regions have different refractive indexes.
  • conventional solid-state image sensors have a structure in which an element isolation part is provided that extends in the depth direction from the back surface of the semiconductor substrate and is deep enough not to penetrate the semiconductor substrate, which prevents color mixture and blooming from occurring. In some cases, it was not possible to suppress the situation sufficiently. Further, by providing the isolation implant portion on the tip side of the element isolation portion, the area of the photoelectric conversion portion is reduced. Therefore, there is a concern that the pixel characteristics of conventional solid-state image sensing devices may deteriorate, and there is a need to improve the pixel characteristics.
  • the present disclosure has been made in view of this situation, and is intended to improve pixel characteristics.
  • a solid-state image sensor includes a semiconductor substrate in which a photoelectric conversion unit is provided for each pixel, and a filter that is laminated on the light-receiving surface side of the semiconductor substrate and that transmits light of a color that the pixel receives. and an on-chip lens layer laminated on the color filter layer and in which a microlens is arranged for each pixel pair consisting of two pixels of the same color, and the semiconductor substrate includes: a first element isolation section formed penetrating the semiconductor substrate and provided at least in part between the pixels of different colors; A second element isolation section is provided at least between the photoelectric conversion sections of the two pixels forming a pixel pair.
  • An electronic device includes a semiconductor substrate in which a photoelectric conversion section is provided for each pixel, and a filter that is laminated on the light-receiving surface side of the semiconductor substrate and that transmits light of a color that the pixel receives. and an on-chip lens layer that is laminated on the color filter layer and in which a microlens is arranged for each pixel pair consisting of two pixels of the same color, and the semiconductor substrate includes: a first element isolation section formed penetrating the semiconductor substrate and provided at least in part between the pixels of different colors; The solid-state image sensor is provided with at least a second element separation section provided between the photoelectric conversion sections of the two pixels forming a pixel pair.
  • the semiconductor substrate is provided with a photoelectric conversion section for each pixel, and the color filter layer stacked on the light-receiving surface side of the semiconductor substrate includes a filter that transmits light of a color received by the pixel. are arranged for each pixel, and in the on-chip lens layer laminated on the color filter layer, a microlens is arranged for each pixel pair consisting of two pixels of the same color.
  • the semiconductor substrate includes a first element isolation portion that is formed penetrating through the semiconductor substrate and provided at least in part between pixels of different colors, and a first element isolation portion that is dug to a predetermined depth from the light-receiving surface of the semiconductor substrate.
  • a second element isolation section is provided at least between the photoelectric conversion sections of two pixels forming a pixel pair.
  • FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration example of a first embodiment of an image sensor to which the present technology is applied.
  • FIG. FIG. 3 is a diagram showing a first layout example of a pixel array. It is a figure which shows the 1st modification of a pixel arrangement. It is a figure which shows the 2nd modification of a pixel arrangement. It is a figure which shows the 3rd modification of a pixel arrangement.
  • FIG. 7 is a diagram showing second to fifth modified examples of the planar layout of pixel pairs.
  • FIG. 7 is a diagram showing sixth and seventh modified examples of the planar layout of pixel pairs.
  • FIG. 7 is a diagram showing a second layout example of a pixel array.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view showing a modification of the image sensor.
  • FIG. 3 is a diagram showing an example of a layout of a CF waveguide. It is a figure which shows the modification of the layout of a CF waveguide.
  • FIG. 6 is a diagram illustrating the fact that light also enters a pixel on the opposite side to the side where it enters the microlens.
  • FIG. 7 is a diagram illustrating a configuration example of a second embodiment of an image sensor to which the present technology is applied.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view showing a first variation of the image sensor.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view showing a second variation of the image sensor.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view showing a third variation of the image sensor.
  • FIG. 3 is a diagram showing an example of a layout of a CF waveguide. It is a figure which shows the modification of the layout of a CF waveguide.
  • FIG. 6 is a diagram illustrating the fact that light also enters a pixel on the opposite side to the
  • FIG. 7 is a cross-sectional view showing a fourth variation of the image sensor.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view showing fifth to seventh variations of the image sensor.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view showing eighth and ninth variations of the image sensor.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view showing a tenth variation of the image sensor.
  • FIG. 3 is a diagram showing an example of a lens arrangement of microlenses.
  • FIG. 7 is a diagram showing another example of a lens arrangement of microlenses.
  • 1 is a block diagram showing a configuration example of an imaging device.
  • FIG. It is a figure which shows the example of use which uses an image sensor.
  • FIG. 1 is a block diagram showing an example of a schematic configuration of a vehicle control system.
  • FIG. 2 is an explanatory diagram showing an example of installation positions of an outside-vehicle information detection section and an imaging section.
  • FIG. 1A shows a cross-sectional configuration of two adjacent pixels 12-1 and 12-2 among the plurality of pixels 12 included in the image sensor 11.
  • a plurality of pixels 12 are arranged in a matrix, and two pixels 12-1 and 12-2 have a pixel sharing structure in which a plurality of elements (for example, a floating diffusion, an amplification transistor, etc.) are shared. has been adopted. Further, the two pixels 12-1 and 12-2 receive light of the same color.
  • the two pixels 12-1 and 12-2 having the pixel sharing structure and having the same color will be referred to as a pixel pair 41 hereinafter.
  • the image sensor 11 is configured by laminating a color filter layer 22 and an on-chip lens layer 23 on the back side, which is the light-receiving surface, of a semiconductor substrate 21, and a wiring layer (not shown) is laminated on the front side of the semiconductor substrate 21. configured.
  • a photoelectric conversion section 31 that photoelectrically converts received light is provided on the semiconductor substrate 21 for each pixel 12.
  • an FFTI 32 which is a first element isolation section for isolating the pixels 12-1 and 12-2 forming the pixel pair 41 from other adjacent pixels 12, is provided on the pixel 12-1. 1 and 12-2.
  • a DTI 33 which is a second element isolation section for separating the photoelectric conversion section 31-1 of the pixel 12-1 and the photoelectric conversion section 31-2 of the pixel 12-2, is provided. It is provided between the section 31-1 and the photoelectric conversion section 31-2.
  • the FFTI (Front Full Trench Isolation) 32 is constructed by filling a trench with an insulating material such as SiO2, which is dug from the surface side of the semiconductor substrate 21 and formed to penetrate the semiconductor substrate 21.
  • the DTI (Deep Trench Isolation) 33 is configured by filling a deep trench formed by digging from the back side of the semiconductor substrate 21 with an insulating material such as SiO2.
  • a separation implant portion 34 is provided in the semiconductor substrate 21 from the tip of the DTI 33 to near the surface of the semiconductor substrate 21, and an FD portion 35 is provided in the separation implant portion 34.
  • the isolation implant portion 34 is a region provided by implanting impurities and electrically isolates the photoelectric conversion portions 31 from each other.
  • the FD (Floating Diffusion) section 35 temporarily accumulates the charge transferred from the photoelectric conversion section 31, converts the charge into a pixel signal via an amplification transistor (not shown), and outputs the pixel signal.
  • a transfer transistor 36-1 is provided between the photoelectric conversion section 31-1 and the FD section 35, and a transfer transistor 36-1 is provided between the photoelectric conversion section 31-2 and the FD section 35. 36-2 is provided.
  • the transfer transistor 36-1 transfers the charges accumulated in the photoelectric conversion section 31-1 to the FD section 35, and the transfer transistor 36-2 transfers the charges accumulated in the photoelectric conversion section 31-2 to the FD section 35. Transfer to.
  • the color filter layer 22 is provided with filters 37-1 and 37-2 that transmit the light of the colors that the pixels 12-1 and 12-2 receive. As described above, since the pixels 12-1 and 12-2 forming the pixel pair 41 receive light of the same color, the filters 37-1 and 37-2 transmit the light of the same color.
  • the on-chip lens layer 23 is provided with one microlens 38 for each pixel pair 41, and the two pixels 12-1 and 12-2 share one microlens 38. .
  • FIG. 1B shows an example of a planar layout of a pixel pair 41 consisting of two pixels 12-1 and 12-2, viewed from the front side of the semiconductor substrate 21.
  • the FFTI 32 is formed so as to surround the outer periphery of the pixel pair 41, and is provided between the pixel 12-1 and the pixel 12-2 so that both ends are in contact with the FFTI 32.
  • a DTI 33 is formed, and an FD section 35 is arranged at the center of the DTI 33.
  • FIG. 1C shows a first modification of the planar layout.
  • the FFTI 32 is formed so as to surround the outer periphery of the pixel pair 41a, and is provided between the pixel 12a-1 and the pixel 12a-2 so that both ends are in contact with the FFTI 32.
  • a DTI 33 is formed, and an FD section 35a is arranged near one end of the DTI 33 (in the illustrated example, near a lower end).
  • the image sensor 11 configured in this manner can suppress the occurrence of color mixture and blooming with other adjacent pixel pairs 41, and can also expand the area of the photoelectric conversion unit 31 in the pixel 12. Can be done.
  • the image sensor 11 can suppress the light transmitted through the semiconductor substrate 21 from passing through by separating the pixel pairs 41 using the FFTI 32, and also prevent the light transmitted through the semiconductor substrate 21 from passing through the photoelectric conversion section 31. It is possible to suppress overflow of saturated charges. Further, in the image sensor 11, there is no need to provide a separate implant portion 34 that surrounds the outer periphery of the pixels 12-1 and 12-2. Therefore, the image sensor 11 can suppress the occurrence of color mixture and blooming, and can expand the area of the photoelectric conversion section 31, thereby improving the characteristics of the pixel 12.
  • FIG. 2 shows a first layout example of the pixel array 51 employed in the image sensor 11.
  • a plurality of pixel arrays 51 are repeatedly arranged in the row direction and the column direction, with the pixel array 51 as shown in FIG. 2 as a unit.
  • a pixel block 52 is formed for each pixel 12 of the same color, and four pixel blocks 52 are combined.
  • the pixel array 51 is configured such that a pixel block 52Gr is arranged at the upper left, a pixel block 52R is arranged at the upper right, a pixel block 52B is arranged at the lower left, and a pixel block 52Gb is arranged at the lower left.
  • pixel block 52Gr ten pixels 12Gr-1 to 12Gr-10 that receive green light are arranged in a first arrangement pattern.
  • pixel block 52R eight pixels 12R-1 to 12R-8 that receive red light are arranged in a second arrangement pattern.
  • pixel block 52B eight pixels 12B-1 to 12B-8 that receive blue light are arranged in a second arrangement pattern.
  • pixel block 52Gb ten pixels 12Gb-1 to 12Gb-10 that receive green light are arranged in a first arrangement pattern.
  • the first arrangement pattern four pixels 12-1 to 12-4 are arranged in the first row, two pixels 12-5 and 12-6 are arranged in the second row, Four pixels 12-7 to 12-10 are arranged in the third row, and the right and left sides are concave toward the inside.
  • two pixels 12-1 and 12-2 are arranged in the first row, four pixels 12-3 to 12-6 are arranged in the second row, and the third row
  • Two pixels 12-7 and 12-8 are arranged in the shape where the right side and the left side are convex toward the outside.
  • the concavities on the right and left sides of the first arrangement pattern become convex on the right and left sides of the second arrangement pattern.
  • the pixel array 51 is configured so as to fit into the area.
  • an FFTI 32 is provided to surround the outer periphery of the two pixels 12 forming the pixel pair 41, and a DTI 33 is provided between the two pixels 12 forming the pixel pair 41. It consists of
  • the pixel Pixel pair 41 includes pixel 12Gr-7 and pixel 12Gr-8, and pixel 12Gr-9 and pixel 12Gr-10.
  • FFTIs 32 are provided to surround the outer peripheries of the pixel 12Gr-9 and the pixel 12Gr-10, respectively. Furthermore, between pixel 12Gr-1 and pixel 12Gr-2, between pixel 12Gr-3 and pixel 12Gr-4, between pixel 12Gr-5 and pixel 12Gr-6, and between pixel 12Gr-7 and pixel 12Gr-8.
  • a DTI 33 is provided between the pixel 12Gr-9 and the pixel 12Gr-10. Also, in the pixel block 52Gb in which the pixels 12Gb are arranged in the first arrangement pattern, the FFTI 32 and the DTI 33 are provided similarly to the pixel block 52Gr.
  • the pixel 12R-1 and the pixel 12R-2, the pixel 12R-3 and the pixel 12R-4, the pixel 12R-5 and the pixel 12R-6, and , pixel 12R-7, and pixel 12R-8 each form a pixel pair 41.
  • FFTIs 32 are provided so as to surround the outer periphery. Further, between the pixel 12R-1 and the pixel 12R-2, between the pixel 12R-3 and the pixel 12R-4, between the pixel 12R-5 and the pixel 12R-6, and between the pixel 12R-7 and the pixel 12R -8, a DTI 33 is provided respectively. Also, in the pixel block 52B in which the pixels 12B are arranged in the second arrangement pattern, the FFTI 32 and the DTI 33 are provided similarly to the pixel block 52R.
  • the pixel array 51 having such a configuration can suppress the occurrence of color mixture and blooming with other adjacent pixel pairs 41, and can enhance the effect of expanding the area of the photoelectric conversion unit 31.
  • FIG. 3 shows a first modification of the pixel array 51.
  • the pixel array 51a includes a pixel block 52Gr, a pixel block 52R, a pixel block 52B, and a pixel block 52Gb, similar to the pixel array 51 in FIG. Furthermore, in the pixel array 51a, pixel pairs 41 are provided, similar to the pixel array 51 in FIG.
  • FFTIs 32 are arranged between pixels 12 of different colors, and DTIs 33 are arranged between pixels 12 other than where FFTIs 32 are arranged.
  • the FFTIs 32 are arranged along the boundaries of the pixel block 52Gr, pixel block 52R, pixel block 52B, and pixel block 52Gb. Furthermore, in the pixel array 51a, between pixels 12Gr in a pixel block 52Gr, between pixels 12R in a pixel block 52R, between pixels 12B in a pixel block 52B, and between pixels 12Gb in a pixel block 52Gb.
  • a DTI 33 is also arranged.
  • the pixel array 51a having such a configuration can enhance the effect of suppressing color mixture and blooming between adjacent pixel pairs 41 of other colors, and can also expand the area of the photoelectric conversion unit 31. can. Further, in the pixel array 51a, variations among the pixels 12 can also be suppressed.
  • FIG. 4 shows a second modification of the pixel array 51.
  • the pixel array 51b is provided with a pixel block 52Gr, a pixel block 52R, a pixel block 52B, and a pixel block 52Gb, similar to the pixel array 51 in FIG. Furthermore, in the pixel array 51b, pixel pairs 41 are provided, similar to the pixel array 51 in FIG.
  • the FFTIs 32 are arranged between the pixels 12 of different colors and between the left and right adjacent pixel pairs 41 of the same color, and between the pixels 12 other than the locations where the FFTIs 32 are arranged.
  • a DTI 33 is arranged.
  • the FFTIs 32 are arranged along the boundaries of the pixel block 52Gr, pixel block 52R, pixel block 52B, and pixel block 52Gb, and the pixel pairs 41 adjacent to each other on the left and right within each pixel block 52 An FFTI 32 is also placed between them.
  • a DTI 33 is arranged at a location where an FFTI 32 is not provided.
  • the pixel array 51b having such a configuration can suppress the occurrence of color mixture and blooming between adjacent pixel pairs 41 of other colors, and can expand the area of the photoelectric conversion unit 31. Furthermore, compared to the pixel array 51a, the pixel array 51b can suppress differences in characteristics between the pixels 12 of the same color.
  • FIG. 5 shows a third modification of the pixel array 51.
  • the pixel array 51c is provided with a pixel block 52Gr, a pixel block 52R, a pixel block 52B, and a pixel block 52Gb, similar to the pixel array 51 in FIG. Furthermore, in the pixel array 51c, pixel pairs 41 are provided, similar to the pixel array 51 in FIG.
  • FFTIs 32 are arranged along the boundary between the pixel block 52R and the pixel block 52B, and DTIs 33 are arranged at locations where FFTIs 32 are not arranged.
  • the pixel array 51c has a different configuration from the pixel array 51a in FIG. 3 in that the DTI 33 is arranged at a location where the pixel block 52Gr and the pixel block 52Gb are adjacent to each other.
  • the FFTI 32 is arranged in the pixel array 51a of FIG. 3, whereas the pixel array 51c In this case, DTI33 is arranged.
  • the pixel array 51c having such a configuration can improve the cracking resistance of the semiconductor substrate 21 compared to the pixel array 51a of FIG.
  • the FFTIs 32 are arranged continuously in a straight line, whereas in the pixel array 51c, the DTIs 33 are arranged partially, which improves the strength.
  • the pixel array 51c allows easy arrangement of pixel transistors as the number of DTIs 33 increases.
  • FIG. 6A shows a second modification of the planar layout of the pixel pair 41.
  • the pixel pair 41b includes a convex portion that surrounds the outer periphery of the pixel pair 41b and protrudes downward from the center of the upper side toward between the pixel 12b-1 and the pixel 12b-2, and the pixel 12b.
  • the FFTI 32b is formed such that the convex portions protruding upward from the center of the lower side toward between the pixels 12b-1 and 12b-2 face each other.
  • the FD section 35 is arranged in the gap between the protrusions of the FFTI 32b facing each other between the pixel 12b-1 and the pixel 12b-2.
  • the pixel pair 41b with such a planar layout can be more effective in suppressing color mixture between the pixel 12b-1 and the pixel 12b-2 than the pixel pair 41 shown in FIG.
  • FIG. 6B shows a third modification of the planar layout of the pixel pair 41.
  • the pixel pair 41c includes a convex portion that surrounds the outer periphery of the pixel pair 41c and protrudes downward from the center of the upper side toward between the pixel 12c-1 and the pixel 12c-2, and
  • the FFTI 32c is formed such that the convex portions protruding upward from the center of the lower side toward between the pixels 12c-1 and 12c-2 face each other.
  • the DTI 33c and the FD section 35 are arranged in the gap between the convex portions of the FFTI 32c facing each other between the pixel 12c-1 and the pixel 12c-2.
  • the pixel pair 41c with such a planar layout can further enhance the effect of suppressing color mixture between the pixel 12c-1 and the pixel 12c-2 than the pixel pair 41b shown in FIG. 6A.
  • FIG. 6C shows a fourth modification of the planar layout of the pixel pair 41.
  • the pixel pair 41d is provided with a convex portion that surrounds the outer periphery of the pixel pair 41d and protrudes downward from the center of the upper side toward between the pixel 12d-1 and the pixel 12d-2.
  • An FFTI 32d is formed in the FFTI 32d.
  • the FD section 35d is arranged in the gap between the convex part of the FFTI 32d that protrudes downward from the center of the upper side toward between the pixel 12d-1 and the pixel 12d-2, and the lower side of the FFTI 32d. .
  • the FD section 35d is arranged close to the lower side of the FFTI 32d, and the transfer transistor 36d-1 and the transfer transistor 36d-2 are also arranged close to the FFTI 32d according to the arrangement of the FD section 35d. It is placed near the bottom of the .
  • the pixel pair 41d with such a planar layout can be more effective in suppressing color mixture between the pixel 12d-1 and the pixel 12d-2 than the pixel pair 41 shown in FIG. Furthermore, the pixel pair 41d can alleviate the electric field between the transfer transistors 36d-1 and 36d-2 and the FD section 35d more than the pixel pair 41b shown in FIG. 6A.
  • FIG. 6D shows a fifth modification of the planar layout of the pixel pair 41.
  • the pixel pair 41e is provided with a convex portion that surrounds the outer periphery of the pixel pair 41e and protrudes downward from the center of the upper side toward between the pixel 12e-1 and the pixel 12e-2.
  • An FFTI 32e is formed in the FFTI 32e.
  • the DTI 33e and the FD section 35e are arranged in the gap between the convex part of the FFTI 32e that protrudes downward from the center of the upper side toward the pixel 12e-1 and the pixel 12e-2, and the lower side of the FFTI 32e. ing.
  • the FD section 35e is arranged closer to the lower side of the FFTI 32e, and the transfer transistor 36e-1 and the transfer transistor 36e-2 are also moved closer to the FFTI 32e according to the arrangement of the FD section 35e. It is placed near the bottom of the .
  • the pixel pair 41e with such a planar layout can be more effective in suppressing color mixture between the pixel 12e-1 and the pixel 12e-2 than the pixel pair 41d shown in FIG. 6C.
  • the pixel pair 41e can further relax the electric field between the transfer transistors 36e-1 and 36e-2 and the FD section 35e than the pixel pair 41c shown in FIG. 6B.
  • FIG. 7A shows a sixth modification of the planar layout of the pixel pair 41.
  • an FFTI 32f is provided so as to surround the upper side, left side, center, and right side of the pixel pair 41f, an FFTI 32f is provided on the lower side of the pixel 12f-1, and an FFTI 32f is provided on the lower side of the pixel 12f-1.
  • the FFTIs 32f provided on the lower sides of the FFTIs 2 and 32f are arranged independently without being connected at the corners.
  • the pixel pair 41f having such a planar layout can alleviate the electric field between the transfer transistors 36f-1 and 36f-2 and the FD section 35f more than the pixel pair 41d shown in FIG. 6C. Can be done.
  • FIG. 7B shows a seventh modification of the planar layout of the pixel pair 41.
  • the FFTI 32g is provided so as to surround the upper side, left side, center, and right side of the pixel pair 41g, the FFTI 32g is provided on the lower side of the pixel 12g-1, and the FFTI 32g is provided on the lower side of the pixel 12g-1.
  • the FFTIs 32g provided on the lower sides of the FFTIs 2 and 32g are arranged independently without being connected at the corners.
  • the FFTI 32g provided on the lower side of the pixel 12g-1 and the FFTI 32g provided on the lower side of the pixel 12g-2, and on the tip side of the FFTI 32g provided in the center of the pixel pair 41g.
  • a DTI 33g and an FD section 35g are arranged.
  • FIG. 7C shows an arrangement example in which pixel pairs 41g are repeatedly arranged. As shown in FIG. 7C, the pixel pairs 41g can be arranged by reversing the vertical direction for each row and shifting one pixel at a time in the left and right direction.
  • the pixel pair 41g with such a planar layout can further enhance the effect of suppressing color mixture between the pixel 12g-1 and the pixel 12g-2 than the pixel pair 41f shown in FIG. 7A.
  • FIG. 8 shows a second layout example of the planar layout of the pixel array 51 employed in the image sensor 11.
  • a plurality of pixel arrays 51-2 are repeatedly arranged in the row and column directions, with each pixel array 51-2 as shown in FIG. 8 being a unit.
  • a pixel block 53 is configured for each pixel 12 of the same color, and is configured by combining four pixel blocks 53.
  • the pixel array 51-2 is configured such that a pixel block 53Gr is arranged at the upper left, a pixel block 53R is arranged at the upper right, a pixel block 53B is arranged at the lower left, and a pixel block 53Gb is arranged at the lower left.
  • the pixel block 53Gr four pixels 12Gr-1 to 12Gr-4 that receive green light are arranged in a 2 ⁇ 2 arrangement pattern.
  • the pixel block 53R four pixels 12R-1 to 12R-4 that receive red light are arranged in a 2 ⁇ 2 arrangement pattern.
  • the pixel block 53B four pixels 12B-1 to 12B-4 that receive blue light are arranged in a 2 ⁇ 2 arrangement pattern.
  • the pixel block 53Gb four pixels 12Gb-1 to 12Gb-4 that receive green light are arranged in a 2 ⁇ 2 arrangement pattern.
  • the FFTI 32 is provided so as to surround the outer periphery of the four pixels 12 constituting the pixel block 53, and the DTI 33 is provided between the four pixels 12 constituting the pixel block 53. It consists of That is, in the pixel array 51-2, the FFTI 32 is provided between the pixels 12 of different colors, and the DTI 33 is provided between the pixels 12 of the same color.
  • FIG. 9 is a sectional view showing a modification of the image sensor 11. As shown in FIG.
  • FIG. 9 shows an example of a cross-sectional configuration of two adjacent pixels 12-1 and 12-2 among the plurality of pixels 12 included in the image sensor 11a.
  • the same components as the image sensor 11 in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and detailed explanation thereof will be omitted.
  • a semiconductor substrate 21 and an on-chip lens layer 23 are configured similarly to the image sensor 11 in FIG.
  • the color filter layer 22a has a different configuration from the image sensor 11 in FIG.
  • the color filter layer 22a is configured with a CF (color filter) waveguide 39 provided so as to surround the outer periphery of the filters 37-1 and 37-2 forming the pixel pair 41.
  • the CF waveguide 39 is provided between the pixels 12-1 and 12-2 and other adjacent pixels 12 in order to suppress the mixing of light in the color filter layer 22a. That is, by providing the CF waveguide 39, the image sensor 11a suppresses the light incident on the pixels 12-1 and 12-2 from entering other adjacent pixels 12 via the color filter layer 22a. At the same time, it is possible to suppress light that has entered other adjacent pixels 12 from entering the pixels 12-1 and 12-2 via the color filter layer 22a.
  • the image sensor 11a configured in this manner can suppress color mixture and blooming, expand the area of the photoelectric conversion section 31, and suppress color mixture in the color filter layer 22a. The occurrence of can be suppressed. As a result, the image sensor 11a can further improve the characteristics of the pixels 12.
  • FIG. 10 shows an example of the layout of the CF waveguide 39 provided in the color filter layer 22a.
  • pixel block 52Gr pixel block 52R, pixel block 52B, and pixel block 52Gb similar to those in FIG. 2 are shown, and pixel pairs 41 are set as described above.
  • a layout can be adopted in which the CF waveguide 39 is provided between the filters 37 of mutually adjacent pixel pairs 41. That is, the CF waveguide 39 is arranged along the boundary between each adjacent pixel pair 41.
  • FIG. 11 shows a modification of the layout of the CF waveguide 39.
  • a layout may be adopted in which the CF waveguide 39a is provided only between the filters 37 of adjacent pixels 12 of different colors. That is, the CF waveguide 39a is arranged along the boundaries of each of the pixel block 52Gr, pixel block 52R, pixel block 52B, and pixel block 52Gb.
  • the CF waveguide 39a By using the CF waveguide 39a with such a planar layout, it is possible to suppress light from entering through the color filter layer 22a between the pixel block 52Gr, the pixel block 52R, the pixel block 52B, and the pixel block 52Gb. can do.
  • the image sensor 11 is configured so that the two pixels 12-1 and 12-2 forming the pixel pair 41 use one microlens 38.
  • the light is incident only on the pixel 12 on the side where it is incident on the microlens 38. That is, the light incident on the pixel 12-1 side of the microlens 38 is incident only on the pixel 12-1 side of the semiconductor substrate 21, and the light incident on the pixel 12-2 side of the microlens 38 is incident only on the pixel 12-1 side of the semiconductor substrate 21.
  • the light should be incident only on the pixel 12-2 side.
  • the microlens 38 is designed so that a condensing spot is provided near the surface of the semiconductor substrate 21, the light will also enter the pixel 12 on the opposite side to the side where the light is incident on the microlens 38. Sometimes.
  • the light (dotted chain arrow) incident on the pixel 12-1 side of the microlens 38 may also enter the pixel 12-2 side of the semiconductor substrate 21, and
  • the light (dashed arrow) that has entered the pixel 12-2 side of the lens 38 may also enter the pixel 12-1 side of the semiconductor substrate 21.
  • the light incident on the pixel 12R-4 on the right of the pixel 12R-3 enters the pixel 12R-3, causing the output of the pixel 12R-3 to have a brighter value than originally.
  • an output difference occurs between the pixel 12R-3 and the pixel 12Gr-4 located above the pixel 12R-3.
  • an output difference occurs between the pixel 12R-3 and the pixel 12Gb-10 located below the pixel 12R-3.
  • the microlens 38 is designed so that the condensing spot is provided at a position at a predetermined depth below the surface of the semiconductor substrate 21.
  • a condensing spot is provided at a position.
  • the curvature of the microlens 381 be less than 0.0018. Furthermore, it is more preferable that the curvature of the microlens 381 is 0.0014 or less.
  • the image sensor 11b 1 can be configured such that light is incident only on the pixel 12 on the side where it is incident on the microlens 38 1 . That is, the light incident on the pixel 12-1 side of the microlens 381 is incident only on the pixel 12-1 side of the semiconductor substrate 21, and the light incident on the pixel 12-2 side of the microlens 381 is The light is incident only on the pixel 12-2 side of the semiconductor substrate 21.
  • the image sensor 11b 1 can be configured such that the light incident on the microlens 38 1 on the side of each pixel 12 is incident only on the side of the pixel 12 of each semiconductor substrate 21.
  • dark areas and bright areas are created vertically along the boundary between the pixel block 52Gr and the pixel block 52R and the boundary between the pixel block 52B and the pixel block 52Gb.
  • a condensing spot is provided at a position that is a predetermined depth below the surface.
  • the curvature of the microlens 382 be 0.0014 or more, and the height of the microlens 382 be 500 nm or less.
  • the curvature of the microlens 382 is 0.0018 or more and the height of the microlens 382 is 120 nm or less.
  • the image sensor 11b2 allows light to be directed only to the pixel 12 on the side where it is incident on the microlens 382 . can be made incident. That is, the light incident on the pixel 12-1 side of the microlens 382 is incident only on the pixel 12-1 side of the semiconductor substrate 21, and the light incident on the pixel 12-2 side of the microlens 382 is incident on the pixel 12-1 side of the semiconductor substrate 21. The light is incident only on the pixel 12-2 side of the semiconductor substrate 21. Furthermore, since the microlens 38 2 can improve the separation ratio compared to the microlens 38 1 , the imaging device 11b 2 can focus the light spot more easily than the imaging device 11b 1 using the microlens 38 1 . It can be made shallow.
  • the image sensor 11b 2 like the image sensor 11b 1 , allows the light incident on the microlens 38 2 on the side of each pixel 12 to be incident only on the side of the pixel 12 of each semiconductor substrate 21. Therefore, deterioration of image quality can be suppressed.
  • a light shielding film 61 made of metal is provided so as to be laminated on the back surface of the semiconductor substrate 21.
  • the light shielding film 61 is provided so as to surround the pixel pair 41 in plan view, and can suppress the occurrence of color mixture between adjacent pixel pairs 41.
  • FIG. 14 is a cross-sectional view showing a configuration example of the first variation of the image sensor 11b.
  • the image sensor 11b-1 is configured by laminating a color filter layer 22 and an on-chip lens layer 23b-1 on the back side of a semiconductor substrate 21.
  • an FFTI 32 for separating the pixels 12-1 and 12-2 forming the pixel pair 41 from other adjacent pixel pairs 41 surrounds the outer periphery of the pixels 12-1 and 12-2. It is set up like this.
  • a DTI 33 for separating the pixel 12-1 and the pixel 12-2 is provided between the pixels 12-1 and 12-2 on the semiconductor substrate 21.
  • a light shielding film 61 is provided so as to be laminated on the back surface of the semiconductor substrate 21 so as to surround the outer periphery of the pixels 12-1 and 12-2 forming the pixel pair 41, similarly to the FFTI 32.
  • filters 37-1 and 37-2 of the same color are provided for each pixel 12-1 and 12-2 forming a pixel pair 41.
  • a CF waveguide 39 is provided so as to surround the outer periphery.
  • pixels 12R-1 and 12R-2 are provided with red filters 37R-1 and 37R-2
  • pixels 12G-1 and 12G-2 are provided with green filters 37G-1 and 37R-2.
  • the pixels 12B-1 and 12B-2 are provided with blue filters 37B-1 and 37B-2.
  • the on-chip lens layer 23b-1 is provided with microlenses 38 having different curvatures depending on the color of light received by each pixel pair 41. That is, the microlens 38R of the pixel pair 41R that receives red light, the microlens 38G of the pixel pair 41G that receives green light, and the microlens 38B of the pixel pair 41B that receives blue light each have different curvatures. There is.
  • the microlens 38R, the microlens 38G, and the microlens 38B are arranged according to their respective colors so that the depths of the condensed spots can be aligned at a predetermined depth below the surface of the semiconductor substrate 21.
  • Curvature is set. In the illustrated example, the curvatures are set so that the microlens 38R is the highest, the microlens 38G is the next highest, and the microlens 38B is the lowest.
  • the image sensor 11b-1 optimizes the configuration for each color so that the light incident on the microlens 38 on the side of each pixel 12 is incident only on the side of the pixel 12 of each semiconductor substrate 21. can do. Furthermore, in the image sensor 11b-1, the balance of separation ratio can also be optimized.
  • FIG. 15 is a cross-sectional view showing a configuration example of a second variation of the image sensor 11b.
  • the same components as those in the image sensor 11b-1 shown in FIG. 14 are designated by the same reference numerals, and detailed explanation thereof will be omitted.
  • the image sensor 11b-2 is configured by laminating the color filter layer 22 and the on-chip lens layer 23b-2 on the back side of the semiconductor substrate 21, similar to the image sensor 11b-1 in FIG.
  • the on-chip lens layer 23b-2 of the image sensor 11b-2 is provided with microlenses 38 having different lens heights depending on the color of light received by each pixel pair 41. That is, the microlens 38R of the pixel pair 41R that receives red light, the microlens 38G of the pixel pair 41G that receives green light, and the microlens 38B of the pixel pair 41B that receives blue light each have a lens height. It's different.
  • the microlens 38R, the microlens 38G, and the microlens 38B are arranged according to their respective colors so that the depths of the condensed spots can be aligned at a predetermined depth below the surface of the semiconductor substrate 21.
  • Lens height is set. In the illustrated example, the lens heights are set so that the microlens 38R is the highest, the microlens 38G is the next highest, and the microlens 38B is the lowest.
  • the image sensor 11b-2 optimizes the configuration for each color so that the light incident on the microlens 38 on the side of each pixel 12 is incident only on the side of the pixel 12 of each semiconductor substrate 21. can do. Furthermore, in the image sensor 11b-2, the balance of separation ratio can also be optimized.
  • FIG. 16 is a cross-sectional view showing a configuration example of a third variation of the image sensor 11b.
  • the same components as those in the image sensor 11b-1 shown in FIG. 14 are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
  • the image sensor 11b-3 is configured by laminating the color filter layer 22 and the on-chip lens layer 23b-3 on the back side of the semiconductor substrate 21, similar to the image sensor 11b-1 in FIG.
  • nano-level fine structures made of various materials such as dielectrics, metal oxides, and metals are arranged at a predetermined pitch.
  • a metalens 42 is used.
  • the on-chip lens layer 23b-3 of the image sensor 11b-3 is provided with a metalens 42 in which structures are arranged at different pitches depending on the color of light received by each pixel pair 41. That is, the metalens 42R of the pixel pair 41R that receives red light, the metalens 42G of the pixel pair 41G that receives green light, and the metalens 42B of the pixel pair 41B that receives blue light have different structure pitches. There is.
  • the metalens 42R, the metalens 42G, and the metalens 42B are arranged in structures according to their respective colors so that the depths of the condensed spots can be aligned at a predetermined depth below the surface of the semiconductor substrate 21.
  • Pitch is designed.
  • the pitches of these structures are designed so that the microlens 38R is the widest, the microlens 38G is the next widest, and the microlens 38B is the narrowest.
  • the image sensor 11b-3 optimizes the configuration for each color so that the light incident on the metalens 42 on the side of each pixel 12 is incident only on the side of the pixel 12 of each semiconductor substrate 21. be able to. Furthermore, in the image sensor 11b-3, the balance of separation ratio can also be optimized.
  • FIG. 17A is a cross-sectional view showing a configuration example of a fourth variation of the image sensor 11b.
  • the same components as those in the image sensor 11b in FIG. 13 are designated by the same reference numerals, and detailed explanation thereof will be omitted.
  • the image sensor 11b-4 is configured by laminating a color filter layer 22b-4 and an on-chip lens layer 23 on the back side of the semiconductor substrate 21, similar to the image sensor 11b in FIG.
  • the color filter layer 22b-4 of the image sensor 11b-4 includes the filter 37-1 and the filter 37-1, as well as the CF waveguide 39 provided so as to surround the outer periphery of the filter 37-1 and the filter 37-2.
  • a CF waveguide 62 is also provided between the waveguide 37-2 and the waveguide 37-2.
  • the CF waveguide 62 is formed with the same height and width as the CF waveguide 39.
  • a light shielding film 61 is also provided between the pixel 12-1 and the pixel 12-2 so as to be laminated on the back surface of the semiconductor substrate 21.
  • the image sensor 11b-4 ensures that the light incident on the microlens 38 on the pixel 12 side is directed only to the pixel 12 side of each semiconductor substrate 21. It can be made to be incident. Thereby, the image sensor 11b-4 can suppress output differences between pixels 12 arranged in the same column.
  • the CF waveguide 62 is formed so that both ends thereof are in contact with the CF waveguide 39 when viewed from above.
  • the CF waveguide 62 is formed such that both ends thereof are separated from the CF waveguide 39 in plan view, as shown in FIG. 17C.
  • the configuration of these CF waveguides 62 can be selected depending on, for example, the degree to which light is prevented from entering the other pixel 12 and the balance between the separation ratio and Qe.
  • the height of the CF waveguide 62 can be changed, and the design of the presence or absence of the light shielding film 61 can be changed. Changes can be made easily.
  • FIG. 18A is a cross-sectional view showing a configuration example of a fifth variation of the image sensor 11b.
  • the same components as those in the image sensor 11b-4 shown in FIG. 17 are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
  • the image sensor 11b-5 is configured with a CF waveguide 62a provided between the filter 37-1 and the filter 37-2.
  • the CF waveguide 62a is formed to have a different height from the CF waveguide 39, and in the illustrated example, is formed to be lower than the CF waveguide 39.
  • the height of the CF waveguide 62a can be adjusted depending on the degree to which light is prevented from entering the other pixel 12 and the balance between the separation ratio and Qe. can.
  • FIG. 18B is a cross-sectional view showing a configuration example of a sixth variation of the image sensor 11b.
  • the same components as those in the image sensor 11b-4 in FIG. 17 are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
  • the image sensor 11b-6 is configured with a CF waveguide 62b provided between the filter 37-1 and the filter 37-2.
  • the CF waveguide 62b is formed to have a width different from that of the CF waveguide 39, and in the illustrated example, the CF waveguide 62b is formed to have a narrower width than the CF waveguide 39.
  • the width of the CF waveguide 62b can be adjusted depending on the degree to which light is prevented from entering the other pixel 12 and the balance between the separation ratio and Qe. .
  • FIG. 18C is a cross-sectional view showing a configuration example of a seventh variation of the image sensor 11b.
  • the same components as those in the image sensor 11b-4 in FIG. 17 are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
  • the image sensor 11b-7 is configured with a CF waveguide 62 provided between the filter 37-1 and the filter 37-2.
  • the image sensor 11b-7 is configured such that the light shielding film 61 is not provided between the pixel 12-1 and the pixel 12-2.
  • the image sensor 11b-7 has a configuration in which the light shielding film 61 is not provided between the pixel 12-1 and the pixel 12-2, thereby suppressing light from entering the other pixel 12. At the same time, a decrease in Qe due to absorption in the light shielding film 61 can be suppressed.
  • FIG. 19A is a cross-sectional view showing a configuration example of an eighth variation of the image sensor 11b.
  • the same components as those in the image sensor 11b in FIG. 13 are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
  • the image sensor 11b-8 is configured by laminating a color filter layer 22 and an on-chip lens layer 23 on the back side of a semiconductor substrate 21b-8.
  • the semiconductor substrate 21b-8 of the image sensor 11b-8 is configured such that the DTI 33 is provided with a widened portion 63 near the back surface of the semiconductor substrate 21b-8.
  • the widened portion 63 is formed to have a stepped shape with respect to the DTI 33 .
  • the image sensor 11b-8 can suppress incident light from entering the other pixel 12 by widening only the vicinity of the back surface of the DTI 33 with the widening portion 63. Thereby, the image sensor 11b-8 can suppress the occurrence of an output difference between the pixels 12 arranged in the same column.
  • FIG. 19B is a cross-sectional view showing a configuration example of a ninth variation of the image sensor 11b.
  • the same components as those in the image sensor 11b in FIG. 13 are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.
  • the image sensor 11b-9 is configured by laminating a color filter layer 22 and an on-chip lens layer 23 on the back side of a semiconductor substrate 21b-9.
  • the semiconductor substrate 21b-9 of the image sensor 11b-9 is configured such that the DTI 33 is provided with a widened portion 63a near the back surface of the semiconductor substrate 21b-9.
  • the widened portion 63a is formed to have a tapered shape relative to the DTI 33.
  • the image sensor 11b-9 can suppress incident light from entering the other pixel 12 by widening only the vicinity of the back surface of the DTI 33 with the widening portion 63a. Thereby, the image sensor 11b-9 can suppress the occurrence of an output difference between the pixels 12 arranged in the same column.
  • FIG. 20 is a cross-sectional view showing a configuration example of a tenth variation of the image sensor 11b.
  • the same components as those in the image sensor 11b in FIG. 13 are designated by the same reference numerals, and detailed explanation thereof will be omitted.
  • the image sensor 11b-10 is configured by laminating a color filter layer 22 and an on-chip lens layer 23 on the back side of a semiconductor substrate 21b-10.
  • the semiconductor substrate 21b-10 of the image sensor 11b-10 is configured such that a modified refractive index material 64 having a different refractive index from the DTI 33 at a deep position is embedded in the DTI 33 near the back surface of the semiconductor substrate 21b-10. That is, in the image sensor 11b-10, the DTI 33 is configured such that the refractive index of the modified refractive index material 64 embedded near the surface of the semiconductor substrate 21b-10 is different from the refractive index of the material embedded deeper than near the surface.
  • a material with a different refractive index such as PDAS (Phosphorus Doped Amorphous Silicon), is added to the semiconductor substrate 21b-10. It can be embedded near the back side of the .
  • PDAS Phosphorus Doped Amorphous Silicon
  • the position where scattering occurs in the trench can be made deeper, and the distance over which light is absorbed before scattering occurs becomes longer. Become.
  • the light incident on the pixel 12-1 side of the microlens 38 is incident only on the pixel 12-1 side of the semiconductor substrate 21b-10, and the light incident on the pixel 12-2 side of the microlens 38 is incident on the pixel 12-1 side of the semiconductor substrate 21b-10.
  • the light is incident only on the pixel 12-2 side of the substrate 21b-10.
  • the image sensor 11b-10 can suppress the occurrence of an output difference between the pixels 12 arranged in the same column.
  • ⁇ Microlens lens arrangement> The lens arrangement of the microlenses 38 will be described with reference to FIGS. 21 and 22.
  • FIGS. 21 and 22 pixel blocks 52Gr, pixel blocks 52R, pixel blocks 52B, and pixel blocks 52Gb similar to those in FIG. 2 are shown, and pixel pairs 41 are set as described above.
  • a microlens 38 is arranged for every pixel pair 41.
  • the modified microlenses 72 are arranged in some of the pixel pairs 41, and the microlenses 38 are arranged in the other pixel pairs 41.
  • the deformed microlens 72 includes a deformed microlens 72-1 whose shape goes from the upper left to the lower right, and a deformed microlens 72-2 whose shape goes from the upper right to the lower left.
  • the deformed microlens 72-1 includes pixel Gr-9 and pixel Gr-10, which are the lower right pixel pair 41 of the pixel block 52Gr, and pixel Gb, which is the upper left pixel pair 41 of the pixel block 52Gb. -1 and pixel Gb-2. That is, the deformed microlens 72-1 includes a microlens 38 shared by pixel Gr-9 and pixel Gr-10, a microlens 38 shared by pixel Gb-1 and pixel Gb-2, and pixel Gr-10. -10 and pixel Gb-1 have an optical effect as if they were superimposed.
  • the deformed microlens 72-2 has pixel Gr-7 and pixel Gr-8, which are the lower left pixel pair 41 of the pixel block 52Gr, and pixel Gb, which is the upper right pixel pair 41 of the pixel block 52Gb. -3 and pixel Gb-4. That is, the deformed microlens 72-2 includes a microlens 38 shared by pixel Gr-7 and pixel Gr-8, a microlens 38 shared by pixel Gb-3 and pixel Gb-4, and a microlens 38 shared by pixel Gb-3 and pixel Gb-4. It has an optical effect as if the microlenses 38 shared by pixel Gb-7 and pixel Gb-4 were superimposed.
  • the deformed microlens 72-1 can suppress the signal difference that occurs between the pixel Gr-10 and the pixel Gb-1
  • the deformed microlens 72-2 can suppress the signal difference between the pixel Gr-10 and the pixel Gb-1.
  • a signal difference that occurs between Gr-7 and pixel Gb-4 can be suppressed.
  • a portion of the light incident on the pixels Gr or Gb arranged in the vertical direction is transferred to the pixel Gr or the pixel Gb by the modified microlens 72 which is deformed so that the two microlenses 38 facing in the horizontal direction are also connected in the vertical direction.
  • the light will be incident on each pixel Gb.
  • the image sensor 11 as described above can be applied to various electronic devices, such as an imaging system such as a digital still camera or a digital video camera, a mobile phone with an imaging function, or other equipment with an imaging function. Can be done.
  • an imaging system such as a digital still camera or a digital video camera
  • a mobile phone with an imaging function or other equipment with an imaging function. Can be done.
  • FIG. 23 is a block diagram showing a configuration example of an imaging device installed in an electronic device.
  • the imaging device 101 includes an optical system 102, an image sensor 103, a signal processing circuit 104, a monitor 105, and a memory 106, and is capable of capturing still images and moving images.
  • the optical system 102 is configured with one or more lenses, guides image light (incident light) from the subject to the image sensor 103, and forms an image on the light-receiving surface (sensor section) of the image sensor 103.
  • the image sensor 103 As the image sensor 103, the image sensor 11 described above is applied. Electrons are accumulated in the image sensor 103 for a certain period of time depending on the image formed on the light-receiving surface via the optical system 102. A signal corresponding to the electrons accumulated in the image sensor 103 is then supplied to the signal processing circuit 104.
  • the signal processing circuit 104 performs various signal processing on the pixel signals output from the image sensor 103.
  • An image (image data) obtained by signal processing performed by the signal processing circuit 104 is supplied to a monitor 105 for display, or supplied to a memory 106 for storage (recording).
  • the imaging device 101 configured in this way, by applying the above-described imaging element 11, it is possible to capture, for example, a higher quality image.
  • FIG. 24 is a diagram showing an example of use of the above-described image sensor (imaging device).
  • the above-described image sensor can be used in various cases for sensing light such as visible light, infrared light, ultraviolet light, and X-rays, for example, as described below.
  • ⁇ Digital cameras, mobile devices with camera functions, and other devices that take images for viewing purposes Devices used for transportation, such as in-vehicle sensors that take pictures of the rear, surroundings, and interior of the car, surveillance cameras that monitor moving vehicles and roads, and distance sensors that measure the distance between vehicles, etc.
  • Devices used for transportation such as in-vehicle sensors that take pictures of the rear, surroundings, and interior of the car, surveillance cameras that monitor moving vehicles and roads, and distance sensors that measure the distance between vehicles, etc.
  • User gestures Devices used in home appliances such as TVs, refrigerators, and air conditioners to take pictures and operate devices according to the gestures.
  • - Endoscopes devices that perform blood vessel imaging by receiving infrared light, etc.
  • Devices used for medical and healthcare purposes - Devices used for security, such as surveillance cameras for crime prevention and cameras for person authentication - Skin measurement devices that take pictures of the skin, and devices that take pictures of the scalp - Devices used for beauty purposes, such as microscopes for skin care.
  • - Devices used for sports such as action cameras and wearable cameras.
  • - Cameras, etc. used to monitor the condition of fields and crops. , equipment used for agricultural purposes
  • the technology according to the present disclosure (this technology) can be applied to various products.
  • the technology according to the present disclosure may be realized as a device mounted on any type of moving body such as a car, electric vehicle, hybrid electric vehicle, motorcycle, bicycle, personal mobility, airplane, drone, ship, robot, etc. It's okay.
  • FIG. 25 is a block diagram illustrating a schematic configuration example of a vehicle control system, which is an example of a mobile object control system to which the technology according to the present disclosure can be applied.
  • the vehicle control system 12000 includes a plurality of electronic control units connected via a communication network 12001.
  • the vehicle control system 12000 includes a drive system control unit 12010, a body system control unit 12020, an outside vehicle information detection unit 12030, an inside vehicle information detection unit 12040, and an integrated control unit 12050.
  • a microcomputer 12051, an audio/image output section 12052, and an in-vehicle network I/F (Interface) 12053 are illustrated as the functional configuration of the integrated control unit 12050.
  • the drive system control unit 12010 controls the operation of devices related to the drive system of the vehicle according to various programs.
  • the drive system control unit 12010 includes a drive force generation device such as an internal combustion engine or a drive motor that generates drive force for the vehicle, a drive force transmission mechanism that transmits the drive force to wheels, and a drive force transmission mechanism that controls the steering angle of the vehicle. It functions as a control device for a steering mechanism to adjust and a braking device to generate braking force for the vehicle.
  • the body system control unit 12020 controls the operations of various devices installed in the vehicle body according to various programs.
  • the body system control unit 12020 functions as a keyless entry system, a smart key system, a power window device, or a control device for various lamps such as a headlamp, a back lamp, a brake lamp, a turn signal, or a fog lamp.
  • radio waves transmitted from a portable device that replaces a key or signals from various switches may be input to the body control unit 12020.
  • the body system control unit 12020 receives input of these radio waves or signals, and controls the door lock device, power window device, lamp, etc. of the vehicle.
  • the external information detection unit 12030 detects information external to the vehicle in which the vehicle control system 12000 is mounted.
  • an imaging section 12031 is connected to the outside-vehicle information detection unit 12030.
  • the vehicle exterior information detection unit 12030 causes the imaging unit 12031 to capture an image of the exterior of the vehicle, and receives the captured image.
  • the external information detection unit 12030 may perform object detection processing such as a person, car, obstacle, sign, or text on the road surface or distance detection processing based on the received image.
  • the imaging unit 12031 is an optical sensor that receives light and outputs an electrical signal according to the amount of received light.
  • the imaging unit 12031 can output the electrical signal as an image or as distance measurement information.
  • the light received by the imaging unit 12031 may be visible light or non-visible light such as infrared rays.
  • the in-vehicle information detection unit 12040 detects in-vehicle information.
  • a driver condition detection section 12041 that detects the condition of the driver is connected to the in-vehicle information detection unit 12040.
  • the driver condition detection unit 12041 includes, for example, a camera that images the driver, and the in-vehicle information detection unit 12040 detects the degree of fatigue or concentration of the driver based on the detection information input from the driver condition detection unit 12041. It may be calculated, or it may be determined whether the driver is falling asleep.
  • the microcomputer 12051 calculates control target values for the driving force generation device, steering mechanism, or braking device based on the information inside and outside the vehicle acquired by the vehicle exterior information detection unit 12030 or the vehicle interior information detection unit 12040, Control commands can be output to 12010.
  • the microcomputer 12051 realizes ADAS (Advanced Driver Assistance System) functions, including vehicle collision avoidance or impact mitigation, following distance based on vehicle distance, vehicle speed maintenance, vehicle collision warning, vehicle lane departure warning, etc. It is possible to perform cooperative control for the purpose of ADAS (Advanced Driver Assistance System) functions, including vehicle collision avoidance or impact mitigation, following distance based on vehicle distance, vehicle speed maintenance, vehicle collision warning, vehicle lane departure warning, etc. It is possible to perform cooperative control for the purpose of
  • ADAS Advanced Driver Assistance System
  • the microcomputer 12051 controls the driving force generating device, steering mechanism, braking device, etc. based on information about the surroundings of the vehicle acquired by the vehicle exterior information detection unit 12030 or the vehicle interior information detection unit 12040. It is possible to perform cooperative control for the purpose of autonomous driving, etc., which does not rely on operation.
  • the microcomputer 12051 can output a control command to the body system control unit 12030 based on the information outside the vehicle acquired by the outside information detection unit 12030.
  • the microcomputer 12051 controls the headlamps according to the position of the preceding vehicle or oncoming vehicle detected by the vehicle exterior information detection unit 12030, and performs cooperative control for the purpose of preventing glare, such as switching from high beam to low beam. It can be carried out.
  • the audio and image output unit 12052 transmits an output signal of at least one of audio and images to an output device that can visually or audibly notify information to the occupants of the vehicle or to the outside of the vehicle.
  • an audio speaker 12061, a display section 12062, and an instrument panel 12063 are illustrated as output devices.
  • the display unit 12062 may include, for example, at least one of an on-board display and a head-up display.
  • FIG. 26 is a diagram showing an example of the installation position of the imaging section 12031.
  • the imaging unit 12031 includes imaging units 12101, 12102, 12103, 12104, and 12105.
  • the imaging units 12101, 12102, 12103, 12104, and 12105 are provided at, for example, the front nose of the vehicle 12100, the side mirrors, the rear bumper, the back door, and the upper part of the windshield inside the vehicle.
  • An imaging unit 12101 provided in the front nose and an imaging unit 12105 provided above the windshield inside the vehicle mainly acquire images in front of the vehicle 12100.
  • Imaging units 12102 and 12103 provided in the side mirrors mainly capture images of the sides of the vehicle 12100.
  • An imaging unit 12104 provided in the rear bumper or back door mainly captures images of the rear of the vehicle 12100.
  • the imaging unit 12105 provided above the windshield inside the vehicle is mainly used to detect preceding vehicles, pedestrians, obstacles, traffic lights, traffic signs, lanes, and the like.
  • FIG. 26 shows an example of the imaging range of the imaging units 12101 to 12104.
  • An imaging range 12111 indicates the imaging range of the imaging unit 12101 provided on the front nose
  • imaging ranges 12112 and 12113 indicate imaging ranges of the imaging units 12102 and 12103 provided on the side mirrors, respectively
  • an imaging range 12114 shows the imaging range of the imaging unit 12101 provided on the front nose.
  • the imaging range of the imaging unit 12104 provided in the rear bumper or back door is shown. For example, by overlapping the image data captured by the imaging units 12101 to 12104, an overhead image of the vehicle 12100 viewed from above can be obtained.
  • At least one of the imaging units 12101 to 12104 may have a function of acquiring distance information.
  • at least one of the imaging units 12101 to 12104 may be a stereo camera including a plurality of image sensors, or may be an image sensor having pixels for phase difference detection.
  • the microcomputer 12051 determines the distance to each three-dimensional object within the imaging ranges 12111 to 12114 and the temporal change in this distance (relative speed with respect to the vehicle 12100) based on the distance information obtained from the imaging units 12101 to 12104. By determining the following, it is possible to extract, in particular, the closest three-dimensional object on the path of vehicle 12100, which is traveling at a predetermined speed (for example, 0 km/h or more) in approximately the same direction as vehicle 12100, as the preceding vehicle. can. Furthermore, the microcomputer 12051 can set an inter-vehicle distance to be secured in advance in front of the preceding vehicle, and perform automatic brake control (including follow-up stop control), automatic acceleration control (including follow-up start control), and the like. In this way, it is possible to perform cooperative control for the purpose of autonomous driving, etc., in which the vehicle travels autonomously without depending on the driver's operation.
  • automatic brake control including follow-up stop control
  • automatic acceleration control including follow-up start control
  • the microcomputer 12051 transfers three-dimensional object data to other three-dimensional objects such as two-wheeled vehicles, regular vehicles, large vehicles, pedestrians, and utility poles based on the distance information obtained from the imaging units 12101 to 12104. It can be classified and extracted and used for automatic obstacle avoidance. For example, the microcomputer 12051 identifies obstacles around the vehicle 12100 into obstacles that are visible to the driver of the vehicle 12100 and obstacles that are difficult to see. Then, the microcomputer 12051 determines a collision risk indicating the degree of risk of collision with each obstacle, and when the collision risk exceeds a set value and there is a possibility of a collision, the microcomputer 12051 transmits information via the audio speaker 12061 and the display unit 12062. By outputting a warning to the driver via the vehicle control unit 12010 and performing forced deceleration and avoidance steering via the drive system control unit 12010, driving support for collision avoidance can be provided.
  • the microcomputer 12051 determines a collision risk indicating the degree of risk of collision with each obstacle, and when the collision risk exceed
  • At least one of the imaging units 12101 to 12104 may be an infrared camera that detects infrared rays.
  • the microcomputer 12051 can recognize a pedestrian by determining whether the pedestrian is present in the images captured by the imaging units 12101 to 12104.
  • pedestrian recognition involves, for example, a procedure for extracting feature points in images captured by the imaging units 12101 to 12104 as infrared cameras, and a pattern matching process is performed on a series of feature points indicating the outline of an object to determine whether it is a pedestrian or not.
  • the audio image output unit 12052 creates a rectangular outline for emphasis on the recognized pedestrian.
  • the display unit 12062 is controlled to display the .
  • the audio image output unit 12052 may control the display unit 12062 to display an icon or the like indicating a pedestrian at a desired position.
  • the technology according to the present disclosure can be applied to the imaging unit 12031 and the like among the configurations described above.
  • By applying the technology according to the present disclosure to the imaging unit 12031 and the like it is possible to obtain a photographed image that is easier to see, thereby making it possible to reduce driver fatigue.
  • the present technology can also have the following configuration.
  • the semiconductor substrate includes: a first element isolation section formed penetrating the semiconductor substrate and provided at least in a portion between the pixels of different colors; a second element isolation section that is formed by being dug to a predetermined depth from the light-receiving surface of the semiconductor substrate and that is provided at least between the photoelectric conversion sections of the two pixels forming the pixel pair.
  • Solid-state image sensor (2) The first element isolation section is provided surrounding the outer periphery of the pixel pair, The solid-state imaging device according to (1) above, wherein the second element isolation section is provided only between the two pixels forming the pixel pair. (3) A pixel block is formed for each of the predetermined number of pixels of the same color, The solid-state imaging device according to (1) or (2) above, wherein the pixel array is repeatedly arranged in the row direction and the column direction, with a pixel array consisting of a combination of four pixel blocks as a unit.
  • the pixel blocks include a first pixel block in which the pixels of a predetermined color are arranged in a first arrangement pattern, and a second pixel block in which the pixels of a color different from the color are arranged in a second arrangement pattern.
  • the solid-state image sensor according to (3) above including a pixel block.
  • the green pixel is arranged in the first pixel block, and the red or blue pixel is arranged in the second pixel block,
  • the solid-state imaging device according to (4) above, wherein the number of pixels arranged in the first pixel block is greater than the number of pixels arranged in the second pixel block.
  • the pixel block in which 10 green pixels are arranged in a first arrangement pattern is arranged in the upper left, and the pixel block in which 8 red pixels are arranged in a second arrangement pattern.
  • the pixel block was placed at the top right, and the 8 blue pixels were placed in a second placement pattern.
  • the pixel block was placed at the bottom left, and the 10 green pixels were placed in a first placement pattern.
  • the first element isolation section is provided along a boundary of the pixel block,
  • the first element isolation section is provided along the boundary of the pixel block, and is provided between the left and right adjacent pixel pairs within the pixel block,
  • the second element isolation section is provided between the pixels in the pixel block and at a location where the first element isolation section is not provided.
  • a solid-state imaging device described in the above. (9) The green pixel is arranged in the first pixel block, and the red or blue pixel is arranged in the second pixel block, the first element isolation section is provided along a boundary of the second pixel block, The solid-state imaging device according to any one of (4) to (6) above, wherein the second element isolation section is provided at a location where the first element isolation section is not provided.
  • the color filter layer is provided with a waveguide that suppresses mixing of light in the color filter layer between the adjacent filters of different colors.
  • solid-state image sensor According to any one of (1) to (12) above, the microlens is designed to have a curvature and a lens height such that a condensing spot is provided at a position at a predetermined depth below the surface of the semiconductor substrate. solid-state image sensor. (14) The solid-state imaging device according to (13) above, wherein the curvature or the lens height of the microlens is designed for each color of the pixel.
  • a metalens in which fine structures are arranged at a predetermined pitch is used, The solid-state imaging device according to (13) above, wherein the pitch of the metalens is designed for each color of the pixel.
  • the color filter layer is provided with a waveguide that suppresses mixing of light in the color filter layer between the filters of the pixel pair.
  • Solid-state image sensor is provided.
  • the second element isolation section is configured such that the refractive index of the material buried near the surface of the semiconductor substrate is different from the refractive index of the material buried deeper than near the surface.
  • the four pixels constitute the pixel pair including the pixels that are vertically adjacent to each other in the green pixel block arranged at the upper left and the green pixel block arranged at the lower right.
  • a deformed microlens is commonly used which has an optical effect such that the microlens used in each pixel pair and the microlens shared by the vertically adjacent pixels are superimposed.
  • a semiconductor substrate in which a photoelectric conversion section is provided for each pixel; a color filter layer laminated on the light-receiving surface side of the semiconductor substrate, in which a filter that transmits light of a color received by the pixel is arranged for each pixel; an on-chip lens layer laminated on the color filter layer and in which a microlens is arranged for each pixel pair consisting of two pixels of the same color;
  • the semiconductor substrate includes: a first element isolation section formed penetrating the semiconductor substrate and provided at least in a portion between the pixels of different colors; a second element isolation section that is formed by being dug to a predetermined depth from the light-receiving surface of the semiconductor substrate and that is provided at least between the photoelectric conversion sections of the two pixels forming the pixel pair.

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Abstract

本開示は、画素特性の向上を図ることができるようにする固体撮像素子および電子機器に関する。 半導体基板には、画素ごとに光電変換部が設けられ、カラーフィルタ層には、画素が受光する色の光を透過するフィルタが画素ごとに配置され、オンチップレンズ層には、同色の２つの画素からなる画素ペアごとにマイクロレンズが配置されている。そして、半導体基板を貫通して形成され、異色の画素どうしの間の少なくとも一部に設けられる第１の素子分離部と、半導体基板の受光面から所定の深さまで掘り込んで形成され、画素ペアとなっている２つの画素の光電変換部どうしの間に少なくとも設けられる第２の素子分離部とが、半導体基板に設けられる。本技術は、例えば、裏面照射型のCMOSイメージセンサに適用できる。

Description

固体撮像素子および電子機器
　本開示は、固体撮像素子および電子機器に関し、特に、画素特性の向上を図ることができるようにした固体撮像素子および電子機器に関する。
　従来、裏面照射型のCMOS（Complementary Metal Oxide Semiconductor）イメージセンサなどの固体撮像素子では、画素ごとに設けられている光電変換部を分離するために素子分離部が設けられている。
　例えば、特許文献１には、同じオンチップレンズを介して光が入射されるフォトダイオードを分離する第１の分離領域と、異なるオンチップレンズを介して光が入射されるフォトダイオードを分離する第２の分離領域とで、屈折率が異なる固体撮像素子が開示されている。
国際公開第２０２０／１７５１９５号
　ところで、従来の固体撮像素子では、半導体基板の裏面から深さ方向に延びるように、半導体基板を貫通しない程度の深さの素子分離部が設けられる構造であったため、混色やブルーミングなどの発生を十分に抑制することができないことがあった。また、素子分離部の先端側に分離インプラ部を設けることによって、光電変換部の領域が縮小することになっていた。そのため、従来の固体撮像素子では、画素特性が低下することが懸念されており、画素特性を向上させることが求められている。
　本開示は、このような状況に鑑みてなされたものであり、画素特性の向上を図ることができるようにするものである。
　本開示の一側面の固体撮像素子は、画素ごとに光電変換部が設けられる半導体基板と、前記半導体基板の受光面側に積層され、前記画素が受光する色の光を透過するフィルタが前記画素ごとに配置されるカラーフィルタ層と、前記カラーフィルタ層に積層され、同色の２つの前記画素からなる画素ペアごとにマイクロレンズが配置されるオンチップレンズ層とを備え、前記半導体基板には、前記半導体基板を貫通して形成され、異色の前記画素どうしの間の少なくとも一部に設けられる第１の素子分離部と、前記半導体基板の受光面から所定の深さまで掘り込んで形成され、前記画素ペアとなっている２つの前記画素の前記光電変換部どうしの間に少なくとも設けられる第２の素子分離部とが設けられる。
　本開示の一側面の電子機器は、画素ごとに光電変換部が設けられる半導体基板と、前記半導体基板の受光面側に積層され、前記画素が受光する色の光を透過するフィルタが前記画素ごとに配置されるカラーフィルタ層と、前記カラーフィルタ層に積層され、同色の２つの前記画素からなる画素ペアごとにマイクロレンズが配置されるオンチップレンズ層とを有し、前記半導体基板には、前記半導体基板を貫通して形成され、異色の前記画素どうしの間の少なくとも一部に設けられる第１の素子分離部と、前記半導体基板の受光面から所定の深さまで掘り込んで形成され、前記画素ペアとなっている２つの前記画素の前記光電変換部どうしの間に少なくとも設けられる第２の素子分離部とが設けられる固体撮像素子を備える。
　本開示の一側面においては、半導体基板には、画素ごとに光電変換部が設けられ、半導体基板の受光面側に積層されるカラーフィルタ層には、画素が受光する色の光を透過するフィルタが画素ごとに配置され、カラーフィルタ層に積層されるオンチップレンズ層には、同色の２つの画素からなる画素ペアごとにマイクロレンズが配置される。そして、半導体基板には、半導体基板を貫通して形成され、異色の画素どうしの間の少なくとも一部に設けられる第１の素子分離部と、半導体基板の受光面から所定の深さまで掘り込んで形成され、画素ペアとなっている２つの画素の光電変換部どうしの間に少なくとも設けられる第２の素子分離部とが設けられる。
本技術を適用した撮像素子の第１の実施の形態の構成例について説明する図である。 画素配列の第１のレイアウト例を示す図である。 画素配列の第１の変形例を示す図である。 画素配列の第２の変形例を示す図である。 画素配列の第３の変形例を示す図である。 画素ペアの平面レイアウトの第２乃至第５の変形例を示す図である。 画素ペアの平面レイアウトの第６および第７の変形例を示す図である。 画素配列の第２のレイアウト例を示す図である。 撮像素子の変形例を示す断面図である。 ＣＦ導波路のレイアウトの一例を示す図である。 ＣＦ導波路のレイアウトの変形例を示す図である。 マイクロレンズに入射した側とは逆側の画素にも光が入り込んでしまうことについて説明する図である。 本技術を適用した撮像素子の第２の実施の形態の構成例について説明する図である。 撮像素子の第１のバリエーションを示す断面図である。 撮像素子の第２のバリエーションを示す断面図である。 撮像素子の第３のバリエーションを示す断面図である。 撮像素子の第４のバリエーションを示す断面図である。 撮像素子の第５乃至第７のバリエーションを示す断面図である。 撮像素子の第８および第９のバリエーションを示す断面図である。 撮像素子の第１０のバリエーションを示す断面図である。 マイクロレンズのレンズ配列の一例を示す図である。 マイクロレンズのレンズ配列の他の一例を示す図である。 撮像装置の構成例を示すブロック図である。 イメージセンサを使用する使用例を示す図である。 車両制御システムの概略的な構成の一例を示すブロック図である。 車外情報検出部及び撮像部の設置位置の一例を示す説明図である。
　以下、本技術を適用した具体的な実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
　＜撮像素子の第１の構成例＞
　図１乃至図１１を参照して、本技術を適用した撮像素子の第１の実施の形態について説明する。
　図１のＡには、撮像素子１１が有する複数の画素１２のうちの、隣接する２つの画素１２－１および１２－２における断面的な構成が示されている。
　例えば、撮像素子１１では、複数の画素１２が行列状に配置されており、２つの画素１２－１および１２－２で複数の素子（例えば、フローティングディフュージョンや増幅トランジスタなど）を共有する画素共有構造が採用されている。また、２つの画素１２－１および１２－２は、同じ色の光を受光する。このように、画素共有構造となっていて、かつ、同色の２つの画素１２－１および１２－２のことを、以下、画素ペア４１と称する。
　撮像素子１１は、半導体基板２１の受光面である裏面側に、カラーフィルタ層２２およびオンチップレンズ層２３が積層されて構成され、半導体基板２１の表面側に、図示しない配線層が積層されて構成される。
　半導体基板２１には、受光した光を光電変換する光電変換部３１が画素１２ごとに設けられている。また、半導体基板２１には、画素ペア４１となっている画素１２－１および１２－２を、隣接する他の画素１２から分離するための第１の素子分離部であるＦＦＴＩ３２が、画素１２－１および１２－２の外周を囲うように設けられている。また、半導体基板２１には、画素１２－１の光電変換部３１－１と画素１２－２の光電変換部３１－２とを分離するための第２の素子分離部であるＤＴＩ３３が、光電変換部３１－１および光電変換部３１－２の間に設けられている。
　ＦＦＴＩ（Front Full Trench Isolation）３２は、半導体基板２１の表面側から掘り込まれて、半導体基板２１を貫通するように形成されたトレンチに、SiO2などの絶縁材料が埋め込まれて構成される。ＤＴＩ（Deep Trench Isolation）３３は、半導体基板２１の裏面側から掘り込まれて形成された深いトレンチに、SiO2などの絶縁材料が埋め込まれて構成される。
　また、半導体基板２１には、ＤＴＩ３３の先端から半導体基板２１の表面の近傍まで、分離インプラ部３４が設けられており、分離インプラ部３４にＦＤ部３５が設けられている。分離インプラ部３４は、不純物を注入することによって設けられ、光電変換部３１どうしの間を電気的に分離する領域である。ＦＤ（Floating Diffusion）部３５は、光電変換部３１から転送されてくる電荷を一時的に蓄積して、図示しない増幅トランジスタを介して、その電荷を画素信号に変換して出力する。
　また、半導体基板２１の表面には、光電変換部３１－１とＦＤ部３５との間に転送トランジスタ３６－１が設けられるとともに、光電変換部３１－２とＦＤ部３５との間に転送トランジスタ３６－２が設けられている。転送トランジスタ３６－１は、光電変換部３１－１に蓄積されている電荷をＦＤ部３５に転送し、転送トランジスタ３６－２は、光電変換部３１－２に蓄積されている電荷をＦＤ部３５に転送する。
　カラーフィルタ層２２には、画素１２－１および１２－２が受光する色の光を透過するフィルタ３７－１および３７－２が設けられている。上述したように、画素ペア４１となっている画素１２－１および１２－２は同じ色の光を受光するため、フィルタ３７－１および３７－２は、同じ色の光を透過する。
　オンチップレンズ層２３には、画素ペア４１ごとに、１つのマイクロレンズ３８が設けられており、２つの画素１２－１および１２－２で、１つのマイクロレンズ３８を共有する構成となっている。
　図１のＢには、２つの画素１２－１および１２－２からなる画素ペア４１を、半導体基板２１を表面側から平面視した平面レイアウトの一例が示されている。図１のＢに示すように、画素ペア４１では、画素ペア４１の外周を囲うようにＦＦＴＩ３２が形成され、画素１２－１と画素１２－２との間に設けられ両端がＦＦＴＩ３２に接するようにＤＴＩ３３が形成され、ＤＴＩ３３の中央となる位置にＦＤ部３５が配置されている。
　また、図１のＣには、平面レイアウトの第１の変形例が示されている。図１のＣに示すように、画素ペア４１ａでは、画素ペア４１ａの外周を囲うようにＦＦＴＩ３２が形成され、画素１２ａ－１と画素１２ａ－２との間に設けられ両端がＦＦＴＩ３２に接するようにＤＴＩ３３が形成され、ＤＴＩ３３の一方の端部近傍（図示する例では、下側の端部近傍）に寄せられた位置にＦＤ部３５ａが配置されている。
　このように構成される撮像素子１１は、隣接する他の画素ペア４１との間で混色およびブルーミングが発生することを抑制することができるとともに、画素１２における光電変換部３１の領域を拡大することができる。
　例えば、従来、画素１２の分離をＤＴＩ３３のみで行うような構成では、隣接する他の画素ペア４１との間で、半導体基板２１を透過した光がＤＴＩ３３の先端を通り抜けることによって混色が発生することや、光電変換部３１で飽和した電荷がＤＴＩ３３の先端から溢れ出すことによってブルーミングが発生することなどが懸念されていた。また、従来、画素１２の分離をＤＴＩ３３のみで行うような構成では、画素１２－１および１２－２の外周を囲うように分離インプラ部３４を設ける必要があり、分離インプラ部３４を設ける領域に応じて光電変換部３１を設けることができる領域が縮小することになっていた。
　このような従来の構成と比較して、撮像素子１１は、ＦＦＴＩ３２によって画素ペア４１どうしを分離することによって、半導体基板２１を透過した光が通り抜けることを抑制することができるとともに、光電変換部３１で飽和した電荷が溢れ出すことを抑制することができる。また、撮像素子１１は、画素１２－１および１２－２の外周を囲うような分離インプラ部３４を設ける必要もない。従って、撮像素子１１は、混色およびブルーミングの発生を抑制し、光電変換部３１の領域を拡大することができる結果、画素１２の特性の向上を図ることができる。
　図２には、撮像素子１１で採用される画素配列５１の第１のレイアウト例が示されている。
　撮像素子１１では、図２に示すような画素配列５１を単位として、複数の画素配列５１が行方向および列方向に繰り返して配置される。
　図２に示すように、画素配列５１では、同色の画素１２ごとに画素ブロック５２が形成されており、４つの画素ブロック５２が組み合わされて構成される。例えば、画素配列５１は、画素ブロック５２Ｇｒが左上に配置され、画素ブロック５２Ｒが右上に配置され、画素ブロック５２Ｂが左下に配置され、画素ブロック５２Ｇｂが左下に配置されて構成される。
　画素ブロック５２Ｇｒでは、緑色の光を受光する１０個の画素１２Ｇｒ－１乃至１２Ｇｒ－１０が第１の配置パターンで配置されている。画素ブロック５２Ｒでは、赤色の光を受光する８個の画素１２Ｒ－１乃至１２Ｒ－８が第２の配置パターンで配置されている。画素ブロック５２Ｂでは、青色の光を受光する８個の画素１２Ｂ－１乃至１２Ｂ－８が第２の配置パターンで配置されている。画素ブロック５２Ｇｂでは、緑色の光を受光する１０個の画素１２Ｇｂ－１乃至１２Ｇｂ－１０が第１の配置パターンで配置されている。
　図示するように、第１の配置パターンは、１行目に４個の画素１２－１乃至１２－４が配置され、２行目に２個の画素１２－５および１２－６が配置され、３行目に４個の画素１２－７乃至１２－１０が配置されており、右辺および左辺が内側に向かって凹となる形状となっている。また、第２の配置パターンは、１行目に２個の画素１２－１および１２－２が配置され、２行目に４個の画素１２－３乃至１２－６が配置され、３行目に２個の画素１２－７および１２－８が配置されており、右辺および左辺が外側に向かって凸となる形状となっている。従って、第１の配置パターンと第２の配置パターンとが左右に並んで配置されることにより、第１の配置パターンの右辺および左辺の凹に、第２の配置パターンの右辺および左辺の凸が入り込むように、画素配列５１が構成される。
　さらに、画素配列５１は、画素ペア４１となっている２個の画素１２の外周を囲うようにＦＦＴＩ３２が設けられ、画素ペア４１となっている２個の画素１２どうしの間にＤＴＩ３３が設けられて構成される。
　例えば、第１の配置パターンで画素１２Ｇｒが配置される画素ブロック５２Ｇｒでは、画素１２Ｇｒ－１および画素１２Ｇｒ－２、画素１２Ｇｒ－３および画素１２Ｇｒ－４、画素１２Ｇｒ－５および画素１２Ｇｒ－６、画素１２Ｇｒ－７および画素１２Ｇｒ－８、並びに、画素１２Ｇｒ－９および画素１２Ｇｒ－１０が、それぞれ画素ペア４１となっている。
　従って、画素１２Ｇｒ－１および画素１２Ｇｒ－２の外周、画素１２Ｇｒ－３および画素１２Ｇｒ－４の外周、画素１２Ｇｒ－５および画素１２Ｇｒ－６の外周、画素１２Ｇｒ－７および画素１２Ｇｒ－８の外周、並びに、画素１２Ｇｒ－９および画素１２Ｇｒ－１０の外周を、それぞれ囲うようにＦＦＴＩ３２が設けられている。さらに、画素１２Ｇｒ－１と画素１２Ｇｒ－２との間、画素１２Ｇｒ－３と画素１２Ｇｒ－４との間、画素１２Ｇｒ－５と画素１２Ｇｒ－６との間、画素１２Ｇｒ－７と画素１２Ｇｒ－８との間、および、画素１２Ｇｒ－９と画素１２Ｇｒ－１０との間に、それぞれＤＴＩ３３が設けられている。また、第１の配置パターンで画素１２Ｇｂが配置される画素ブロック５２Ｇｂにおいても、画素ブロック５２Ｇｒと同様に、ＦＦＴＩ３２およびＤＴＩ３３が設けられている。
　また、第２の配置パターンで画素１２Ｒが配置される画素ブロック５２Ｒでは、画素１２Ｒ－１および画素１２Ｒ－２、画素１２Ｒ－３および画素１２Ｒ－４、画素１２Ｒ－５および画素１２Ｒ－６、並びに、画素１２Ｒ－７および画素１２Ｒ－８が、それぞれ画素ペア４１となっている。
　従って、画素１２Ｒ－１および画素１２Ｒ－２の外周、画素１２Ｒ－３および画素１２Ｒ－４の外周、画素１２Ｒ－５および画素１２Ｒ－６の外周、並びに、画素１２Ｒ－７および画素１２Ｒ－８の外周を、それぞれ囲うようにＦＦＴＩ３２が設けられている。さらに、画素１２Ｒ－１と画素１２Ｒ－２との間、画素１２Ｒ－３と画素１２Ｒ－４との間、画素１２Ｒ－５と画素１２Ｒ－６との間、および、画素１２Ｒ－７と画素１２Ｒ－８との間に、それぞれＤＴＩ３３が設けられている。また、第２の配置パターンで画素１２Ｂが配置される画素ブロック５２Ｂにおいても、画素ブロック５２Ｒと同様に、ＦＦＴＩ３２およびＤＴＩ３３が設けられている。
　このような構成の画素配列５１は、隣接する他の画素ペア４１との間における混色およびブルーミングの発生を抑制するとともに、光電変換部３１の領域を拡大する効果を高めることができる。
　図３には、画素配列５１の第１の変形例が示されている。
　図３に示すように、画素配列５１ａでは、図２の画素配列５１と同様に、画素ブロック５２Ｇｒ、画素ブロック５２Ｒ、画素ブロック５２Ｂ、および画素ブロック５２Ｇｂが設けられている。また、画素配列５１ａでは、図２の画素配列５１と同様に、画素ペア４１が設けられている。
　そして、画素配列５１ａでは、異色の画素１２どうしの間にＦＦＴＩ３２が配置され、ＦＦＴＩ３２が配置されている個所以外の画素１２どうしの間にはＤＴＩ３３が配置されている。
　つまり、画素配列５１ａでは、画素ブロック５２Ｇｒ、画素ブロック５２Ｒ、画素ブロック５２Ｂ、および画素ブロック５２Ｇｂの境界に沿うようにＦＦＴＩ３２が配置されている。また、画素配列５１ａでは、画素ブロック５２Ｇｒ内における画素１２Ｇｒどうしの間、画素ブロック５２Ｒ内における画素１２Ｒどうしの間、画素ブロック５２Ｂ内における画素１２Ｂどうしの間、画素ブロック５２Ｇｂ内における画素１２Ｇｂどうしの間にも、ＤＴＩ３３が配置されている。
　このような構成の画素配列５１ａは、隣接する他の色の画素ペア４１との間における混色およびブルーミングの発生を抑制する効果を高めることができるとともに、光電変換部３１の領域を拡大することができる。また、画素配列５１ａでは、画素１２間のバラつきも抑制することができる。
　図４は、画素配列５１の第２の変形例が示されている。
　図４に示すように、画素配列５１ｂは、図２の画素配列５１と同様に、画素ブロック５２Ｇｒ、画素ブロック５２Ｒ、画素ブロック５２Ｂ、および画素ブロック５２Ｇｂが設けられている。また、画素配列５１ｂでは、図２の画素配列５１と同様に、画素ペア４１が設けられている。
　そして、画素配列５１ｂでは、異色の画素１２どうしの間、および、左右に隣接する同色の画素ペア４１どうしの間に、ＦＦＴＩ３２が配置され、ＦＦＴＩ３２が配置されている個所以外の画素１２どうしの間にはＤＴＩ３３が配置されている。
　つまり、画素配列５１ｂでは、画素ブロック５２Ｇｒ、画素ブロック５２Ｒ、画素ブロック５２Ｂ、および画素ブロック５２Ｇｂの境界に沿うようにＦＦＴＩ３２が配置されるとともに、それぞれの画素ブロック５２内において左右に隣接する画素ペア４１どうしの間にもＦＦＴＩ３２が配置されている。また、画素配列５１ｂでは、画素ブロック５２Ｇｒ内における画素１２Ｇｒどうしの間、画素ブロック５２Ｒ内における画素１２Ｒどうしの間、画素ブロック５２Ｂ内における画素１２Ｂどうしの間、画素ブロック５２Ｇｂ内における画素１２Ｇｂどうしの間であって、ＦＦＴＩ３２が設けられていない個所にＤＴＩ３３が配置されている。
　このような構成の画素配列５１ｂは、隣接する他の色の画素ペア４１との間における混色およびブルーミングの発生を抑制することができるとともに、光電変換部３１の領域を拡大することができる。さらに、画素配列５１ｂは、画素配列５１ａと比較して、同色の画素１２間で特性差分が生じることを抑制することができる。
　図５は、画素配列５１の第３の変形例が示されている。
　図５に示すように、画素配列５１ｃは、図２の画素配列５１と同様に、画素ブロック５２Ｇｒ、画素ブロック５２Ｒ、画素ブロック５２Ｂ、および画素ブロック５２Ｇｂが設けられている。また、画素配列５１ｃでは、図２の画素配列５１と同様に、画素ペア４１が設けられている。
　そして、画素配列５１ｃでは、画素ブロック５２Ｒおよび画素ブロック５２Ｂの境界に沿ってＦＦＴＩ３２が配置されており、ＦＦＴＩ３２が配置されていない個所にＤＴＩ３３が配置されている。
　例えば、画素配列５１ｃは、画素ブロック５２Ｇｒと画素ブロック５２Ｇｂとが隣接する個所にＤＴＩ３３が配置されている点で、図３の画素配列５１ａと異なる構成となっている。つまり、画素Ｇｒ－７と画素Ｇｂ－４との間や、画素Ｇｒ－１０と画素Ｇｂ－１との間において、図３の画素配列５１ａではＦＦＴＩ３２が配置されていたのに対し、画素配列５１ｃではＤＴＩ３３が配置されている。
　このような構成の画素配列５１ｃは、図３の画素配列５１ａと比較して、半導体基板２１の割れ耐性の向上を図ることができる。つまり、図３の画素配列５１ａでは、ＦＦＴＩ３２が連続的に直線で配置されていた個所において、画素配列５１ｃでは、部分的にＤＴＩ３３が配置される構成となっていることによって強度が向上することになる。また、画素配列５１ｃは、ＤＴＩ３３が増えるのに伴って、画素トランジスタの配置を容易に行うことができる。
　図６および図７を参照して、画素ペア４１の平面レイアウトの変形例について説明する。
　図６のＡには、画素ペア４１の平面レイアウトの第２の変形例が示されている。
　図６のＡに示すように、画素ペア４１ｂでは、画素ペア４１ｂの外周を囲うとともに、画素１２ｂ－１および画素１２ｂ－２の間に向かって上辺中央から下方に突出する凸部と、画素１２ｂ－１および画素１２ｂ－２の間に向かって下辺中央から上方に突出する凸部とが、互いに向かい合って設けられるようにＦＦＴＩ３２ｂが形成されている。そして、画素ペア４１ｂでは、画素１２ｂ－１および画素１２ｂ－２の間で向かい合うＦＦＴＩ３２ｂの凸部どうしの隙間に、ＦＤ部３５が配置されている。
　このような平面レイアウトの画素ペア４１ｂは、図１に示した画素ペア４１よりも、画素１２ｂ－１および画素１２ｂ－２の間における混色を抑制する効果を高めることができる。
　図６のＢには、画素ペア４１の平面レイアウトの第３の変形例が示されている。
　図６のＢに示すように、画素ペア４１ｃでは、画素ペア４１ｃの外周を囲うとともに、画素１２ｃ－１および画素１２ｃ－２の間に向かって上辺中央から下方に突出する凸部と、画素１２ｃ－１および画素１２ｃ－２の間に向かって下辺中央から上方に突出する凸部とが、互いに向かい合って設けられるようにＦＦＴＩ３２ｃが形成されている。そして、画素ペア４１ｃでは、画素１２ｃ－１および画素１２ｃ－２の間で向かい合うＦＦＴＩ３２ｃの凸部どうしの隙間に、ＤＴＩ３３ｃおよびＦＤ部３５が配置されている。
　このような平面レイアウトの画素ペア４１ｃは、図６のＡに示した画素ペア４１ｂよりも、画素１２ｃ－１および画素１２ｃ－２の間における混色を抑制する効果をさらに高めることができる。
　図６のＣには、画素ペア４１の平面レイアウトの第４の変形例が示されている。
　図６のＣに示すように、画素ペア４１ｄでは、画素ペア４１ｄの外周を囲うとともに、画素１２ｄ－１および画素１２ｄ－２の間に向かって上辺中央から下方に突出する凸部が設けられるようにＦＦＴＩ３２ｄが形成されている。そして、画素ペア４１ｄでは、画素１２ｄ－１および画素１２ｄ－２の間に向かって上辺中央から下方に突出するＦＦＴＩ３２ｄの凸部と、ＦＦＴＩ３２ｄの下辺との隙間に、ＦＤ部３５ｄが配置されている。このように、画素ペア４１ｄでは、ＦＤ部３５ｄは、ＦＦＴＩ３２ｄの下辺近傍に寄せられて配置されており、転送トランジスタ３６ｄ－１および転送トランジスタ３６ｄ－２も、ＦＤ部３５ｄの配置に応じて、ＦＦＴＩ３２ｄの下辺近傍に寄せられて配置されている。
　このような平面レイアウトの画素ペア４１ｄは、図１に示した画素ペア４１よりも、画素１２ｄ－１および画素１２ｄ－２の間における混色を抑制する効果を高めることができる。さらに、画素ペア４１ｄは、図６のＡに示した画素ペア４１ｂよりも、転送トランジスタ３６ｄ－１および転送トランジスタ３６ｄ－２とＦＤ部３５ｄとの間の電界を緩和することができる。
　図６のＤには、画素ペア４１の平面レイアウトの第５の変形例が示されている。
　図６のＤに示すように、画素ペア４１ｅでは、画素ペア４１ｅの外周を囲うとともに、画素１２ｅ－１および画素１２ｅ－２の間に向かって上辺中央から下方に突出する凸部が設けられるようにＦＦＴＩ３２ｅが形成されている。そして、画素ペア４１ｅでは、画素１２ｅ－１および画素１２ｅ－２の間に向かって上辺中央から下方に突出するＦＦＴＩ３２ｅの凸部と、ＦＦＴＩ３２ｅの下辺との隙間に、ＤＴＩ３３ｅおよびＦＤ部３５ｅが配置されている。このように、画素ペア４１ｅでは、ＦＤ部３５ｅは、ＦＦＴＩ３２ｅの下辺近傍に寄せられて配置されており、転送トランジスタ３６ｅ－１および転送トランジスタ３６ｅ－２も、ＦＤ部３５ｅの配置に応じて、ＦＦＴＩ３２ｅの下辺近傍に寄せられて配置されている。
　このような平面レイアウトの画素ペア４１ｅは、図６のＣに示した画素ペア４１ｄよりも、画素１２ｅ－１および画素１２ｅ－２の間における混色を抑制する効果を高めることができる。また、画素ペア４１ｅは、図６のＢに示した画素ペア４１ｃよりも、転送トランジスタ３６ｅ－１および転送トランジスタ３６ｅ－２とＦＤ部３５ｅとの間の電界を、より緩和することができる。
　図７のＡには、画素ペア４１の平面レイアウトの第６の変形例が示されている。
　図７のＡに示すように、画素ペア４１ｆでは、画素ペア４１ｆの上辺、左辺、中央、および右辺を囲うように設けられるＦＦＴＩ３２ｆと、画素１２ｆ－１の下辺に設けられるＦＦＴＩ３２ｆと、画素１２ｆ－２の下辺に設けられるＦＦＴＩ３２ｆとが、それぞれ角部で接続されずに独立して配置されている。そして、画素ペア４１ｆでは、画素１２ｆ－１の下辺に設けられるＦＦＴＩ３２ｆと、画素１２ｆ－２の下辺に設けられるＦＦＴＩ３２ｆとの隙間であって、画素ペア４１ｆの中央に設けられるＦＦＴＩ３２ｆの先端側に、ＦＤ部３５ｆが配置されている。
　このような平面レイアウトの画素ペア４１ｆは、図６のＣに示した画素ペア４１ｄよりも、転送トランジスタ３６ｆ－１および転送トランジスタ３６ｆ－２とＦＤ部３５ｆとの間の電界を、より緩和することができる。
　図７のＢには、画素ペア４１の平面レイアウトの第７の変形例が示されている。
　図７のＢに示すように、画素ペア４１ｇでは、画素ペア４１ｇの上辺、左辺、中央、および右辺を囲うように設けられるＦＦＴＩ３２ｇと、画素１２ｇ－１の下辺に設けられるＦＦＴＩ３２ｇと、画素１２ｇ－２の下辺に設けられるＦＦＴＩ３２ｇとが、それぞれ角部で接続されずに独立して配置されている。そして、画素ペア４１ｇでは、画素１２ｇ－１の下辺に設けられるＦＦＴＩ３２ｇと、画素１２ｇ－２の下辺に設けられるＦＦＴＩ３２ｇとの隙間であって、画素ペア４１ｇの中央に設けられるＦＦＴＩ３２ｇの先端側に、ＤＴＩ３３ｇおよびＦＤ部３５ｇが配置されている。
　また、画素ペア４１ｇでは、ＦＦＴＩ３２ｇの右下および左下の隙間に、１行下に配置される他の画素ペア４１ｇのＤＴＩ３３ｇおよびＦＤ部３５ｇを配置することができる。図７のＣには、画素ペア４１ｇが繰り返して配置された配置例が示されている。図７のＣに示すように、画素ペア４１ｇは、１行ごとに上下の向きを反転させ、かつ、左右方向に１画素ずつずらして配置することができる。
　このような平面レイアウトの画素ペア４１ｇは、図７のＡに示した画素ペア４１ｆよりも、画素１２ｇ－１および画素１２ｇ－２の間における混色を抑制する効果をさらに高めることができる。
　図８には、撮像素子１１で採用される画素配列５１の平面レイアウトの第２のレイアウト例が示されている。
　撮像素子１１では、図８に示すような画素配列５１－２を単位として、複数の画素配列５１－２が行方向および列方向に繰り返して配置されている。
　図８に示すように、画素配列５１－２では、同色の画素１２ごとに画素ブロック５３が構成されており、４つの画素ブロック５３が組み合わされて構成される。例えば、画素配列５１－２は、画素ブロック５３Ｇｒが左上に配置され、画素ブロック５３Ｒが右上に配置され、画素ブロック５３Ｂが左下に配置され、画素ブロック５３Ｇｂが左下に配置されて構成される。
　画素ブロック５３Ｇｒでは、緑色の光を受光する４個の画素１２Ｇｒ－１乃至１２Ｇｒ－４が２×２配置パターンで配置されている。画素ブロック５３Ｒでは、赤色の光を受光する４個の画素１２Ｒ－１乃至１２Ｒ－４が２×２配置パターンで配置されている。画素ブロック５３Ｂでは、青色の光を受光する４個の画素１２Ｂ－１乃至１２Ｂ－４が２×２配置パターンで配置されている。画素ブロック５３Ｇｂでは、緑色の光を受光する４個の画素１２Ｇｂ－１乃至１２Ｇｂ－４が２×２配置パターンで配置されている。
　そして、画素配列５１－２は、画素ブロック５３を構成する４個の画素１２の外周を囲うようにＦＦＴＩ３２が設けられ、画素ブロック５３を構成する４個の画素１２どうしの間にＤＴＩ３３が設けられて構成される。つまり、画素配列５１－２では、異色の画素１２どうしの間にＦＦＴＩ３２が設けられ、同色の画素１２どうしの間にＤＴＩ３３が設けられている。
　このような平面レイアウトの画素配列５１－２においても、図２の画素配列５１と同様に、隣接する他の色の画素ペア４１との間における混色およびブルーミングの発生を抑制するとともに、光電変換部３１の領域を拡大する効果を高めることができる。
　＜撮像素子の変形例＞
　図９は、撮像素子１１の変形例を示す断面図である。
　図９には、撮像素子１１ａが有する複数の画素１２のうちの、隣接する２つの画素１２－１および１２－２の断面的な構成例が示されている。なお、図９に示す撮像素子１１ａにおいて、図１の撮像素子１１と共通する構成については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
　図９に示すように、撮像素子１１ａでは、半導体基板２１およびオンチップレンズ層２３が、図１の撮像素子１１と同様に構成される。そして、撮像素子１１Ａでは、カラーフィルタ層２２ａが、図１の撮像素子１１と異なる構成となっている。
　カラーフィルタ層２２ａは、画素ペア４１となっているフィルタ３７－１および３７－２の外周を囲うように、ＣＦ（Color Filter）導波路３９が設けられて構成される。ＣＦ導波路３９は、画素１２－１および１２－２と、隣接する他の画素１２との間で、カラーフィルタ層２２ａにおける光の混入を抑制するために設けられる。即ち、撮像素子１１ａは、ＣＦ導波路３９を設けることによって、画素１２－１および１２－２に入射した光が、カラーフィルタ層２２ａを介して、隣接する他の画素１２に入射することを抑制するとともに、隣接する他の画素１２に入射した光が、カラーフィルタ層２２ａを介して、画素１２－１および１２－２に入射することを抑制することができる。
　このように構成される撮像素子１１ａは、図１の撮像素子１１と同様に、混色およびブルーミングの発生を抑制し、光電変換部３１の領域を拡大することができるとともに、カラーフィルタ層２２ａにおける混色の発生を抑制することができる。その結果、撮像素子１１ａは、さらに画素１２の特性の向上を図ることができる。
　図１０には、カラーフィルタ層２２ａに設けられるＣＦ導波路３９のレイアウトの一例が示されている。
　図１０では、図２と同様の画素ブロック５２Ｇｒ、画素ブロック５２Ｒ、画素ブロック５２Ｂ、および画素ブロック５２Ｇｂが示されており、上述したように画素ペア４１が設定されている。
　図１０に示すように、ＣＦ導波路３９は、互いに隣接する画素ペア４１どうしのフィルタ３７の間に設けられるようなレイアウトを採用することができる。即ち、隣接する画素ペア４１それぞれの境界に沿って、ＣＦ導波路３９が配置される。
　このような平面レイアウトのＣＦ導波路３９を用いることによって、画素ペア４１どうしの間で、カラーフィルタ層２２ａを介して光が混入することを抑制することができる。
　図１１には、ＣＦ導波路３９のレイアウトの変形例が示されている。
　図１１に示すように、ＣＦ導波路３９ａは、互いに隣接する異色の画素１２のどうしのフィルタ３７の間にのみ設けられるようなレイアウトを採用することができる。即ち、画素ブロック５２Ｇｒ、画素ブロック５２Ｒ、画素ブロック５２Ｂ、および画素ブロック５２Ｇｂそれぞれの境界に沿って、ＣＦ導波路３９ａが配置される。
　このような平面レイアウトのＣＦ導波路３９ａを用いることによって、画素ブロック５２Ｇｒ、画素ブロック５２Ｒ、画素ブロック５２Ｂ、および画素ブロック５２Ｇｂどうしの間で、カラーフィルタ層２２ａを介して光が混入することを抑制することができる。
　＜撮像素子の第２の構成例＞
　図１２乃至図２１を参照して、本技術を適用した撮像素子の第２の実施の形態について説明する。
　上述したように、撮像素子１１は、画素ペア４１を構成する２つの画素１２－１および１２－２で、１つのマイクロレンズ３８を用いるように構成される。このとき、マイクロレンズ３８に入射した側の画素１２にだけ光が入射することが理想的である。即ち、マイクロレンズ３８の画素１２－１側に入射した光は、半導体基板２１の画素１２－１側にだけ入射し、マイクロレンズ３８の画素１２－２側に入射した光は、半導体基板２１の画素１２－２側にだけ入射することが理想的である。
　しかしながら、半導体基板２１の表面近傍に集光スポットが設けられるようにマイクロレンズ３８が設計されている場合には、マイクロレンズ３８に入射した側とは逆側の画素１２にも光が入り込んでしまうことがある。
　即ち、図１２のＡに示すように、マイクロレンズ３８の画素１２－１側に入射した光（一点鎖線の矢印）が、半導体基板２１の画素１２－２側にも入り込んでしまうことや、マイクロレンズ３８の画素１２－２側に入射した光（破線の矢印）が、半導体基板２１の画素１２－１側にも入り込んでしまうことがある。
　これにより、例えば、図１２のＢの左側に示すように、画素ブロック５２Ｇｒと画素ブロック５２Ｒとの境界、および、画素ブロック５２Ｂと画素ブロック５２Ｇｂの境界に沿って縦方向に、暗部と明部との境界がある画像が撮像される場合について説明する。この場合、図１２のＢの右側に示すように、暗部と明部との境界に沿って上下方向に並ぶ画素１２どうしに出力差が生じてしまい、テクスチャのある画像と誤認識されること（以下、誤つなぎと称する）が懸念される。
　例えば、画素１２Ｒ－３に対して、右隣にある画素１２Ｒ－４に入射した光が入り込んでしまうことで、画素１２Ｒ－３の出力が、本来よりも明るい値になってしまう。その結果、画素１２Ｒ－３と、画素１２Ｒ－３の上隣にある画素１２Ｇｒ－４とで出力差が生じてしまう。同様に、画素１２Ｒ－３と、画素１２Ｒ－３の下隣にある画素１２Ｇｂ－１０とで出力差が生じてしまう。
　そこで、本技術を適用した第２の実施の形態の撮像素子１１ｂは、半導体基板２１の表面よりも所定の深さとなる位置に集光スポットが設けられるようにマイクロレンズ３８が設計される。
　例えば、図１３のＡに示す撮像素子１１ｂ１では、レンズ形状を低曲率化する第１の設計手法に基づいてマイクロレンズ３８１が形成されており、半導体基板２１の表面よりも所定の深さとなる位置に集光スポットが設けられる。例えば、第１の設計手法では、マイクロレンズ３８１の曲率を0.0018未満とすることが好ましい。さらに、マイクロレンズ３８１の曲率を0.0014以下とすることが、より好適である。
　このように、マイクロレンズ３８１の曲率を低くすることで、撮像素子１１ｂ１は、マイクロレンズ３８１に入射した側の画素１２にだけ光が入射されるような構成とすることができる。即ち、マイクロレンズ３８１の画素１２－１側に入射した光は、半導体基板２１の画素１２－１側にだけ入射されるとともに、マイクロレンズ３８１の画素１２－２側に入射した光は、半導体基板２１の画素１２－２側にだけ入射される。
　以上のように、撮像素子１１ｂ１は、それぞれの画素１２側のマイクロレンズ３８１に入射した光が、それぞれの半導体基板２１の画素１２側にだけ入射されるように構成することができる。これにより、例えば、図１２のＢの左側に示すように、画素ブロック５２Ｇｒと画素ブロック５２Ｒとの境界、および、画素ブロック５２Ｂと画素ブロック５２Ｇｂの境界に沿って縦方向に、暗部と明部との境界がある画像が撮像される場合であっても、誤つなぎの発生を抑制することができる。つまり、暗部と明部との境界に沿って上下方向に並ぶ画素１２どうしに出力差が生じることを抑制することができ、テクスチャのある画像と誤認識されることを回避して、画質の悪化を抑制することができる。
　また、図１３のＢに示す撮像素子１１ｂ２では、レンズ形状を高曲率化かつレンズ高さを低背化する第２の設計手法に基づいてマイクロレンズ３８２が形成されており、半導体基板２１の表面よりも所定の深さとなる位置に集光スポットが設けられる。例えば、第２の設計手法では、マイクロレンズ３８２の曲率を0.0014以上とし、かつ、マイクロレンズ３８２の高さを500ｎｍ以下とすることが好ましい。さらに、マイクロレンズ３８２の曲率を0.0018以上とし、かつ、マイクロレンズ３８２の高さを120ｎｍ以下とすることが、より好適である。
　このように、マイクロレンズ３８２の曲率を高くし、かつ、マイクロレンズ３８２のレンズ高さを低くすることで、撮像素子１１ｂ２は、マイクロレンズ３８２に入射した側の画素１２にだけ光を入射させることができる。即ち、マイクロレンズ３８２の画素１２－１側に入射した光は、半導体基板２１の画素１２－１側にだけ入射されるとともに、マイクロレンズ３８２の画素１２－２側に入射した光は、半導体基板２１の画素１２－２側にだけ入射される。また、マイクロレンズ３８２は、マイクロレンズ３８１と比較して分離比を向上させることができるので、撮像素子１１ｂ２は、マイクロレンズ３８１を用いた撮像素子１１ｂ１よりも、集光スポットを浅くしてもよい。
　以上のように、撮像素子１１ｂ２は、撮像素子１１ｂ１と同様に、それぞれの画素１２側のマイクロレンズ３８２に入射した光が、それぞれの半導体基板２１の画素１２側にだけ入射されるように構成することができ、画質の悪化を抑制することができる。
　なお、図示するように、撮像素子１１ｂでは、半導体基板２１の裏面に積層するように、金属により構成される遮光膜６１が設けられている。例えば、遮光膜６１は、ＦＦＴＩ３２と同様に、平面視して画素ペア４１の周囲を囲うように設けられており、隣接する画素ペア４１どうしの混色の発生を抑制することができる。
　＜撮像素子のバリエーション＞
　図１４乃至図２０を参照して、撮像素子１１ｂのバリエーションについて説明する。
　図１４は、撮像素子１１ｂの第１のバリエーションの構成例を示す断面図である。
　図１４に示すように、撮像素子１１ｂ－１は、半導体基板２１の裏面側に、カラーフィルタ層２２およびオンチップレンズ層２３ｂ－１が積層されて構成される。
　半導体基板２１には、画素ペア４１となっている画素１２－１および１２－２を、隣接する他の画素ペア４１から分離するためのＦＦＴＩ３２が、画素１２－１および１２－２の外周を囲うように設けられている。半導体基板２１には、画素１２－１と画素１２－２とを分離するためのＤＴＩ３３が、画素１２－１および１２－２の間に設けられている。また、半導体基板２１の裏面に積層するように、ＦＦＴＩ３２と同様に、画素ペア４１となっている画素１２－１および１２－２の外周を囲うように遮光膜６１が設けられている。
　カラーフィルタ層２２には、画素ペア４１となっている画素１２－１および１２－２ごとに、同色のフィルタ３７－１および３７－２が設けられており、フィルタ３７－１および３７－２の外周を囲うようにＣＦ導波路３９が設けられている。図示するように、画素１２Ｒ－１および１２Ｒ－２には、赤色のフィルタ３７Ｒ－１および３７Ｒ－２が設けられており、画素１２Ｇ－１および１２Ｇ－２には、緑色のフィルタ３７Ｇ－１および３７Ｇ－２が設けられており、画素１２Ｂ－１および１２Ｂ－２には、青色のフィルタ３７Ｂ－１および３７Ｂ－２が設けられている。
　オンチップレンズ層２３ｂ－１には、それぞれの画素ペア４１が受光する光の色に応じて異なる曲率のマイクロレンズ３８が設けられる。即ち、赤色の光を受光する画素ペア４１Ｒのマイクロレンズ３８Ｒ、緑色の光を受光する画素ペア４１Ｇのマイクロレンズ３８Ｇ、青色の光を受光する画素ペア４１Ｂのマイクロレンズ３８Ｂは、それぞれ曲率が異なっている。
　例えば、マイクロレンズ３８Ｒ、マイクロレンズ３８Ｇ、およびマイクロレンズ３８Ｂは、半導体基板２１の表面よりも所定の深さとなる位置に集光スポットの深さを揃えることができるように、それぞれの色に応じて曲率が設定されている。図示する例では、マイクロレンズ３８Ｒが最も高く、マイクロレンズ３８Ｇが次に高く、マイクロレンズ３８Ｂが最も低くなるように、それらの曲率が設定されている。
　これにより、撮像素子１１ｂ－１は、それぞれの画素１２側のマイクロレンズ３８に入射した光が、それぞれの半導体基板２１の画素１２側にだけ入射されるようにする構成を、色ごとに最適化することができる。また、撮像素子１１ｂ－１では、分離比のバランスも最適化することができる。
　図１５は、撮像素子１１ｂの第２のバリエーションの構成例を示す断面図である。なお、図１５に示す撮像素子１１ｂ－２において、図１４の撮像素子１１ｂ－１と共通する構成については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
　即ち、撮像素子１１ｂ－２は、図１４の撮像素子１１ｂ－１と同様に、半導体基板２１の裏面側に、カラーフィルタ層２２およびオンチップレンズ層２３ｂ－２が積層されて構成される。
　そして、撮像素子１１ｂ－２のオンチップレンズ層２３ｂ－２には、それぞれの画素ペア４１が受光する光の色に応じて異なるレンズ高さのマイクロレンズ３８が設けられる。即ち、赤色の光を受光する画素ペア４１Ｒのマイクロレンズ３８Ｒ、緑色の光を受光する画素ペア４１Ｇのマイクロレンズ３８Ｇ、青色の光を受光する画素ペア４１Ｂのマイクロレンズ３８Ｂは、それぞれレンズ高さが異なっている。
　例えば、マイクロレンズ３８Ｒ、マイクロレンズ３８Ｇ、およびマイクロレンズ３８Ｂは、半導体基板２１の表面よりも所定の深さとなる位置に集光スポットの深さを揃えることができるように、それぞれの色に応じてレンズ高さが設定される。図示する例では、マイクロレンズ３８Ｒが最も高く、マイクロレンズ３８Ｇが次に高く、マイクロレンズ３８Ｂが最も低くなるように、それらのレンズ高さが設定されている。
　これにより、撮像素子１１ｂ－２は、それぞれの画素１２側のマイクロレンズ３８に入射した光が、それぞれの半導体基板２１の画素１２側にだけ入射されるようにする構成を、色ごとに最適化することができる。また、撮像素子１１ｂ－２では、分離比のバランスも最適化することができる。
　図１６は、撮像素子１１ｂの第３のバリエーションの構成例を示す断面図である。なお、図１６に示す撮像素子１１ｂ－３において、図１４の撮像素子１１ｂ－１と共通する構成については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
　即ち、撮像素子１１ｂ－３は、図１４の撮像素子１１ｂ－１と同様に、半導体基板２１の裏面側に、カラーフィルタ層２２およびオンチップレンズ層２３ｂ－３が積層されて構成される。
　また、撮像素子１１ｂ－３では、通常のマイクロレンズ３８に替えて、例えば、誘電体や、金属酸化物、金属など様々な材料により構成されるナノレベルの微細な構造物が所定のピッチで配置されるメタレンズ４２が使用されている。そして、そして、撮像素子１１ｂ－３のオンチップレンズ層２３ｂ－３には、それぞれの画素ペア４１が受光する光の色に応じて異なるピッチで構造物が配置されたメタレンズ４２が設けられる。即ち、赤色の光を受光する画素ペア４１Ｒのメタレンズ４２Ｒ、緑色の光を受光する画素ペア４１Ｇのメタレンズ４２Ｇ、青色の光を受光する画素ペア４１Ｂのメタレンズ４２Ｂは、それぞれ構造物のピッチが異なっている。
　例えば、メタレンズ４２Ｒ、メタレンズ４２Ｇ、およびメタレンズ４２Ｂは、半導体基板２１の表面よりも所定の深さとなる位置に集光スポットの深さを揃えることができるように、それぞれの色に応じて構造物のピッチが設計される。図示する例では、マイクロレンズ３８Ｒが最も広く、マイクロレンズ３８Ｇが次に広く、マイクロレンズ３８Ｂが最も狭くなるように、それらの構造物のピッチが設計されている。
　これにより、撮像素子１１ｂ－３は、それぞれの画素１２側のメタレンズ４２に入射した光が、それぞれの半導体基板２１の画素１２側にだけ入射されるようにする構成を、色ごとに最適化することができる。また、撮像素子１１ｂ－３では、分離比のバランスも最適化することができる。
　図１７のＡは、撮像素子１１ｂの第４のバリエーションの構成例を示す断面図である。なお、図１７に示す撮像素子１１ｂ－４において、図１３の撮像素子１１ｂと共通する構成については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
　即ち、撮像素子１１ｂ－４は、図１３の撮像素子１１ｂと同様に、半導体基板２１の裏面側に、カラーフィルタ層２２ｂ－４およびオンチップレンズ層２３が積層されて構成される。
　そして、撮像素子１１ｂ－４のカラーフィルタ層２２ｂ－４には、フィルタ３７－１およびフィルタ３７－２の外周を囲うように設けられているＣＦ導波路３９と同様に、フィルタ３７－１とフィルタ３７－２との間にもＣＦ導波路６２が設けられている。ＣＦ導波路６２は、ＣＦ導波路３９と同じ高さおよび幅で形成される。また、半導体基板２１の裏面に積層するように、画素１２－１と画素１２－２との間にも遮光膜６１が設けられている。
　このように、撮像素子１１ｂ－４は、ＣＦ導波路６２および遮光膜６１を設けることによって、画素１２側のマイクロレンズ３８に入射した光が、それぞれの半導体基板２１の画素１２側にだけ確実に入射されるようにすることができる。これにより、撮像素子１１ｂ－４は、同じ列に配置される画素１２に出力差が生じることを抑制することができる。
　例えば、ＣＦ導波路６２は、図１７のＢに示すように、平面視して両端がＣＦ導波路３９に接するように形成される。または、ＣＦ導波路６２は、図１７のＣに示すように、平面視して両端がＣＦ導波路３９から離れるように形成される。これらのＣＦ導波路６２の構成は、例えば、他方の画素１２に光が入射してしまうことを抑制する度合いと、分離比やＱｅとのバランスに応じて選択することができる。また、図１７のＣに示すように、ＣＦ導波路６２の両端がＣＦ導波路３９から離れるように形成することで、ＣＦ導波路６２の高さの設計変更や、遮光膜６１の有無の設計変更などを容易に行うことができる。
　図１８のＡは、撮像素子１１ｂの第５のバリエーションの構成例を示す断面図である。なお、図１８のＡに示す撮像素子１１ｂ－５において、図１７の撮像素子１１ｂ－４と共通する構成については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
　撮像素子１１ｂ－５は、撮像素子１１ｂ－４と同様に、フィルタ３７－１とフィルタ３７－２との間にＣＦ導波路６２ａが設けられて構成される。そして、ＣＦ導波路６２ａは、ＣＦ導波路３９と異なる高さになるように、図示する例では、ＣＦ導波路３９よりも低くなるように形成されている。
　例えば、撮像素子１１ｂ－５では、ＣＦ導波路６２ａの高さは、他方の画素１２に光が入射してしまうことを抑制する度合いと、分離比やＱｅとのバランスに応じて調整することができる。
　図１８のＢは、撮像素子１１ｂの第６のバリエーションの構成例を示す断面図である。なお、図１８のＢに示す撮像素子１１ｂ－６において、図１７の撮像素子１１ｂ－４と共通する構成については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
　撮像素子１１ｂ－６は、撮像素子１１ｂ－４と同様に、フィルタ３７－１とフィルタ３７－２との間にＣＦ導波路６２ｂが設けられて構成される。そして、ＣＦ導波路６２ｂは、ＣＦ導波路３９と異なる幅になるように、図示する例では、ＣＦ導波路３９よりも幅が狭くなるように形成されている。
　例えば、撮像素子１１ｂ－６では、ＣＦ導波路６２ｂの幅は、他方の画素１２に光が入射してしまうことを抑制する度合いと、分離比やＱｅとのバランスに応じて調整することができる。
　図１８のＣは、撮像素子１１ｂの第７のバリエーションの構成例を示す断面図である。なお、図１８のＣに示す撮像素子１１ｂ－７において、図１７の撮像素子１１ｂ－４と共通する構成については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
　撮像素子１１ｂ－７は、撮像素子１１ｂ－４と同様に、フィルタ３７－１とフィルタ３７－２との間にＣＦ導波路６２が設けられて構成される。そして、撮像素子１１ｂ－７では、画素１２－１と画素１２－２との間には遮光膜６１が設けられない構成となっている。
　例えば、撮像素子１１ｂ－７は、画素１２－１と画素１２－２との間に遮光膜６１が設けられない構成とすることで、他方の画素１２に光が入射してしまうことを抑制しつつ、遮光膜６１での吸収によるＱｅの低下を抑制することができる。
　図１９のＡは、撮像素子１１ｂの第８のバリエーションの構成例を示す断面図である。なお、図１９のＡに示す撮像素子１１ｂ－８において、図１３の撮像素子１１ｂと共通する構成については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
　図１９のＡに示すように、撮像素子１１ｂ－８は、半導体基板２１ｂ－８の裏面側に、カラーフィルタ層２２およびオンチップレンズ層２３が積層されて構成される。
　そして、撮像素子１１ｂ－８の半導体基板２１ｂ－８は、半導体基板２１ｂ－８の裏面付近において、ＤＴＩ３３に拡幅部６３が設けられて構成される。拡幅部６３は、ＤＴＩ３３に対して段差を有した形状となるように形成される。
　このように、撮像素子１１ｂ－８は、ＤＴＩ３３の裏面付近だけを拡幅部６３で幅広にすることで、入射光が他方の画素１２に入射してしまうことを抑制することができる。これにより、撮像素子１１ｂ－８は、同じ列に配置される画素１２に出力差が生じることを抑制することができる。
　図１９のＢは、撮像素子１１ｂの第９のバリエーションの構成例を示す断面図である。なお、図１９のＢに示す撮像素子１１ｂ－９において、図１３の撮像素子１１ｂと共通する構成については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
　図１９のＢに示すように、撮像素子１１ｂ－９は、半導体基板２１ｂ－９の裏面側に、カラーフィルタ層２２およびオンチップレンズ層２３が積層されて構成される。
　そして、撮像素子１１ｂ－９の半導体基板２１ｂ－９は、半導体基板２１ｂ－９の裏面付近において、ＤＴＩ３３に拡幅部６３ａが設けられて構成される。拡幅部６３ａは、ＤＴＩ３３に対してテーパを有した形状となるように形成される。
　このように、撮像素子１１ｂ－９は、ＤＴＩ３３の裏面付近だけを拡幅部６３ａで幅広にすることで、入射光が他方の画素１２に入射してしまうことを抑制することができる。これにより、撮像素子１１ｂ－９は、同じ列に配置される画素１２に出力差が生じることを抑制することができる。
　なお、図１９のＡに示すような形状の拡幅部６３と、図１９のＢに示すような拡幅部６３ａとのどちらを選択するかは、プロセス難易度に応じて決定することができる。
　図２０は、撮像素子１１ｂの第１０のバリエーションの構成例を示す断面図である。なお、図２０に示す撮像素子１１ｂ－１０において、図１３の撮像素子１１ｂと共通する構成については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
　図２０に示すように、撮像素子１１ｂ－１０は、半導体基板２１ｂ－１０の裏面側に、カラーフィルタ層２２およびオンチップレンズ層２３が積層されて構成される。
　そして、撮像素子１１ｂ－１０の半導体基板２１ｂ－１０は、半導体基板２１ｂ－１０の裏面付近におけるＤＴＩ３３に、深い位置のＤＴＩ３３とは屈折率が異なる異屈折率材料６４が埋め込まれて構成される。即ち、撮像素子１１ｂ－１０では、ＤＴＩ３３は、半導体基板２１ｂ－１０の表面付近に埋め込まれる異屈折率材料６４の屈折率が、その表面付近よりも深い位置に埋め込まれる材料の屈折率と異なるように構成される。例えば、ＤＴＩ３３を形成する際に、半導体基板２１ｂ－１０に対してトレンチを掘り込んで埋め戻しをする工程において、PDAS（Phosphorus Doped Amorphous Silicon）などの屈折率の異なる材料を、半導体基板２１ｂ－１０の裏面付近で埋め込むことができる。
　例えば、半導体基板２１ｂ－１０に形成したトレンチ表面の屈折率をシリコンに近づけることで、そのトレンチでの散乱が起こる位置を深くすることができ、散乱が起こるまでに光が吸収される距離が長くなる。その結果、マイクロレンズ３８の画素１２－１側に入射した光は、半導体基板２１ｂ－１０の画素１２－１側にだけ入射し、マイクロレンズ３８の画素１２－２側に入射した光は、半導体基板２１ｂ－１０の画素１２－２側にだけ入射することになる。これにより、撮像素子１１ｂ－１０は、同じ列に配置される画素１２に出力差が生じることを抑制することができる。
　＜マイクロレンズのレンズ配列＞
　図２１および図２２を参照して、マイクロレンズ３８のレンズ配列について説明する。
　図２１および図２２では、図２と同様の画素ブロック５２Ｇｒ、画素ブロック５２Ｒ、画素ブロック５２Ｂ、および画素ブロック５２Ｇｂが示されており、上述したように画素ペア４１が設定されている。
　図２１に示すレンズ配列７１では、全ての画素ペア４１ごとにマイクロレンズ３８が配置されている。
　これに対し、図２２に示すレンズ配列７１ａでは、一部の画素ペア４１に変形マイクロレンズ７２が配置され、それ以外の画素ペア４１にマイクロレンズ３８が配置されている。
　図示するように、変形マイクロレンズ７２には、左上から右下に向かうような形状の変形マイクロレンズ７２－１と、右上から左下に向かうような形状の変形マイクロレンズ７２－２とがある。
　例えば、変形マイクロレンズ７２－１は、画素ブロック５２Ｇｒの右下の画素ペア４１となっている画素Ｇｒ－９および画素Ｇｒ－１０と、画素ブロック５２Ｇｂの左上の画素ペア４１となっている画素Ｇｂ－１および画素Ｇｂ－２とで共通して用いられる。即ち、変形マイクロレンズ７２－１は、画素Ｇｒ－９および画素Ｇｒ－１０で共有するようなマイクロレンズ３８、画素Ｇｂ－１および画素Ｇｂ－２で共有するようなマイクロレンズ３８、並びに、画素Ｇｒ－１０および画素Ｇｂ－１で共有するようなマイクロレンズ３８が重ね合わされたような光学的な効果を備える。
　同様に、変形マイクロレンズ７２－２は、画素ブロック５２Ｇｒの左下の画素ペア４１となっている画素Ｇｒ－７および画素Ｇｒ－８と、画素ブロック５２Ｇｂの右上の画素ペア４１となっている画素Ｇｂ－３および画素Ｇｂ－４とで共通して用いられる。即ち、変形マイクロレンズ７２－２は、画素Ｇｒ－７および画素Ｇｒ－８で共有するようなマイクロレンズ３８、画素Ｇｂ－３および画素Ｇｂ－４で共有するようなマイクロレンズ３８、並びに、画素Ｇｒ－７および画素Ｇｂ－４で共有するようなマイクロレンズ３８が重ね合わされたような光学的な効果を備える。
　例えば、図２１に示したレンズ配列７１では、画素Ｇｒ－１０および画素Ｇｂ－１の間、または、画素Ｇｒ－７および画素Ｇｂ－４の間で、本来では同じ信号量となって欲しい場合でも信号差が発生してしまい、横方向にテクスチャがあるような画像が撮像されることがある。
　これに対し、レンズ配列７１ａでは、変形マイクロレンズ７２－１によって、画素Ｇｒ－１０および画素Ｇｂ－１の間で生じるような信号差を抑制することができ、変形マイクロレンズ７２－２によって、画素Ｇｒ－７および画素Ｇｂ－４の間で生じるような信号差を抑制することができる。
　つまり、横方向に向かう２個のマイクロレンズ３８が縦方向にも繋がるように変形させた変形マイクロレンズ７２によって、縦方向に並ぶ画素Ｇｒまたは画素Ｇｂに入射した光の一部が、画素Ｇｒおよび画素Ｇｂにそれぞれ入射することになる。これにより、縦方向に並ぶ画素Ｇｒと画素Ｇｂとの間で生じる出力差を低減させることができ、縦テクスチャが横テクスチャに誤認識されてしまうことを回避することができる。
　＜電子機器の構成例＞
　上述したような撮像素子１１は、例えば、デジタルスチルカメラやデジタルビデオカメラなどの撮像システム、撮像機能を備えた携帯電話機、または、撮像機能を備えた他の機器といった各種の電子機器に適用することができる。
　図２３は、電子機器に搭載される撮像装置の構成例を示すブロック図である。
　図２３に示すように、撮像装置１０１は、光学系１０２、撮像素子１０３、信号処理回路１０４、モニタ１０５、およびメモリ１０６を備えて構成され、静止画像および動画像を撮像可能である。
　光学系１０２は、１枚または複数枚のレンズを有して構成され、被写体からの像光（入射光）を撮像素子１０３に導き、撮像素子１０３の受光面（センサ部）に結像させる。
　撮像素子１０３としては、上述した撮像素子１１が適用される。撮像素子１０３には、光学系１０２を介して受光面に結像される像に応じて、一定期間、電子が蓄積される。そして、撮像素子１０３に蓄積された電子に応じた信号が信号処理回路１０４に供給される。
　信号処理回路１０４は、撮像素子１０３から出力された画素信号に対して各種の信号処理を施す。信号処理回路１０４が信号処理を施すことにより得られた画像（画像データ）は、モニタ１０５に供給されて表示されたり、メモリ１０６に供給されて記憶（記録）されたりする。
　このように構成されている撮像装置１０１では、上述した撮像素子１１を適用することで、例えば、より高画質な画像を撮像することができる。
　＜イメージセンサの使用例＞
　図２４は、上述のイメージセンサ（撮像素子）を使用する使用例を示す図である。
　上述したイメージセンサは、例えば、以下のように、可視光や、赤外光、紫外光、X線等の光をセンシングする様々なケースに使用することができる。
　・ディジタルカメラや、カメラ機能付きの携帯機器等の、鑑賞の用に供される画像を撮影する装置
　・自動停止等の安全運転や、運転者の状態の認識等のために、自動車の前方や後方、周囲、車内等を撮影する車載用センサ、走行車両や道路を監視する監視カメラ、車両間等の測距を行う測距センサ等の、交通の用に供される装置
　・ユーザのジェスチャを撮影して、そのジェスチャに従った機器操作を行うために、TVや、冷蔵庫、エアーコンディショナ等の家電に供される装置
　・内視鏡や、赤外光の受光による血管撮影を行う装置等の、医療やヘルスケアの用に供される装置
　・防犯用途の監視カメラや、人物認証用途のカメラ等の、セキュリティの用に供される装置
　・肌を撮影する肌測定器や、頭皮を撮影するマイクロスコープ等の、美容の用に供される装置
　・スポーツ用途等向けのアクションカメラやウェアラブルカメラ等の、スポーツの用に供される装置
　・畑や作物の状態を監視するためのカメラ等の、農業の用に供される装置
　本開示に係る技術（本技術）は、様々な製品へ応用することができる。例えば、本開示に係る技術は、自動車、電気自動車、ハイブリッド電気自動車、自動二輪車、自転車、パーソナルモビリティ、飛行機、ドローン、船舶、ロボット等のいずれかの種類の移動体に搭載される装置として実現されてもよい。
　図２５は、本開示に係る技術が適用され得る移動体制御システムの一例である車両制御システムの概略的な構成例を示すブロック図である。
　車両制御システム１２０００は、通信ネットワーク１２００１を介して接続された複数の電子制御ユニットを備える。図２５に示した例では、車両制御システム１２０００は、駆動系制御ユニット１２０１０、ボディ系制御ユニット１２０２０、車外情報検出ユニット１２０３０、車内情報検出ユニット１２０４０、及び統合制御ユニット１２０５０を備える。また、統合制御ユニット１２０５０の機能構成として、マイクロコンピュータ１２０５１、音声画像出力部１２０５２、及び車載ネットワークＩ／Ｆ（Interface）１２０５３が図示されている。
　駆動系制御ユニット１２０１０は、各種プログラムにしたがって車両の駆動系に関連する装置の動作を制御する。例えば、駆動系制御ユニット１２０１０は、内燃機関又は駆動用モータ等の車両の駆動力を発生させるための駆動力発生装置、駆動力を車輪に伝達するための駆動力伝達機構、車両の舵角を調節するステアリング機構、及び、車両の制動力を発生させる制動装置等の制御装置として機能する。
　ボディ系制御ユニット１２０２０は、各種プログラムにしたがって車体に装備された各種装置の動作を制御する。例えば、ボディ系制御ユニット１２０２０は、キーレスエントリシステム、スマートキーシステム、パワーウィンドウ装置、あるいは、ヘッドランプ、バックランプ、ブレーキランプ、ウィンカー又はフォグランプ等の各種ランプの制御装置として機能する。この場合、ボディ系制御ユニット１２０２０には、鍵を代替する携帯機から発信される電波又は各種スイッチの信号が入力され得る。ボディ系制御ユニット１２０２０は、これらの電波又は信号の入力を受け付け、車両のドアロック装置、パワーウィンドウ装置、ランプ等を制御する。
　車外情報検出ユニット１２０３０は、車両制御システム１２０００を搭載した車両の外部の情報を検出する。例えば、車外情報検出ユニット１２０３０には、撮像部１２０３１が接続される。車外情報検出ユニット１２０３０は、撮像部１２０３１に車外の画像を撮像させるとともに、撮像された画像を受信する。車外情報検出ユニット１２０３０は、受信した画像に基づいて、人、車、障害物、標識又は路面上の文字等の物体検出処理又は距離検出処理を行ってもよい。
　撮像部１２０３１は、光を受光し、その光の受光量に応じた電気信号を出力する光センサである。撮像部１２０３１は、電気信号を画像として出力することもできるし、測距の情報として出力することもできる。また、撮像部１２０３１が受光する光は、可視光であっても良いし、赤外線等の非可視光であっても良い。
　車内情報検出ユニット１２０４０は、車内の情報を検出する。車内情報検出ユニット１２０４０には、例えば、運転者の状態を検出する運転者状態検出部１２０４１が接続される。運転者状態検出部１２０４１は、例えば運転者を撮像するカメラを含み、車内情報検出ユニット１２０４０は、運転者状態検出部１２０４１から入力される検出情報に基づいて、運転者の疲労度合い又は集中度合いを算出してもよいし、運転者が居眠りをしていないかを判別してもよい。
　マイクロコンピュータ１２０５１は、車外情報検出ユニット１２０３０又は車内情報検出ユニット１２０４０で取得される車内外の情報に基づいて、駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置の制御目標値を演算し、駆動系制御ユニット１２０１０に対して制御指令を出力することができる。例えば、マイクロコンピュータ１２０５１は、車両の衝突回避あるいは衝撃緩和、車間距離に基づく追従走行、車速維持走行、車両の衝突警告、又は車両のレーン逸脱警告等を含むＡＤＡＳ（Advanced Driver Assistance System）の機能実現を目的とした協調制御を行うことができる。
　また、マイクロコンピュータ１２０５１は、車外情報検出ユニット１２０３０又は車内情報検出ユニット１２０４０で取得される車両の周囲の情報に基づいて駆動力発生装置、ステアリング機構又は制動装置等を制御することにより、運転者の操作に拠らずに自律的に走行する自動運転等を目的とした協調制御を行うことができる。
　また、マイクロコンピュータ１２０５１は、車外情報検出ユニット１２０３０で取得される車外の情報に基づいて、ボディ系制御ユニット１２０３０に対して制御指令を出力することができる。例えば、マイクロコンピュータ１２０５１は、車外情報検出ユニット１２０３０で検知した先行車又は対向車の位置に応じてヘッドランプを制御し、ハイビームをロービームに切り替える等の防眩を図ることを目的とした協調制御を行うことができる。
　音声画像出力部１２０５２は、車両の搭乗者又は車外に対して、視覚的又は聴覚的に情報を通知することが可能な出力装置へ音声及び画像のうちの少なくとも一方の出力信号を送信する。図２５の例では、出力装置として、オーディオスピーカ１２０６１、表示部１２０６２及びインストルメントパネル１２０６３が例示されている。表示部１２０６２は、例えば、オンボードディスプレイ及びヘッドアップディスプレイの少なくとも一つを含んでいてもよい。
　図２６は、撮像部１２０３１の設置位置の例を示す図である。
　図２６では、撮像部１２０３１として、撮像部１２１０１、１２１０２、１２１０３、１２１０４、１２１０５を有する。
　撮像部１２１０１、１２１０２、１２１０３、１２１０４、１２１０５は、例えば、車両１２１００のフロントノーズ、サイドミラー、リアバンパ、バックドア及び車室内のフロントガラスの上部等の位置に設けられる。フロントノーズに備えられる撮像部１２１０１及び車室内のフロントガラスの上部に備えられる撮像部１２１０５は、主として車両１２１００の前方の画像を取得する。サイドミラーに備えられる撮像部１２１０２、１２１０３は、主として車両１２１００の側方の画像を取得する。リアバンパ又はバックドアに備えられる撮像部１２１０４は、主として車両１２１００の後方の画像を取得する。車室内のフロントガラスの上部に備えられる撮像部１２１０５は、主として先行車両又は、歩行者、障害物、信号機、交通標識又は車線等の検出に用いられる。
　なお、図２６には、撮像部１２１０１ないし１２１０４の撮影範囲の一例が示されている。撮像範囲１２１１１は、フロントノーズに設けられた撮像部１２１０１の撮像範囲を示し、撮像範囲１２１１２，１２１１３は、それぞれサイドミラーに設けられた撮像部１２１０２，１２１０３の撮像範囲を示し、撮像範囲１２１１４は、リアバンパ又はバックドアに設けられた撮像部１２１０４の撮像範囲を示す。例えば、撮像部１２１０１ないし１２１０４で撮像された画像データが重ね合わせられることにより、車両１２１００を上方から見た俯瞰画像が得られる。
　撮像部１２１０１ないし１２１０４の少なくとも１つは、距離情報を取得する機能を有していてもよい。例えば、撮像部１２１０１ないし１２１０４の少なくとも１つは、複数の撮像素子からなるステレオカメラであってもよいし、位相差検出用の画素を有する撮像素子であってもよい。
　例えば、マイクロコンピュータ１２０５１は、撮像部１２１０１ないし１２１０４から得られた距離情報を基に、撮像範囲１２１１１ないし１２１１４内における各立体物までの距離と、この距離の時間的変化（車両１２１００に対する相対速度）を求めることにより、特に車両１２１００の進行路上にある最も近い立体物で、車両１２１００と略同じ方向に所定の速度（例えば、０km/h以上）で走行する立体物を先行車として抽出することができる。さらに、マイクロコンピュータ１２０５１は、先行車の手前に予め確保すべき車間距離を設定し、自動ブレーキ制御（追従停止制御も含む）や自動加速制御（追従発進制御も含む）等を行うことができる。このように運転者の操作に拠らずに自律的に走行する自動運転等を目的とした協調制御を行うことができる。
　例えば、マイクロコンピュータ１２０５１は、撮像部１２１０１ないし１２１０４から得られた距離情報を元に、立体物に関する立体物データを、２輪車、普通車両、大型車両、歩行者、電柱等その他の立体物に分類して抽出し、障害物の自動回避に用いることができる。例えば、マイクロコンピュータ１２０５１は、車両１２１００の周辺の障害物を、車両１２１００のドライバが視認可能な障害物と視認困難な障害物とに識別する。そして、マイクロコンピュータ１２０５１は、各障害物との衝突の危険度を示す衝突リスクを判断し、衝突リスクが設定値以上で衝突可能性がある状況であるときには、オーディオスピーカ１２０６１や表示部１２０６２を介してドライバに警報を出力することや、駆動系制御ユニット１２０１０を介して強制減速や回避操舵を行うことで、衝突回避のための運転支援を行うことができる。
　撮像部１２１０１ないし１２１０４の少なくとも１つは、赤外線を検出する赤外線カメラであってもよい。例えば、マイクロコンピュータ１２０５１は、撮像部１２１０１ないし１２１０４の撮像画像中に歩行者が存在するか否かを判定することで歩行者を認識することができる。かかる歩行者の認識は、例えば赤外線カメラとしての撮像部１２１０１ないし１２１０４の撮像画像における特徴点を抽出する手順と、物体の輪郭を示す一連の特徴点にパターンマッチング処理を行って歩行者か否かを判別する手順によって行われる。マイクロコンピュータ１２０５１が、撮像部１２１０１ないし１２１０４の撮像画像中に歩行者が存在すると判定し、歩行者を認識すると、音声画像出力部１２０５２は、当該認識された歩行者に強調のための方形輪郭線を重畳表示するように、表示部１２０６２を制御する。また、音声画像出力部１２０５２は、歩行者を示すアイコン等を所望の位置に表示するように表示部１２０６２を制御してもよい。
　以上、本開示に係る技術が適用され得る車両制御システムの一例について説明した。本開示に係る技術は、以上説明した構成のうち、撮像部１２０３１等に適用され得る。撮像部１２０３１等に本開示に係る技術を適用することにより、より見やすい撮影画像を得ることができるため、ドライバの疲労を軽減することが可能になる。
　＜構成の組み合わせ例＞
　なお、本技術は以下のような構成も取ることができる。
（１）
　画素ごとに光電変換部が設けられる半導体基板と、
　前記半導体基板の受光面側に積層され、前記画素が受光する色の光を透過するフィルタが前記画素ごとに配置されるカラーフィルタ層と、
　前記カラーフィルタ層に積層され、同色の２つの前記画素からなる画素ペアごとにマイクロレンズが配置されるオンチップレンズ層と
　を備え、
　前記半導体基板には、
　　前記半導体基板を貫通して形成され、異色の前記画素どうしの間の少なくとも一部に設けられる第１の素子分離部と、
　　前記半導体基板の受光面から所定の深さまで掘り込んで形成され、前記画素ペアとなっている２つの前記画素の前記光電変換部どうしの間に少なくとも設けられる第２の素子分離部と
　が設けられる
　固体撮像素子。
（２）
　前記第１の素子分離部は、前記画素ペアの外周を囲って設けられ、
　前記第２の素子分離部は、前記画素ペアとなっている２つの前記画素どうしの間にのみ設けられる
　上記（１）に記載の固体撮像素子。
（３）
　所定数の同色の前記画素ごとに画素ブロックが形成されており、
　４つの前記画素ブロックの組み合わせからなる画素配列を単位として、前記画素配列が行方向および列方向に繰り返して配置される
　上記（１）または（２）に記載の固体撮像素子。
（４）
　前記画素ブロックは、所定の色の前記画素が第１の配置パターンで配置される第１の画素ブロックと、前記色とは異なる色の前記画素が第２の配置パターンで配置される第２の画素ブロックとを含む
　上記（３）に記載の固体撮像素子。
（５）
　前記第１の画素ブロックには緑色の前記画素が配置され、前記第２の画素ブロックには赤色または青色の前記画素が配置されており、
　前記第１の画素ブロックに配置される前記画素の個数が、前記第２の画素ブロックに配置される前記画素の個数より多い
　上記（４）に記載の固体撮像素子。
（６）
　前記画素配列は、１０個の緑色の前記画素が第１の配置パターンで配置された前記画素ブロックが左上に配置され、８個の赤色の前記画素が第２の配置パターンで配置された前記画素ブロックが右上に配置され、８個の青色の前記画素が第２の配置パターンで配置された前記画素ブロックが左下に配置され、１０個の緑色の前記画素が第１の配置パターンで配置された前記画素ブロックが右下に配置されている
　上記（５）に記載の固体撮像素子。
（７）
　前記第１の素子分離部は、前記画素ブロックの境界に沿って設けられ、
　前記第２の素子分離部は、前記画素ブロック内における前記画素どうしの間に設けられる
　上記（３）から（６）までのいずれかに記載の固体撮像素子。
（８）
　前記第１の素子分離部は、前記画素ブロックの境界に沿って設けられるとともに、前記画素ブロック内において左右に隣接する前記画素ペアどうしの間に設けられ、
　前記第２の素子分離部は、前記画素ブロック内における前記画素どうしの間であって、前記第１の素子分離部が設けられていない個所に設けられる
　上記（３）から（６）までのいずれかに記載の固体撮像素子。
（９）
　前記第１の画素ブロックには緑色の前記画素が配置され、前記第２の画素ブロックには赤色または青色の前記画素が配置されており、
　前記第１の素子分離部は、前記第２の画素ブロックの境界に沿って設けられ、
　前記第２の素子分離部は、前記第１の素子分離部が設けられていない個所に設けられる
　上記（４）から（６）までのいずれかに記載の固体撮像素子。
（１０）
　前記画素ブロックは、４個の同色の前記画素が２×２配置パターンで配置されており、　前記画素配列は、緑色の前記画素ブロックが左上に配置され、赤色の前記画素ブロックが右上に配置され、青色の前記画素ブロックが左下に配置され、緑色の前記画素ブロックが右下に配置されており、
　前記第１の素子分離部は、前記画素ブロックの境界に沿って設けられ、
　前記第２の素子分離部は、前記画素ブロック内における前記画素どうしの間に設けられる
　上記（３）に記載の固体撮像素子。
（１１）
　前記カラーフィルタ層には、互いに隣接する前記画素ペアの前記フィルタどうしの間に、前記カラーフィルタ層での光の混入を抑制する導波路が設けられる
　上記（１）から（１０）までのいずれかに記載の固体撮像素子。
（１２）
　前記カラーフィルタ層には、互いに隣接する異色の前記フィルタどうしの間に、前記カラーフィルタ層での光の混入を抑制する導波路が設けられる
　上記（１）から（１０）までのいずれかに記載の固体撮像素子。
（１３）
　前記マイクロレンズは、前記半導体基板の表面よりも所定の深さとなる位置に集光スポットが設けられるように曲率およびレンズ高さが設計される
　上記（１）から（１２）までのいずれかに記載の固体撮像素子。
（１４）
　前記マイクロレンズは、前記画素の色ごとに、前記曲率または前記レンズ高さが設計される
　上記（１３）に記載の固体撮像素子。
（１５）
　前記マイクロレンズに替えて、微細構造物が所定のピッチで配置されるメタレンズが使用され、
　前記メタレンズは、前記画素の色ごとに、前記ピッチが設計される
　上記（１３）に記載の固体撮像素子。
（１６）
　前記カラーフィルタ層には、前記画素ペアの前記フィルタどうしの間に、前記カラーフィルタ層での光の混入を抑制する導波路が設けられる
　上記（１３）から（１５）までのいずれかに記載の固体撮像素子。
（１７）
　前記半導体基板の表面付近において、前記第２の素子分離部に拡幅部が設けられる
　上記（１３）から（１６）までのいずれかに記載の固体撮像素子。
（１８）
　前記第２の素子分離部は、前記半導体基板の表面付近に埋め込まれる材料の屈折率が、その表面付近よりも深い位置に埋め込まれる材料の屈折率と異なって構成される
　上記（１３）から（１７）までのいずれかに記載の固体撮像素子。
（１９）
　前記画素配列で、左上に配置される緑色の前記画素ブロックおよび右下に配置される緑色の前記画素ブロックで縦方向に隣接する前記画素どうしを含む前記画素ペアとなっている４つの前記画素で、それぞれの前記画素ペアで用いられる前記マイクロレンズと、縦方向に隣接する前記画素で共有するようなマイクロレンズとが重ね合わされたような光学的な効果を備える変形マイクロレンズが共通して用いられる
　上記（６）に記載の固体撮像素子。
（２０）
　画素ごとに光電変換部が設けられる半導体基板と、
　前記半導体基板の受光面側に積層され、前記画素が受光する色の光を透過するフィルタが前記画素ごとに配置されるカラーフィルタ層と、
　前記カラーフィルタ層に積層され、同色の２つの前記画素からなる画素ペアごとにマイクロレンズが配置されるオンチップレンズ層と
　を有し、
　前記半導体基板には、
　　前記半導体基板を貫通して形成され、異色の前記画素どうしの間の少なくとも一部に設けられる第１の素子分離部と、
　　前記半導体基板の受光面から所定の深さまで掘り込んで形成され、前記画素ペアとなっている２つの前記画素の前記光電変換部どうしの間に少なくとも設けられる第２の素子分離部と
　が設けられる
　固体撮像素子を備える電子機器。
　なお、本実施の形態は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本開示の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。また、本明細書に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものではなく、他の効果があってもよい。
　１１　撮像素子，　１２　画素，　２１　半導体基板，　２２　カラーフィルタ層，　２３　オンチップレンズ層，　３１　光電変換部，　３２　ＦＦＴＩ，　３３　ＤＴＩ，　３４　分離インプラ部，　３５　ＦＤ部，　３６　転送トランジスタ，　３７　フィルタ，　３８　マイクロレンズ，　３９　ＣＦ導波路，　４１　画素ペア，　４２　メタレンズ，　５１　画素配列，　５２および５３　画素ブロック，　６１　遮光膜，　６２　ＣＦ導波路，　６３　拡幅部，　６４　異屈折率材料，　７１　レンズ配列，　７２　変形マイクロレンズ

Claims (20)

  1. 　画素ごとに光電変換部が設けられる半導体基板と、
    　前記半導体基板の受光面側に積層され、前記画素が受光する色の光を透過するフィルタが前記画素ごとに配置されるカラーフィルタ層と、
    　前記カラーフィルタ層に積層され、同色の２つの前記画素からなる画素ペアごとにマイクロレンズが配置されるオンチップレンズ層と
    　を備え、
    　前記半導体基板には、
    　　前記半導体基板を貫通して形成され、異色の前記画素どうしの間の少なくとも一部に設けられる第１の素子分離部と、
    　　前記半導体基板の受光面から所定の深さまで掘り込んで形成され、前記画素ペアとなっている２つの前記画素の前記光電変換部どうしの間に少なくとも設けられる第２の素子分離部と
    　が設けられる
    　固体撮像素子。
  2. 　前記第１の素子分離部は、前記画素ペアの外周を囲って設けられ、
    　前記第２の素子分離部は、前記画素ペアとなっている２つの前記画素どうしの間にのみ設けられる
    　請求項１に記載の固体撮像素子。
  3. 　所定数の同色の前記画素ごとに画素ブロックが形成されており、
    　４つの前記画素ブロックの組み合わせからなる画素配列を単位として、前記画素配列が行方向および列方向に繰り返して配置される
    　請求項１に記載の固体撮像素子。
  4. 　前記画素ブロックは、所定の色の前記画素が第１の配置パターンで配置される第１の画素ブロックと、前記色とは異なる色の前記画素が第２の配置パターンで配置される第２の画素ブロックとを含む
    　請求項３に記載の固体撮像素子。
  5. 　前記第１の画素ブロックには緑色の前記画素が配置され、前記第２の画素ブロックには赤色または青色の前記画素が配置されており、
    　前記第１の画素ブロックに配置される前記画素の個数が、前記第２の画素ブロックに配置される前記画素の個数より多い
    　請求項４に記載の固体撮像素子。
  6. 　前記画素配列は、１０個の緑色の前記画素が第１の配置パターンで配置された前記画素ブロックが左上に配置され、８個の赤色の前記画素が第２の配置パターンで配置された前記画素ブロックが右上に配置され、８個の青色の前記画素が第２の配置パターンで配置された前記画素ブロックが左下に配置され、１０個の緑色の前記画素が第１の配置パターンで配置された前記画素ブロックが右下に配置されている
    　請求項５に記載の固体撮像素子。
  7. 　前記第１の素子分離部は、前記画素ブロックの境界に沿って設けられ、
    　前記第２の素子分離部は、前記画素ブロック内における前記画素どうしの間に設けられる
    　請求項３に記載の固体撮像素子。
  8. 　前記第１の素子分離部は、前記画素ブロックの境界に沿って設けられるとともに、前記画素ブロック内において左右に隣接する前記画素ペアどうしの間に設けられ、
    　前記第２の素子分離部は、前記画素ブロック内における前記画素どうしの間であって、前記第１の素子分離部が設けられていない個所に設けられる
    　請求項３に記載の固体撮像素子。
  9. 　前記第１の画素ブロックには緑色の前記画素が配置され、前記第２の画素ブロックには赤色または青色の前記画素が配置されており、
    　前記第１の素子分離部は、前記第２の画素ブロックの境界に沿って設けられ、
    　前記第２の素子分離部は、前記第１の素子分離部が設けられていない個所に設けられる
    　請求項４に記載の固体撮像素子。
  10. 　前記画素ブロックは、４個の同色の前記画素が２×２配置パターンで配置されており、　前記画素配列は、緑色の前記画素ブロックが左上に配置され、赤色の前記画素ブロックが右上に配置され、青色の前記画素ブロックが左下に配置され、緑色の前記画素ブロックが右下に配置されており、
    　前記第１の素子分離部は、前記画素ブロックの境界に沿って設けられ、
    　前記第２の素子分離部は、前記画素ブロック内における前記画素どうしの間に設けられる
    　請求項３に記載の固体撮像素子。
  11. 　前記カラーフィルタ層には、互いに隣接する前記画素ペアの前記フィルタどうしの間に、前記カラーフィルタ層での光の混入を抑制する導波路が設けられる
    　請求項１に記載の固体撮像素子。
  12. 　前記カラーフィルタ層には、互いに隣接する異色の前記フィルタどうしの間に、前記カラーフィルタ層での光の混入を抑制する導波路が設けられる
    　請求項１に記載の固体撮像素子。
  13. 　前記マイクロレンズは、前記半導体基板の表面よりも所定の深さとなる位置に集光スポットが設けられるように曲率およびレンズ高さが設計される
    　請求項１に記載の固体撮像素子。
  14. 　前記マイクロレンズは、前記画素の色ごとに、前記曲率または前記レンズ高さが設計される
    　請求項１３に記載の固体撮像素子。
  15. 　前記マイクロレンズに替えて、微細構造物が所定のピッチで配置されるメタレンズが使用され、
    　前記メタレンズは、前記画素の色ごとに、前記ピッチが設計される
    　請求項１３に記載の固体撮像素子。
  16. 　前記カラーフィルタ層には、前記画素ペアの前記フィルタどうしの間に、前記カラーフィルタ層での光の混入を抑制する導波路が設けられる
    　請求項１３に記載の固体撮像素子。
  17. 　前記半導体基板の表面付近において、前記第２の素子分離部に拡幅部が設けられる
    　請求項１３に記載の固体撮像素子。
  18. 　前記第２の素子分離部は、前記半導体基板の表面付近に埋め込まれる材料の屈折率が、その表面付近よりも深い位置に埋め込まれる材料の屈折率と異なって構成される
    　請求項１３に記載の固体撮像素子。
  19. 　前記画素配列で、左上に配置される緑色の前記画素ブロックおよび右下に配置される緑色の前記画素ブロックで縦方向に隣接する前記画素どうしを含む前記画素ペアとなっている４つの前記画素で、それぞれの前記画素ペアで用いられる前記マイクロレンズと、縦方向に隣接する前記画素で共有するようなマイクロレンズとが重ね合わされたような光学的な効果を備える変形マイクロレンズが共通して用いられる
    　請求項６に記載の固体撮像素子。
  20. 　画素ごとに光電変換部が設けられる半導体基板と、
    　前記半導体基板の受光面側に積層され、前記画素が受光する色の光を透過するフィルタが前記画素ごとに配置されるカラーフィルタ層と、
    　前記カラーフィルタ層に積層され、同色の２つの前記画素からなる画素ペアごとにマイクロレンズが配置されるオンチップレンズ層と
    　を有し、
    　前記半導体基板には、
    　　前記半導体基板を貫通して形成され、異色の前記画素どうしの間の少なくとも一部に設けられる第１の素子分離部と、
    　　前記半導体基板の受光面から所定の深さまで掘り込んで形成され、前記画素ペアとなっている２つの前記画素の前記光電変換部どうしの間に少なくとも設けられる第２の素子分離部と
    　が設けられる
    　固体撮像素子を備える電子機器。
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