JP2018010247A5 - - Google Patents

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7110005B2 (ja) * 2018-06-20 2022-08-01 キヤノン株式会社 基板回転装置、基板回転方法、リソグラフィ装置、および物品製造方法
JP7214455B2 (ja) * 2018-12-07 2023-01-30 株式会社ディスコ 保護部材形成装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007012838A (ja) * 2005-06-30 2007-01-18 Nikon Corp 基板保持方法、位置計測方法、基板保持装置、露光装置、デバイス製造方法
JP2007214336A (ja) * 2006-02-09 2007-08-23 Nikon Corp 保持装置、保持方法、ステージ装置、露光装置、デバイスの製造方法
JP2008235472A (ja) * 2007-03-19 2008-10-02 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置
JP4425943B2 (ja) * 2007-03-19 2010-03-03 日本精工株式会社 ワークチャック
JP2008251754A (ja) * 2007-03-29 2008-10-16 Nikon Corp 基板搬送方法及び装置、並びに露光方法及び装置
JP2012237817A (ja) * 2011-05-10 2012-12-06 Nsk Technology Co Ltd 露光装置及び露光方法
JP2015018927A (ja) * 2013-07-10 2015-01-29 株式会社ニコン 基板保持方法及び装置、並びに露光方法及び装置
JP2015185670A (ja) * 2014-03-24 2015-10-22 リンテック株式会社 板状部材の支持装置および支持方法
JP6362416B2 (ja) * 2014-05-23 2018-07-25 キヤノン株式会社 保持装置、リソグラフィ装置、および物品の製造方法
CN107077078B (zh) * 2014-10-23 2019-04-09 Asml荷兰有限公司 用于光刻设备的支撑台、加载衬底的方法、光刻设备和器件制造方法

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