JP2018093122A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2018093122A5
JP2018093122A5 JP2016237089A JP2016237089A JP2018093122A5 JP 2018093122 A5 JP2018093122 A5 JP 2018093122A5 JP 2016237089 A JP2016237089 A JP 2016237089A JP 2016237089 A JP2016237089 A JP 2016237089A JP 2018093122 A5 JP2018093122 A5 JP 2018093122A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
mold
imprint
unit
holding
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2016237089A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP6940944B2 (ja
JP2018093122A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority claimed from JP2016237089A external-priority patent/JP6940944B2/ja
Priority to JP2016237089A priority Critical patent/JP6940944B2/ja
Priority to TW106140228A priority patent/TWI662371B/zh
Priority to SG10201709841XA priority patent/SG10201709841XA/en
Priority to US15/827,398 priority patent/US10870225B2/en
Priority to KR1020170165626A priority patent/KR102262089B1/ko
Priority to CN201711275410.7A priority patent/CN108153107A/zh
Publication of JP2018093122A publication Critical patent/JP2018093122A/ja
Publication of JP2018093122A5 publication Critical patent/JP2018093122A5/ja
Publication of JP6940944B2 publication Critical patent/JP6940944B2/ja
Application granted granted Critical
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2016237089A 2016-12-06 2016-12-06 インプリント装置、及び物品製造方法 Active JP6940944B2 (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016237089A JP6940944B2 (ja) 2016-12-06 2016-12-06 インプリント装置、及び物品製造方法
TW106140228A TWI662371B (zh) 2016-12-06 2017-11-21 壓印設備及物品製造方法
SG10201709841XA SG10201709841XA (en) 2016-12-06 2017-11-28 Imprint apparatus and article manufacturing method
US15/827,398 US10870225B2 (en) 2016-12-06 2017-11-30 Imprint apparatus and article manufacturing method
KR1020170165626A KR102262089B1 (ko) 2016-12-06 2017-12-05 임프린트 장치 및 물품 제조 방법
CN201711275410.7A CN108153107A (zh) 2016-12-06 2017-12-06 压印装置及物品制造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016237089A JP6940944B2 (ja) 2016-12-06 2016-12-06 インプリント装置、及び物品製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2018093122A JP2018093122A (ja) 2018-06-14
JP2018093122A5 true JP2018093122A5 (enExample) 2020-08-06
JP6940944B2 JP6940944B2 (ja) 2021-09-29

Family

ID=62240760

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016237089A Active JP6940944B2 (ja) 2016-12-06 2016-12-06 インプリント装置、及び物品製造方法

Country Status (6)

Country Link
US (1) US10870225B2 (enExample)
JP (1) JP6940944B2 (enExample)
KR (1) KR102262089B1 (enExample)
CN (1) CN108153107A (enExample)
SG (1) SG10201709841XA (enExample)
TW (1) TWI662371B (enExample)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6762853B2 (ja) * 2016-11-11 2020-09-30 キヤノン株式会社 装置、方法、及び物品製造方法
US11054739B2 (en) * 2018-07-26 2021-07-06 Canon Kabushiki Kaisha Imprint apparatus, control method, imprint method and manufacturing method
JP7134055B2 (ja) * 2018-10-09 2022-09-09 キヤノン株式会社 成形装置、および物品の製造方法
JP7204457B2 (ja) * 2018-12-06 2023-01-16 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法
JP7327973B2 (ja) * 2019-03-29 2023-08-16 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法
JP7397721B2 (ja) * 2020-03-06 2023-12-13 キヤノン株式会社 決定方法、インプリント方法、インプリント装置、物品の製造方法及びプログラム
JP7475781B2 (ja) * 2020-06-29 2024-04-30 株式会社ディスコ 加工装置
US12235587B2 (en) 2023-03-28 2025-02-25 Canon Kabushiki Kaisha Method and system for determining initial contact control values for shaping partial fields and method and system for shaping partial fields
JP7777102B2 (ja) * 2023-06-01 2025-11-27 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7019819B2 (en) 2002-11-13 2006-03-28 Molecular Imprints, Inc. Chucking system for modulating shapes of substrates
KR100532771B1 (ko) 2003-12-24 2005-12-02 동부아남반도체 주식회사 씨엠피공정의 웨이퍼 캐리어
US20070164476A1 (en) 2004-09-01 2007-07-19 Wei Wu Contact lithography apparatus and method employing substrate deformation
JP4596981B2 (ja) * 2005-05-24 2010-12-15 株式会社日立ハイテクノロジーズ インプリント装置、及び微細構造転写方法
JP4667524B2 (ja) * 2006-04-03 2011-04-13 モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド 流体チャンバのアレイを備えるチャック・システム
US8215946B2 (en) 2006-05-18 2012-07-10 Molecular Imprints, Inc. Imprint lithography system and method
JP6004738B2 (ja) * 2011-09-07 2016-10-12 キヤノン株式会社 インプリント装置、それを用いた物品の製造方法
JP5893303B2 (ja) * 2011-09-07 2016-03-23 キヤノン株式会社 インプリント装置、それを用いた物品の製造方法
JP6140966B2 (ja) * 2011-10-14 2017-06-07 キヤノン株式会社 インプリント装置、それを用いた物品の製造方法
JP6021606B2 (ja) * 2011-11-28 2016-11-09 キヤノン株式会社 インプリント装置、それを用いた物品の製造方法、およびインプリント方法
JP6159072B2 (ja) * 2011-11-30 2017-07-05 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法
JP6412317B2 (ja) * 2013-04-24 2018-10-24 キヤノン株式会社 インプリント方法、インプリント装置および物品の製造方法
JP2015050437A (ja) * 2013-09-04 2015-03-16 キヤノン株式会社 インプリント装置および物品の製造方法
JP6478565B2 (ja) * 2014-11-06 2019-03-06 キヤノン株式会社 インプリントシステム及び物品の製造方法
US10620532B2 (en) * 2014-11-11 2020-04-14 Canon Kabushiki Kaisha Imprint method, imprint apparatus, mold, and article manufacturing method
JP6553926B2 (ja) * 2015-04-09 2019-07-31 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法
US11104057B2 (en) 2015-12-11 2021-08-31 Canon Kabushiki Kaisha Imprint apparatus and method of imprinting a partial field

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2018093122A5 (enExample)
JP2013058517A5 (enExample)
JP6415273B2 (ja) 吸着保持装置
SG10201709841XA (en) Imprint apparatus and article manufacturing method
JP2013539913A5 (ja) 静電デチャックを行う装置及び方法、並びに、半導体ウェハを処理するチャンバ
JP2015111657A5 (enExample)
JP2017175071A5 (enExample)
JP2016192543A5 (enExample)
JP2013138183A5 (enExample)
JP2008173655A5 (enExample)
JP2013138175A5 (enExample)
JP2012234913A5 (enExample)
RU2680623C2 (ru) Способ ломки изгибом стеклянных пластин и устройство для их ломки изгибом
TW201709991A (zh) 以電漿清潔彈性組件的方法及電漿清潔系統
JP2018074159A5 (ja) 基板からテンプレートを引き離す方法、装置及び物品を製造する方法
EP3101476A3 (en) Imprint apparatus, imprint method, and article manufacturing method
JP2019004055A5 (enExample)
JP2017092396A5 (ja) 基板を処理する装置、及び物品の製造方法
JP2016042501A5 (enExample)
JP2015149315A5 (enExample)
JP2017061065A (ja) 熱成形装置および熱成形方法
JP2014229881A5 (enExample)
JP6847398B2 (ja) 逐次成形方法
US20170049270A1 (en) Food imprinting device
JP2020202269A5 (enExample)