JP2020061446A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020061446A5 JP2020061446A5 JP2018191272A JP2018191272A JP2020061446A5 JP 2020061446 A5 JP2020061446 A5 JP 2020061446A5 JP 2018191272 A JP2018191272 A JP 2018191272A JP 2018191272 A JP2018191272 A JP 2018191272A JP 2020061446 A5 JP2020061446 A5 JP 2020061446A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- contact
- substrate
- area
- mold
- molding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 27
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2018191272A JP7134055B2 (ja) | 2018-10-09 | 2018-10-09 | 成形装置、および物品の製造方法 |
| US16/591,962 US11314165B2 (en) | 2018-10-09 | 2019-10-03 | Forming apparatus and method of manufacturing article |
| KR1020190124375A KR102602905B1 (ko) | 2018-10-09 | 2019-10-08 | 성형 장치 및 물품 제조 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2018191272A JP7134055B2 (ja) | 2018-10-09 | 2018-10-09 | 成形装置、および物品の製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2020061446A JP2020061446A (ja) | 2020-04-16 |
| JP2020061446A5 true JP2020061446A5 (enExample) | 2021-11-11 |
| JP7134055B2 JP7134055B2 (ja) | 2022-09-09 |
Family
ID=70051124
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2018191272A Active JP7134055B2 (ja) | 2018-10-09 | 2018-10-09 | 成形装置、および物品の製造方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US11314165B2 (enExample) |
| JP (1) | JP7134055B2 (enExample) |
| KR (1) | KR102602905B1 (enExample) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11759994B2 (en) * | 2019-07-24 | 2023-09-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Imprint apparatus, imprint method, and article manufacturing method |
| JP7620495B2 (ja) * | 2021-05-07 | 2025-01-23 | キヤノン株式会社 | 成形装置、および物品製造方法 |
| JP7716275B2 (ja) * | 2021-08-24 | 2025-07-31 | キヤノン株式会社 | インプリント方法、インプリント装置、物品の製造方法、モデル、モデルの生成方法、およびプログラム |
| JP7770823B2 (ja) * | 2021-09-08 | 2025-11-17 | キヤノン株式会社 | 異常検出装置、異常検出方法、及びプログラム |
| JP2023085012A (ja) * | 2021-12-08 | 2023-06-20 | キヤノン株式会社 | インプリント方法、および物品製造方法 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7019819B2 (en) | 2002-11-13 | 2006-03-28 | Molecular Imprints, Inc. | Chucking system for modulating shapes of substrates |
| US8945444B2 (en) * | 2007-12-04 | 2015-02-03 | Canon Nanotechnologies, Inc. | High throughput imprint based on contact line motion tracking control |
| JP5563243B2 (ja) * | 2009-06-01 | 2014-07-30 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、および、物品の製造方法 |
| EP2529274B1 (en) * | 2010-01-29 | 2014-10-08 | Canon Nanotechnologies, Inc. | Nanoimprint lithography processes for forming nanoparticles |
| JP6166516B2 (ja) * | 2012-07-17 | 2017-07-19 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法 |
| JP2016021443A (ja) * | 2014-07-11 | 2016-02-04 | キヤノン株式会社 | インプリント装置及び物品製造方法 |
| JP2016021544A (ja) * | 2014-07-11 | 2016-02-04 | 株式会社東芝 | インプリント装置およびインプリント方法 |
| JP6423641B2 (ja) * | 2014-08-05 | 2018-11-14 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、物品の製造方法及びインプリント方法 |
| JP6553926B2 (ja) * | 2015-04-09 | 2019-07-31 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
| JP6647027B2 (ja) * | 2015-12-03 | 2020-02-14 | キヤノン株式会社 | インプリント装置および物品製造方法 |
| JP6940944B2 (ja) * | 2016-12-06 | 2021-09-29 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、及び物品製造方法 |
-
2018
- 2018-10-09 JP JP2018191272A patent/JP7134055B2/ja active Active
-
2019
- 2019-10-03 US US16/591,962 patent/US11314165B2/en active Active
- 2019-10-08 KR KR1020190124375A patent/KR102602905B1/ko active Active