JP2019004055A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20220120579A (ko) * 2019-12-25 2022-08-30 싸이백스 가부시키가이샤 임프린트 장치 및 임프린트 방법
JP7414627B2 (ja) * 2020-04-15 2024-01-16 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法
JP7391806B2 (ja) * 2020-09-16 2023-12-05 キオクシア株式会社 インプリント装置、情報処理装置、及びインプリント方法
US20220197134A1 (en) * 2020-12-23 2022-06-23 Canon Kabushiki Kaisha System and Method of Determining Shaping Parameters Based on Contact Line Motion
US12194671B2 (en) 2021-07-30 2025-01-14 Canon Kabushiki Kaisha Information processing apparatus, molding apparatus, molding method, and article manufacturing method
JP7361831B2 (ja) * 2021-07-30 2023-10-16 キヤノン株式会社 情報処理装置、成形装置、成形方法及び物品の製造方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3958344B2 (ja) * 2005-06-07 2007-08-15 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法及びチップの製造方法
JP5256409B2 (ja) * 2008-06-10 2013-08-07 ボンドテック株式会社 転写方法および転写装置
JP5004891B2 (ja) * 2008-07-25 2012-08-22 ボンドテック株式会社 傾斜調整機構およびこの傾斜調整機構の制御方法
JP6282069B2 (ja) * 2013-09-13 2018-02-21 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法、検出方法及びデバイス製造方法
JP6385177B2 (ja) 2014-07-16 2018-09-05 キヤノン株式会社 モールド、インプリント装置および物品製造方法
JP2016225542A (ja) 2015-06-02 2016-12-28 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法、および、物品の製造方法
JP2017055115A (ja) * 2015-09-08 2017-03-16 キヤノン株式会社 インプリント装置、物品製造方法、レシピ生成装置、レシピを変更する方法およびプログラム

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