JP7391806B2 - インプリント装置、情報処理装置、及びインプリント方法 - Google Patents
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Description
インプリント処理においては、微細なパターンが形成されたテンプレートをウェハ(基板)上のレジストに押し当て、テンプレートの微細パターンをレジストに転写する。レジストは、ウェハ上にパターンを形成するためにウェハ上に配置される「樹脂膜」の一例である。
図3は、実施形態にかかるインプリント装置1の構成例を示す図である。図3に示すように、インプリント装置1は、テンプレートステージ81、ウェハステージ82、アライメントスコープ83、基準マーク85、アライメント部86、撮像部80(撮像装置)、液滴下装置87、ステージベース88、光源89、及び制御部90を備えている。インプリント装置1には、ウェハ20上のレジストに微細パターンを転写するテンプレート10がインストールされている。
次に、図4を用い、実施形態にかかるインプリント装置1を用いたインプリント処理を含む半導体装置の製造方法の例について説明する。図4は、実施形態にかかる半導体装置の製造方法の手順の一例を示す図である。
次に、図5~図10を用い、押印動作中にテンプレート10上に出現する干渉縞(ニュートンリング)について説明する。
図11は、実施形態にかかる制御部90のハードウェア構成の一例を示す図である。制御部90は、CPU(Central Processing Unit)101、RAM(Random Access Memory)102、ROM(Read Only Memory)103、補助記憶装置104、入力デバイス105、出力デバイス106、及び通信I/F(Interface)107を有する。
図12は、実施形態にかかる制御部90の機能構成の一例を示す図である。制御部90は、接続部201、画像取得部202、減算処理部203、特徴量取得部204、補正情報生成部205、駆動制御部206、及び出力部207を有する。これらの機能部201~207は、図11に例示したような制御部90のハードウェハ構成要素と、CPU101を制御するプログラム(ソフトウェハ構成要素)との協働により実現される。
図13は、実施形態にかかる差分画像α1~δ1を用いた干渉縞Rの解析方法の一例を示す図である。図13において、押印画像α~δと、基準画像Isと、差分画像α1~δ1と、解析画像α2~δ2との関係が例示されている。
以下に、図14~図24を用い、特徴量例について説明する。
上記のような特徴量を利用して、押印動作を改善するための補正情報を生成できる。補正情報は、例えば、押圧力、テンプレート速度、アライメント状態、傾き、背圧Pb等を調整するための情報であり得る。インプリント装置1の押印動作に関わる機構に対し、補正情報に基づくフィードバック制御等を行うことにより、押印動作の改善を図ることができる。例えば、接触領域Sの進展の偏りが小さくなるように押印動作を補正すること等が可能となる。なお、フィードバック制御は、押印動作の実行中にリアルタイムで行われることが望ましいが、次回の押印動作の改善等を目的とするものであってもよい。
上記実施形態においては、押圧動作の進行に伴う複数の押印画像α~δに対応する複数の差分画像α1~δ1を利用して特徴量を取得する場合を例示したが、本発明の実施形態はこれに限定されるものではない。例えば、1つの差分画像を利用する場合であっても、押印動作を改善するための有効な特徴量を取得できる。
Claims (5)
- 基板上に配置された樹脂膜にテンプレートを押し当てる押印動作により前記樹脂膜に所定のパターンを形成するインプリント装置であって、
前記テンプレートの撮像画像を取得する撮像部と、
前記撮像画像に基づき前記押印動作を制御するための処理を行う制御部と、
を備え、
前記制御部は、
前記撮像部から、所定の押印位置における前記押印動作前の前記テンプレートの撮像画像である基準画像と、前記押印位置における前記押印動作中の前記テンプレートの撮像画像である押印画像とを取得し、
前記基準画像と前記押印画像との差分を示す差分画像から、前記押印動作中に前記テンプレート上に出現する干渉縞に基づく特徴量を取得し、
前記特徴量に基づき前記押印動作を制御するための処理を行う、
インプリント装置。 - 前記制御部は、前記押印動作の進行に伴い取得される複数の前記押印画像に対応する複数の前記差分画像を生成し、複数の前記差分画像から、前記テンプレートと前記樹脂膜との接触領域の経時的変化を示す情報を含む前記特徴量を生成する、
請求項1に記載のインプリント装置。 - 前記制御部は、前記接触領域の進展の偏りが小さくなるように前記押印動作を補正するための処理を行う、
請求項2に記載のインプリント装置。 - 基板上に配置された樹脂膜にテンプレートを押し当てる押印動作により前記樹脂膜に所定のパターンを形成するインプリント装置を制御する情報処理装置であって、
前記テンプレートの撮像画像を取得する撮像装置と接続する接続部と、
前記撮像画像に基づき前記押印動作を制御するための処理を行う制御部と、
を備え、
前記制御部は、
前記接続部を介して、所定の押印位置における前記押印動作前の前記テンプレートの撮像画像である基準画像と、前記押印位置における前記押印動作中の前記テンプレートの撮像画像である押印画像とを取得し、
前記基準画像と前記押印画像との差分を示す差分画像から、前記押印動作中に前記テンプレート上に出現する干渉縞に基づく特徴量を取得し、
前記特徴量に基づき前記押印動作を制御するための処理を行う、
情報処理装置。 - 基板上に配置された樹脂膜にテンプレートを押し当てる押印動作により前記樹脂膜に所定のパターンを形成するインプリント方法であって、
撮像装置が前記テンプレートの撮像画像を取得するステップと、
情報処理装置が前記撮像装置から、所定の押印位置における前記押印動作前の前記テンプレートの撮像画像である基準画像と、前記押印位置における前記押印動作中の前記テンプレートの撮像画像である押印画像とを取得するステップと、
前記情報処理装置が、前記基準画像と前記押印画像との差分を示す差分画像から、前記押印動作中に前記テンプレート上に出現する干渉縞に基づく特徴量を取得するステップと、
前記情報処理装置が、前記特徴量に基づき前記押印動作を制御するための処理を行うステップと、
を含むインプリント方法。
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