JP2013058517A5 - - Google Patents
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Family Cites Families (12)
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|---|---|---|---|---|
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| US20080160129A1 (en) * | 2006-05-11 | 2008-07-03 | Molecular Imprints, Inc. | Template Having a Varying Thickness to Facilitate Expelling a Gas Positioned Between a Substrate and the Template |
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| US8166876B2 (en) | 2005-05-03 | 2012-05-01 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Method and device for transferring a pattern from a stamp to a substrate |
| ATE510241T1 (de) | 2005-12-08 | 2011-06-15 | Molecular Imprints Inc | Verfahren zum ausstossen von zwischen einem substrat und einer form befindlichen gas |
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| US8945444B2 (en) * | 2007-12-04 | 2015-02-03 | Canon Nanotechnologies, Inc. | High throughput imprint based on contact line motion tracking control |
| JP4940262B2 (ja) * | 2009-03-25 | 2012-05-30 | 株式会社東芝 | インプリントパターン形成方法 |
| JP5411557B2 (ja) * | 2009-04-03 | 2014-02-12 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 微細構造転写装置 |
| JP2011051132A (ja) * | 2009-08-31 | 2011-03-17 | Konica Minolta Opto Inc | 光学部品製造装置及び光学部品の製造方法 |
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