JP2013058517A5 - - Google Patents

Description

上記課題を解決するために、本発明は、基板上の未硬化樹脂に型を接触させた状態で樹脂を硬化させ樹脂のパターンを形成するインプリント装置であって、型を保持する型保持部と、基板を保持する基板保持部と、型保持部に保持された状態の型を、該型に接する空間の圧力を調整することで基板に向かい凸形に変形させる圧力調整部と、凸形に変形した型と、未硬化樹脂との押し付け動作中に、型または基板の姿勢を変化させることで型と未硬化樹脂とが接触する接触領域の位置を移動させる駆動部と、接触領域の状態を示す画像情報を取得する測定部と、画像情報に基づいて接触領域の図心の平面座標を算出し、該図心の平面座標の位置が、画像情報に基づいて算出した、または予め取得した基板上のパターン形成領域の図心の平面座標の位置に向かうように駆動部の動作を制御する制御部と、を有することを特徴とする。

Claims (11)

1. 基板上の未硬化樹脂に型を接触させた状態で前記樹脂を硬化させ樹脂のパターンを形成するインプリント装置であって、
   前記型を保持する型保持部と、
   前記基板を保持する基板保持部と、
   前記型保持部に保持された状態の前記型を、該型に接する空間の圧力を調整することで前記基板に向かい凸形に変形させる圧力調整部と、
   前記凸形に変形した前記型と、前記未硬化樹脂との押し付け動作中に、前記型または前記基板の姿勢を変化させることで前記型と前記未硬化樹脂とが接触する接触領域の位置を移動させる駆動部と、
   前記接触領域の状態を示す画像情報を取得する測定部と、
   前記画像情報に基づいて前記接触領域の図心の平面座標を算出し、該図心の平面座標の位置が、前記画像情報に基づいて算出した、または予め取得した前記基板上のパターン形成領域の図心の平面座標の位置に向かうように前記駆動部の動作を制御する制御部と、
   を有することを特徴とするインプリント装置。
2. 前記制御部は、前記型と前記未硬化樹脂との押し付け位置が前記基板の端部にかかる場合には、前記接触領域の図心の平面座標の算出と並行して前記パターン形成領域の図心の平面座標の算出を実行することを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
3. 前記駆動部は、前記型保持部に設置され、前記基板の平面に対する前記型保持部での前記型の保持面の角度を変化させる駆動系であることを特徴とする請求項１または２に記載のインプリント装置。
4. 前記駆動部は、前記基板保持部に設置され、前記型の面に対する前記基板保持部での前記基板の保持面の角度を変化させる駆動系であることを特徴とする請求項１または２に記載のインプリント装置。
5. 前記駆動部は、前記型を吸着する複数の吸着溝と、該複数の吸着溝のそれぞれの吸着を独立して切り替え可能とする切り替え機構とを含む前記型保持部であることを特徴とする請求項１または２に記載のインプリント装置。
6. 前記駆動部は、前記型保持部に保持されつつ前記基板に向かい凸形に変形した状態の前記型を、前記基板の平面に対して平行に移動させる移動機構であることを特徴とする請求項１または２に記載のインプリント装置。
7. 前記制御部は、前記押し付け動作の完了後に、平行に移動した状態を前記移動機構により元に戻させることを特徴とする請求項６に記載のインプリント装置。
8. 前記制御部は、前記押し付け動作の前の前記型と前記基板との相対位置の計測結果に基づいて位置合わせを実行することを特徴とする請求項７に記載のインプリント装置。
9. 前記制御部は、前記押し付け動作の完了後の前記型と前記基板との相対位置の計測結果に基づいて位置合わせを実行することを特徴とする請求項７に記載のインプリント装置。
10. 請求項１ないし９のいずれか１項に記載のインプリント装置を用いて基板上に樹脂のパターンを形成する工程と、
    前記工程で前記パターンを形成された基板を加工する工程と、
    を含むことを特徴とする物品の製造方法。
11. 基板上の未硬化樹脂に型を接触させた状態で前記樹脂を硬化させ樹脂のパターンを形成するインプリント装置であって、
    前記型を保持する型保持部と、
    前記基板を保持する基板保持部と、
    前記型保持部に保持された状態の前記型を、該型に接する空間の圧力を調整することで前記基板に向かい凸形に変形させる圧力調整部と、
    前記凸形に変形した前記型と、前記未硬化樹脂との押し付け動作中に、前記型または前記基板の姿勢を変化させることで前記型と前記未硬化樹脂とが接触する接触領域の位置を移動させる駆動部と、
    前記接触領域の状態を示す画像情報を取得する測定部と、
    凸形に変形させた前記型と前記未硬化樹脂とを接触させた状態で前記測定部により取得された前記画像情報にもとづいて、前記接触領域の図心の位置が前記パターン面の図心の位置に向かうように前記駆動部の動作を制御する制御部と、
    を有することを特徴とするインプリント装置。