JP2013254938A5 - - Google Patents
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Description
本発明の１つの側面は、モールドを用いて基板上にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置であって、前記モールドの側面に接触する接触面を有する接触部材を含み、前記接触部材を介して前記モールドの側面に力を加え、前記モールドの形状を変更させる変更部と、前記接触部材の角度および位置の少なくとも一方を変える調整部と、を含む。
Claims (14)
- モールドを用いて基板上にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置であって、
前記モールドの側面に接触する接触面を有する接触部材を含み、前記接触部材を介して前記モールドの側面に力を加え、前記モールドの形状を変更させる変更部と、
前記接触部材の角度および位置の少なくとも一方を変える調整部と、
を含むことを特徴とするインプリント装置。 - 前記接触部材は、前記モールドを保持する保持部に固定された基部によって複数の部材を介して支持され、
前記複数の部材は、前記接触部材が前記モールドを押圧する方向である第１方向に沿って前記接触部材が移動することを許容するリンク機構を構成することを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。 - 前記調整部は、前記基部に設けられ、前記複数の部材のうち少なくとも１つを前記第１方向と異なる方向である第２方向に駆動することを特徴とする請求項２に記載のインプリント装置。
- 前記調整部は、前記複数の部材のうち少なくとも１つを前記第２方向に駆動するアクチュエータを含むことを特徴とする請求項３に記載のインプリント装置。
- 前記調整部は、傾斜部分を含む変換部と、前記変換部に第１方向の力を加えるアクチュエータとを含み、
前記基部は、前記傾斜部分に接する傾斜面を含み、
前記変換部は、前記傾斜部分と前記傾斜面とによって前記第１方向の力を前記第２方向の力に変換し、前記複数の部材のうち少なくとも１つを前記第２方向に駆動することを特徴とする請求項３に記載のインプリント装置。 - 前記調整部は、前記複数の部材のうち少なくとも１つに設置されたアクチュエータを含み、
前記アクチュエータは、前記複数の部材のうち少なくとも１つに前記基部と前記接触部材との距離を変更可能に配置されていることを特徴とする請求項２に記載のインプリント装置。 - 前記調整部は、前記モールドの形状情報に基づいて前記接触部材を調整し、
前記形状情報は、前記モールドの側面の傾き、および前記モールドの厚さのうち少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項１乃至６のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。 - 前記モールドに設けられたアライメントマークと、前記基板上に設けられたアライメントマークとの位置ずれを測定する測定部を更に含み、
前記調整部は、前記測定部で測定された前記位置ずれが小さくなるように前記接触部材を調整することを特徴とする請求項１乃至７のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。 - 前記変更部によって前記モールドの側面に力を加えたときに、前記モールドの外周領域が前記モールドを押圧する方向と異なる方向に変形する変形量を計測する計測部を更に含み、
前記外周領域は、前記モールドにおいて保持部によって保持される部分より外側の領域であり、
前記調整部は、前記計測部で測定した変形量が小さくなるように前記接触部材を調整することを特徴とする請求項１乃至８のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。 - 前記接触部材の前記接触面は、前記モールドの側面に向かって凸形状に形成されている、ことを特徴とする請求項１乃至９のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
- 前記調整部は、前記接触面および前記モールドの側面が互いに平行になるように前記接触部材の角度を変える、ことを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載のインプリント装置。
- 前記調整部は、前記接触部材の角度を維持しながら、前記接触部材が前記モールドを押圧する方向に前記接触部材を移動させる、ことを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記接触部材は、前記モールドを保持する保持部に固定された基部によって複数の部材を介して支持され、
前記調整部は、前記モールドが前記インプリント材を押圧する方向に前記複数の部材を個別に駆動することによって前記接触部材の角度を変える、ことを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。 - 請求項１乃至１３のうちいずれか１項に記載のインプリント装置を用いて基板上にインプリント材のパターンを形成するステップと、
前記ステップでパターンが形成された前記基板を加工するステップと、
を有することを特徴とする物品の製造方法。
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