JP2013026288A5 - - Google Patents

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本発明は、基板上のインプリント材を型により成形してパターンを前記基板上に形成するインプリント装置であって、前記型を保持する型保持部と、前記基板を保持する基板保持部と、前記型と前記インプリント材とが互いに接触するように前記型保持部及び前記基板保持部のうち少なくとも一方を駆動軸に沿って移動させる第１駆動機構と、前記駆動軸に交差する方向において前記基板が前記型に対して位置決めされるように前記型保持部及び前記基板保持部のうち少なくとも一方を移動させる第２駆動機構と、前記型と前記インプリント材とが互いに接触していない状態で前記型に形成された型マークと前記基板に形成された基板マークとを前記型を介して検出するスコープを含み、前記型マークと前記基板マークとの間の位置ずれ量を計測する位置ずれ量計測器と、制御器と、を備え、前記制御器は、前記型保持部及び前記基板保持部のうち少なくとも一方の前記駆動軸に沿う移動量と、前記型マークと前記基板マークとの間の位置ずれ量との間の関係の情報と、該移動量の情報と、前記位置ずれ量計測器により得られた前記位置ずれ量の情報とに基づいて、前記第２駆動機構を制御する、ことを特徴とする。

Claims (10)

  1. 基板上のインプリント材を型により成形してパターンを前記基板上に形成するインプリント装置であって、
    前記型を保持する型保持部と、
    前記基板を保持する基板保持部と、
    前記型と前記インプリント材とが互いに接触するように前記型保持部及び前記基板保持部のうち少なくとも一方を駆動軸に沿って移動させる第１駆動機構と、
    前記駆動軸に交差する方向において前記基板が前記型に対して位置決めされるように前記型保持部及び前記基板保持部のうち少なくとも一方を移動させる第２駆動機構と、
    前記型と前記インプリント材とが互いに接触していない状態で前記型に形成された型マークと前記基板に形成された基板マークとを前記型を介して検出するスコープを含み、前記型マークと前記基板マークとの間の位置ずれ量を計測する位置ずれ量計測器と、
    制御器と、
    を備え、
    前記制御器は、前記型保持部及び前記基板保持部のうち少なくとも一方の前記駆動軸に沿う移動量と、前記型マークと前記基板マークとの間の位置ずれ量との間の関係の情報と、該移動量の情報と、前記位置ずれ量計測器により得られた前記位置ずれ量の情報とに基づいて、前記第２駆動機構を制御する、
    ことを特徴とするインプリント装置。
  2. 前記制御器は、前記関係の情報として、前記駆動軸に対する前記スコープの光軸の傾きの情報を用いる、ことを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
  3. 前記第２駆動機構により移動される前記型保持部及び前記基板保持部のうち少なくとも一方の位置を該少なくとも一方の側面を介して計測する位置計測器を備え、
    前記制御器は、前記関係の情報として、前記側面に対する前記スコープの光軸の傾きの情報を用いる、ことを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
  4. 前記型の表面と前記基板の表面とが互いに平行になるように前記型保持部及び前記基板保持部のうち少なくとも一方を傾斜させる第３駆動機構を備え、
    前記傾きの情報は、前記第３駆動機構により該少なくとも一方を傾斜させた後の前記側面に対する前記スコープの光軸の傾きの情報である、
    ことを特徴とする請求項３に記載のインプリント装置。
  5. 前記制御器は、前記型保持部及び前記基板保持部のうち少なくとも一方の前記駆動軸に沿う移動量の情報と、それに対応する前記型マークと前記基板マークとの間の位置ずれ量の情報とに基づいて、前記関係を求める、ことを特徴とする請求項１乃至請求項４のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
  6. 前記制御器は、前記型保持部及び前記基板保持部のうち少なくとも一方の前記駆動軸に沿う移動量の情報と、それに対応する前記パターンと前記基板との間の位置ずれ量の情報とに基づいて、前記関係を求める、ことを特徴とする請求項１乃至請求項４のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
  7. 前記インプリント装置が起動した場合、又は、前記スコープを移動させた場合に、前記制御器は、前記関係の情報を取得する、ことを特徴とする請求項１乃至請求項６のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
  8. 前記型の寸法を補正する補正機構を備え、
    前記制御器は、前記関係の情報と、該移動量の情報と、前記位置ずれ量計測器により得られた複数対の前記型マークおよび前記基板マークそれぞれの間の位置ずれ量の情報とに基づいて、前記補正機構を制御する、
    ことを特徴とする請求項１乃至請求項７のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
  9. 前記位置ずれ量計測器は、前記スコープを複数含み、該複数の前記スコープは、前記型マークおよび前記基板マークの複数対をそれぞれ検出する、ことを特徴とする請求項８に記載のインプリント装置。
  10. 請求項１乃至請求項９のうちいずれか1項に記載のインプリント装置を用いてパターンを基板に形成する工程と、
    前記工程で前記パターンを形成された前記基板を加工する工程と、
    を含むことを特徴とする物品の製造方法。
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