JP2011171410A5 - - Google Patents

Description

上記課題を解決するために、本発明は、基板上の未硬化樹脂を型により成形して基板上に樹脂のパターンを形成するインプリント装置であって、型に投光して型で生じた散乱光を受光して計測信号を得る計測手段と、制御手段と、を有し、制御手段は、基準信号を記憶し、型に関して計測手段に計測信号を得させて、計測信号と基準信号との相違を示す指標を求める、ことを特徴とする。

Claims (10)

1. 基板上の未硬化樹脂を型により成形して前記基板上に樹脂のパターンを形成するインプリント装置であって、
   前記型に投光して該型で生じた散乱光を受光して計測信号を得る計測手段と、
   制御手段と、を有し、
   前記制御手段は、基準信号を記憶し、前記型に関して前記計測手段に前記計測信号を得させて、該計測信号と前記基準信号との相違を示す指標を求める、ことを特徴とするインプリント装置。
2. 前記制御手段は、予め前記型に関して前記計測手段に前記計測信号を得させて前記基準信号を得る、ことを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
3. 前記制御手段は、前記インプリント装置の外部から前記インプリント装置の内部に前記型が装填された場合、該型による成形を行う前に、該型に関して前記計測手段に前記計測信号を得させて前記基準信号を得る、ことを特徴とする請求項２に記載のインプリント装置。
4. コンソール部を有し、
   前記制御手段は、前記指標に対する閾値を前記指標が超えたことを示す情報を前記コンソール部に出力させる、ことを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載のインプリント装置。
5. 前記制御手段は、前記閾値として上限値および下限値を記憶し、前記上限値および前記下限値のいずれを前記指標が超えたかを示す情報を前記コンソール部に出力させる、ことを特徴とする請求項４に記載のインプリント装置。
6. 前記型を保持する型保持手段を有し、
   前記制御手段は、前記型保持手段に保持された第１の型を第２の型と交換する場合に、前記第１の型に関して前記計測手段に前記計測信号を得させる、ことを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載のインプリント装置。
7. 前記型を保持する型保持手段を有し、
   前記制御手段は、前記型保持手段に保持された第１の型を第２の型と交換する場合に、前記第２の型に関して前記計測手段に前記計測信号を得させる、ことを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載のインプリント装置。
8. 前記基板を保持する基板保持手段を有し、
   前記制御手段は、前記基板保持手段に保持された第１の基板を第２の基板に交換する間に、前記型に関して前記計測手段に前記計測信号を得させる、ことを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載のインプリント装置。
9. 前記型を保持する型保持手段と、前記基板を保持する可動の基板保持手段とを有し、
   前記計測手段は、前記投光を行う投光部と、前記受光を行う受光部とを有し、
   前記投光部と前記受光部とは、前記基板保持手段に配置され、
   前記制御手段は、前記型保持手段に保持された前記型に対して前記基板保持手段を移動させて前記型に関して前記計測手段に前記計測信号を得させる、ことを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載のインプリント装置。
10. 請求項１ないし請求項９のいずれか１項に記載のインプリント装置を用いて基板上に樹脂のパターンを形成する工程と、
    前記工程で前記パターンを形成された基板を加工する工程と、
    を含む、ことを特徴とする物品の製造方法。